【目的】 駆動用電極と浮上用電極とを一体化することにより、電極の有効面積を最大限に利用し、機械の性能の向上を図るとともに、被搬送体をそのままの状態で無接触搬送を可能にする。
【構成】 所定のピッチを有する複数のストリップ状電極が形成される電極ユニット１２ａ，１２ｂを、絶縁基板上に分離帯１１を挟んで２組配置するとともに、浮上兼駆動用電極プレート１０と、これに対向する被搬送体２０と、電極と被搬送体とのギャップを検出する変位センサ３０ａ〜３０ｅ，３１ａ〜３１ｅと、電極への印加電圧を制御する制御器４０と、制御電圧を増幅する高電圧アンプ５０と、電極への電圧を印加し、シーケンス制御を行う駆動ユニット６０とで構成し、ストリップ状電極への電圧の印加により、被搬送体２０を浮上させて駆動し、予定される位置に至ると電極への電圧の遮断により離脱させる。 （もっと読む）

【目的】 簡便な回路構成にて、任意の電流指令に対応でき、かつ電流が遮断されることなく、負荷に発生する電圧波形の歪みも低減できる静電アクチュエータ駆動装置を提供する。
【構成】 出力電流を制御するスイッチング素子Ｔｒａｈ〜Ｔｒｃｌと、これに直列に接続される逆流防止用ダイオードＤ１〜Ｄ６と、駆動回路Ｄｒｖと、これに供給するパルス変調装置とを有する。パルス変調装置は、複数のキャリア信号を発生する装置と、電流指令値Ｉａ^＊〜Ｉｃ^＊の符号判別装置ｃｐ１〜ｃｐ３と、電流指令値とキャリア信号を比較する比較装置ｃｐ４〜ｃｐ９と、符号判別装置の出力に基づき、比較装置の出力を選択する装置とを具備し、電流指令値に対応した密度のパルス状電流を発生することにより、静電アクチュエータ２３に対し、所望の電荷を供給する。 （もっと読む）