【課題】熱尖端流を利用して従来のクヌーセンコンプレッサよりもエネルギー効率を改善したポンプ装置を提供する。
【解決手段】気体の流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の低温物体としての平板５を有する低温平板群（低温部）Ｃと、流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の高温物体としての平板６を有する高温平板群（高温部）Ｈと、これら平板群の間に温度差が生じるように少なくともいずれか一方の平板群の温度を操作する温度操作手段とをポンプ装置に設ける。平板５と平板６とは流路４の流れ方向にずらして配置され、かつ平板５と平板６との間には、平板５と平板６との近接部分においてそれらの平板５、６の先端部に生じる熱尖端流により平板５から平板６へと向かう気体の一方向流れが生じるように、気体による断熱層を介在させる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ主要機構を三次元化した実用的な熱遷移駆動型真空ポンプを実現する。
【解決手段】平面的に配置されたキャピラリ集合体４と支持体５の上下に２つのコネクタ７が配置されており、ポンプ主要機構が三次元化された構造である。支持体５に設けられた貫通窓６を通じて前段と後段のコネクタが接続され、多段カスケード接続の熱遷移駆動型真空ポンプを実現しやすい。キャピラリ集合体４は、陽極酸化によるマクロポーラス・シリコンからなり、均一なクヌーセン数を持つ垂直方向に貫通した細孔又は細間隙を有する。 （もっと読む）

【課題】キャピラリ群両端間に温度勾配を効率的に形成し、高性能かつ小型の熱遷移駆動型真空ポンプ（クヌーセン・ポンプ）を実現する。
【解決手段】多孔質シリコン支持体１とキャピラリ群２は組み立て時に一体化される。多孔質シリコン支持体１とキャピラリ群２は、アルミニウム製ベース１０とパイレックスガラス製キャップ９の間に挟まれ、コネクタとなる密閉空間１３が形成される。外部の赤外光源から照射された赤外光７は、パイレックスガラス製キャップを透過し、キャピラリ群２の表面に形成されたボロン拡散層３に吸収され、熱に変換され、キャピラリ群２の光照射面と裏側の間に温度勾配が形成される。 （もっと読む）

【課題】温度変化による吸着材のガス吸着能変化を利用したガスコンプレッサ及びガスの昇圧方法を得る。
【解決手段】吸着材の温度変化によるガス吸着能変化を利用したガスコンプレッサであって、吸着材充填容器を備え、液化ガスにより冷却した吸着材にガスを吸着した後、吸着材を外部入熱により昇温することで吸着材から吸着ガスを脱着、昇圧して送出するようにしてなることを特徴とするガスコンプレッサ、および、温度変化による吸着材のガス吸着能変化を利用したガスの昇圧方法。 （もっと読む）