国際特許分類［G01N27/61］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 電気的，電気化学的，または磁気的手段の利用による材料の調査または分析 (17,622) | 静電気変量の調査によるもの (124) | きずの存在の調査 (1)
国際特許分類［G01N27/61］に分類される特許
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試料の検査装置および方法
【課題】 半導体デバイスの製造工程における半導体素子等の試料の検査を行うために好適な装置および方法であって、構造が簡単で廉価で操作性が良好な試料の検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 試料室２内に配置された試料１表面に電荷を与える電荷供給装置３と、試料１表面にガスを供給するガス供給装置４と、前記ガスが試料１表面に接触し試料１表面の電荷がガスに転化することにより生成されたイオンを加速する静電レンズ５と、加速され結像したイオンを撮像する検出器７とを備えた。
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