【課題】試料（磁性材料）を加工せず又探針先端を劣化させることなく磁気力分布を高分解能で測定可能な非接触式の走査プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】カンチレバー6と、探針５と、カンチレバーの変位を検出する力検出器８と、試料台２と、試料台を移動する移動手段（３，４，１５，１９，２０）とを備え、試料台に載置される試料１の表面の高さ分布と磁気力分布を非接触で測定するための走査プローブ顕微鏡において、探針５に交流電圧を印加する交流電圧源１２と直流電圧を印加する直流電圧源とを更に有し、試料表面の高さ分布を、静電気力を用いて測定する。 （もっと読む）