【課題】樹脂フィルムに形状変化が生じた場合であっても、樹脂フィルムの凹凸パターンを基板の所望とする位置に合わせることができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂フィルム１１と、前記凹凸パターンが転写されるべき光硬化性樹脂層１６を有する基板１５とを貼り合わせる際に、前記樹脂フィルム１１と前記基板１５とを位置合わせするアライメント方法であって、前記樹脂フィルム１１はその平面形状が多角形であり、前記樹脂フィルム１１の頂点部分は保持せずに辺の縁部を保持して平面方向に伸長する工程を含むことを特徴とするアライメント方法。 （もっと読む）

【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は複数に分割され、該分割されてなる複数の分割載置部１２−１〜１２−９の少なくとも一部は、前記樹脂スタンパの前記反対側の面側から前記樹脂スタンパを固定する固定機構と、前記載置台の載置面の平面方向に移動する移動機構と、を有することを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ１０。 （もっと読む）

【課題】ＢＣＡコードを記録する際に各記録層に与えられるダメージの影響を受けることなく、ＢＣＡコードを取得することができる大容量の情報記録媒体を提供する。
【解決手段】記録層Ｌ０，Ｌ１，Ｌ２のＢＣＡコードは、ＢＣＡ領域を光ディスク周方向に分割したＬ０用層情報領域、Ｌ１用層情報領域、およびＬ２用層情報領域のそれぞれに配置されるとともに、Ｌ０用層情報領域、Ｌ１用層情報領域、およびＬ２用層情報領域は、レーザの入射側から見て重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は、前記樹脂スタンパの反対側の面を吸引する複数の吸引孔１５を有する吸引機構１４と、前記複数の吸引孔１５を、前記樹脂スタンパが載置される載置面１２ａの平面方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ。 （もっと読む）

【課題】樹脂スタンパの変形が生じた場合であっても、樹脂スタンパと基板との位置合わせを精確に行うことができるアライメント方法を提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６の該微細な凹凸パターンを基板１８上に形成された光硬化性樹脂層２０に転写する際に、前記樹脂スタンパ１６と前記基板１８とを位置合わせするアライメント方法であって、以下の工程：前記基板１８に対向するように配置されたステージ１２に、前記凹凸パターン形成面１６ａとは反対側の面が接するように前記樹脂スタンパ１６を載置し、該樹脂スタンパ１６を前記反対側の面側から固定する固定工程；前記樹脂スタンパ１６の変形部位を検出する検出工程；及び前記変形部位の検出結果に基づいて、前記固定した状態で前記樹脂スタンパ１６をその平面方向に伸縮する伸縮工程；を含むことを特徴とするアライメント方法。 （もっと読む）

【課題】定着器、自浄作用のある中間転写部材、ベルト、光半導体、インクジェット印刷ヘッドなどのためのゼログフィーシステムの表面構成要素のコーティングとして有用な組成物を提供。
【解決手段】官能基化ポリフルオロポリエーテルとベンゾオキサジン樹脂の混合物を、例えば、約１／９９〜約９９／１の重量比で含み、場合により、この混合物が溶媒に分散しているような組成物。 （もっと読む）

【課題】記録密度を向上できる光情報記録媒体およびその製造方法、と記録層を提供する。
【解決手段】光情報記録媒体１０は、光の吸収により発泡し、記録マークとしての空洞を形成可能である記録層２を備える。記録層は、ヒドロキシ基を有する高分子樹脂を含み、ヒドロキシ基同士は水素結合し、含まれるカルボン酸無水物の添加剤が、この高分子樹脂とカルボニル基を介して結合している。この添加剤同士は鎖状に結合し、添加剤は記録マークを形成するための光を吸収する2光子吸収材料からなる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで使い勝手が良く、イニシャルコストもランニングコストも安い真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜チャンバ（２）内に、ワークホルダ（１０）と、マグネトロン電極（１５）とを設ける。マグネトロン電極（１５）には、第１のターゲット材料（１６）を設け、これに重ね合わせるように第２のターゲット材料（１７）を設ける。第２のターゲット材料（１７、１７）は第１のターゲット材料（１６）をカバーする位置と、開放する位置の２位置を採ることができるようにする。ワークホルダ（１０）と、第１、２のターゲット材料（１６、１７）との間には、直流電圧と高周波電圧とが選択可能に印加されるようにする。 （もっと読む）

【課題】微細凹凸構造を有する製品を製造するための微細構造物の設計に関するデータが第三者に不正に流出するのを防止することができるデータ処理システム及びデータ処理方法、並びにそのデータ処理システム及びデータ処理方法を用いた微細構造物製造システム及び微細構造物製造方法を提供する。
【解決手段】データ処理システムは、目的微細構造物の設計に関する設計データとは異なるデータ内容を有するダミー設計データを生成するデータ生成部と、ダミー設計データに基づいて製造されたダミー微細構造物から目的微細構造物を得るために行われる所定の処理プロセスに関する処理プロセスデータを記憶するデータ記憶部とを備え、データ生成部は、データ記憶部に記憶された処理プロセスデータ及び設計データに基づいて、ダミー設計データを生成する。 （もっと読む）