【課題】非鉛の圧電膜を短時間で微細加工することができ、加工後も絶縁性が高く十分な圧電特性を発揮することができる圧電膜素子の製造方法、及び圧電体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上に下部電極４を形成し、下部電極４上にアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電膜５を形成し、圧電膜５上にマスクパターンを形成する工程と、マスクパターンを介して圧電膜５をドライエッチングする工程と、ドライエッチング後にマスクパターンを除去し、圧電膜を酸化雰囲気中で熱処理する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】非鉛の圧電膜と下部電極とのエッチング選択性を確保するとともに、高精度に加工することができる圧電膜素子、圧電膜素子の製造方法、及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電膜素子１は、基板２と、基板２上に形成されたＰｔ又はＰｔを主成分とする合金からなる第１の下部電極層４と、第１の下部電極層４上に形成されたＴｉ、Ｃｒ若しくはこれらのいずれかを主成分とする合金の単層又は積層体からなる第２の下部電極層５と、第２の下部電極層５上に形成されたペロブスカイト構造を有する非鉛のアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電膜７と、圧電膜７上に形成された上部電極とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動梁の自己駆動による影響を受けにくく、ＲＦ容量が緩やかに変化するバイアス電圧の電圧範囲を広げることができる、可変容量装置を提供する。
【解決手段】可変容量装置１は、支持板２と可動梁３とＲＦ容量部Ｃ１Ａ，Ｃ１Ｂと駆動容量部Ｃ２Ａ，Ｃ２Ｂとを備える。可動梁３は片持ち梁構造であり、可動端周辺に矩形薄肉部３Ｅを設けて、曲げ剛性を局所的に低減した構成である。駆動容量部Ｃ２Ａ，Ｃ２Ｂは、バイアス電圧が印加されて生じる駆動容量によって可動梁３を曲げ変形させる。ＲＦ容量部Ｃ１Ａ，Ｃ１Ｂは、支持板２と可動梁３との間が近接状態となる領域面積に応じて容量値が変化するＲＦ容量を生じる。 （もっと読む）

【課題】 可変容量素子の動作不良を防止し、可変容量素子の信頼性を向上する。
【解決手段】 可変容量素子は、固定電極と、固定電極上に積層された絶縁層を含む絶縁部と、絶縁層上に絶縁層から離れる方向に移動可能に積層された可動部および可動部の一端を絶縁部に固定する固定部を含む可動電極と、可動電極に間隔を空けて対向する対向電極とを有している。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの変位量を、リニアリティ良く制御できる圧電駆動装置、圧電駆動制御方法及びそれを用いた電子デバイスを提供する。
【解決手段】力の印加により変形が可能な基体と、基体の第１面に直接または他の層を介して形成された第１圧電体と、第１面と略平行な基体の第２面に直接または他の層を介して形成された第２圧電体と、第１圧電体、第２圧電体および基体を有する積層体の変位量に応じた駆動電圧を生成する駆動電圧生成部と、駆動電圧により積層体が変位した場合に生じるヒステリシスを補償する補償電圧を生成する補償電圧生成部と、駆動電圧および補償電圧の各々を第１圧電体および第２圧電体の各々に印加する電圧印加部と、を備える圧電駆動装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】動作電圧が低く、圧接力および引離し力が強いＭＥＭＳ装置を提供することを可能にする。
【解決手段】基板１と、基板上に設けられた支持部２と、基板上に設けられた固定電極１０と、第１の電極４と、第１の電極上に形成された第１の圧電膜５と、第１の圧電膜上に形成された第２の電極６とを有し、一端が支持部を介して基板上に固定され、支持部と固定電極とを結ぶ方向に延在しかつ第１の電極が固定電極に対向するように設けられたアクチュエータ３と、支持部と固定電極とを結ぶ直線上でかつ第１の電極に対向するように前記基板上に設けられたストッパ部９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】大きな容量比を持つＭＥＭＳ可変容量を実現する。
【解決手段】本発明の例に関わるＭＥＭＳ可変容量システムは、第１及び第２ポートＰ１，Ｐ２の間に直列に接続されるＭＥＭＳ可変容量ＶＣと、ＭＥＭＳ可変容量ＶＣを駆動するための第１電源回路ＰＳ１と、第１及び第２ポートＰ１，Ｐ２の間に電気信号とは異なる一定の電位差Ｖ_P12を印加するための第２電源回路ＰＳ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電膜に鉛系の材料を用いず、作製が容易であり、スティッキングが発生してもそれを解消することが可能な圧電駆動アクチュエータを備えたマイクロメカニカルデバイスの提供。
【解決手段】
基板１上に設けられ、圧電膜４と、圧電膜４の基板１に対向する面に設けられた下部電極３と、圧電膜４の下部電極３が設けられた面に対向する面に設けられた上部電極５とを有し、基板１上に固定された固定部１０ａと、固定部１０ａから延在した作用部１０ｂとを備えたアクチュエータ１０と、下部電極３と上部電極５との間に電圧を印加する電圧印加手段１３と、印加される電圧の極性を切り替える極性切替手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを駆動していない初期状態において、アクチュエータに取り付けられた上部電極が残留応力により上方向あるいは下方向のいずれかの方向に曲がった場合でも、上部電極を所望の位置に配置することができるＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】半導体基板１上に設けられ、一端と他端を有し、一端が半導体基板１に対し固定された圧電型アクチュエータ７と、半導体基板１上に配置された下部電極４と、一端と他端を有し、一端は圧電型アクチュエータ７の他端に固定され、他端は自由端とされた上部電極１６と、上部電極１６の一端と他端との間に設けられた固定軸１７とを備える。下部電極４は固定軸１７に対し上部電極１６の他端側で上部電極１６の第２部分１６Ｂと対向している。 （もっと読む）

【課題】電子学機器の応用領域に属する容量が変化する装置を提供する。
【解決手段】本発明は、二つの誘電体が並列に配置され、二つの誘電体の間には離隔層が設けられる。二つの誘電体の同じ側の一方の端面にはそれぞれ一つの電極が接続され、他方の端面に弾性導電パッドがスペーサを介して取り付けられる。弾性導電パッドと誘電体との間の対向位置と接触面積が外力作用の大きさに従って変化し、誘電体における電極の間の容量値を、それに従って一定範囲内に変化させ、電極間の容量値の大きさとその変化を計測する、即ち、容量を変化させる外力の状況及びその大きさを得る。
【効果】本発明は、構造が簡単で、感度が高く、明確なゼロ初期値と最大値があり、感応計測や制御がし易くなる。 （もっと読む）