【課題】酸素及び一酸化炭素を含有しない、高純度の不活性ガスを効率的かつ安価に得ることができる不活性ガスの製造方法を提供すること。
【解決手段】不活性ガスの製造方法は、触媒の存在下において炭化水素を所定の温度で加熱して分解することにより、炭化水素から水素（Ｈ₂）を分離して析出炭素を生成する析出炭素生成工程と、触媒の存在下において析出炭素と空気とを接触させて所定の温度で加熱することにより、析出炭素と空気とを反応させ、酸素（Ｏ₂）及び一酸化炭素（ＣＯ）を含有しない、窒素（Ｎ₂）及び二酸化炭素（ＣＯ₂）からなる不活性ガスを生成する不活性ガス生成工程とを有する。 （もっと読む）

本発明は、監視すべき保護室(2)内の予め定め得る不活化レベルの調整および維持のための不活化装置(1)に関する。不活化装置は、不活性ガスを準備するための制御可能な不活性ガス設備(10、11、12)と、不活性ガス設備と接続されており、不活性ガス設備によって準備された不活性ガスを保護室に供給するために保護室と接続可能な供給管系(20)と、不活性ガス設備制御ユニット(30)とを備えており、不活性ガス設備制御ユニットは、不活性ガス設備によって準備される不活性ガス割合が、保護室内の第1の不活化レベルの調整／維持に適した値をとるように不活性ガス設備を制御するように設計されている。不活性ガス設備の制御に障害があるかまたは不活性ガス設備制御ユニットが故障した場合、保護室に供給される不活性ガス割合を相応に調節し、保護室内の第2の不活化レベルを調整／維持するため、本発明により、相応に設計された安全機構(40、41、42、43)を企図する。
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本発明は、ヘリウム及びヘリウム回収浄化装置を用いて、溶融チャンバや噴霧塔などの処理閉鎖装置から不純物を除去する。大気圧以上でのアルゴン／ヘリウム置換によって、噴霧化に必要なアルゴン雰囲気を作り出すことができる。
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