【目的】簡単且つコンパクトな構成であり、検査に移るまでの時間が短縮できると共に、安全且つ確実に基板の検査が可能な基板外観検査装置を提供する。
【構成】本発明は、基板３６を回動させて、基板３６の外観を検査する検査装置４０を有する基板外観検査装置である。検査装置４０は、キャリア４２に収納された基板３６を保持可能な吸着保持アーム５８と、この吸着保持アーム５８を回動可能に支持する回動機構６０と、この回動機構６０をキャリア４２に接近あるいは離間する方向に移動可能に支持して、吸着保持アーム５８をキャリア４２に対して挿入あるいは離脱させる案内機構６２と、を備えている。 （もっと読む）