本発明のＭＥＭＳ素子は、第１、第２、及び中間第３電極を有する。第２電極と第３電極とによって構成された切替可能コンデンサが入力と出力との間の信号経路内に設けられ、第１電極と第３電極とによって構成された切替可能コンデンサが信号経路とグランドとの間に設けられるので、ダイナミック・レンジが大きくなる。本発明のＭＥＭＳ素子は受動構成要素の回路網における集積に非常に適している。
（もっと読む）

【課題】 マイクロマシンスイッチの挿入損失を低減するとともに、マイクロマシンスイッチが用いられる回路の高周波特性を改善する。
【解決手段】 制御信号に基づきコンタクト１１を変位させる駆動手段１２と、駆動手段１２に制御信号を与える第１の制御信号線４と、第１の制御信号線４に接続されかつ高周波信号線１ａ，１ｂに流れる高周波信号の通過を阻止する第１の高周波信号阻止手段３とを備える。 （もっと読む）