【目的】 多数の目的に適合する、励起又は不安定ガス分子形成装置で、改良された性能及び高い信頼性をもった装置の提供。
【構成】 装置は、周縁電極（１）と内面に第２電極（４）を内張りされた誘電体管（３）との間に管状ガス通路（５）を有し、ガスは細長くて向い合った入口（７）と出口（８）の間の通路（５）を通って流れ、入口及び出口の高さは、通路（５）の半径方向厚さ（ｅ）を超えない。特にオゾン又は処理雰囲気の製造に利用。 （もっと読む）