【目的】 光源の単色性が充分でない場合でも、所定範囲の波長に対して干渉縞の位相が略揃い、コントラストが高くなり、高精度の測定検査ができる。
【構成】 光源系１と入射光路を分割する光分割素子２と該光分割素子２からの光束をそれぞれ反射する参照側と被検側反射鏡３、７を備え、両光束を観測面５で形成された干渉縞を観測する干渉計において、参照光路の長さを被検光路から独立して設定でき、而もその参照光路長を、被検光路の光源の中心波長に対する光学的距離に被検光学部品の波長屈折率分散を考慮した補正を加えて設定して成る。 （もっと読む）

【目的】 表面に被覆が施された線状体の被覆状態を連続的に正確に測定する。
【構成】 線状体１００の側面に平行光を照射し、特定方向への表面反射光Ａと境界面反射光Ｂとを集光レンズ１２１及びピンホール部材１２２を用いて選択してイメージセンサ１２４で検出して、その反射光間の特定方向に直交する方向の距離ｄ₂ 及び該反射光を形成する入射光Ａ′，Ｂ′間の距離ｄ₁を測定し、これらｄ₁ ，ｄ₂ から被覆状態を推定する。 （もっと読む）