【目的】集光系光学部品へ入射するレーザビームの発散角の大小に関わらず、その集光ビーム形状が直線状となるような集光ビームを得て、加工領域全般にわたって一様な加工品質が得ることのできるレーザ加工装置を提供すること。
【構成】集光したレーザビームを被加工物へ入射することにより加工を行うレーザ加工装置において、レーザビームの集光形状を直線状とする集光レンズ及び集光ミラーを備えているので、この直線状の集光レーザビームを平板上へ照射することによって、より均一なレーザ表面改質加工を施すことができる。 （もっと読む）

【目的】 複数個のレーザーヘッドを備えた加工機であってもレーザー発振器は加工機全体で一つ、あるいは幾つかのレーザーヘッドのグループで一つといった構成を可能とし、レーザーヘッドの個数を増やしてもコストの増加は抑える。
【構成】 被加工物の保持が可能で、かつ所定の移動データに基づいてＸ，Ｙ両方向へ移動制御される保持体１６と、この保持体１６に保持された被加工物に対するレーザー加工が可能に配置された複数個のレーザーヘッド４０とを備えたレーザー加工機において、前記レーザーヘッド４０のうちの二個以上に共用されるレーザー発振器１００と、このレーザー発振器１００から照射されるレーザービームを光学的に分岐させて対象となる各レーザーヘッド４０にそれぞれ供給するビーム案内体８０，８１，８０Ｂとを備えている。 （もっと読む）

【目的】 被加工物の表面にアシストガスを供給しながらレーザ光を照射してレーザ加工をする際に、アシストガス供給流量に対する加工点へのアシストガス供給流量効率を改善してアシストガスの消費量を抑え、さらに、加工品質が一定のレーザ加工を可能とするレーザ加工用アシストガスノズルを提供する。
【構成】 被加工物Ｗの表面にアシストガスＧを供給しながらレーザ光Ｌを照射してレーザ加工を行なうのに用いられ、アシストガスノズル内筒２に形成したレーザ光通過孔２ａを通るレーザ光の中心Ｃと同心でかつアシストガスノズル内筒２ａの外周壁２ｂとアシストガスノズル外筒の内周壁３ｂとの間で形成されたアシストガス用環状流路５をそなえると共にレーザ光通過孔２ａと同軸状態で連通しかつ環状流路出口部５ａに連通して形成された円形流路６をそなえたレーザ加工用アシストガスノズル１において、環状流路出口部５ａの流路面積Ａとノズル出口７（円形流路出口）の流路面積Ｂとの比Ｂ／Ａを０．７以上１．０以下とする。 （もっと読む）

【目的】複数の加工点を備えたレーザ加工装置における伝送路末端のレーザ光のパワー，モードやビーム径の変動を防ぐ。
【構成】No.1ビーム切換機構３に２θ角度調整機構付反射ミラー４を内蔵する。最終段のNo.4ビーム切換機構７の下流側にビーム位置検出器８及びビームプロファイルモニタ９とパワーメータ10を設ける。 （もっと読む）

【目的】 高精度、細密な流路形成を持つインクジェットヘッドを得る。
【構成】 エキシマレーザ１１ーにより、流路パターンを形成したマスク１２を介して、流路原料基板１ａを大きな面積にわたって同時加工する。 （もっと読む）