【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン（帯電したデブリ）を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。
【解決手段】極端紫外光源装置は、（ｉ）内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、（ii）チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、（iii）ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、（iv）電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、チャンバ内にミラー磁場を形成する１組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも１つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】
ドリフトチューブ線形加速器において、ＲＦコンタクトを台座と土台間に挿入すると高周波電流の経路により台座と土台間に電位差が生じ放電するという問題があった。
【解決手段】
円筒共振器に固定された土台と、円筒共振器の円筒軸方向に直線状に配列された複数のドリフトチューブとを備え、ドリフトチューブの少なくとも一つは、台座を有するステムにより支持され、このステムにより支持されたドリフトチューブの設置位置が調整可能となるよう、台座は土台に固定されるとともに、台座と土台との間にＲＦコンタクトが挿入されたドリフトチューブ線形加速器において、台座と土台との間であってＲＦコンタクトから外側部分に電気的な接触部がない隙間を有するようにした。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子（１５）を加速するためのＨＦ共振器空洞に関し、ＨＦ電磁場は、ＨＦ共振器空洞に結合でき、その場は、運転時に粒子ビーム（１５）に作用し、前記粒子ビームは、ＨＦ共振器空洞（１１）を横断する。本発明は、ＨＦ共振器空洞（１１）での電気的破壊強度を増加させるための少なくとも１つの中間電極（１３）が、粒子ビーム（１５）のビーム経路に沿って配置されることを特徴とする。
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【課題】Ｈモード型ドリフトチューブ線形加速器の運転中でも、加速器空胴内に発生する電場分布の変化の有無をリアルタイムで観測することができて故障の早期発見等に役立てることができ、また電場分布の調整を容易に行えるようにして調整の手間を軽減する。
【解決手段】真空容器と共振器とを兼ねた加速器空胴１と、この加速器空胴１内で荷電粒子軸方向に加速電圧を生成する複数のドリフトチューブ電極２と、上記ドリフトチューブ電極２間のギャップ４に生じる電場の分布を調整する複数のチューナ５とを備えるとともに、加速器空胴１の荷電粒子軸方向（Ｚ軸方向）に沿う中央部、および両端部の少なくとも３箇所に、それぞれ電場分布の変化を測定するためのアンテナ６が設置されている。 （もっと読む）

【課題】ドリフトチューブ電極間のギャップ内での電界分布に粗密が発生することで、ギャップ中央よりもドリフトチューブ電極近傍にて最大となる電界分布となった場合でも、表面電界強度が放電限界の基準値を超えるのを抑制する。
【解決手段】Ｈモード型ドリフトチューブ線形加速器において、ドリフトチューブ電極２ａ〜２ｅは、外径側と内径側の角部にＲ面取りを施し、外径側のＲ面取りを内径側のＲ面取りよりも大きな曲率半径とし、ギャップにおける電界分布が中央部より両側にピークを有する２山形状になることに起因するドリフトチューブ電極の表面電界強度の増加を低減するために、２山形状の電界分布が発生するギャップを形成するドリフトチューブ電極２ｄ，２ｅには、内径側のＲ面取りの終端部と前記外径側のＲ面取りの終端部とが滑らかにつながったドリフトチューブ肉厚部を形成した。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の劣化、空胴容器の大型化を防いだＨモードドリフトチューブ線形加速器の提供。
【解決手段】排気口６は真空排気ダクト７の破線で示す内径範囲内に、且つ容器の周方向で、リッジ３の両側にそれぞれ分割して設けられている。また、リッジ３の両側に設けられた排気口６はそれぞれ、空胴の中心軸方向に更に複数の排気口６に分割されており、排気口６の上記中心軸方向に隣り合う上記分割された排気口６間には容器の内周方向に沿って、容器の内壁面が残されている。この残された内壁面は、容器の内壁面を流れる電流１１の電流通路１４を形成する。さらにリッジ３の下部は長さ方向全長にわたり容器の内壁面と電気的接触面を有するように取り付けてある。 （もっと読む）

【課題】複数あるドリフトチューブを有するドリフトチューブ加速器において、複数あるドリフトチューブの位置調整を同時に行うドリフトチューブ位置調整方法を得る。
【解決手段】複数のドリフトチューブ１をドリフトチューブ固定ジグ４に固定する第１の工程と、複数のドリフトチューブ１を支持するステム２をステム支持台３に固定する第２の工程と、ドリフトチューブ１に設けられるステム差し込み穴６に半田を充填する第３の工程と、第１の工程、第２の工程、及び第３の工程の後、半田を溶融するための昇温を行い、ステム２をステム差し込み穴６に挿入する第４の工程と、この第４の工程の後、ドリフトチューブ１をステム２に半田により固定するため冷却を行う第５の工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ドリフトチューブの端部外周エッジ部の表面電場強度を低減し、放電を防ぎ、粒子の安定な加速が行えるＩＨ型ドリフトチューブ線形加速器を提供する。
【解決手段】加速空胴１、加速空胴１内部にビーム加速軸ａ方向に配列され高周波加速電場を発生するドリフトチューブ３、ドリフトチューブ３を加速空胴１の内周壁面に保持したステム２、加速空胴１の円筒壁に挿入され加速空胴１の共振周波数を調整し、ドリフトチューブ３間の電場強度分布を調整し表面電場強度を許容値以下とするチューナを備え、入射端から入射した粒子を加速して出射端から出射するもので、各ドリフトチューブ３は、端部外周エッジ部が所定の曲率半径を有し、出射端側に最近接するチューナの中心位置より出射端側に位置するドリフトチューブ３の曲率半径を、出射端に最近接するチューナの中心位置より入射端側にある各ドリフトチューブ３の曲率半径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子をより効率的に加速することが可能なドリフトチューブ線形加速器を安価に得る。
【解決手段】共振空胴内部のビーム加速軸に沿って複数の円筒状のドリフトチューブ３を配列し、ドリフトチューブ３をステム４を介して共振空胴内部に保持し、ドリフトチューブ３間に発生する電場を利用して荷電粒子を加速し加速ビームを収束するドリフトチューブ線形加速器であって、ドリフトチューブ３が、分割した形状の一部３ｂと他部３ａとからなり、分割した形状の一部３ｂがステム４と一体で加工されたものであり、一部３ｂ及び他部３ａにおける分割面１０を接合することにより形成された接合体９を備えたものとする。 （もっと読む）

【課題】ステムによる加速電場への非対称成分の影響を低減し、かつステム自身による消費電力を抑え、さらに構造上設置強度が強いステムを用いたドリフトチューブ線形加速器を得ることを目的とする。
【解決手段】ＴＥモードを励起するための共振器空胴と、上記共振器空胴内に加速ビーム軸方向に複数個配列され、粒子を加速するための高周波加速電場を発生させるドリフトチューブと、上記ドリフトチューブを支えるステムとを備えたドリフトチューブ線形加速器において、上記ステムを加速ビーム軸に対し交互に上下対称配置されたステム配列とすると共に、前記ステム形状をドリフトチューブと接合するボトルネック部と、ボトルネック部径より大きいボトルボトム部と、上記ボトルネック部からボトルボトム部まで円柱形が連続して変化する面とから構成されたボトルシェイプ型ステムとした。 （もっと読む）