【課題】低接触抵抗化を図れ且つ耐スティッキング性の向上を図ることが可能な接点、開閉器およびＭＥＭＳリレーを提供する。
【解決手段】開閉器の一種であるＭＥＭＳリレーにおいて、接点５は、第１導電層５ａと第２導電層５ｂとが交互に積層されたナノ周期積層膜からなり、最表層が第１導電層５ａであり、第１導電層５ａが、Ａｕ、Ａｕ合金、Ａｇ、Ａｇ合金、Ａｕ若しくはＡｇと異種金属との複合材料、Ａｕ若しくはＡｇと金属酸化物との複合材料、Ａｕ若しくはＡｇと金属窒化物との複合材料、Ａｕ若しくはＡｇと金属硫化物との複合材料、Ａｕ若しくはＡｇと金属ホウ化物との複合材料の群から選択される第１材料により形成され、第２導電層５ｂが、Ｗ、Ｒｕ、Ｉｒ、Ｒｈ、ＩｒＯ_２、ＴｉＢ_２、ＴｉＣ、ＺｒＢ_２、ＺｒＣ、ＮｂＣ、ＷＣの群から選択される第２材料により形成されている。 （もっと読む）

【課題】アーマチュアが重ねて配置される可動部の反りを抑制することが可能で、且つ、量産性の向上を図ることが可能なＭＥＭＳリレーの製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム部５、アーマチュアおよびフレーム部５とアーマチュアとを連結した連結部を具備する磁性体ユニットを複数備えた磁性体ウェハ（第１ウェハ）と、複数の可動ブロック２の元となる１枚のシリコンウェハ（第２ウェハ）および複数のカバー基板３の元となる１枚のＳＯＩウェハ（第３ウェハ）とをアーマチュアの溶解温度よりも低い接合温度においてウェハレベルで接合した後、連結部を除去することでフレーム部５とアーマチュアとを分離するようにする。 （もっと読む）

【課題】高周波特性の改善が図れ、しかも製造が容易に行えるマイクロリレーを提供することにある。
【解決手段】マイクロリレーは、一対の固定接点２３を一面側に有したボディ２と、一対の固定接点２３間を電気的に接続する可動接点３５が固定接点２３に対して接離する形でボディ２の上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュアとを備え、ボディ２は、ベース基板２０と、ベース基板２０の厚み方向における一表面側に形成された接地用導体パターン２１と、接地用導体パターン２１におけるベース基板２０側とは反対側に接地用導体パターン２１を覆う形に形成された絶縁層２２と、絶縁層２２における接地用導体パターン２１側とは反対側に形成された固定接点２３とを有する積層板からなり、接地用導体パターン２１は、厚み方向において一対の固定接点２３および可動接点３５と重なる形に形成されてなる。 （もっと読む）

この発明は、電気機械マイクロスイッチ装置に関し、この装置は電気的に直列に接続された少なくとも一対の誘導素子を含み、前記誘導素子は、それらに電流が流れると２つの磁場を発生させるようになっており、これら２つの磁場の間の相互作用によって、誘導素子の少なくとも一方が変位し、この少なくとも一方の誘導素子に結合された可動接点素子が変位して２つの位置の間で切り換わり、これら２つの位置のうち少なくとも一方にあるときに、少なくとも２つの導電性素子の間に電気接続を形成することを可能にする。この発明は、２つの位置の間の切換え効果を実現するために、２つの誘導素子によって反対方向に生成される２つの電磁場の作用によって移動することができる少なくとも１つの誘導素子に印加される機械的力を用いている。
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