本発明は、基板（５）と少なくとも１つの質量要素（１）を有する圧力測定用のセンサ素子であって、前記質量要素（１）は、前記基板（５）に対して間隔を置いて配置されており、かつ前記質量要素（１）は、前記基板（５）および／または前記基板（５）に対して相対的に不動の支持体（６）と振動可能であるように接続されており、前記質量要素（１）と前記基板（５）との間に空隙が形成されており、該空隙の幅は、前記質量要素（１）の振動によって変化するセンサ素子に関する。空隙を画定する基板（５）の面には少なくとも１つの凹部および／または少なくとも１つの貫通部が設けられており、これは質量要素を包囲するガスまたはプラズマによる、質量要素の振動の減衰を小さくするために用いられる。このセンサ素子は、真空領域の圧力を測定するための圧力センサに使用される。本発明のセンサ素子を圧力記録器として使用することにより、大気空気圧の領域までの最大圧を検出することができる。検出できる最低圧は10^-6 mbrの領域にある。
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