【課題】
長時間の遅延時間を有すＳＡＷチャープフィルタをマルチストリップカプラで実現する。
【解決手段】
ダウンチャープ特性を有するＳＡＷチャープフィルタの前後にチャープ信号を発生させる電気回路が接続されたＳＡＷチャープＺ変換器から構成されるＯＦＤＭシステムで、長遅延時間のＬｉＮｂＯ_３基板を使ったＳＡＷチャープフィルタからなる。
【効果】以上のとおり、本発明の弾性表面波装置は、移動体通信分野の信号処理に適用できる弾性表面波を用いてコンボリューションを行うＳＡＷ分散型遅延線から構成されてなる１つのＳＡＷチャープフィルタでＳＡＷチャープＺ変換を実現したＯＦＤＭシステムで、その工業的価値は極めて高い。 （もっと読む）

【課題】減衰することなく、損失が小さく、且つ消費電力も小さい弾性表面波を供給できる弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】弾性表面波が伝搬する弾性波伝搬基材１１０と、弾性表面波を発生させる圧電材１３０と、弾性波伝搬基材と圧電材との間に配置される電極部１２０と、を有し、圧電材と電極部とが、それぞれ、他方に対して直接固定される構成となっている弾性表面波装置１００である。また、好ましくは、弾性波伝搬基材及び電極部が、それぞれ透明基材及び櫛歯電極であり、電極部と圧電材とが表面活性化接合によって、それぞれ他方に対して直接固定される構成となっている弾性表面波装置である。 （もっと読む）

【課題】 横モードスプリアスを小さくして、且つ基準周波数から遠ざけるとともに、インピーダンスを低くする弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】 弾性表面波素子片１０は、すだれ状電極１２と、このすだれ状電極１２の両側に配設された反射器３０とを圧電基板１８上に設け、前記すだれ状電極１２の電極指２０および前記反射器３０の電極指３２に複数の直線部２４，３６を設けるとともに、前記各直線部２４，３６間に斜めに折れ曲がる接続部２２，３４を設け、弾性表面波の伝搬方向に対応している前記すだれ状電極１２に設けられた前記直線部２４と前記反射器３０に設けられた前記直線部３６との関係は、前記すだれ状電極１２の前記直線部２４の長さを前記反射器３０の前記直線部３６よりも長くした構成である。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルオーダの飛躍的な力や質量変化の検出分解能を有する安定で感度の高いナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板１０１上に酸化シリコン膜１０２とシリコン膜を順次形成する。そのシリコン膜を異方性エッチングにより、四面体状のシリコン１０３Ａに加工する。次に、四面体状のシリコン１０３Ａをマスクに用いて基板法線方向にエッチングを行い、柱状の酸化シリコン１０２Ａを作製する。次に、シリコンやクロムをシリコン基板１０１に対して斜めに蒸着する。その際、四面体状（三角錐）シリコン１０３Ａの一面が蒸着源に対向するようにする。これにより、四面体状シリコン１０３Ａの一面と、柱状の酸化シリコン１０２Ａの一面にシリコンやクロムが蒸着される。次に、柱状の酸化シリコン１０２Ａをフッ酸で除去する。 （もっと読む）