【課題】電源を接続せず、非接触の状態で、周期的にかつ自己補対的に配置された導電膜間の接触の有無を検知すること、また、小型で簡便な構成で安定して化学物質の検量するセンサ、あるいは、応力、温度などを検出するセンサを得ることは、困難であった。
【解決手段】 表面に互いに近接または接触した複数の導電膜を前記導電膜のない領域と前記導電膜がある領域とが同面積になるように周期的に形成した絶縁性の基板に、導電膜の設置周期に近い波長を有する光を照射し、その光の透過量または反射量を測定することにより、非接触で導電膜間の接触の有無を検知する。 （もっと読む）