ガス腐食試験装置
【課題】この発明は、試験槽内の壁面に結露を生じることなく温湿度サイクル試験を行いながらガス腐食試験を行うことができ、試験槽内のガス濃度の安定性および試験結果の再現性を向上することができ、常にガス濃度を管理されているガス雰囲気下で温湿度サイクル試験を行うことができるガス腐食試験装置を実現することを目的とする。
【解決手段】この発明は、ガス腐食試験機において、試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、腐食ガスの濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とする。
【解決手段】この発明は、ガス腐食試験機において、試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、腐食ガスの濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス腐食試験装置に係わり、特に、温湿度サイクル試験が可能で単一または複数混合のガス試験におけるガス濃度を自動で調整できるガス腐食試験装置に関する。
【０００２】
電子部品、めっき製品、その他製品の耐ガス腐食性の試験を行う腐食試験装置には、試験槽内に設置した試料に２種類以上の腐食ガスを接触させて前記試料の腐食試験を行うガス腐食試験装置（特許文献１）がある。
【０００３】
ガス腐食試験装置では、結露が発生すると、発生した結露水にガスが溶解し、ガス濃度が安定しないという問題があり、これを解決するために、ガス腐食試験で使用される腐食ガスの水分を除去するガス腐食試験機（特許文献２）、試験槽に連絡する空気の経路に対して他方の経路に加湿槽を介装し、両経路を混合・切換えて試験槽に連通することで試験槽の温度を調整する環境試験装置の湿度調整装置（特許文献３）がある。
【０００４】
また、試験槽外側を覆う含水性材質に温度調整された液体を注液し、試験槽内温度を調整する環境試験槽（特許文献４）、試料に水を噴射しながら結露センサの出力で調湿装置により試験槽内の湿度を調整し、試料に一定粒径の結露を生じさせる耐候性試験装置（特許文献５）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３１０８７２９号
【特許文献２】特許第２９９０１６７号
【特許文献３】特許第２９９０１７０号
【特許文献４】特許第２９７５６０１号
【特許文献５】特許第２９４２４４４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のガス腐食試験装置には、試験槽内に結露水が発生し、腐食ガスが結露水に溶解してガス濃度が安定しないため試験の再現性が悪いという問題があった。このため、試験槽内の結露を防止するために、試験で使用する腐食ガスから水分を除去する技術や、空気の経路と加湿器を介した経路とを混合・切換えて試験槽に連通して湿度調整を行う技術が用いられているが、試験槽を形成する蓋や蓋と本体とのパッキンシール部分が外気と触れているために、その部分から温度が低下してしまい、例えば温度４０℃、湿度９５％ＲＨで試験した場合など試験条件によっては、試験槽内の壁面に結露が発生していた。
【０００７】
また、従来のガス腐食試験装置においては、温度や湿度を変化させる温湿度サイクル試験を行うと、温度や湿度の移行時に試験槽内に結露水が発生し、腐食ガスが結露水に溶解してガス濃度が安定しないため、温湿度サイクル試験を行いながらガス腐食試験を行うことができなかった。
【０００８】
このため、従来のガス腐食試験装置では、屋外の自然環境において、日々繰り返される昼夜の温度差や、屋外と屋内における温度差等の、自然環境下で実際に試料が受けている「温度ショック」を再現する温湿度サイクル試験を行う考えはあったが、実際には温湿度サイクル試験を行うことは困難であった。
【０００９】
また、試験槽外周から加熱する間接加熱方式では、温度移行時に試験槽内の温度が試験槽外周の恒温槽（エアジャケット）温度に大きく遅れるため移行する温度にオーバーシュート、アンダーシュートを生じ、これに起因して試験槽内の壁面に結露が発生する。このため、間接加熱方式で温湿度サイクル試験を行いながら、ガス腐食試験を行うと、試験槽内の壁面に発生した結露水に腐食ガスが溶解し、ガス濃度が安定しないことや、結露水が原因で温度上昇が遅れることにより、試験結果の再現性が良くないという恐れがあった。
【００１０】
さらに、従来のガス腐食試験装置は、試験槽内の壁面に対する結露防止手段を備えていないため、結露を防止することができなかった。また、結露の発生は試験槽平面のみではなく、試料に発生する場合もあるが、試料の結露の有無を確認することができなかった。このため、試料表面の結露の有無によっても試験結果が異なってしまい、試験の再現性が悪いという問題があった。
【００１１】
さらに、２種類以上の腐食ガスによりガス腐食試験を行うガス腐食試験装置においては、Ｈ２Ｓ、ＳＯ２を同時に供給して試験槽内で各々のガスの濃度を自動コントロールしながら試験を行うものが無かった。これは、Ｈ２Ｓの濃度を直接測定する測定器がないためであり、Ｈ２Ｓの濃度を測定する場合には、Ｈ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換（２Ｈ２Ｓ＋３Ｏ２→２ＳＯ２＋２Ｈ２Ｏ）し、ＳＯ２測定器で測定していた。しかし、測定する気体内にＨ２ＳとＳＯ２が混在している場合には、混在しているＳＯ２も測定されてしまうため、測定値がＨ２Ｓのみの濃度ではなくなり、Ｈ２Ｓの濃度が実際よりも高く測定されてしまう問題があった。
【００１２】
この発明は、試験槽内の壁面に結露を生じさせることなく温湿度サイクル試験を行いながら、常にガス濃度を管理されているガス雰囲気下でガス腐食試験を行うことができ、試験槽内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができるガス腐食試験装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の請求項１は、温度及び湿度を制御する手段を有する試験槽内に少なくとも１種類の腐食ガスを供給し、前記腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように制御する手段を設け、前記試験槽内に設置した試料に前記単一または複数の腐食ガスを接触させて前記試料のガス腐食試験を行うガス腐食試験機において、前記試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、前記腐食ガス濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、前記設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とする。
【００１４】
この発明の請求項２は、前記試験槽を内壁により区画形成し、前記試験槽全てを囲むように外壁により恒温槽を区画形成し、前記試験槽内に供給する少なくとも１種類の腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置を備え、前記試験槽内の温度が所定の設定温度になるように前記恒温槽に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置を備え、前記試験槽内の湿度が所定の設定湿度になるように前記試験槽に供給する蒸気を調整する試験槽湿度調整装置を備え、前記恒温槽温度調整装置は、前記恒温槽の各部に空気を均等に分配供給する風量調整器を備え、前記恒温槽温度調整装置は、前記試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際に、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達する前は前記試験槽内の温度に基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整し、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達した後は前記試験槽内の温度と前記恒温槽内の温度とに基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整することを特徴とする。
【００１５】
この発明の請求項３は、前記試験槽内に設定した試料の結露状態を検出する結露センサを備え、予備試験時に試料の結露状態を検出して試料に結露させる条件、及び／または、結露無しの条件を設定・確認し、その値を基に本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う結露量設定・表示器を備えることを特徴とする。
【００１６】
この発明の請求項４は、前記試験槽湿度調整装置は、前記試験槽内の壁面温度と前記試験槽内の露点温度との差が設定値に収束するように前記試験槽に供給する蒸気を調整することを特徴とする。
【００１７】
この発明の請求項５は、前記ガス供給装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの三種類の腐食ガスを前記試験槽に供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備え、前記ガス供給量調整手段は、前記試験槽内から取り出したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度を単独で測定し、単独で測定したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき前記試験槽内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整するとともに、前記試験槽内から取り出したＨ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換し、変換したＳＯ２のガス濃度を測定し、変換後測定したＳＯ２のガス濃度を前記単独で測定したＳＯ２のガス濃度で補正する電子回路によりＨ２Ｓ単独のガス濃度を求め、求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき前記試験槽内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＨ２Ｓのガス供給量を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
この発明の請求項１のガス腐食試験装置は、温湿度サイクル試験中に試験槽内壁に結露の発生がないため、安定したガス雰囲気下で試料のガス腐食試験を行うことができるので再現性のある、実環境にあったガス腐食試験が可能となる。
【００１９】
この発明の請求項２のガス腐食試験装置は、試験槽内に結露が発生しないので、試験槽内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができ、ランニングコストの低減にも寄与する。また、試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際、恒温槽に供給する空気温度の制御方法を、他の設定温度に到達する前後で変化させることにより、試験槽内壁に結露を発生させることなく他の設定温度への移行時間の短縮を行うことができる。これにより、単位時間当たりのサイクル試験回数を増やすことが可能となる。
【００２０】
この発明の請求項３のガス腐食試験装置は、試料の結露の有無を選択して試験を行うことができ、試料の使用目的に合致した試験を行うことができる。
【００２１】
この発明の請求項４のガス腐食試験装置は、温湿度サイクル試験中においても試験槽内の壁面の結露を防止することができる。
【００２２】
この発明の請求項５のガス腐食試験装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスのガス濃度を自動で調整できるので、試験の精度及び再現性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】ガス腐食試験装置のシステム構成図である。
【図２】ガス腐食試験装置の風量調整器部分の平面図である。
【図３】風量調整器の斜視図である。
【図４】ガス腐食試験装置の平面図である。
【図５】ガス腐食試験装置の正面図である。
【図６】図５のガス腐食試験装置のＶＩ−ＶＩ線による断面図である。
【図７】ガス濃度自動調節計の正面図である。
【図８】ガス濃度自動調節計の側面図である。
【図９】ガス腐食試験装置の風量調整器部分の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
この発明は、試験槽内の濃度管理されているガス雰囲気下で、試験槽内の壁面に結露が発生することを防止し、温湿度サイクル試験を行いながら試料のガス腐食試験を行うものである。
以下、図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１〜図８は、この発明の実施の形態を示すものである。図４〜図６において、１はガス腐食試験装置、２は架台、３は本体である。ガス腐食試験装置１は、架台２上に本体３を搭載している。本体３は、試験部４と、制御部５と排気部６とを備えている。
【００２６】
前記試験部４は、内壁７と外壁８とにより二重壁構造とし、試験槽９を内壁７により区画形成し、試験槽９を囲むように外壁８により恒温槽１０を区画形成している。内壁７は、四角板状の内壁底部１１と四角筒状の内壁測部１２と四角板状の内壁上部１３とにより四角箱形状にされ、内壁測部１２に試料Ｓを試験槽９に出し入れする内壁扉１４を設けている。外壁８は、四角板状の外壁底部１５と四角筒状の外壁測部１６と四角板状の外壁上部１７とにより四角箱形状にされ、外壁測部１６に内壁扉１４にアクセスするための外壁扉１８を設けている。
【００２７】
前記試験槽９内には、下方に試料Ｓを載せる試料枠１９を設け、試料枠１９の上方に試料Ｓを吊す試料吊り棒２０を設け、試料枠１９下方の最下部にガスを攪拌する攪拌翼２１を設けている。攪拌翼２１は、内壁底部１１から下方外部の架台２内に延長される攪拌軸２２の上端に取り付けられている。攪拌軸２２の下端は、架台２内に設置した攪拌モータ２３に連結されている。
【００２８】
前記制御部５には、電源スイッチ２４、制御盤２５、試験プログラム設定器２６、運転時間計２７、記録計（ガス濃度３点、乾球温度、湿度、結露）２８、温度偏差調節器（試験槽壁温度、湿球温度）２９、ガス流量設定器（ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓ、空気）３０、結露量設定・表示器３１、が設けられている。
【００２９】
前記排気部６には、排気処理装置３２、排気送風機３３、ガス漏れ警報機操作盤３４が設けられている。排気処理装置３２は、図１に示すよう、試験槽９内の排気口３５から排気管３６に排出された腐食ガスを無害化処理し、排気送風機３３で外部に排出する。排気送風機３３は、排気モータ３７で駆動され、腐食試験中に試験槽９を吸引することで、試験槽９内を負圧状態にする。
【００３０】
このガス腐食試験装置１は、図１に示すように、試験槽９内に設置した試料Ｓに腐食ガスを接触させて試料Ｓのガス腐食試験を行うものであり、試験槽９を内壁７により区画形成し、試験槽９を囲むように外壁８により恒温槽１０を区画形成している。
【００３１】
ガス腐食試験装置１は、試験槽９内に供給する腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置３８を備え、試験槽９内の温度が所定の設定温度になるように恒温槽１０に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置３９を備え、試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように試験槽９に供給する蒸気を調整する試験槽温度調整装置４０を備えている。
【００３２】
前記ガス供給装置３８は、腐食ガスとして、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスを試験槽９に供給するガス供給手段４１と、このガス供給手段４１によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段４２とを備えている。
【００３３】
前記ガス供給手段４１は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスを貯蔵するＳＯ２ボンベ４３、ＮＯ２ボンベ４４、Ｈ２Ｓボンベ４５を設け、ガス希釈用の空気を供給する空気供給器４６を設けている。これら各ボンベ４３〜４５及び空気供給機４６には、ガス供給管４７の一端側を分岐して並列に接続している。ガス供給管４７は途中で集合して他端側を試験槽９内の内壁底部１１に設けたガス供給口４８に接続している。各ボンベ４３〜４５直下流のガス供給管４７には、それぞれＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１を設けている。また、空気供給機４６直下流のガス供給管４７には、空気供給量調整弁５２を設けている。
【００３４】
ガス供給手段４１は、ＳＯ２ボンベ４３、ＮＯ２ボンベ４４、Ｈ２Ｓボンベ４５からＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２ＳをＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１でそれぞれ調整して取り出し、取り出したＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを空気供給機４６から空気供給量調整弁５２で調整して取り出した空気により希釈し、ガス供給管４７によりガス供給口４８から試験槽９に供給する。
【００３５】
前記ガス供給量調整手段４２は、試験槽９の壁部１２に設けたガス取出口５３に一端側を接続するガス取出管５４の途中にガス除湿器５５を設け、ガス取出管５４の他端側を分岐してＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７に並列に接続するとともに、Ｈ２Ｓ―ＳＯ２変換器５８を介してＳＯ２濃度測定器５９に並列に接続している。ＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７は、ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１にそれぞれ接続している。ＳＯ２濃度測定器５９は、ＳＯ２濃度測定器５６に接続したＨ２Ｓ濃度補正器６２を介してＨ２Ｓ制御器６３に接続している。ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１、Ｈ２Ｓ制御器６３は、前記ＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１に接続している。
【００３６】
ガス供給量調整手段４２は、試験槽９から取り出した混合ガス中のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度をＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７により単独で測定し、測定されたＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度をＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１に入力する。ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１は、測定されたＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき、試験槽９内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように、ガス供給量制御信号によりガス供給手段４１のＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０を駆動してＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整する。
【００３７】
また、ガス供給量調整手段４２は、試験槽９から取り出した混合ガス中のＨ２ＳをＨ２Ｓ―ＳＯ２変換器５８によりＯ２と反応させてＳＯ２に変換（２Ｈ２Ｓ＋３Ｏ２→２ＳＯ２＋２Ｈ２Ｏ）し、Ｈ２Ｓから変換されたＳＯ２のガス濃度をＳＯ２濃度測定器５９により測定する。この測定値には、混合ガス中に単独で存在したＳＯ２の濃度が含まれている。そこで、ガス供給量調整手段４２は、Ｈ２Ｓ濃度補正器６２により、ＳＯ２濃度測定器５９が測定した変換されたＳＯ２のガス濃度を、ＳＯ２濃度測定器５６が測定した単独のＳＯ２のガス濃度で補正（変換されたＳＯ２のガス濃度−単独のＳＯ２のガス濃度）して、Ｈ２Ｓ単独のガス濃度を求める。求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき、試験槽９内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように、ガス供給量制御信号によりガス供給手段４１のＨ２Ｓ供給量調整弁５１を駆動してＨ２Ｓのガス供給量を調整する。
【００３８】
これにより、ガス腐食試験装置１は、ガス供給装置３８のガス供給手段４１とガス供給量調整手段４２によって、試験槽９内に供給する３種類の腐食ガス（ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓ）をそれぞれ所定の設定濃度になるように自動で調整して供給することができるので、試験の精度及び再現性を向上することができる。
【００３９】
なお、ガス供給装置３８のガス供給量調整手段４２は、図７・図８に示すように、ガス濃度自動調節計６４としてガス腐食試験装置１と別体に構成している。ガス濃度自動調節計６４は、本体６５内に、ガス除湿器５５、ＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７、Ｈ２Ｓ−ＳＯ２変換器５８、ＳＯ２濃度測定器５９、ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１、Ｈ２Ｓ濃度補正器６２、Ｈ２Ｓ制御器６３を組み込んでいる。また、ガス濃度自動調節計６４には、ＳＯ２濃度調整器６６、ＮＯ２濃度調整器６７、Ｈ２Ｓ濃度調整器６８を備えている。
【００４０】
前記恒温槽温度調整装置３９は、図１に示すように、試験槽９の後測の恒温槽１０内に、隔壁６９により上下方向に延びる温度調節通路７０を区画形成している。温度調整通路７０には、上端と下端とにおいて恒温槽１０と連絡し、冷凍機７１に接続された冷却器７２と、電源７３に接続されたヒータ７４とを下から上に向かって順次に配設している。温度調整通路７０上端には、循環モータ７５で駆動される循環送風機７６を配設している。
【００４１】
前記冷却器７２とヒータ７４とは、プログラム温度制御器７７に接続されている。プログラム温度制御器７７には、恒温槽温度設定器７８と前記試験プログラム設定器２６とが接続されている。恒温槽温度設定器７８には、後述する風量調節器８１の前面吹出部８２に設けた恒温槽１０内の温度を測定する恒温槽温度測定器７９を接続している。試験プログラム設定器２６には、試験槽９内に設けた乾球温度及び湿球温度を測定する乾湿球温度測定器８０を接続している。
【００４２】
プログラム温度制御器７７は、恒温槽温度設定器７８により設定された恒温槽温度と恒温槽温度測定器７９が測定した恒温槽１０の温度とを入力し、試験プログラム設定器２６により設定され試験槽温度と乾湿球温度測定器８０が測定した乾湿球温度とを入力し、これら入力した温度に基づいて試験槽９内の温度が所定の設定温度になるように、冷却器制御信号及びヒータ制御信号により冷却器７２及びヒータ７４を駆動して恒温槽１０の温度を調節する。
【００４３】
プログラム温度制御器７７は、試験槽９内の温度が試験プログラム設定器２６の設定温度到達後、制御法を切換えて、それまでの試験プログラム設定器の設定値単独の信号でヒータを制御する方式から恒温槽温度設定器７８からの信号によってもヒータ回路を制御する方式にする。
【００４４】
これにより、ガス腐食試験装置１は、恒温槽１０に供給する空気温度をプログラム温度制御器７７が試験槽９の設定温度到達後に設定器２６と恒温槽温度設定器７８の２つの信号によるヒータ制御に切換えることにより、試験槽９の設定温度と同一かそれ以上に調整して循環させることで試験槽９を間接的に加熱・冷却し、試験槽９内の温度を所定の設定温度に調整することができる。
【００４５】
この恒温槽温度調整装置３９は、循環送風機７６が吹き出す空気を恒温槽１０の各部に均等に分配供給する風量調節器８１を備えている。風量調節器８１は、内壁上部１３と外壁上部１７との間の恒温槽１０に配置されている。
【００４６】
風量調節器８１は、図２・図３に示すように、試験槽９上方の後側（循環送風機側）に配設される後側吹出部８２と、試験槽９上方の中央部位に配設される中央吹出部８３と、試験槽９上方の前側（外扉側）に配設される前側吹出部８４とによって、平面視において略Ｈ字形状に形成される風量調整通路８５を設けている。
【００４７】
後側吹出部８２には、循環送風機７６の送風口８６に接続されて風量調整通路８５に空気を導入する導入口８７を設け、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の後側の恒温槽１０に向かって下方に吹き出す後側吹出口８８を設けている。中央吹出部８３には、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の上面１３に向かって下方に吹き出す中央吹出口８９と、試験槽９両側方の恒温槽１０側面に向かって各測方に吹き出す測方吹出口９０・９１とを設けている。前側吹部出口８４には、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の前側の恒温槽１０に向かって下方に吹き出す前側吹出口９２を設けている。各吹出口８８〜９２は最適な吹出量になるように、各々の開口面積を設定している。
【００４８】
これにより、ガス腐食試験装置１は、循環送風機７６が吹き出す空気を風量調整器８１によって恒温槽１０の各部に空気を均等に分配供給することができ、恒温槽１０の各部の温度を同一にすることができ、試験槽９内の温度を設定温度に安定させることができる。
【００４９】
この恒温槽温度調整装置３９は、試験プログラム設定器２６（温度調整器７７）によって、試験槽９内の温度を現在の設定温度から他の設定温度に移行させる際に、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達する前後において、以下のように、恒温槽１０に供給する空気温度を調整する。恒温槽温度調整装置３９は、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達する前は、乾湿球温度測定器８０の測定する試験槽９内の温度に基づき試験プログラム設定器２６（温度調整器７７）により恒温槽１０に供給する空気温度を調整し、また、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達した後は、乾湿球温度測定器８０の測定する試験槽９内の温度と恒温槽温度測定器７９の測定する恒温槽１０内の温度とに基づき恒温槽１０に供給する空気温度を調整する。
【００５０】
これにより、ガス腐食試験装置１は、間接加熱式特有の、温度移行時に恒温槽１０の温度の移行に対して試験槽９の温度の移行遅れによるオーバーシュート、アンダーシュートを抑え、短時間で試験槽９の温度を安定させることができ、オーバーシュート、アンダーシュートに起因して発生する試験槽９内の壁面の結露を防止することができる。
【００５１】
前記試験槽湿度調整装置４０は、湿度発生器９３を湿度供給管９４により試験槽９の内壁底部１１の湿度供給口９５に接続している。湿度発生器９３は、前記試験プログラム設定器２６が接続されている。湿度調節器９６は、試験プログラム設定器２６により設定された試験槽９の温度と乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度とを入力し、これら入力した湿度及び温度に基づいて試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように、湿度制御信号により湿度発生器９３を駆動して恒温槽１０の湿度を調節する。これにより、ガス腐食試験機１は、試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように試験槽９に供給する蒸気を調整することができる。
【００５２】
この試験槽湿度調整装置４０は、乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度から、試験槽９内の壁面温度と試験槽９内の露点温度との差が設定値に収束するように、試験槽９に供給する蒸気を調整する。例えば、試験槽湿度調整装置４０は、湿度調節器９４によって、試験槽９内の壁面温度ｔ１と試験槽９内の露点温度ｔ２との差Δｔ（ｔ１−ｔ２）を求め、差Δｔが設定値以上のときは湿度発生器９１を駆動し、差Δｔが設定値以内のときは湿度発生器９０を停止することで、試験槽９内に供給する蒸気を調整する。なお、露点温度は、乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度から求め、あるいは、試験槽９内に配設した露点温度測定器（図示せず）により求める。これにより、ガス腐食試験装置１は、ガス腐食試験中においても試験槽９内の壁面の結露を防止することができる。
【００５３】
このように、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に供給する腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように調整し、試験槽９内を形成する内壁７の壁面に結露が発生しないように温度及び湿度を変化させる温湿度サイクル試験を行いながら、試験槽９内の濃度管理されているガス雰囲気下で試料Ｓのガス腐食試験を行うことができるので、実環境にあったガス腐食試験が可能となる。
【００５４】
また、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に結露が発生しないので、試験槽９内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができ、結露水へのガス溶解がないので、ガス消費量を少なくすることができ、ランニングコストの低減にも寄与する。
【００５５】
さらに、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に設置した試料Ｓの結露状態を検出する結露センサ９７を備え、この結露センサ９７を前記試験プログラム設定器２６に接続し、腐食ガスを使用しない予備試験時に試料Ｓの結露状態を結露センサ９７により検出して試料Ｓに結露させる条件、および／または、結露なしの条件を設定・確認し、その値を基に腐食ガスを使用する本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う前記結露量設定・表示器３１を備えている。これにより、このガス腐食試験装置１は、試料Ｓの結露の有無を選択して試験を行うことができ、試料Ｓの使用目的に合致した試験を行うことができる。
【００５６】
なお、上述の風量調整器８１は、図９に示すように構成することもできる。図９に示す風量調整器８１は、循環送風機７６の送風口８６から導入口８７を介して風量調整通路８５に導入された空気を、後側吹出部８２の後側吹出口８８に案内する後側案内板９８を設け、中央吹出部８３の側方吹出口９０・９１に案内する側方案内板９９・１００を設けている。
【００５７】
図９に示す風量調整器８１は、導入口８７により風量調整通路８５に導入された空気の流れ方向に対して、空気が流れにくい位置にある後側吹出口８８、側方吹出口９０・９１に空気を積極的に案内することができるので、恒温槽１０の各部に空気をより均等に分配供給することができ、恒温槽１０の各部の温度を同一にすることができ、試験槽９内の温度を設定温度に安定させることができる。
【実施例】
【００５８】
本発明を、例を用いて更に詳細に説明する。
（実施例１）試料として電子回路のプリント基板を用いた。
試験条件、移行時間、試験回数を設定する。
試験条件１に温度：２５℃、湿度：６０％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露なしで設定し、
試験条件２に温度：６０℃、湿度：９５％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露なしで設定し、
移行時間：１時間、試験回数：１００回で設定しガス腐食試験を行ったところ、試験槽内に結露が発生することなく、腐食ガスＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを設定濃度に保ったままガス腐食試験を行うことができた。
【００５９】
（実施例２）試料として電子回路のプリント基板を用いた。
試験条件、移行時間、試験回数を設定する。
試験条件１に温度：２５℃、湿度：６０％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露ありで設定し、
試験条件２に温度：６０℃、湿度：９５％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露ありで設定し、
移行時間：１時間、試験回数：１００回で設定しガス腐食試験を行ったところ、試料面のみに結露が発生し、試料面以外では試験槽内には結露が発生することなく、腐食ガスＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを設定濃度に保ったままガス腐食試験を行うことができた。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
この発明は、試験槽内の壁面に結露が発生しないように温湿度サイクル試験を行いながら、試験槽内の濃度管理されたガス雰囲気下で試料のガス腐食試験を行うものであり、より実環境に即した再現性のある腐食試験装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１ ガス腐食試験装置
９ 試験槽
１０ 恒温槽
３２ 排気処理装置
３３ 排気送風機
３８ ガス供給装置
３９ 恒温槽温度調整装置
４０ 試験槽湿度調整装置
４１ ガス供給手段
４２ ガス供給量調整手段
４３ ＳＯ２ボンベ
４４ ＮＯ２ボンベ
４５ Ｈ２Ｓボンベ
４６ 空気供給機
４９ ＳＯ２供給量調整弁
５０ ＮＯ２供給量調整弁
５１ Ｈ２Ｓ供給量調整弁
５２ 空気供給量調整弁
５６ ＳＯ２濃度測定器
５７ ＮＯ２濃度測定器
５８ Ｈ２Ｓ−ＳＯ２変換器
５９ ＳＯ２濃度測定器
６０ ＳＯ２制御器
６１ ＮＯ２制御器
６２ Ｈ２Ｓ濃度補正器
６３ Ｈ２Ｓ制御器
７０ 温度調整通路
７２ 冷却器
７４ ヒータ
７６ 循環送風機
７７ プログラム温度制御器
７８ 恒温槽温度設定器
７９ 恒温槽温度測定器
８０ 乾湿球温度測定器
８１ 風量調整器
９３ 湿度発生器
９６ 湿度調整器
９７ 結露センサ
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス腐食試験装置に係わり、特に、温湿度サイクル試験が可能で単一または複数混合のガス試験におけるガス濃度を自動で調整できるガス腐食試験装置に関する。
【０００２】
電子部品、めっき製品、その他製品の耐ガス腐食性の試験を行う腐食試験装置には、試験槽内に設置した試料に２種類以上の腐食ガスを接触させて前記試料の腐食試験を行うガス腐食試験装置（特許文献１）がある。
【０００３】
ガス腐食試験装置では、結露が発生すると、発生した結露水にガスが溶解し、ガス濃度が安定しないという問題があり、これを解決するために、ガス腐食試験で使用される腐食ガスの水分を除去するガス腐食試験機（特許文献２）、試験槽に連絡する空気の経路に対して他方の経路に加湿槽を介装し、両経路を混合・切換えて試験槽に連通することで試験槽の温度を調整する環境試験装置の湿度調整装置（特許文献３）がある。
【０００４】
また、試験槽外側を覆う含水性材質に温度調整された液体を注液し、試験槽内温度を調整する環境試験槽（特許文献４）、試料に水を噴射しながら結露センサの出力で調湿装置により試験槽内の湿度を調整し、試料に一定粒径の結露を生じさせる耐候性試験装置（特許文献５）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３１０８７２９号
【特許文献２】特許第２９９０１６７号
【特許文献３】特許第２９９０１７０号
【特許文献４】特許第２９７５６０１号
【特許文献５】特許第２９４２４４４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のガス腐食試験装置には、試験槽内に結露水が発生し、腐食ガスが結露水に溶解してガス濃度が安定しないため試験の再現性が悪いという問題があった。このため、試験槽内の結露を防止するために、試験で使用する腐食ガスから水分を除去する技術や、空気の経路と加湿器を介した経路とを混合・切換えて試験槽に連通して湿度調整を行う技術が用いられているが、試験槽を形成する蓋や蓋と本体とのパッキンシール部分が外気と触れているために、その部分から温度が低下してしまい、例えば温度４０℃、湿度９５％ＲＨで試験した場合など試験条件によっては、試験槽内の壁面に結露が発生していた。
【０００７】
また、従来のガス腐食試験装置においては、温度や湿度を変化させる温湿度サイクル試験を行うと、温度や湿度の移行時に試験槽内に結露水が発生し、腐食ガスが結露水に溶解してガス濃度が安定しないため、温湿度サイクル試験を行いながらガス腐食試験を行うことができなかった。
【０００８】
このため、従来のガス腐食試験装置では、屋外の自然環境において、日々繰り返される昼夜の温度差や、屋外と屋内における温度差等の、自然環境下で実際に試料が受けている「温度ショック」を再現する温湿度サイクル試験を行う考えはあったが、実際には温湿度サイクル試験を行うことは困難であった。
【０００９】
また、試験槽外周から加熱する間接加熱方式では、温度移行時に試験槽内の温度が試験槽外周の恒温槽（エアジャケット）温度に大きく遅れるため移行する温度にオーバーシュート、アンダーシュートを生じ、これに起因して試験槽内の壁面に結露が発生する。このため、間接加熱方式で温湿度サイクル試験を行いながら、ガス腐食試験を行うと、試験槽内の壁面に発生した結露水に腐食ガスが溶解し、ガス濃度が安定しないことや、結露水が原因で温度上昇が遅れることにより、試験結果の再現性が良くないという恐れがあった。
【００１０】
さらに、従来のガス腐食試験装置は、試験槽内の壁面に対する結露防止手段を備えていないため、結露を防止することができなかった。また、結露の発生は試験槽平面のみではなく、試料に発生する場合もあるが、試料の結露の有無を確認することができなかった。このため、試料表面の結露の有無によっても試験結果が異なってしまい、試験の再現性が悪いという問題があった。
【００１１】
さらに、２種類以上の腐食ガスによりガス腐食試験を行うガス腐食試験装置においては、Ｈ２Ｓ、ＳＯ２を同時に供給して試験槽内で各々のガスの濃度を自動コントロールしながら試験を行うものが無かった。これは、Ｈ２Ｓの濃度を直接測定する測定器がないためであり、Ｈ２Ｓの濃度を測定する場合には、Ｈ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換（２Ｈ２Ｓ＋３Ｏ２→２ＳＯ２＋２Ｈ２Ｏ）し、ＳＯ２測定器で測定していた。しかし、測定する気体内にＨ２ＳとＳＯ２が混在している場合には、混在しているＳＯ２も測定されてしまうため、測定値がＨ２Ｓのみの濃度ではなくなり、Ｈ２Ｓの濃度が実際よりも高く測定されてしまう問題があった。
【００１２】
この発明は、試験槽内の壁面に結露を生じさせることなく温湿度サイクル試験を行いながら、常にガス濃度を管理されているガス雰囲気下でガス腐食試験を行うことができ、試験槽内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができるガス腐食試験装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の請求項１は、温度及び湿度を制御する手段を有する試験槽内に少なくとも１種類の腐食ガスを供給し、前記腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように制御する手段を設け、前記試験槽内に設置した試料に前記単一または複数の腐食ガスを接触させて前記試料のガス腐食試験を行うガス腐食試験機において、前記試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、前記腐食ガス濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、前記設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とする。
【００１４】
この発明の請求項２は、前記試験槽を内壁により区画形成し、前記試験槽全てを囲むように外壁により恒温槽を区画形成し、前記試験槽内に供給する少なくとも１種類の腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置を備え、前記試験槽内の温度が所定の設定温度になるように前記恒温槽に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置を備え、前記試験槽内の湿度が所定の設定湿度になるように前記試験槽に供給する蒸気を調整する試験槽湿度調整装置を備え、前記恒温槽温度調整装置は、前記恒温槽の各部に空気を均等に分配供給する風量調整器を備え、前記恒温槽温度調整装置は、前記試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際に、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達する前は前記試験槽内の温度に基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整し、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達した後は前記試験槽内の温度と前記恒温槽内の温度とに基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整することを特徴とする。
【００１５】
この発明の請求項３は、前記試験槽内に設定した試料の結露状態を検出する結露センサを備え、予備試験時に試料の結露状態を検出して試料に結露させる条件、及び／または、結露無しの条件を設定・確認し、その値を基に本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う結露量設定・表示器を備えることを特徴とする。
【００１６】
この発明の請求項４は、前記試験槽湿度調整装置は、前記試験槽内の壁面温度と前記試験槽内の露点温度との差が設定値に収束するように前記試験槽に供給する蒸気を調整することを特徴とする。
【００１７】
この発明の請求項５は、前記ガス供給装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの三種類の腐食ガスを前記試験槽に供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備え、前記ガス供給量調整手段は、前記試験槽内から取り出したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度を単独で測定し、単独で測定したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき前記試験槽内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整するとともに、前記試験槽内から取り出したＨ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換し、変換したＳＯ２のガス濃度を測定し、変換後測定したＳＯ２のガス濃度を前記単独で測定したＳＯ２のガス濃度で補正する電子回路によりＨ２Ｓ単独のガス濃度を求め、求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき前記試験槽内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＨ２Ｓのガス供給量を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
この発明の請求項１のガス腐食試験装置は、温湿度サイクル試験中に試験槽内壁に結露の発生がないため、安定したガス雰囲気下で試料のガス腐食試験を行うことができるので再現性のある、実環境にあったガス腐食試験が可能となる。
【００１９】
この発明の請求項２のガス腐食試験装置は、試験槽内に結露が発生しないので、試験槽内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができ、ランニングコストの低減にも寄与する。また、試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際、恒温槽に供給する空気温度の制御方法を、他の設定温度に到達する前後で変化させることにより、試験槽内壁に結露を発生させることなく他の設定温度への移行時間の短縮を行うことができる。これにより、単位時間当たりのサイクル試験回数を増やすことが可能となる。
【００２０】
この発明の請求項３のガス腐食試験装置は、試料の結露の有無を選択して試験を行うことができ、試料の使用目的に合致した試験を行うことができる。
【００２１】
この発明の請求項４のガス腐食試験装置は、温湿度サイクル試験中においても試験槽内の壁面の結露を防止することができる。
【００２２】
この発明の請求項５のガス腐食試験装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスのガス濃度を自動で調整できるので、試験の精度及び再現性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】ガス腐食試験装置のシステム構成図である。
【図２】ガス腐食試験装置の風量調整器部分の平面図である。
【図３】風量調整器の斜視図である。
【図４】ガス腐食試験装置の平面図である。
【図５】ガス腐食試験装置の正面図である。
【図６】図５のガス腐食試験装置のＶＩ−ＶＩ線による断面図である。
【図７】ガス濃度自動調節計の正面図である。
【図８】ガス濃度自動調節計の側面図である。
【図９】ガス腐食試験装置の風量調整器部分の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
この発明は、試験槽内の濃度管理されているガス雰囲気下で、試験槽内の壁面に結露が発生することを防止し、温湿度サイクル試験を行いながら試料のガス腐食試験を行うものである。
以下、図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１〜図８は、この発明の実施の形態を示すものである。図４〜図６において、１はガス腐食試験装置、２は架台、３は本体である。ガス腐食試験装置１は、架台２上に本体３を搭載している。本体３は、試験部４と、制御部５と排気部６とを備えている。
【００２６】
前記試験部４は、内壁７と外壁８とにより二重壁構造とし、試験槽９を内壁７により区画形成し、試験槽９を囲むように外壁８により恒温槽１０を区画形成している。内壁７は、四角板状の内壁底部１１と四角筒状の内壁測部１２と四角板状の内壁上部１３とにより四角箱形状にされ、内壁測部１２に試料Ｓを試験槽９に出し入れする内壁扉１４を設けている。外壁８は、四角板状の外壁底部１５と四角筒状の外壁測部１６と四角板状の外壁上部１７とにより四角箱形状にされ、外壁測部１６に内壁扉１４にアクセスするための外壁扉１８を設けている。
【００２７】
前記試験槽９内には、下方に試料Ｓを載せる試料枠１９を設け、試料枠１９の上方に試料Ｓを吊す試料吊り棒２０を設け、試料枠１９下方の最下部にガスを攪拌する攪拌翼２１を設けている。攪拌翼２１は、内壁底部１１から下方外部の架台２内に延長される攪拌軸２２の上端に取り付けられている。攪拌軸２２の下端は、架台２内に設置した攪拌モータ２３に連結されている。
【００２８】
前記制御部５には、電源スイッチ２４、制御盤２５、試験プログラム設定器２６、運転時間計２７、記録計（ガス濃度３点、乾球温度、湿度、結露）２８、温度偏差調節器（試験槽壁温度、湿球温度）２９、ガス流量設定器（ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓ、空気）３０、結露量設定・表示器３１、が設けられている。
【００２９】
前記排気部６には、排気処理装置３２、排気送風機３３、ガス漏れ警報機操作盤３４が設けられている。排気処理装置３２は、図１に示すよう、試験槽９内の排気口３５から排気管３６に排出された腐食ガスを無害化処理し、排気送風機３３で外部に排出する。排気送風機３３は、排気モータ３７で駆動され、腐食試験中に試験槽９を吸引することで、試験槽９内を負圧状態にする。
【００３０】
このガス腐食試験装置１は、図１に示すように、試験槽９内に設置した試料Ｓに腐食ガスを接触させて試料Ｓのガス腐食試験を行うものであり、試験槽９を内壁７により区画形成し、試験槽９を囲むように外壁８により恒温槽１０を区画形成している。
【００３１】
ガス腐食試験装置１は、試験槽９内に供給する腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置３８を備え、試験槽９内の温度が所定の設定温度になるように恒温槽１０に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置３９を備え、試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように試験槽９に供給する蒸気を調整する試験槽温度調整装置４０を備えている。
【００３２】
前記ガス供給装置３８は、腐食ガスとして、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスを試験槽９に供給するガス供給手段４１と、このガス供給手段４１によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段４２とを備えている。
【００３３】
前記ガス供給手段４１は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの３種類の腐食ガスを貯蔵するＳＯ２ボンベ４３、ＮＯ２ボンベ４４、Ｈ２Ｓボンベ４５を設け、ガス希釈用の空気を供給する空気供給器４６を設けている。これら各ボンベ４３〜４５及び空気供給機４６には、ガス供給管４７の一端側を分岐して並列に接続している。ガス供給管４７は途中で集合して他端側を試験槽９内の内壁底部１１に設けたガス供給口４８に接続している。各ボンベ４３〜４５直下流のガス供給管４７には、それぞれＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１を設けている。また、空気供給機４６直下流のガス供給管４７には、空気供給量調整弁５２を設けている。
【００３４】
ガス供給手段４１は、ＳＯ２ボンベ４３、ＮＯ２ボンベ４４、Ｈ２Ｓボンベ４５からＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２ＳをＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１でそれぞれ調整して取り出し、取り出したＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを空気供給機４６から空気供給量調整弁５２で調整して取り出した空気により希釈し、ガス供給管４７によりガス供給口４８から試験槽９に供給する。
【００３５】
前記ガス供給量調整手段４２は、試験槽９の壁部１２に設けたガス取出口５３に一端側を接続するガス取出管５４の途中にガス除湿器５５を設け、ガス取出管５４の他端側を分岐してＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７に並列に接続するとともに、Ｈ２Ｓ―ＳＯ２変換器５８を介してＳＯ２濃度測定器５９に並列に接続している。ＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７は、ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１にそれぞれ接続している。ＳＯ２濃度測定器５９は、ＳＯ２濃度測定器５６に接続したＨ２Ｓ濃度補正器６２を介してＨ２Ｓ制御器６３に接続している。ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１、Ｈ２Ｓ制御器６３は、前記ＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０、Ｈ２Ｓ供給量調整弁５１に接続している。
【００３６】
ガス供給量調整手段４２は、試験槽９から取り出した混合ガス中のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度をＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７により単独で測定し、測定されたＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度をＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１に入力する。ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１は、測定されたＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき、試験槽９内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように、ガス供給量制御信号によりガス供給手段４１のＳＯ２供給量調整弁４９、ＮＯ２供給量調整弁５０を駆動してＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整する。
【００３７】
また、ガス供給量調整手段４２は、試験槽９から取り出した混合ガス中のＨ２ＳをＨ２Ｓ―ＳＯ２変換器５８によりＯ２と反応させてＳＯ２に変換（２Ｈ２Ｓ＋３Ｏ２→２ＳＯ２＋２Ｈ２Ｏ）し、Ｈ２Ｓから変換されたＳＯ２のガス濃度をＳＯ２濃度測定器５９により測定する。この測定値には、混合ガス中に単独で存在したＳＯ２の濃度が含まれている。そこで、ガス供給量調整手段４２は、Ｈ２Ｓ濃度補正器６２により、ＳＯ２濃度測定器５９が測定した変換されたＳＯ２のガス濃度を、ＳＯ２濃度測定器５６が測定した単独のＳＯ２のガス濃度で補正（変換されたＳＯ２のガス濃度−単独のＳＯ２のガス濃度）して、Ｈ２Ｓ単独のガス濃度を求める。求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき、試験槽９内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように、ガス供給量制御信号によりガス供給手段４１のＨ２Ｓ供給量調整弁５１を駆動してＨ２Ｓのガス供給量を調整する。
【００３８】
これにより、ガス腐食試験装置１は、ガス供給装置３８のガス供給手段４１とガス供給量調整手段４２によって、試験槽９内に供給する３種類の腐食ガス（ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓ）をそれぞれ所定の設定濃度になるように自動で調整して供給することができるので、試験の精度及び再現性を向上することができる。
【００３９】
なお、ガス供給装置３８のガス供給量調整手段４２は、図７・図８に示すように、ガス濃度自動調節計６４としてガス腐食試験装置１と別体に構成している。ガス濃度自動調節計６４は、本体６５内に、ガス除湿器５５、ＳＯ２濃度測定器５６、ＮＯ２濃度測定器５７、Ｈ２Ｓ−ＳＯ２変換器５８、ＳＯ２濃度測定器５９、ＳＯ２制御器６０、ＮＯ２制御器６１、Ｈ２Ｓ濃度補正器６２、Ｈ２Ｓ制御器６３を組み込んでいる。また、ガス濃度自動調節計６４には、ＳＯ２濃度調整器６６、ＮＯ２濃度調整器６７、Ｈ２Ｓ濃度調整器６８を備えている。
【００４０】
前記恒温槽温度調整装置３９は、図１に示すように、試験槽９の後測の恒温槽１０内に、隔壁６９により上下方向に延びる温度調節通路７０を区画形成している。温度調整通路７０には、上端と下端とにおいて恒温槽１０と連絡し、冷凍機７１に接続された冷却器７２と、電源７３に接続されたヒータ７４とを下から上に向かって順次に配設している。温度調整通路７０上端には、循環モータ７５で駆動される循環送風機７６を配設している。
【００４１】
前記冷却器７２とヒータ７４とは、プログラム温度制御器７７に接続されている。プログラム温度制御器７７には、恒温槽温度設定器７８と前記試験プログラム設定器２６とが接続されている。恒温槽温度設定器７８には、後述する風量調節器８１の前面吹出部８２に設けた恒温槽１０内の温度を測定する恒温槽温度測定器７９を接続している。試験プログラム設定器２６には、試験槽９内に設けた乾球温度及び湿球温度を測定する乾湿球温度測定器８０を接続している。
【００４２】
プログラム温度制御器７７は、恒温槽温度設定器７８により設定された恒温槽温度と恒温槽温度測定器７９が測定した恒温槽１０の温度とを入力し、試験プログラム設定器２６により設定され試験槽温度と乾湿球温度測定器８０が測定した乾湿球温度とを入力し、これら入力した温度に基づいて試験槽９内の温度が所定の設定温度になるように、冷却器制御信号及びヒータ制御信号により冷却器７２及びヒータ７４を駆動して恒温槽１０の温度を調節する。
【００４３】
プログラム温度制御器７７は、試験槽９内の温度が試験プログラム設定器２６の設定温度到達後、制御法を切換えて、それまでの試験プログラム設定器の設定値単独の信号でヒータを制御する方式から恒温槽温度設定器７８からの信号によってもヒータ回路を制御する方式にする。
【００４４】
これにより、ガス腐食試験装置１は、恒温槽１０に供給する空気温度をプログラム温度制御器７７が試験槽９の設定温度到達後に設定器２６と恒温槽温度設定器７８の２つの信号によるヒータ制御に切換えることにより、試験槽９の設定温度と同一かそれ以上に調整して循環させることで試験槽９を間接的に加熱・冷却し、試験槽９内の温度を所定の設定温度に調整することができる。
【００４５】
この恒温槽温度調整装置３９は、循環送風機７６が吹き出す空気を恒温槽１０の各部に均等に分配供給する風量調節器８１を備えている。風量調節器８１は、内壁上部１３と外壁上部１７との間の恒温槽１０に配置されている。
【００４６】
風量調節器８１は、図２・図３に示すように、試験槽９上方の後側（循環送風機側）に配設される後側吹出部８２と、試験槽９上方の中央部位に配設される中央吹出部８３と、試験槽９上方の前側（外扉側）に配設される前側吹出部８４とによって、平面視において略Ｈ字形状に形成される風量調整通路８５を設けている。
【００４７】
後側吹出部８２には、循環送風機７６の送風口８６に接続されて風量調整通路８５に空気を導入する導入口８７を設け、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の後側の恒温槽１０に向かって下方に吹き出す後側吹出口８８を設けている。中央吹出部８３には、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の上面１３に向かって下方に吹き出す中央吹出口８９と、試験槽９両側方の恒温槽１０側面に向かって各測方に吹き出す測方吹出口９０・９１とを設けている。前側吹部出口８４には、風量調整通路８５に供給された空気を試験槽９の前側の恒温槽１０に向かって下方に吹き出す前側吹出口９２を設けている。各吹出口８８〜９２は最適な吹出量になるように、各々の開口面積を設定している。
【００４８】
これにより、ガス腐食試験装置１は、循環送風機７６が吹き出す空気を風量調整器８１によって恒温槽１０の各部に空気を均等に分配供給することができ、恒温槽１０の各部の温度を同一にすることができ、試験槽９内の温度を設定温度に安定させることができる。
【００４９】
この恒温槽温度調整装置３９は、試験プログラム設定器２６（温度調整器７７）によって、試験槽９内の温度を現在の設定温度から他の設定温度に移行させる際に、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達する前後において、以下のように、恒温槽１０に供給する空気温度を調整する。恒温槽温度調整装置３９は、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達する前は、乾湿球温度測定器８０の測定する試験槽９内の温度に基づき試験プログラム設定器２６（温度調整器７７）により恒温槽１０に供給する空気温度を調整し、また、試験槽９内の温度が他の設定温度に到達した後は、乾湿球温度測定器８０の測定する試験槽９内の温度と恒温槽温度測定器７９の測定する恒温槽１０内の温度とに基づき恒温槽１０に供給する空気温度を調整する。
【００５０】
これにより、ガス腐食試験装置１は、間接加熱式特有の、温度移行時に恒温槽１０の温度の移行に対して試験槽９の温度の移行遅れによるオーバーシュート、アンダーシュートを抑え、短時間で試験槽９の温度を安定させることができ、オーバーシュート、アンダーシュートに起因して発生する試験槽９内の壁面の結露を防止することができる。
【００５１】
前記試験槽湿度調整装置４０は、湿度発生器９３を湿度供給管９４により試験槽９の内壁底部１１の湿度供給口９５に接続している。湿度発生器９３は、前記試験プログラム設定器２６が接続されている。湿度調節器９６は、試験プログラム設定器２６により設定された試験槽９の温度と乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度とを入力し、これら入力した湿度及び温度に基づいて試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように、湿度制御信号により湿度発生器９３を駆動して恒温槽１０の湿度を調節する。これにより、ガス腐食試験機１は、試験槽９内の湿度が所定の設定湿度になるように試験槽９に供給する蒸気を調整することができる。
【００５２】
この試験槽湿度調整装置４０は、乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度から、試験槽９内の壁面温度と試験槽９内の露点温度との差が設定値に収束するように、試験槽９に供給する蒸気を調整する。例えば、試験槽湿度調整装置４０は、湿度調節器９４によって、試験槽９内の壁面温度ｔ１と試験槽９内の露点温度ｔ２との差Δｔ（ｔ１−ｔ２）を求め、差Δｔが設定値以上のときは湿度発生器９１を駆動し、差Δｔが設定値以内のときは湿度発生器９０を停止することで、試験槽９内に供給する蒸気を調整する。なお、露点温度は、乾湿球温度測定器８０の測定した乾湿球温度から求め、あるいは、試験槽９内に配設した露点温度測定器（図示せず）により求める。これにより、ガス腐食試験装置１は、ガス腐食試験中においても試験槽９内の壁面の結露を防止することができる。
【００５３】
このように、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に供給する腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように調整し、試験槽９内を形成する内壁７の壁面に結露が発生しないように温度及び湿度を変化させる温湿度サイクル試験を行いながら、試験槽９内の濃度管理されているガス雰囲気下で試料Ｓのガス腐食試験を行うことができるので、実環境にあったガス腐食試験が可能となる。
【００５４】
また、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に結露が発生しないので、試験槽９内のガス濃度の安定性及び試験結果の再現性を向上することができ、結露水へのガス溶解がないので、ガス消費量を少なくすることができ、ランニングコストの低減にも寄与する。
【００５５】
さらに、このガス腐食試験装置１は、試験槽９内に設置した試料Ｓの結露状態を検出する結露センサ９７を備え、この結露センサ９７を前記試験プログラム設定器２６に接続し、腐食ガスを使用しない予備試験時に試料Ｓの結露状態を結露センサ９７により検出して試料Ｓに結露させる条件、および／または、結露なしの条件を設定・確認し、その値を基に腐食ガスを使用する本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う前記結露量設定・表示器３１を備えている。これにより、このガス腐食試験装置１は、試料Ｓの結露の有無を選択して試験を行うことができ、試料Ｓの使用目的に合致した試験を行うことができる。
【００５６】
なお、上述の風量調整器８１は、図９に示すように構成することもできる。図９に示す風量調整器８１は、循環送風機７６の送風口８６から導入口８７を介して風量調整通路８５に導入された空気を、後側吹出部８２の後側吹出口８８に案内する後側案内板９８を設け、中央吹出部８３の側方吹出口９０・９１に案内する側方案内板９９・１００を設けている。
【００５７】
図９に示す風量調整器８１は、導入口８７により風量調整通路８５に導入された空気の流れ方向に対して、空気が流れにくい位置にある後側吹出口８８、側方吹出口９０・９１に空気を積極的に案内することができるので、恒温槽１０の各部に空気をより均等に分配供給することができ、恒温槽１０の各部の温度を同一にすることができ、試験槽９内の温度を設定温度に安定させることができる。
【実施例】
【００５８】
本発明を、例を用いて更に詳細に説明する。
（実施例１）試料として電子回路のプリント基板を用いた。
試験条件、移行時間、試験回数を設定する。
試験条件１に温度：２５℃、湿度：６０％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露なしで設定し、
試験条件２に温度：６０℃、湿度：９５％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露なしで設定し、
移行時間：１時間、試験回数：１００回で設定しガス腐食試験を行ったところ、試験槽内に結露が発生することなく、腐食ガスＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを設定濃度に保ったままガス腐食試験を行うことができた。
【００５９】
（実施例２）試料として電子回路のプリント基板を用いた。
試験条件、移行時間、試験回数を設定する。
試験条件１に温度：２５℃、湿度：６０％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露ありで設定し、
試験条件２に温度：６０℃、湿度：９５％ＲＨ、腐食ガス及び濃度ＳＯ２：１ｐｐｍ、ＮＯ２：１ｐｐｍ、Ｈ２Ｓ：８ｐｐｍ、試験時間：１時間、試料面：結露ありで設定し、
移行時間：１時間、試験回数：１００回で設定しガス腐食試験を行ったところ、試料面のみに結露が発生し、試料面以外では試験槽内には結露が発生することなく、腐食ガスＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓを設定濃度に保ったままガス腐食試験を行うことができた。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
この発明は、試験槽内の壁面に結露が発生しないように温湿度サイクル試験を行いながら、試験槽内の濃度管理されたガス雰囲気下で試料のガス腐食試験を行うものであり、より実環境に即した再現性のある腐食試験装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１ ガス腐食試験装置
９ 試験槽
１０ 恒温槽
３２ 排気処理装置
３３ 排気送風機
３８ ガス供給装置
３９ 恒温槽温度調整装置
４０ 試験槽湿度調整装置
４１ ガス供給手段
４２ ガス供給量調整手段
４３ ＳＯ２ボンベ
４４ ＮＯ２ボンベ
４５ Ｈ２Ｓボンベ
４６ 空気供給機
４９ ＳＯ２供給量調整弁
５０ ＮＯ２供給量調整弁
５１ Ｈ２Ｓ供給量調整弁
５２ 空気供給量調整弁
５６ ＳＯ２濃度測定器
５７ ＮＯ２濃度測定器
５８ Ｈ２Ｓ−ＳＯ２変換器
５９ ＳＯ２濃度測定器
６０ ＳＯ２制御器
６１ ＮＯ２制御器
６２ Ｈ２Ｓ濃度補正器
６３ Ｈ２Ｓ制御器
７０ 温度調整通路
７２ 冷却器
７４ ヒータ
７６ 循環送風機
７７ プログラム温度制御器
７８ 恒温槽温度設定器
７９ 恒温槽温度測定器
８０ 乾湿球温度測定器
８１ 風量調整器
９３ 湿度発生器
９６ 湿度調整器
９７ 結露センサ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度及び湿度を制御する手段を有する試験槽内に少なくとも１種類の腐食ガスを供給し、前記腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように制御する手段を設け、
試験槽内に設置した試料に前記腐食ガスを接触させて前記試料のガス腐食試験を行うガス腐食試験機において、
前記試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、前記腐食ガスの濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、
前記設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とするガス腐食試験装置。
【請求項２】
前記試験槽を内壁により区画形成し、
前記試験槽全てを囲むように外壁により恒温槽を区画形成し、
前記試験槽内に供給する少なくとも１種類の腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置を備え、
前記試験槽内の温度が所定の設定温度になるように前記恒温槽に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置を備え、
前記試験槽内の湿度が所定の設定湿度になるように前記試験槽に供給する蒸気を調整する試験槽湿度調整装置を備え、
前記恒温槽温度調整装置は、前記恒温槽の各部に空気を均等に分配供給する風量調整器を備え、
前記恒温槽温度調整装置は、前記試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際に、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達する前は前記試験槽内の温度に基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整し、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達した後は前記試験槽内の温度と前記恒温槽内の温度とに基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整することを特徴とする請求項１に記載のガス腐食試験装置。
【請求項３】
前記試験槽内に設定した試料の結露状態を検出する結露センサを備え、
予備試験時に試料の結露状態を検出して試料に結露させる条件、及び／または、結露無しの条件を設定・確認し、
その値を基に本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う結露量設定・表示器を備えることを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【請求項４】
前記試験槽湿度調整装置は、前記試験槽内の壁面温度と前記試験槽内の露点温度との差が設定値に収束するように前記試験槽に供給する蒸気を調整することを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【請求項５】
前記ガス供給装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの三種類の腐食ガスを前記試験槽に供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備え、
前記ガス供給量調整手段は、前記試験槽内から取り出したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度を単独で測定し、単独で測定したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき前記試験槽内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整するとともに、
前記試験槽内から取り出したＨ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換し、変換したＳＯ２のガス濃度を測定し、変換後測定したＳＯ２のガス濃度を前記単独で測定したＳＯ２のガス濃度で補正する電子回路によりＨ２Ｓ単独のガス濃度を求め、求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき前記試験槽内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＨ２Ｓのガス供給量を調整することを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【請求項１】
温度及び湿度を制御する手段を有する試験槽内に少なくとも１種類の腐食ガスを供給し、前記腐食ガスの濃度が所定の設定濃度になるように制御する手段を設け、
試験槽内に設置した試料に前記腐食ガスを接触させて前記試料のガス腐食試験を行うガス腐食試験機において、
前記試験槽の壁面に結露を発生させないようにする温度と、湿度と、前記腐食ガスの濃度との設定値を各々少なくとも１つの条件で設定し、
前記設定した条件の試験を１回または複数回組合せて所定の温度移行時間ごとに繰り返す温湿度サイクル試験を行うことを特徴とするガス腐食試験装置。
【請求項２】
前記試験槽を内壁により区画形成し、
前記試験槽全てを囲むように外壁により恒温槽を区画形成し、
前記試験槽内に供給する少なくとも１種類の腐食ガスを所定の設定濃度になるように調整して供給するガス供給装置を備え、
前記試験槽内の温度が所定の設定温度になるように前記恒温槽に供給する空気温度を調整する恒温槽温度調整装置を備え、
前記試験槽内の湿度が所定の設定湿度になるように前記試験槽に供給する蒸気を調整する試験槽湿度調整装置を備え、
前記恒温槽温度調整装置は、前記恒温槽の各部に空気を均等に分配供給する風量調整器を備え、
前記恒温槽温度調整装置は、前記試験槽内の温度を他の設定温度に移行させる際に、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達する前は前記試験槽内の温度に基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整し、前記試験槽内の温度が他の設定温度に到達した後は前記試験槽内の温度と前記恒温槽内の温度とに基づき前記恒温槽に供給する空気温度を調整することを特徴とする請求項１に記載のガス腐食試験装置。
【請求項３】
前記試験槽内に設定した試料の結露状態を検出する結露センサを備え、
予備試験時に試料の結露状態を検出して試料に結露させる条件、及び／または、結露無しの条件を設定・確認し、
その値を基に本試験時の結露の有無に合わせて条件の設定とその表示を行う結露量設定・表示器を備えることを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【請求項４】
前記試験槽湿度調整装置は、前記試験槽内の壁面温度と前記試験槽内の露点温度との差が設定値に収束するように前記試験槽に供給する蒸気を調整することを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【請求項５】
前記ガス供給装置は、ＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓの三種類の腐食ガスを前記試験槽に供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２、Ｈ２Ｓのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備え、
前記ガス供給量調整手段は、前記試験槽内から取り出したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度を単独で測定し、単独で測定したＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度に基づき前記試験槽内のＳＯ２、ＮＯ２の各ガス濃度がそれぞれ所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＳＯ２、ＮＯ２のガス供給量を調整するとともに、
前記試験槽内から取り出したＨ２ＳをＯ２と反応させてＳＯ２に変換し、変換したＳＯ２のガス濃度を測定し、変換後測定したＳＯ２のガス濃度を前記単独で測定したＳＯ２のガス濃度で補正する電子回路によりＨ２Ｓ単独のガス濃度を求め、求められたＨ２Ｓのガス濃度に基づき前記試験槽内のＨ２Ｓのガス濃度が所定の設定濃度になるように前記ガス供給手段によるＨ２Ｓのガス供給量を調整することを特徴とする請求項２に記載のガス腐食試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１１−２１８９９（Ｐ２０１１−２１８９９Ａ）
【公開日】平成２３年２月３日（２０１１．２．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１６４５２２（Ｐ２００９−１６４５２２）
【出願日】平成２１年７月１３日（２００９．７．１３）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り 平成２１年６月３０日 スガ試験機株式会社発行の「ＳＵＧＡ ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＮＥＷＳ（第５３巻第２号通巻２１０号）」に発表
【出願人】（０００１０７５８３）スガ試験機株式会社 (28)
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年２月３日（２０１１．２．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月１３日（２００９．７．１３）
【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第１項適用申請有り 平成２１年６月３０日 スガ試験機株式会社発行の「ＳＵＧＡ ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＮＥＷＳ（第５３巻第２号通巻２１０号）」に発表
【出願人】（０００１０７５８３）スガ試験機株式会社 (28)
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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