処理操作；運輸 (1,245,546) | 運搬；包装；貯蔵；薄板状または線条材料の取扱い (154,615) | 運搬または貯蔵装置，例．荷積みまたは荷あげ用コンベヤ；工場コンベヤシステム；空気管コンベヤ (20,388) | 他の分類に属せず，特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置 (2,620) | もろい，または損傷性材料または物品用のもの (2,337) | 半導体ウェハーのためのもの (1,051)

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基板処理装置および基板搬送装置

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