光源を伴う少なくとも１つの送信機を有する送信デバイス（２）及び少なくとも１つの受信機を有する受信デバイス（３）からなる距離センサを備え、また電子ユニットを備えるセンサ装置（１７）が提案される。電子ユニットは、送信機によって光を放出するように構成され、送信機によって放出される光によってカバーされる、監視領域内の対象物の反射表面から各受信機までの、距離を確定するように構成されている。本発明によれば、光を送出する光ガイド手段（１８〜２３）は、送信デバイス（２）と監視領域との間、及び／又は監視領域と受信デバイス（３）との間に配置され、光ガイド手段は、送信デバイス（２）から監視領域まで、及び／又は監視領域から受信デバイス（３）まで、曲がった経路を光が通過できるように、光を少なくとも１回反射させる。
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【課題】センサヘッド部の設置に際して、ワークに対して正確な位置調整を可能とする。
【解決手段】測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、プロファイル形状を表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部とを備える。 （もっと読む）