【課題】弁開度による流速当の変化に起因する圧力流体の状態変化を温度センサで監視することができ、その温度が圧力流体の液化又は気化する臨界温度に達していることを温度センサが検出した場合には弁開度を調整することができるコントロール弁を提供する。
【解決手段】弁本体２１にそれぞれ形成された圧力流体の供給路２５と排出路２６と弁室２７とを備えると共に、供給路２５内に圧力流体の圧力を検出する圧力センサ２８が配置され、弁プラグ３２よりも下流側の弁室２７内若しくは排出路２８内に圧力流体の液化又は気化の臨界温度を検出する温度センサ２９が配置され、温度センサ２９よりも下流側の弁室２７内若しくは排出路２６内に圧力流体の圧力を検出する排出側圧力センサ３０が配置され、各センサ２８，２９，３０からの検出結果に基づいて弁プラグ３２の駆動部を制御回路が制御する。 （もっと読む）