インクジェット記録装置および記録方法
【目的】 広い範囲でインク滴量を変調して十分な階調表現を行ない、駆動回路を増加させず、しかもヘッド寿命を低下させることなく高品質の階調記録を行なうことのできるサーマルインクジェット記録装置を提供する。
【構成】 バブルを発生させるために必要な最小エネルギーを互いに異ならせたヒーター７ａ，７ｂを１つの流路内に複数設け、さらにこれら複数のヒーター７ａ，７ｂを互いに電気的に並列に共通電極１１および個別電極１２に接続する。これら複数のヒーターに対して、記録する画像の階調信号に対応するエネルギーを供給する。このとき、印加エネルギー以下の最小エネルギーでバブルを発生するヒーターからのみ、バブルが発生し、ノズル５からインク滴１３を噴射する。このため、選択的に噴射されるインク滴の体積を変えることができ、階調記録を行なうことができる。
【構成】 バブルを発生させるために必要な最小エネルギーを互いに異ならせたヒーター７ａ，７ｂを１つの流路内に複数設け、さらにこれら複数のヒーター７ａ，７ｂを互いに電気的に並列に共通電極１１および個別電極１２に接続する。これら複数のヒーターに対して、記録する画像の階調信号に対応するエネルギーを供給する。このとき、印加エネルギー以下の最小エネルギーでバブルを発生するヒーターからのみ、バブルが発生し、ノズル５からインク滴１３を噴射する。このため、選択的に噴射されるインク滴の体積を変えることができ、階調記録を行なうことができる。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヒーターの発熱により発生する蒸気バブルの圧力によって、インク滴をノズルから噴射し記録を行なうサーマルインクジェット技術に関するものであり、特に、階調記録を行なうためのインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、サーマルインクジェットを用いて階調記録を行なう一つの方法として、ディザ法のように、ドットマトリクス内のドットの分布により階調を表現するものである。このような方法では、解像度が低下しないように高密度に多数のノズルを必要とするため、それぞれに対応する駆動回路が増加するといった問題があった。そこで、解像度を犠牲にすることなく階調を表現する方法として、噴射するインク滴自体の大きさを変えることが試みられている。
【０００３】インク滴量を変化させる方法として、実開昭５７−１４１０４３号公報等に示すように、ヒーターに印加する駆動パルスの電圧値に応じてインク滴の噴射する量を変えようとするものがある。図１２は、ヒーターに印加する電圧値と噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。図１２に示すように、印加電圧が増加しても、ある値以上の印加電圧に対しては、インク滴量がほとんど変化しない平坦な領域を持つため、インク滴の噴射量の変化する範囲が狭く、十分な階調レベルが得られないという問題があった。
【０００４】このため、特開昭５５−１３２２５９号公報には、一つの流路内に複数のヒーターを有し、階調信号に応じて複数のヒーターを選択的に駆動する方法が示されている。また、特開昭６２−２６１４５３号公報には、１つの流路内に複数のヒーターを直列に配置し、バブルを発生するヒーターを選択して駆動し、噴射するインク滴量を変えようとする方法が記載されている。これらの方法は、広い範囲で噴射するインク滴を変えることができるが、複数のヒーターに独立に信号を印加して駆動させるため、ヒーターの数に応じた配線や駆動回路が必要となり、装置の大型化や作製コストが増加するといった問題を有している。
【０００５】この問題を解決するため、複数のヒーターを電気的に直列に接続し、印加する電圧によってバブルを発生するヒーターを選択し、噴射するインク滴量を変える方法も考えられる。このようにすれば、配線数や駆動回路の増加を抑えることができるが、電圧を供給する電極に遠いヒーターにバブルを発生させるに十分なエネルギーを与えるためには、高い電圧が必要となる。このとき、電圧を供給する電極の近傍の特定のヒーターにとっては、過剰な電圧となるため、ヒーターの劣化をもたらし、ヘッド寿命が短くなるという問題を有している。
【０００６】また、特開昭５７−８９９６７号公報に記載された中間調記録方法は、特性の異なるドットを形成できる複数のノズルを設け、これらを選択的に組み合わせて、網点像を形成するものである。階調レベルを多く取れる利点はあるが、この方法も高密度に多数のノズルを配置する必要があり、記録ヘッドが大型化するとともに、駆動回路が複雑になるという問題点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、広い範囲でインク滴量を変調して十分な階調表現を行ない、駆動回路を増加させず、しかもヘッド寿命を低下させることなく高品質の階調記録を行なうことのできるサーマルインクジェット記録装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられたヒーターを有し、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置において、１つの流路内に印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを設け、これらのヒーターを互いに電気的に並列に接続したことを特徴とするものである。
【０００９】また、インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられ印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを有し、これらのヒーターは各流路毎に互いに電気的に並列に接続されており、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置における記録方法において、記録する画像の濃度に応じて前記複数のヒーターを駆動する印加エネルギーを制御し、ノズルから吐出されるインク滴の量を変化させて階調を有する記録を行なうことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、ノズルからインク滴を噴射させるためのヒーターを１つの流路内に複数設け、これら複数のヒーターの印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値を互いに異ならせ、さらにこれら複数のヒーターを互いに電気的に並列に接続する。この並列接続された複数のヒーターに対して、共通の駆動回路から記録する画像の階調信号に対応する印加エネルギーを供給する。それにより、印加エネルギーに応じて、蒸気バブルを発生するヒーターを追加することができ、選択的にバブルの体積、すなわち噴射されるインク滴の体積を変えることができる。ヒーターは、並列に接続されているから、駆動回路や配線数を増加させずに、階調記録を行なうことができる。
【００１１】印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値異ならせた複数のヒーターは、ヒーターの抵抗値やヒーターの面積などを異ならせることにより実現することができる。ヒーターの抵抗値を変えた場合には、各ヒーターに流れる電流が異なり、発生するジュール熱が異なる。また、抵抗値が同じでもヒータの面積を変えれば、単位面積当たりの発熱量が変わりヒーター表面の温度上昇が変わり、バブルを発生させるための閾値が異なる。抵抗値と面積の両方を変えることもできる。このように、印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なるヒーターを並列に接続して、電圧パルスの電圧またはパルス幅などの印加エネルギーを選択することによって、蒸気バブルを発生するのに十分のジュール熱を発生するヒーターからのみバブルが発生するため、選択的にバブルの体積、すなわち噴射されるインク滴の体積を変えることができる。
【００１２】また、複数のヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはなく、また、特定のヒーターに電流が集中することもないので、特定のヒーターが劣化しヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題はない。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明のインクジェット記録装置の第１の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図、図２はノズル側からみた正面図、図３は各ノズルのインク流路方向の断面図である。図３におけるＡ−Ａ’断面図を図１に、Ｂ−Ｂ’面を図２に示している。図中、１はチャネル基板、２はヒーター基板、３はインク室、４はインク供給口、５はノズル、６はインク流路、７ａ，７ｂはヒーター、８は厚膜樹脂層、９はピット、１０はチャネル隔壁、１１は共通電極、１２は個別電極、１３はインク滴、１４は記録紙である。
【００１４】このサーマルインクジェットヘッドは、研磨されたＳｉ基板上に蓄熱層としてのＳｉＯ2 膜を形成し、その上にヒーターとなるｐｏｌｙ−Ｓｉを着膜し、パターニングする。さらに配線となるＡｌを蒸着し、同一流路内のヒーターが互いに並列接続されるようにパターニングする。また、ヒーターおよび配線の保護層となるポリイミド、ＳｉＮX 、Ｔａ等を着膜し、パターニングし、ヒーター基板２が構成される。一方、もう一枚の研磨されたＳｉ基板に、異方性エッチングによってインク流路６とインク室３、インク供給口４が形成され、チャネル基板１となる。この２枚のヒーター基板２、チャネル基板１を位置合わせして接着し、ダイシングによって１つのプリントヘッドに分離する。このとき、インク流路６が開口し、ノズル５が形成される。
【００１５】このサーマルインクジェットヘッドは、ノズル５に連通したインク流路６の底面のポリイミド層８の凹所であるピット９にヒーター７ａ，７ｂが設けられ、各インク流路はチャネル隔壁１０によって仕切られている。インクは、インク供給口４からインク室３を通り、各インク流路６に導かれる。ヒーター７ａ，７ｂは共通電極１１と個別電極１２とによって電気的に並列に接続され、図示しない１つの駆動回路によって駆動される。
【００１６】インク流路６内に設けられ、電気的に並列に接続されたヒーターは、バブルを発生するための最小エネルギーがそれぞれ異なるように構成されている。この第１の実施例では、図１に示すように、１つの流路内のヒーターの数を２つとし、２つのヒーターの面積を互いに異ならせた。ここでは、ヒーター７ａの面積の方がヒーター７ｂの面積よりも小さくしている。２つのヒーターの抵抗値が同じであれば、発熱面積を異ならせることにより、同じエネルギーが投入されたときに単位面積当たりの投入エネルギーが相違し、ヒーター表面の最高上昇温度に差が生じる。したがって、２つのヒーター７ａ，７ｂにおいて、バブルを生じる温度に到達するのに必要な最小エネルギーが異なることになるため、発熱面積が小さいヒーター７ａの方がより小さなエネルギーでバブルを発生する。
【００１７】２つのヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはなく、また、抵抗値も同じため、片方のヒーターに電流が集中することもないので、直列に接続した場合のように、特定のヒーターが劣化し、ヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題はない。
【００１８】図４は、本発明のインクジェットヘッドにおける印加エネルギーと噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。ヒーター７ａにバブルを生じさせる最低エネルギーをＥ１，ヒーター７ｂにバブルを生じさせる最低エネルギーをＥ２とする。２つのヒーターは、バブルを発生させるのに必要な印加エネルギーがそれぞれ異なるため、閾値Ｅ２より小さい範囲のエネルギーを与えた場合には、一方のヒーター７ａからのみバブルが発生し、インク滴が噴射され、図１２で説明した従来例のものと同様に、平坦部１６ａを持つ依存性を示す。この閾値Ｅ２を越えたエネルギーを印加した場合には、２つのヒーター７ａ，７ｂからバブルが生じるため、一旦インク滴量は増加し、再び平坦部１６ｂを持つ。このように、２つの平坦部に対応するエネルギー範囲１５ａ、１５ｂ内の２値のエネルギーを印加することにより、２つの異なる噴射インク滴量ＶＯＬ１とＶＯＬ２を得ることができ、階調表現を行なうことができる。
【００１９】印加エネルギーはパルス電圧、パルス幅等に依存する。したがって、印加エネルギーを変えるには、これらのファクターの少なくとも１つを変えればよい。
【００２０】インク滴量ＶＯＬ１，ＶＯＬ２は、従来例と同様、ヒーターの大きさや流路における位置、および、例えば、流路幅や流路の長さ、ピットの深さ等の流路の他のサイズで決まる。必要なインク滴量を得るための流路構造の決定には、従来のヘッドにおける設計方法が利用できる。したがって、インク滴量ＶＯＬ１，ＶＯＬ２は、良好な画質を得るために要求される値に、自由に設定することが可能であり、十分な階調レベルを得ることができる。
【００２１】この実施例では、複数のヒーターを流路方向に配置し、バブルを発生するのに必要なエネルギーが小さいヒーターほど、ノズルに近い場所に設けた。これは、最初にバブルを発生するヒーターからノズルまでの距離を短くすることによって、インク滴量が少ない場合に、発生したバブルによって移動するインクの運動量の流路抵抗による損失をなるべく小さくし、噴射されるインク滴速度を低下させないためである。このようにして、２つのヒーターからバブルが生じたときに噴射される大きなインク滴との速度の差をなるべく小さくすることができる。
【００２２】図５は、本発明のインクジェット記録装置の第２の実施例を示す平面方向の断面図である。図５に示すように、バブルを発生させるために必要なエネルギーが大きいヒーター７ｂをノズルに近く配置することもできる。この実施例でもバブルを発生させるエネルギーを異ならせるために、ヒーターのサイズを異ならせている。
【００２３】この場合、閾値Ｅ２を越えた範囲のエネルギーを与えると、まずノズルから遠いヒーターからバブルが発生し、インクがノズル方向に運動を開始した後、ノズルに向かって順次ヒーターからバブルが生じるので、インク流路の奥からインクが順に押し出されてゆき、噴射されるインク滴が大きくなる。そのため、１つのヒーターによりインク滴が噴射される時のインク滴量と、２つのヒーターが順にバブルが生じ、インク滴が噴射される時のインク滴量との差が大きくなり、より階調差の大きな画像を得ることができる。このとき、ヒーターの駆動時の電圧変化を、ステップ状に変化させず、傾斜を有するように変化させる等により、各ヒーターからバブルが発生するタイミングを調整することができる。
【００２４】このように、複数のヒーターの配置によって、違う特性を有する記録ヘッドを得ることができるので、用途に応じてヒーターの配置を決めればよい。すなわち、階調表現が必要なイメージ画像が多いカラープリンタには、ノズルに近いヒーターほどバブルを発生するのに必要な最小エネルギーが小さくなるような配置にすることが好ましい。これにより、小さいインク滴と大きいインク滴速度の差を小さくして、インク滴の着弾位置を揃え、中間調であっても高画質を得ることができる。また、単一インク滴量による文字等の出力が多く、階調表現が少ないモノクロプリンタには、ノズルに近いヒーターほどバブルを発生するのに必要な最小エネルギーが大きくなるような配置にし、インク滴量の差を大きくして階調差を大きくすることにより、鮮明な画像を得ることができる。
【００２５】図６は、本発明のインクジェット記録装置の第３の実施例を示す平面方向の断面図である。第３の実施例では、図６に示すように２つのヒーターの形状、大きさ、膜厚は等しく、ヒーターの抵抗値のみを変えた。より具体的には、ヒーターの材料であるｐｏｌｙ−Ｓｉ中の不純物濃度を変え、抵抗率を異ならせた。
【００２６】図７は室温でのｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度とｐｏｌｙ−Ｓｉの体積抵抗率の関係を示すグラフである。図７に示すように、ｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度を増加させると、体積抵抗率は低下する。
【００２７】この実施例では、不純物として燐を用い、不純物を与える方法としてイオン・インプランテーション（イオン打ち込み法）を用い、２つのヒーター領域でインプランテーション（イオン打ち込み法）の時間を変えることにより不純物濃度を変え、抵抗率を変えて抵抗値を異ならせた。
【００２８】図６において、例えば、ヒーター７ａをヒーター７ｂよりも不純物濃度を高くし、抵抗率を小さく、したがって、抵抗値を小さくすることができる。２つのヒーターは、電気的に並列に接続されているため、同じ電圧が印加されるが、抵抗値の小さいヒーター７ａの方が７ｂより電流がより多く流れる。バブルを発生させるのに必要なエネルギーに到達する最小電圧、またはパルス幅はヒーター７ａの方が小さくなり、第１の実施例と同様に電圧、パルス幅でバブルの発生するヒーターを選択することができ、インク滴量を変えることができる。
【００２９】この実施例においても、２つのヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはない。また、バブルを発生させる電圧、パルス幅の選択により、１つのヒーターのみ、あるいは、２つのヒーターの両方からバブルが発生するように切り替えが可能な境界を有する構成とすれば良いのであるから、２つのヒーターの抵抗値の差は大きくする必要がない。したがって、特定のヒーターに電流が集中することもないので、第１の実施例と同様、特定のヒーターが劣化し、ヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題は起こらない。
【００３０】図８は、本発明のインクジェット記録装置の第４の実施例を示す平面方向の断面図である。この実施例では、ヒーターの形状を変えて抵抗値を変化させている。図６において、同じ体積抵抗率を有するヒーターの長さを変え、ヒーター７ａをヒーター７ｂよりも短くし、抵抗値を小さくしている。２つのヒーターは、電気的に並列に接続されているため、同じ電圧が印加されるが、抵抗値の小さいヒーター７ａの方が７ｂより電流がより多く流れる。バブルを発生させるのに必要なエネルギーに到達する最小電圧、またはパルス幅はヒーター７ａの方が小さくなり、第１の実施例と同様に電圧、パルス幅でバブルの発生するヒーターを選択することができ、インク滴量を変えることができる。この実施例の場合にも、第３の実施例と同様、抵抗値の変化は大きくなくてよく、そのため、特定のヒーターが劣化することはない。
【００３１】また、図８では、共通電極１１をノズル側に、ノズルの配列方向に延在させている。このように共通電極１１を配置することにより、共通電極１１を全てのヒーターに接続することができる。
【００３２】図９は、本発明のインクジェット記録装置の第５の実施例を示す平面方向の断面図である。図９に示すように、流路方向に複数のヒーターを配置するのではなく、流路方向に平行に配置することもできる。このような構成の場合にも、各ヒーターは、上述の第１乃至第４の実施例のようにして、バブルを発生させるのに必要な最小エネルギーを変えて形成する。これにより、電圧やパルス幅等を制御することによって、ヒーターを選択することができ、インク量を変えることができる。この実施例においても、共通電極１１を全てのヒーターに接続している。
【００３３】ヒーターの接続方法としては、上述したものだけでなく、例えば、多層配線を用いることによって、より高密度ピッチに対応したプリントヘッドを作製することができる。
【００３４】複数のヒーター間でバブルが発生する最小エネルギーを異ならせる手段としては、上述した方法以外にヒーターの表面状態を異ならせることもできる。また、ヒーターの膜厚や形状を変えることにより、抵抗値を異ならせることもできる。さらに、種々の方法を組み合わせることも可能で、複数のヒーター間でバブルの発生する最小電圧値、パルス幅、電流の少なくとも１つが互いに異なるように構成すれば良いことはいうまでもない。
【００３５】本発明は、上述のようなサイドシューター型のプリントヘッドだけでなく、ルーフシューター型のプリントヘッドに対しても適用することができる。図１０R>０は、本発明のインクジェット記録装置の第６の実施例を示す断面図、図１１は、同じく平面図である。図中、図１乃至図３と同様の部分には、同じ符号を付して説明を省略する。２１はノズル板、２２は厚膜樹脂層である。ノズル板２１には、ノズル５となる開口が設けられている。このノズル５の下部にヒーター７ａ，７ｂが設けられている。ヒーター基板２とノズル板２１の間がインク流路となる。各ノズル５の周辺には、厚膜樹脂層２２が配置され、隣接するノズルとの間を区切っている。
【００３６】この実施例においても、ヒーター７ａ，７ｂは、バブルを発生するための最小エネルギーがそれぞれ異なるように構成されている。上述のように、例えば、電圧値やパルス幅を変えることにより、一方のヒーターのみ、あるいは、両方のヒーターからバブルを発生させることができる。一方のヒーターのみからバブルが発生した場合には、少ないインク量のインク滴が、ノズル５から図中上方へ向けて吐出される。同様に、両方のヒーターからバブルが発生する場合には、多量のインク滴がノズル５から上方へ吐出されることになる。このようにして、階調画像を記録することができる。
【００３７】図１１では、各ヒーターを平行に並べて配置したが、各ヒーターを同心円状に配置することも可能である。この場合、各ヒーター上に発生するバブルの位置が円の中心にそろうので、インク滴の弾道が定まり、高画質を得ることができる。また、複数のヒーター間でバブルが発生する最小エネルギーを異ならせる手段としては、サイドシューター型のヘッドと同様、種々の手段を用いることができる。さらに、各ヒーターを選択的に駆動する方法や、配線の方法なども同様である。
【００３８】上述の各実施例においては、１つのインク流路に配置され、電気的に並列に接続されるヒーターの数が２個の場合について述べたが、２個に限定されず、３個以上配置して、より多くの階調数を得ることもできる。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明によれば、１つの流路内にバブルが発生する最小エネルギーを異ならせた複数のヒーターを設けるとともに、複数のヒーターを互いに電気的に並列に接続し、印加する電圧パルスの電圧値パルス幅、電流の少なくとも１つで駆動するヒーターを制御し、インク滴の量を制御するようにしたことにより、高品質な階調表現を行なうことができる。このとき、多数のヒーターを並列接続し、表現できる階調数を増加させても、複数のヒーターを共通の駆動回路で駆動するため、駆動回路が増加することがない。また、噴射するインク滴の量は、ヒーターの形状、数、流路形状によって広範囲に設定可能である。さらに、特定のヒーターに過剰な電圧や電流が集中することがないので、ヒーターの劣化を招きヘッド寿命を短くすることもない、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のインクジェット記録装置の第１の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図２】 図１のサーマルインクジェットヘッドのノズル側からみた正面図である。
【図３】 図１のサーマルインクジェットヘッドの各ノズルのインク流路方向の断面図である。
【図４】 本発明のインクジェットヘッドにおける印加エネルギーと噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。
【図５】 本発明のインクジェット記録装置の第２の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図６】 本発明のインクジェット記録装置の第３の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図７】 室温でのｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度とｐｏｌｙ−Ｓｉの体積抵抗率の関係を示すグラフである。
【図８】 本発明のインクジェット記録装置の第４の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図９】 本発明のインクジェット記録装置の第５の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図１０】 本発明のインクジェット記録装置の第６の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの断面図である。
【図１１】 図１０に示したサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図１２】 ヒーターに印加する電圧値と噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１ チャネル基板、２ ヒーター基板、３ インク室、４ インク供給口、５ノズル、６ インク流路、７ ヒーター、８ 厚膜樹脂層、９ ピット、１０チャネル隔壁、１１ 共通電極、１２ 個別電極、１３ インク滴、１４ 記録紙、２１ ノズル板、２２ 厚膜樹脂層。
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヒーターの発熱により発生する蒸気バブルの圧力によって、インク滴をノズルから噴射し記録を行なうサーマルインクジェット技術に関するものであり、特に、階調記録を行なうためのインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、サーマルインクジェットを用いて階調記録を行なう一つの方法として、ディザ法のように、ドットマトリクス内のドットの分布により階調を表現するものである。このような方法では、解像度が低下しないように高密度に多数のノズルを必要とするため、それぞれに対応する駆動回路が増加するといった問題があった。そこで、解像度を犠牲にすることなく階調を表現する方法として、噴射するインク滴自体の大きさを変えることが試みられている。
【０００３】インク滴量を変化させる方法として、実開昭５７−１４１０４３号公報等に示すように、ヒーターに印加する駆動パルスの電圧値に応じてインク滴の噴射する量を変えようとするものがある。図１２は、ヒーターに印加する電圧値と噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。図１２に示すように、印加電圧が増加しても、ある値以上の印加電圧に対しては、インク滴量がほとんど変化しない平坦な領域を持つため、インク滴の噴射量の変化する範囲が狭く、十分な階調レベルが得られないという問題があった。
【０００４】このため、特開昭５５−１３２２５９号公報には、一つの流路内に複数のヒーターを有し、階調信号に応じて複数のヒーターを選択的に駆動する方法が示されている。また、特開昭６２−２６１４５３号公報には、１つの流路内に複数のヒーターを直列に配置し、バブルを発生するヒーターを選択して駆動し、噴射するインク滴量を変えようとする方法が記載されている。これらの方法は、広い範囲で噴射するインク滴を変えることができるが、複数のヒーターに独立に信号を印加して駆動させるため、ヒーターの数に応じた配線や駆動回路が必要となり、装置の大型化や作製コストが増加するといった問題を有している。
【０００５】この問題を解決するため、複数のヒーターを電気的に直列に接続し、印加する電圧によってバブルを発生するヒーターを選択し、噴射するインク滴量を変える方法も考えられる。このようにすれば、配線数や駆動回路の増加を抑えることができるが、電圧を供給する電極に遠いヒーターにバブルを発生させるに十分なエネルギーを与えるためには、高い電圧が必要となる。このとき、電圧を供給する電極の近傍の特定のヒーターにとっては、過剰な電圧となるため、ヒーターの劣化をもたらし、ヘッド寿命が短くなるという問題を有している。
【０００６】また、特開昭５７−８９９６７号公報に記載された中間調記録方法は、特性の異なるドットを形成できる複数のノズルを設け、これらを選択的に組み合わせて、網点像を形成するものである。階調レベルを多く取れる利点はあるが、この方法も高密度に多数のノズルを配置する必要があり、記録ヘッドが大型化するとともに、駆動回路が複雑になるという問題点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、広い範囲でインク滴量を変調して十分な階調表現を行ない、駆動回路を増加させず、しかもヘッド寿命を低下させることなく高品質の階調記録を行なうことのできるサーマルインクジェット記録装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられたヒーターを有し、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置において、１つの流路内に印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを設け、これらのヒーターを互いに電気的に並列に接続したことを特徴とするものである。
【０００９】また、インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられ印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを有し、これらのヒーターは各流路毎に互いに電気的に並列に接続されており、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置における記録方法において、記録する画像の濃度に応じて前記複数のヒーターを駆動する印加エネルギーを制御し、ノズルから吐出されるインク滴の量を変化させて階調を有する記録を行なうことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、ノズルからインク滴を噴射させるためのヒーターを１つの流路内に複数設け、これら複数のヒーターの印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値を互いに異ならせ、さらにこれら複数のヒーターを互いに電気的に並列に接続する。この並列接続された複数のヒーターに対して、共通の駆動回路から記録する画像の階調信号に対応する印加エネルギーを供給する。それにより、印加エネルギーに応じて、蒸気バブルを発生するヒーターを追加することができ、選択的にバブルの体積、すなわち噴射されるインク滴の体積を変えることができる。ヒーターは、並列に接続されているから、駆動回路や配線数を増加させずに、階調記録を行なうことができる。
【００１１】印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値異ならせた複数のヒーターは、ヒーターの抵抗値やヒーターの面積などを異ならせることにより実現することができる。ヒーターの抵抗値を変えた場合には、各ヒーターに流れる電流が異なり、発生するジュール熱が異なる。また、抵抗値が同じでもヒータの面積を変えれば、単位面積当たりの発熱量が変わりヒーター表面の温度上昇が変わり、バブルを発生させるための閾値が異なる。抵抗値と面積の両方を変えることもできる。このように、印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なるヒーターを並列に接続して、電圧パルスの電圧またはパルス幅などの印加エネルギーを選択することによって、蒸気バブルを発生するのに十分のジュール熱を発生するヒーターからのみバブルが発生するため、選択的にバブルの体積、すなわち噴射されるインク滴の体積を変えることができる。
【００１２】また、複数のヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはなく、また、特定のヒーターに電流が集中することもないので、特定のヒーターが劣化しヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題はない。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明のインクジェット記録装置の第１の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図、図２はノズル側からみた正面図、図３は各ノズルのインク流路方向の断面図である。図３におけるＡ−Ａ’断面図を図１に、Ｂ−Ｂ’面を図２に示している。図中、１はチャネル基板、２はヒーター基板、３はインク室、４はインク供給口、５はノズル、６はインク流路、７ａ，７ｂはヒーター、８は厚膜樹脂層、９はピット、１０はチャネル隔壁、１１は共通電極、１２は個別電極、１３はインク滴、１４は記録紙である。
【００１４】このサーマルインクジェットヘッドは、研磨されたＳｉ基板上に蓄熱層としてのＳｉＯ2 膜を形成し、その上にヒーターとなるｐｏｌｙ−Ｓｉを着膜し、パターニングする。さらに配線となるＡｌを蒸着し、同一流路内のヒーターが互いに並列接続されるようにパターニングする。また、ヒーターおよび配線の保護層となるポリイミド、ＳｉＮX 、Ｔａ等を着膜し、パターニングし、ヒーター基板２が構成される。一方、もう一枚の研磨されたＳｉ基板に、異方性エッチングによってインク流路６とインク室３、インク供給口４が形成され、チャネル基板１となる。この２枚のヒーター基板２、チャネル基板１を位置合わせして接着し、ダイシングによって１つのプリントヘッドに分離する。このとき、インク流路６が開口し、ノズル５が形成される。
【００１５】このサーマルインクジェットヘッドは、ノズル５に連通したインク流路６の底面のポリイミド層８の凹所であるピット９にヒーター７ａ，７ｂが設けられ、各インク流路はチャネル隔壁１０によって仕切られている。インクは、インク供給口４からインク室３を通り、各インク流路６に導かれる。ヒーター７ａ，７ｂは共通電極１１と個別電極１２とによって電気的に並列に接続され、図示しない１つの駆動回路によって駆動される。
【００１６】インク流路６内に設けられ、電気的に並列に接続されたヒーターは、バブルを発生するための最小エネルギーがそれぞれ異なるように構成されている。この第１の実施例では、図１に示すように、１つの流路内のヒーターの数を２つとし、２つのヒーターの面積を互いに異ならせた。ここでは、ヒーター７ａの面積の方がヒーター７ｂの面積よりも小さくしている。２つのヒーターの抵抗値が同じであれば、発熱面積を異ならせることにより、同じエネルギーが投入されたときに単位面積当たりの投入エネルギーが相違し、ヒーター表面の最高上昇温度に差が生じる。したがって、２つのヒーター７ａ，７ｂにおいて、バブルを生じる温度に到達するのに必要な最小エネルギーが異なることになるため、発熱面積が小さいヒーター７ａの方がより小さなエネルギーでバブルを発生する。
【００１７】２つのヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはなく、また、抵抗値も同じため、片方のヒーターに電流が集中することもないので、直列に接続した場合のように、特定のヒーターが劣化し、ヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題はない。
【００１８】図４は、本発明のインクジェットヘッドにおける印加エネルギーと噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。ヒーター７ａにバブルを生じさせる最低エネルギーをＥ１，ヒーター７ｂにバブルを生じさせる最低エネルギーをＥ２とする。２つのヒーターは、バブルを発生させるのに必要な印加エネルギーがそれぞれ異なるため、閾値Ｅ２より小さい範囲のエネルギーを与えた場合には、一方のヒーター７ａからのみバブルが発生し、インク滴が噴射され、図１２で説明した従来例のものと同様に、平坦部１６ａを持つ依存性を示す。この閾値Ｅ２を越えたエネルギーを印加した場合には、２つのヒーター７ａ，７ｂからバブルが生じるため、一旦インク滴量は増加し、再び平坦部１６ｂを持つ。このように、２つの平坦部に対応するエネルギー範囲１５ａ、１５ｂ内の２値のエネルギーを印加することにより、２つの異なる噴射インク滴量ＶＯＬ１とＶＯＬ２を得ることができ、階調表現を行なうことができる。
【００１９】印加エネルギーはパルス電圧、パルス幅等に依存する。したがって、印加エネルギーを変えるには、これらのファクターの少なくとも１つを変えればよい。
【００２０】インク滴量ＶＯＬ１，ＶＯＬ２は、従来例と同様、ヒーターの大きさや流路における位置、および、例えば、流路幅や流路の長さ、ピットの深さ等の流路の他のサイズで決まる。必要なインク滴量を得るための流路構造の決定には、従来のヘッドにおける設計方法が利用できる。したがって、インク滴量ＶＯＬ１，ＶＯＬ２は、良好な画質を得るために要求される値に、自由に設定することが可能であり、十分な階調レベルを得ることができる。
【００２１】この実施例では、複数のヒーターを流路方向に配置し、バブルを発生するのに必要なエネルギーが小さいヒーターほど、ノズルに近い場所に設けた。これは、最初にバブルを発生するヒーターからノズルまでの距離を短くすることによって、インク滴量が少ない場合に、発生したバブルによって移動するインクの運動量の流路抵抗による損失をなるべく小さくし、噴射されるインク滴速度を低下させないためである。このようにして、２つのヒーターからバブルが生じたときに噴射される大きなインク滴との速度の差をなるべく小さくすることができる。
【００２２】図５は、本発明のインクジェット記録装置の第２の実施例を示す平面方向の断面図である。図５に示すように、バブルを発生させるために必要なエネルギーが大きいヒーター７ｂをノズルに近く配置することもできる。この実施例でもバブルを発生させるエネルギーを異ならせるために、ヒーターのサイズを異ならせている。
【００２３】この場合、閾値Ｅ２を越えた範囲のエネルギーを与えると、まずノズルから遠いヒーターからバブルが発生し、インクがノズル方向に運動を開始した後、ノズルに向かって順次ヒーターからバブルが生じるので、インク流路の奥からインクが順に押し出されてゆき、噴射されるインク滴が大きくなる。そのため、１つのヒーターによりインク滴が噴射される時のインク滴量と、２つのヒーターが順にバブルが生じ、インク滴が噴射される時のインク滴量との差が大きくなり、より階調差の大きな画像を得ることができる。このとき、ヒーターの駆動時の電圧変化を、ステップ状に変化させず、傾斜を有するように変化させる等により、各ヒーターからバブルが発生するタイミングを調整することができる。
【００２４】このように、複数のヒーターの配置によって、違う特性を有する記録ヘッドを得ることができるので、用途に応じてヒーターの配置を決めればよい。すなわち、階調表現が必要なイメージ画像が多いカラープリンタには、ノズルに近いヒーターほどバブルを発生するのに必要な最小エネルギーが小さくなるような配置にすることが好ましい。これにより、小さいインク滴と大きいインク滴速度の差を小さくして、インク滴の着弾位置を揃え、中間調であっても高画質を得ることができる。また、単一インク滴量による文字等の出力が多く、階調表現が少ないモノクロプリンタには、ノズルに近いヒーターほどバブルを発生するのに必要な最小エネルギーが大きくなるような配置にし、インク滴量の差を大きくして階調差を大きくすることにより、鮮明な画像を得ることができる。
【００２５】図６は、本発明のインクジェット記録装置の第３の実施例を示す平面方向の断面図である。第３の実施例では、図６に示すように２つのヒーターの形状、大きさ、膜厚は等しく、ヒーターの抵抗値のみを変えた。より具体的には、ヒーターの材料であるｐｏｌｙ−Ｓｉ中の不純物濃度を変え、抵抗率を異ならせた。
【００２６】図７は室温でのｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度とｐｏｌｙ−Ｓｉの体積抵抗率の関係を示すグラフである。図７に示すように、ｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度を増加させると、体積抵抗率は低下する。
【００２７】この実施例では、不純物として燐を用い、不純物を与える方法としてイオン・インプランテーション（イオン打ち込み法）を用い、２つのヒーター領域でインプランテーション（イオン打ち込み法）の時間を変えることにより不純物濃度を変え、抵抗率を変えて抵抗値を異ならせた。
【００２８】図６において、例えば、ヒーター７ａをヒーター７ｂよりも不純物濃度を高くし、抵抗率を小さく、したがって、抵抗値を小さくすることができる。２つのヒーターは、電気的に並列に接続されているため、同じ電圧が印加されるが、抵抗値の小さいヒーター７ａの方が７ｂより電流がより多く流れる。バブルを発生させるのに必要なエネルギーに到達する最小電圧、またはパルス幅はヒーター７ａの方が小さくなり、第１の実施例と同様に電圧、パルス幅でバブルの発生するヒーターを選択することができ、インク滴量を変えることができる。
【００２９】この実施例においても、２つのヒーターは並列に接続されているため、特定のヒーターに過剰に電圧が印加されることはない。また、バブルを発生させる電圧、パルス幅の選択により、１つのヒーターのみ、あるいは、２つのヒーターの両方からバブルが発生するように切り替えが可能な境界を有する構成とすれば良いのであるから、２つのヒーターの抵抗値の差は大きくする必要がない。したがって、特定のヒーターに電流が集中することもないので、第１の実施例と同様、特定のヒーターが劣化し、ヘッド寿命を短くすることや、所望の階調レベルが得られないといった問題は起こらない。
【００３０】図８は、本発明のインクジェット記録装置の第４の実施例を示す平面方向の断面図である。この実施例では、ヒーターの形状を変えて抵抗値を変化させている。図６において、同じ体積抵抗率を有するヒーターの長さを変え、ヒーター７ａをヒーター７ｂよりも短くし、抵抗値を小さくしている。２つのヒーターは、電気的に並列に接続されているため、同じ電圧が印加されるが、抵抗値の小さいヒーター７ａの方が７ｂより電流がより多く流れる。バブルを発生させるのに必要なエネルギーに到達する最小電圧、またはパルス幅はヒーター７ａの方が小さくなり、第１の実施例と同様に電圧、パルス幅でバブルの発生するヒーターを選択することができ、インク滴量を変えることができる。この実施例の場合にも、第３の実施例と同様、抵抗値の変化は大きくなくてよく、そのため、特定のヒーターが劣化することはない。
【００３１】また、図８では、共通電極１１をノズル側に、ノズルの配列方向に延在させている。このように共通電極１１を配置することにより、共通電極１１を全てのヒーターに接続することができる。
【００３２】図９は、本発明のインクジェット記録装置の第５の実施例を示す平面方向の断面図である。図９に示すように、流路方向に複数のヒーターを配置するのではなく、流路方向に平行に配置することもできる。このような構成の場合にも、各ヒーターは、上述の第１乃至第４の実施例のようにして、バブルを発生させるのに必要な最小エネルギーを変えて形成する。これにより、電圧やパルス幅等を制御することによって、ヒーターを選択することができ、インク量を変えることができる。この実施例においても、共通電極１１を全てのヒーターに接続している。
【００３３】ヒーターの接続方法としては、上述したものだけでなく、例えば、多層配線を用いることによって、より高密度ピッチに対応したプリントヘッドを作製することができる。
【００３４】複数のヒーター間でバブルが発生する最小エネルギーを異ならせる手段としては、上述した方法以外にヒーターの表面状態を異ならせることもできる。また、ヒーターの膜厚や形状を変えることにより、抵抗値を異ならせることもできる。さらに、種々の方法を組み合わせることも可能で、複数のヒーター間でバブルの発生する最小電圧値、パルス幅、電流の少なくとも１つが互いに異なるように構成すれば良いことはいうまでもない。
【００３５】本発明は、上述のようなサイドシューター型のプリントヘッドだけでなく、ルーフシューター型のプリントヘッドに対しても適用することができる。図１０R>０は、本発明のインクジェット記録装置の第６の実施例を示す断面図、図１１は、同じく平面図である。図中、図１乃至図３と同様の部分には、同じ符号を付して説明を省略する。２１はノズル板、２２は厚膜樹脂層である。ノズル板２１には、ノズル５となる開口が設けられている。このノズル５の下部にヒーター７ａ，７ｂが設けられている。ヒーター基板２とノズル板２１の間がインク流路となる。各ノズル５の周辺には、厚膜樹脂層２２が配置され、隣接するノズルとの間を区切っている。
【００３６】この実施例においても、ヒーター７ａ，７ｂは、バブルを発生するための最小エネルギーがそれぞれ異なるように構成されている。上述のように、例えば、電圧値やパルス幅を変えることにより、一方のヒーターのみ、あるいは、両方のヒーターからバブルを発生させることができる。一方のヒーターのみからバブルが発生した場合には、少ないインク量のインク滴が、ノズル５から図中上方へ向けて吐出される。同様に、両方のヒーターからバブルが発生する場合には、多量のインク滴がノズル５から上方へ吐出されることになる。このようにして、階調画像を記録することができる。
【００３７】図１１では、各ヒーターを平行に並べて配置したが、各ヒーターを同心円状に配置することも可能である。この場合、各ヒーター上に発生するバブルの位置が円の中心にそろうので、インク滴の弾道が定まり、高画質を得ることができる。また、複数のヒーター間でバブルが発生する最小エネルギーを異ならせる手段としては、サイドシューター型のヘッドと同様、種々の手段を用いることができる。さらに、各ヒーターを選択的に駆動する方法や、配線の方法なども同様である。
【００３８】上述の各実施例においては、１つのインク流路に配置され、電気的に並列に接続されるヒーターの数が２個の場合について述べたが、２個に限定されず、３個以上配置して、より多くの階調数を得ることもできる。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明によれば、１つの流路内にバブルが発生する最小エネルギーを異ならせた複数のヒーターを設けるとともに、複数のヒーターを互いに電気的に並列に接続し、印加する電圧パルスの電圧値パルス幅、電流の少なくとも１つで駆動するヒーターを制御し、インク滴の量を制御するようにしたことにより、高品質な階調表現を行なうことができる。このとき、多数のヒーターを並列接続し、表現できる階調数を増加させても、複数のヒーターを共通の駆動回路で駆動するため、駆動回路が増加することがない。また、噴射するインク滴の量は、ヒーターの形状、数、流路形状によって広範囲に設定可能である。さらに、特定のヒーターに過剰な電圧や電流が集中することがないので、ヒーターの劣化を招きヘッド寿命を短くすることもない、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のインクジェット記録装置の第１の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図２】 図１のサーマルインクジェットヘッドのノズル側からみた正面図である。
【図３】 図１のサーマルインクジェットヘッドの各ノズルのインク流路方向の断面図である。
【図４】 本発明のインクジェットヘッドにおける印加エネルギーと噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。
【図５】 本発明のインクジェット記録装置の第２の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図６】 本発明のインクジェット記録装置の第３の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図７】 室温でのｐｏｌｙ−Ｓｉにおける不純物濃度とｐｏｌｙ−Ｓｉの体積抵抗率の関係を示すグラフである。
【図８】 本発明のインクジェット記録装置の第４の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図９】 本発明のインクジェット記録装置の第５の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図１０】 本発明のインクジェット記録装置の第６の実施例におけるサーマルインクジェットヘッドの断面図である。
【図１１】 図１０に示したサーマルインクジェットヘッドの平面方向の断面図である。
【図１２】 ヒーターに印加する電圧値と噴射されるインク滴量の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１ チャネル基板、２ ヒーター基板、３ インク室、４ インク供給口、５ノズル、６ インク流路、７ ヒーター、８ 厚膜樹脂層、９ ピット、１０チャネル隔壁、１１ 共通電極、１２ 個別電極、１３ インク滴、１４ 記録紙、２１ ノズル板、２２ 厚膜樹脂層。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられたヒーターを有し、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置において、１つの流路内に印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを設け、これらのヒーターを互いに電気的に並列に接続したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】 インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられ印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを有し、これらのヒーターは互いに電気的に並列に接続されており、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置における記録方法において、記録する画像の濃度に応じて前記複数のヒーターを駆動する印加エネルギーを制御し、ノズルから吐出されるインク滴の量を変化させて階調を有する記録を行なうことを特徴とするインクジェット記録装置における記録方法。
【請求項１】 インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられたヒーターを有し、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置において、１つの流路内に印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを設け、これらのヒーターを互いに電気的に並列に接続したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】 インクを吐出するためのノズルと、該ノズルに連通した流路と、該流路にインクを供給するためのインク供給口と、前記流路内に設けられ印加エネルギーに対してバブルを発生させるための閾値が異なる複数のヒーターを有し、これらのヒーターは互いに電気的に並列に接続されており、該ヒーターの発熱により発生する上記バブルの圧力によってインク滴を前記ノズルから吐出するインクジェット記録装置における記録方法において、記録する画像の濃度に応じて前記複数のヒーターを駆動する印加エネルギーを制御し、ノズルから吐出されるインク滴の量を変化させて階調を有する記録を行なうことを特徴とするインクジェット記録装置における記録方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図１１】
【図１２】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図１１】
【図１２】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開平６−３２０７３５
【公開日】平成６年（１９９４）１１月２２日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平５−１３９３４４
【出願日】平成５年（１９９３）５月１７日
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
【公開日】平成６年（１９９４）１１月２２日
【国際特許分類】
【出願日】平成５年（１９９３）５月１７日
【出願人】（０００００５４９６）富士ゼロックス株式会社 (21,908)
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