国際特許分類［G01Q60/12］の内容
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国際特許分類［G01Q60/12］に分類される特許
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プローブ型光測定装置および光測定方法
【課題】走査トンネル分光（ＳＴＳ）と走査トンネルルミネッセンス分光（ＳＴＬＳ）とを試料の同一の局所領域において実施する。
【解決手段】プローブ型光測定装置10として、先端が導電性と光透過性とを有するプローブ110によって、所定のバイアス電圧が印可されたときに試料の表面とプローブ110との間に発生するトンネル電流と、このトンネル電流の電流励起による試料からの信号光とを、複数レベルのバイアス電圧に対してそれぞれ測定する。
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