【課題】本発明は、走査プローブ顕微鏡法用のプローブを対象とする。
【解決手段】プローブ２０は、トンネル電流導電性部分３０およびトンネル電流絶縁性部分４０を備える。前記両部分は、導電性部分３０と試料表面との間の最小距離を絶縁性部分が決定するように構成される。本発明は、このようなプローブおよび対応する走査プローブ顕微鏡法の方法を備える走査プローブ顕微鏡にさらに関連することができる。試料表面１００までの距離が、実際に絶縁性部分４０によって決定されるため、試料表面に対するプローブ２０の垂直位置のコントロールは容易に迅速に実現される。両部分の構成によって、試料表面の高速走査が可能になり、これによって高速イメージングを実現することができる。さらに、実施形態によって、トンネル効果を通してトポグラフィの変動を精密に捕らえることが可能になる。 （もっと読む）