【目的】 内部に移動機構を有する真空チャンバと試料チャンバとを有し、試料チャンバが超高真空雰囲気またはガス雰囲気に置かれ、移動機構に制約を与えずに作動する荷電ビーム装置を提供する。
【構成】 移動機構の試料チャンバに面する表面に平面が形成され、平坦な開口面を有するフランジが、該開口面を移動機構に制約を与えることなく真空排気を可能とする微小な間隙で前記平面に対向させて、真空チャンバと試料チャンバとの間に取り付けられている。 （もっと読む）