【目的】 プリアライメント動作を短時間で行なえ、しかもプリアライメント動作の際における基板表面へのスリ傷の発生を抑制する。
【構成】 露光装置１００の基板供給部２００は、Ｘ軸に沿って移動するＸ軸センタリングユニット２３０，２５４とＹ軸に沿って移動するＹ軸センタリングユニット２６０，２８０を有する。各センタリングユニットには、Ｘ軸ガイドピン２１２，Ｙ軸ガイドピン２２０等が突出して設けられている。基板供給部２００に基板Ｋが搬送されると、各軸のセンタリングユニットを中央に移動し、基板Ｋを基板供給部２００の中央にプリアライメントする。２枚目以降の基板Ｋのプリアライメントに際しては、一旦各軸のセンタリングユニットをプリアライメント位置から僅かに後退させておき、この位置から各軸のセンタリングユニットを移動して２枚目以降の基板Ｋのプリアライメントを行なう。 （もっと読む）