【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層（２）とマイクロ流体層（３）を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層（２）は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分（２１）を含む。マイクロ流体層（３）は、基板層（２）にラミネートされており、変形可能部分（２１）と流体連通されたマイクロチャンネル（３１）を有する。変形可能部分（２１）は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル（３１）内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。 （もっと読む）

高密度ミクロ流体チップは、数千個のミクロメカニカルバルブおよび数百個の個別アドレス可能なチャンバを有する配管ネットワークを含む。これらの流体装置は大規模集積法を用いて作製される電子集積回路（ＬＳＩ）に類似している。これらのネットワークの一つの構成部品は流体マルチプレクサである。流体マルチプレクサは、最小限の入力数を用いて複雑な流体操作を可能にすることによってネットワークの処理能力を指数関数的に増大する二進バルブパターンのコンビナトリアルなアレイである。これらの集積ミクロ流体ネットワークを用いて高度に複雑なさまざまなミクロ流体装置、例えばコンパレータアレイのミクロ流体類似物、および電子ランダムアクセスメモリに類似するミクロ流体メモリ貯蔵素子を構築することができる。
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基本的な物理的議論を用い、多層柔軟リソグラフィーを用いて、微量流体バルブの製造のための設計および方法が提示される。本発明に従ったバルブの具体例は実質的に一定の厚みのエラストマー膜部分をその要旨とし、該膜がその全幅を横切っての適応された圧力に対して同様な抵抗性を経験するようにする。上方―または下方―偏向性膜で製造されたそのようなオン−オフバルブは極端に低い作動圧力を有することができ、集積微量流体チップにおいてポンプおよびミキサーのような活動的な機能を実行するのに用いることができる。バルブの性能は、広い範囲の設計パラメーターにわたって作動圧力および流動抵抗双方を測定し、次いで、それらを、有限要素シミュレーションおよび代替バルブ幾何学双方と比較することによって特徴付けた。
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