【課題】波長１９３ｎｍ近傍で効率よく発光し、２００ｋＨｚ以上の高い繰返し数でパルス発光できる点光源ランプを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る１９３ｎｍ点光源ランプ１００は、アルゴンガスとフッ素ガスを含むＡｒＦ混合ガスを噴出するノズル１０２と、ノズル１０２の噴出口の近傍に配置された一対の電極１０３ａ、１０３ｂと、一対の電極１０３ａ、１０３ｂに直流電圧を印加するための直流電源１１１とを有する。一対の電極１０３ａ、１０３ｂ間には、繰返しパルス状に初期電子を供給する初期電子発生器１３０が設けられる。 （もっと読む）

【課題】安全かつ簡便にブロードな発光スペクトルを持つ点光源の発光装置を実現すること。
【解決手段】放電光源は図１のように絶縁パイプ３０と電極３１ａ、３１ｂで構成されている。電極３１ａ、３１ｂからは、突起３２ａ、３２ｂが伸びている。突起３２ａと３２ｂの間に絶縁パイプ３０を通してアルゴンガスを流し、電極３１ａ、３１ｂに電圧をかけると、突起３２ａと３２ｂの間の領域にグロー放電が生じ、発光する。突起３２ａと３２ｂの間隔は微小なので発光領域は狭く、点光源である。また、ガスの流速を速くすると、発光強度が増加し、紫外領域から可視光領域までの幅広く連続した発光スペクトルが得られる。 （もっと読む）