【目的】 ダイアフラム、流路、及びバルブ部を形成したシリコン基板をガラス基板等でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプにおいて、液体のプライミング性と気泡抜け性を向上、また、経時後も安定した効果を持たせる事にある。
【構成】 マイクロポンプを構成後、水溶性塩類、または多価アルコール類の一種以上を含む液を注入、乾燥する事によって、マイクロポンプ内面部に上記物質を付着させる事を特徴とする。
【効果】 マイクロポンプ内表面部に吸着された水溶性塩類、または多価アルコール類が水溶液に対して湿潤性を有するために、容易にポンプ内へ液体を流入させる事が出来、気泡の排出性も向上した物が得られた。 （もっと読む）