【課題】ダイノード間の絶縁部分への電子の入射を防止して、耐電圧の改善を図ること。
【解決手段】この光電子増倍管１は、絶縁材料からなる主面４０ａが形成されたガラス基板４０を有する筐体と、主面４０ａ上の一端側から他端側に向けて順に離間して配列された第１段〜第Ｎ段（Ｎは２以上の整数）のダイノード３１と、第１段のダイノード３１ａから一端側に離間して設けられ、光電子を放出する光電面２２と、第Ｎ段のダイノード３１ｊから他端側に離間して設けられ、増倍された電子を信号として取り出す陽極部３２とを備える光電子増倍管であって、ガラス基板４０の主面４０ａ上には、隣接する２つのダイノード３１間に、表面が絶縁材料からなる溝部４４が形成され、第１段〜第Ｎ段のダイノード３１は、ガラス基板４０の溝部４４に隣接する凸部４５上に固定されている。 （もっと読む）

【課題】ダイノード間における筐体の絶縁部分への電子の入射を防止して、耐電圧の改善を図る。
【解決手段】光電子増倍管１は、互いに対向して配置され、それぞれの対向面２０ａ，４０ａが絶縁材料からなる基板２０，４０と、基板２０，４０と共に筐体を構成する基板３０と、基板４０の対向面４０ａ上の一端側から他端側に向けて順に離間して配列されているダイノードと、第１段のダイノードから一端側に離間して設けられる光電面２２と、最終段のダイノードから他端側に離間して設けられる陽極部３２とを備える光電子増倍管であって、基板２０の対向面２０ａは各ダイノードを覆うように形成され、該対向面２０ａには各ダイノードのそれぞれに対向する部位に、互いに電気的に独立したダイノードに対して同電位に設定された複数の導電膜が設けられている。 （もっと読む）

この発明は、高い増倍効率を実現する微細構造の光電子増倍管に関する。当該光電子増倍管は、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて光電子を放出する光電面と、該光電面から放出される光電子をカスケード増倍する電子増倍部と、該電子増倍部で生成された二次電子を取り出すための陽極とが配置されている。特に、電子増倍部には、光電面からの光電子をカスケード増倍するための溝部が形成されており、該溝部を規定する一対の壁部それぞれの表面には、表面に二次電子放出面が形成された１又はそれ以上の凸部が設けられている。 （もっと読む）

この発明は、高い検出精度及び微細加工を容易に実現可能にするための構造を有する光電子増倍管及びその製造方法に関する。当該光電子増倍管は、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて電子を放出する光電面と、該光電面から放出される電子をカスケード増倍する電子増倍部と、該電子増倍部で生成された二次電子を取り出すための陽極とが配置されている。上記外囲器の一部は、平坦部を有するガラス基板により構成され、該ガラス基板における平坦部上に、上記電子増倍部及び陽極のそれぞれが二次元的に配置されている。 （もっと読む）