ＤＬＣコーティングを有するピストンリングは、基板上の内側から外側に、接着層、非晶質金属性炭化水素層及び非晶質非金属性炭化水素層を有し、最初に、ｓｐ^２結合が非晶質金属炭化水素層内で優勢で、非晶質非金属性炭化水素層はｓｐ^２結合およびｓｐ^３結合を有し、ＤＬＣコーティングに電気抵抗が生じるように金属性炭化水素層内のｓｐ^３結合割合がより高くなるようにし、該抵抗は５０００オームより大きく、特に、５０００キロオームより大きくなる。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の清掃に先立ちこのチャンバ内を迅速且つ容易に無害化することができる金属膜作製装置を提供する。
【解決手段】内周面にハロゲン乃至金属ハロゲン化物が吸着乃至付着し得るチャンバ１と、前記チャンバ１の内部空間にキャリアガスとともに低濃度の水蒸気を供給する水蒸気供給手段３１と、前記チャンバ１内への水蒸気の供給に伴うこの水蒸気の作用により発生したハロゲン化水素ガスをチャンバ１の外部に排出するための排気手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理に伴うくもりをなくした透明な天井板を通してチャンバ内の状態を確認することができる基板処理装置とする。
【解決手段】チャンバ１の内部を観察するために透明な天井板７を設け、温度の不均一を抑制する冷却風を加温するヒータ２４を設け、加温された冷却風を天井板７に供給して天井板７を暖め、プラズマ処理に伴うくもりをなくして赤外線センサーによりチャンバ１の内部の温度分布を観察する。 （もっと読む）