【課題】プラズマ生成時の負荷変動に高速に対応すると共に、自動インピーダンス制御回路の長寿命化を図ることが可能な増幅システムを提供する。
【解決手段】プラズマの生成によりインピーダンスが変動する負荷と接続する増幅システムは、入力線路、第１及び第２の増幅器、出力線路、接続線路及びインピーダンス制御回路を具備する。入力線路、出力線路及び接続線路の電気長は、駆動前調整により予め設定される。インピーダンス制御回路は、駆動前調整において、入力から前記負荷側を見たインピーダンスが第１のインピーダンスと等しくなるように制御する。駆動中には、第１の増幅器は、プラズマ生成前後において第１のインピーダンスを目標として信号を増幅する。第２の増幅器は、プラズマ生成前には増幅機能をオフとし、プラズマ生成後には第１のインピーダンスを目標として信号を増幅する。 （もっと読む）