【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】現物サイズの大容量の圧油タンクを備えた圧油供給制御装置を用いて圧油確立訓練を実施する際に、個々の研修者が圧油確立訓練を修了するのに要する時間を大幅に短縮できる。
【解決手段】油槽３と、圧油タンク５と、圧油タンクと配管接続された小型圧油タンク７と、圧油タンクと小型圧油タンクとの間の油供給用配管に設置される油用バルブ１１と、油槽から小型圧油タンクを経由して圧油タンクに油を供給するポンプ１５と、を備え、小型圧油タンク内の油圧を高める場合には、油用バルブを開放することによって圧油タンク内の圧油を小型圧油タンク内に供給する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

圧力調節弁が、コア組立体、摺動部材、及び偏倚部材を具備する。コア組立体は取水部、分流加減器部、及び出力部を備えている。摺動部材はつばを有し、内表面にて第１の開口部及び第２の開口部で終端する少なくとも１つの内部流路を有している。摺動部材が第１の位置にある状態では流体は弁を通過できる。摺動部材が第２の位置にある状態では流体は弁を通過できない。
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ガス圧力レギュレーター（１）は、第一のガス入口パイプ（３）と第二のガス出口パイプ（４）を有している中心体（２）と、前記中心体（２）の中に少なくとも部分的に収納されており、ガスの通過のための断面（６）の開口を調節するために、前記断面（６）が完全に開かれた位置（Ｂ）と、前記断面（６）が閉じられた位置（Ａ）の間を移動可能なシャッター（５）と、前記ガスの通過によって作り出されるノイズの低減のための、前記中心体（２）の中に前記通過断面（６）に配置された消音デバイス（７）と、前記消音デバイスを前記中心体（２）に固定するための手段（１１）を備えている。前記消音デバイス（７）は、前記ガスの通過を可能にする円筒状穴あきプレート（９）を備えている。
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【課題】本発明は、ピストンの形状が複雑化するのを防止し、加工及び組み付けが容易な減圧弁を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る減圧弁１０は、一次ポート３２と二次ポート３４との間に設けられた弁ユニット１８と、弁ユニット１８の下流に設けられたシリンダ１２と、シリンダ１２内を減圧室３８と圧力調整室９６とに区画するとともにシリンダ１２内を摺動して弁ユニット１８を開閉するピストン１４と、シリンダ１２の内周面に配され弾性部材２８の押圧力によりピストン１４に摺接する摺接片２６ａを備えたシール部材２４と、を備え、シリンダ１２は、減圧室３８を形成する本体部材２０と、圧力調整室９６を形成するカバー部材２２と、で構成され、本体部材２０及びカバー部材２２との境界部分にシール部材２４を配する環状溝９４を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空弁のメンテナンスサイクルを長くできる排気圧力制御システム及び排気圧力制御方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３に接続される排気系１０に配設される真空弁１５と、排気系１０の排気圧力を目標圧力に制御するように真空弁１５のバルブ開度を制御するコントローラ１２とを有する排気圧力制御システム１１において、排気系１０に接続するパージガス供給系１４と、パージガス供給系１４に配設され、排気系１０に供給されるパージガスの流量を制御するパージガス流量コントローラ１３と、を有し、パージガス流量コントローラ１３により流量制御されたパージガスを排気系１０に供給することにより、コントローラ１２が制御する真空弁１５のバルブ開度を、パージガスを排気系１０に供給しないで排気圧力を目標圧力に制御する場合より大きくする。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器の外部に流体が漏出することをより効果的に抑制する。
【解決手段】圧力調整器は、弁体１８の位置を調整するために、シリンダ１６と、シリンダ１６内を上下動するピストン１４とを備えている。ピストン１４の側面には、第１のＯリング５８が設けられており、更に、この第１のＯリング５８よりも弁体１８から離れた位置に第２のＯリング５９が設けられている。第１のＯリング５８の弁体１８側および第２のＯリング５９側には、一対のバックアップリング６０，６１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】一次室を構成するバルブ構成部材の強度低下を来すことなく、一次室を減圧する。
【解決手段】一次室１１と、弁口１６を介して一次室１１と連通可能な二次室１２と、弁口１６の開度を変化させるように移動可能な弁体２７とを備え、一次室１１を構成するバルブ構成部材１０が合成樹脂製とされている減圧弁であって、弁体２７が弁口１６を閉塞する閉弁状態において、一次室１１内の圧力がバルブ構成部材１０の耐圧を超えない範囲内で上昇したときには、一次室１１内の流体が弁体２７を貫通する連通路３０を通って二次室１２側へ流出することを許容するが、常には連通路３０を閉止状態に保持するリリーフ弁３５を備えている。 （もっと読む）

【課題】背圧室からの油圧の印加態様に応じて変位する可動部材により開弁圧を切り替えるリリーフ弁を備えた可変油圧システムにおいて開弁圧の切り替え動作の信頼性を向上することができる可変油圧システムを提供する。
【解決手段】背圧室３５から印加される油圧に応じた変位により開弁圧を変更させるスリーブ２６を有してポンプ１３の吐出側に設けられたリリーフ弁２０と、背圧室３５における油圧の印加態様を切り替える切り替え弁４０とを備え、背圧室３５における油圧の印加態様の切り替えにより開弁圧の圧力段を切り替えて供給対象である内燃機関の各部への供給圧を変更する可変油圧システム１０であって、リリーフ弁２０が、背圧室３５の昇圧によるスリーブ２６の変位によりポンプ１３の吸入側と背圧室３５とを連通させるリターン通路２１Ｃを備えた。 （もっと読む）

【課題】 受圧膜体に起因する弁体の不安定な開閉動作を防止することができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】バルブハウジング７１内の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、圧力調整し２次室７６を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３が、円形の金属フィルムで構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】 圧力制御システム及びその圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 圧力調整弁を含む圧力制御システムであって、圧力調整弁は、チャンバーを有し、前記チャンバーは、入口端及び出口端を有するバルブ本体を含み、移動できる方式で前記チャンバーに設置し、前記入口端と相対応し、且つ第一接触表面を有する第一ピストンと、前記第一ピストンと接続し、且つ前記出口端と相対応し、第二接触表面を有し、前記第一ピストンと同時に移動し、且つ前記第一接触表面は、前記第二接触表面より小さい第二ピストンとを含むピストンアセンブリを含む圧力制御システム。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気あるいは真空雰囲気に切り替え可能な室の内圧を切り替える際の開閉バルブの開動作に伴う発塵、あるいは開閉バルブ連通時の断熱膨張に伴う結露を防止する。
【解決手段】真空処理室１にウエハを搬入出するためのロック室３と、カセット内のウエハを、大気ローダ５、前記ロック室および真空搬送室７を介して前記真空処理室に搬入し、前記処理室で真空処理された処理済ウエハを搬出するための搬送制御を行う制御手段を備えた真空処理装置において、前記搬送制御手段は、前記ロック室内の圧力を大気圧に切り替えるとき、不活性ガス供給ライン１１の開閉バルブを一旦開放してロック室内の圧力を圧力計で設定した所定値に設定した後、大気連通ライン１８を開放したときロック室内に結露が生じるか否かを判定し、結露が生じると判定したとき大気連通ラインを介して供給される大気の流量を前記大気連通ラインに挿入された流量制御手段で制限する。 （もっと読む）

本発明は、特に商用車両にある空気処理装置用の複合圧力制限−あふれ弁に関し、複合圧力制限−あふれ弁（３０）がハウジング（１８）、蓋（１９）、入口（４）、第１の出口（７）、ピストン（１０）、あふれ弁座（１）及び圧力制限弁座（２）を持っており、調節ばね（１１）により、あふれ弁座（１）の開放圧力及び閉鎖圧力も、圧力制限弁座（２）の開放圧力及び閉鎖圧力も調節可能である。 （もっと読む）

【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ４０は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁４３と、電磁弁４３の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁４４とを備える。エア通路３５に導出されるエアの圧力センサ７２による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁４３，４４を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてＰＩＤ演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁４３，４４が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、ＰＩＤ演算により生成されるパルス信号を変更する。 （もっと読む）

【課題】室圧調整する対象室間の室間連通口が開扉状態にあるとき、室間連通口において一方向き通過気流を形成するとともに、対象室と外部域との間での圧力の高低関係も所要の関係に保持できる室圧制御システムを提供する。
【解決手段】制御手段１０は、室間連通口１２の扉１２ａが閉扉状態にあるとき、各対象室用の設定通常室圧ｐｐａ，ｐｐｂを各対象室１ａ，１ｂの目標室圧ｐｍａ，ｐｍｂにした状態で各対象室１ａ，１ｂについて室圧調整ダンパＶａ，Ｖｂの開度調整による室圧調整制御を実行する閉扉モード制御を実施し、かつ、扉１２ａが開扉状態にあるとき、いずれか一方の対象室１ａに対する室圧調整ダンパＶａの開度を固定するとともに、他方の対象室１ｂの目標室圧ｐｍｂを気流形成用の設定室圧ｐｍｂに変更した状態で、他方の対象室１ｂについて室圧調整制御を実行する開扉モード制御を実施する構成にする。 （もっと読む）

【課題】圧力調整やリリーフ時の設定を軽いハンドル操作で行うことができるようにする。
【解決手段】ケーシング１の内部に形成されたシリンダ部４と、シリンダ部４に摺動可能に配設されたピストン５と、ピストン５から弁体３側に延設され、先端部を弁座６１として内部にエア通路６を形成したピストン小径部５１と、弁体３を保持するとともに、ピストン小径部５１が摺動可能に挿入される弁室１２と、弁座６１が弁体３から離隔する方向にピストン５を付勢する圧力調整ばね７と、先端部が弁体３に当接するようにピストン小径部５１に挿入された中空のロッド８と、ロッド８の先端部が弁体３から離隔したときにロッド８を介して２次側通路２ｂを大気に開放するリリーフ通路９とを有する圧力制御弁において、２次側圧力を調整する圧力調整ハンドル１０をケーシング１に回転可能に配設し、圧力調整ハンドル１０の回転によりロッド８を軸方向に移動可能に設ける。 （もっと読む）

【課題】構成部品点数を削減して製造コストの削減を図ると共に、組付作業性の向上を図る。
【解決手段】ボディ１２の内部に、弾性材料からなるダイヤフラム１４が設けられ、前記ダイヤフラム１４が、前記ボディ１２の内筒部２４に着座するシート部５４を有する本体部４８と、該本体部４８に外周側に設けられ前記内筒部２４に対して摺動変位する保持部５０と、前記ボディ１２の鍔部２８に保持されるスカート部５２とを有し、前記スカート部５２がスプリング１８の弾発力によって撓曲することにより、前記シート部５４が前記内筒部２４から離間する。 （もっと読む）

【課題】シール性を損なうことなく、調整弁本体に対する管継手の着脱が容易であって且つ繰り返し行われる着脱に対し十分な耐久性を有する圧力調整弁を提供すること。
【解決手段】液体を大気圧基準で減圧供給する調整弁本体２に、チューブ接続用の管継手を接合して成る圧力調整弁１であって、調整弁本体２のバルブケーシング１１に形成した雌型の接続ポートと、管継手に形成され、接続ポートに差込み接合される雄型の接続口部１０４と、接続口部１０４の外周面と接続ポートの内周面との間に介設したシールリング５３と、接続口部１０４の接続ポートからの抜け落ちを阻止する抜止め部材１２５と、を備えたこと。 （もっと読む）