【課題】ダイヤフラム割れ防止の強度補強緩衝膜とダイヤフラム端部とが基板の厚み方向で互いに重なり合っているか否かを容易に判定可能な熱式ガス流量センサを実現する。
【解決手段】検出素子１は平板基板３２に保護膜３０ａ、３０ｂ、３１ａ、絶縁膜３１ｂ、３０ｃ、発熱抵抗体３、温度検出抵抗体４、コンタクト部３３、引き出し配線部３４、コンタクトバリアメタル膜３６、強度補強保護膜３７を形成する。その後、平板基板３２を裏面からエッチングすることでダイヤフラム２を形成する。強度補強緩衝膜３７の端部の基盤３２の厚み方向に対応する位置に目盛パターン３８が配置されている。ダイヤフラム２の端部と、強度補強緩衝膜３７の端部との間に位置ずれが発生していないか否かを目盛パターン３８により容易に判断することができる。 （もっと読む）