【課題】 機構の簡素化を実現すると共に、小さな動力で基板を搬送方向に移動させることのできる新規な構成の浮上搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板Ｗの浮上搬送時に基板Ｗに推力を与える搬送ユニット５７を備えた浮上搬送装置であって、搬送ユニット５７が、駆動モータ８２、揺動フレーム８４内に収容された駆動プーリ８６と無端ベルト８８と可動プーリ８７、可動プーリ８７と共に上下位置を変更可能な搬送ローラ６３ａ、及び、駆動モータ８２の駆動出力軸８２ａと揺動フレーム８４とを連結する連結軸受８３を備えている。駆動プーリ８６は駆動出力軸８２ａに固定されている。連結軸受８３の入力部は駆動出力軸８２ａに固定されており、出力部は揺動フレーム８４に固定されている。連結軸受８３は、搬送ローラ６３ａが基板Ｗと接触するまでは揺動フレーム８４を揺動させ、接触後は入力部と出力部とが滑って接触状態を維持するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で部品点数が少なく被搬送物を確実に搬送することができ、また作業性、生産性を向上させることができるようにしたフリーフローコンベア装置を提供する。
【解決手段】レンズラックを搬送するための搬送路の両側にそれぞれ所定の間隔をおいて複数個の駆動プーリー３１を配設し、その軸部３４に従動ローラ３５を嵌装する。また、プーリ１つおきに摩擦部材３６を駆動プーリ３１と従動ローラ３５との間に介装し、駆動プーリ３１と従動ローラ３５との間の摩擦力を１つおきに異ならせる。これにより、摩擦力が大きい従動ローラ３５にはレンズラックの搬送と支持を受け持たせ、摩擦部材３６が介装されず摩擦力が小さい従動ローラ３５にはレンズラックの支持のみを受け持たせる。 （もっと読む）