【課題】 半導体結晶等の試料を溶解することなく、その試料に含まれる不純物を濃縮する方法およびこれに用いる不純物濃縮装置及びこの不純物が濃縮された試料中の不純物を、迅速、簡便かつ高感度に分析する方法およびそれに係る不純物分析装置を提供する。
【解決手段】 半導体結晶試料１１にレーザ発振器１３により所定の強度のレーザ光を所定の位置に繰り返し照射して、半導体結晶試料１１に含まれる不純物を濃縮する。その後、半導体結晶試料１１の濃縮部分に含まれる不純物を所定の物理分析手段で高感度に分析する。また、必要に応じて半導体結晶試料の表面に酸化膜等のレーザ光に対して透明な絶縁膜を形成してからレーザ光照射により濃縮する。 （もっと読む）