ゲートバルブ及び搬送方法
【課題】処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図る。
【解決手段】処理室に跨って搬送されるカセットが通過する開口部12と、この開口部12を開閉する弁体13と、この弁体13を移動させる移動機構とを備え、処理室に隣接して配置されるゲートバルブにおいて、弁体13によって開口部12が開かれた状態で、開口部12を通過するカセットをこのカセットの下側から支持するカセット支持機構14を備える。
【解決手段】処理室に跨って搬送されるカセットが通過する開口部12と、この開口部12を開閉する弁体13と、この弁体13を移動させる移動機構とを備え、処理室に隣接して配置されるゲートバルブにおいて、弁体13によって開口部12が開かれた状態で、開口部12を通過するカセットをこのカセットの下側から支持するカセット支持機構14を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば液晶注入装置等の真空処理装置に用いられるゲートバルブに関する。また、本発明は、真空処理室等にゲートバルブを跨いで搬送物を搬送するための搬送方法に関する。
【背景技術】
【0002】
液晶パネルの内部に液晶を注入する工程について、図6を参照して説明する。図6は、液晶注入装置を模式的に示す斜視図である。
【0003】
液晶パネル(図示せず)は、液晶パネルの注入孔を下向きにした状態でカセット1内に収納されて搬送される。液晶注入工程では、液晶パネルの注入孔を下向きにした状態で、液晶パネルの内部が真空に排気される。一般的に、液晶パネルの製造工程では、液晶パネルが、液晶パネルが収納されたカセット1ごとに処理室(例えば、第1の処理室ないし第3の処理室)に搬入される。続いて、処理室を排気することで、処理室内の液晶パネルは、外側も内側も真空になる。その状態で、液晶を皿状の容器に入れ、この容器内の液晶を液晶パネルの液晶注入孔に接触させることで、液晶自身で液晶注入孔を封止し、液晶パネルの内部と外部とを遮断する。その後、真空室の圧力を徐々に大気圧に戻すことで、液晶パネルの内部は真空のままであるので、液晶パネルの内外の圧力差によって容器内の液晶は液晶パネルの内部に注入される。液晶パネルの内部が液晶で満たされると、液晶パネルの内部とその外部との圧力差がなくなり、注入工程は完了する。この種の液晶注入方法としては特許文献1に開示されている。
【0004】
また、液晶が注入される液晶パネルは、2枚の透明基板が数ミクロンの間隔をあけた状態で貼り合わせられ、これら透明基板の外周部が樹脂材によって封止(シール)されて構成されている。このため、液晶パネルの内部を真空に排気したり、内部に液晶を注入したりする工程は、数十時間から数時間を要することが多い。そのため、処理室としては、一度に複数の液晶パネルを同時に処理できるように構成されたものが多い。
【0005】
複数の液晶パネルを同時に処理する場合には、例えば、液晶パネルが数十枚ずつ厚み方向に配列されるように矩形箱状のカセット51内に収納されて搬送される。複数の液晶パネルが配列されて収納されたカセット51は、複数のカセット51ごとに、例えば図6に示す例では3つのカセット51ごとにまとめて、カセットロード(搭載)位置で、カセット搬送機構56の搬送板や搬送ローラ等の搬送部材の上に載せられる。なお、便宜上、図においては、各カセット51に収納された液晶パネルを図示していない。
【0006】
その後、第1のゲートバルブ53aが開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで第1の処理室52a内に搬送され、第1のゲートバルブ53aが閉じられる。第1の処理室52aでは、液晶パネルが加熱されて、液晶パネルの温度が所定の温度まで上げられ、液晶の注入速度を速めたり、液晶パネルの残留応力を減らしたりする処理が行なわれる。
【0007】
次に、第2のゲートバルブ53bが開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで、第1の処理室52aから第2の処理室52bに搬送され、第2のゲートバルブ53bが閉じられる。第2の処理室52bでは、液晶パネルの内部を真空に排気するために、処理室52の内部を真空にする。
【0008】
続いて、第3のゲートバルブ53が開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで第2の処理室52bから第3の処理室52cに搬送され、第3のゲートバルブ53cが閉じられる。第3の処理室52cでは、液晶パネルの内部に液晶が注入される。なお、図6では、液晶を注入するための液晶注入機構などの図示を省略する。
【0009】
次に、第4のゲートバルブ53dが開けられ、3個のカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで、第3の処理室52cからカセットアンロード位置まで搬送され、カセット51は次工程へと進行する。
【0010】
液晶パネルの製造工程の中で、1つの工程の処理時間が比較的長く、複数の液晶パネルをカセット51に収納し、同時に複数の液晶パネルをまとめて処理を行うような過程は、液晶注入工程だけで採用されている。そのため、液晶パネルは、その前工程が終了すると、カセット51にそれぞれ収納され、液晶注入工程が終了した後、カセット51からそれぞれ取り出されることになる。カセット搬送機構56は、カセットロード位置、各処理室52の内部、カセットアンロード位置等の各位置においては、カセット51の搬送のための搬送部材をどのような形態にも構成することができる。しかし、搬送部材によってカセット51を直接搬送する構成では、矩形箱状のカセット51の短辺方向に沿って搬送する場合、図7A及び図7Bに示すように、処理室52とゲートバルブ53との間で、ゲートバルブ53の搬送方向の寸法だけ長くなってしまう。したがって、ゲートバルブ53の直前に配置された搬送部材と、ゲートバルブ53の直後に配置された搬送部材との間隔が広く離れ過ぎて、カセット51が次の搬送部材に到達する前に、カセット1の重心が搬送部材から外れてしまう。その結果、ゲートバルブ53を跨いでカセット51を搬送することができなくなってしまう問題がある。
【0011】
このため、従来のカセット搬送機構は、図8に示すように、ゲートバルブ53を跨ぐときはカセット51の長手方向に沿って搬送し、各処理室52内ではカセット51の長辺(長手)方向に交差する短辺方向に沿って搬送している。このように搬送することで、ゲートバブル53の箇所でカセット搬送機構56の搬送部材の間隔が広くなっても、カセット51がゲートバルブ53を通過できるように工夫していた。
【0012】
また、他の従来のカセット搬送機構の例としては、図9に示すように、それぞれの処理室52内においてもカセット51の長辺方向に沿って搬送するように構成されたものが開示されている。
【0013】
また、上述したように、各処理室52の間等にゲートバルブ53が配置されたことによってカセット51を搬送するカセット搬送機構56の搬送部材56aの間隔が広くなってしまう。しかしながら、図10に示すように、カセット51の長辺方向に沿って搬送する場合には、カセット搬送機構56の搬送部材56aの配置間隔に比較して、カセット51の長辺方向の寸法が十分に長く確保される。このため、カセット51の長辺方向に沿って搬送する場合は、ゲートバルブ53を跨いでカセット51を通過させることが比較的容易に行うことができる。
【特許文献1】特開2002−207219号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0014】
ところで、図8に示したようなカセット搬送機構では、カセット51の搬送方向を直角に変えるために、カセット搬送機構56が、カセット51の長辺方向用の搬送機構と、この長辺方向に直交する短辺方向用の搬送機構との2種類が必要になる。さらに、カセット51を搬送する2種類の搬送機構のいずれかを鉛直方向に昇降させるなどの昇降機構によって、カセット51を載せ換えるための機構を必要とする。このため、液晶注入装置の構成が複雑化し、液晶注入装置の製造コストが増加してしまうといった問題がある。
【0015】
また、図9に示したように、カセット搬送機構が、カセット51の長辺方向のみに沿って搬送するように構成された場合には、カセット51の長辺方向に沿って処理室52が長い長方形状になり、液晶注入装置の全長が長くなってしまう。さらに加えて、処理室52の内容積に比べ壁面の面積が大きくなってしまう。その結果、処理室を製造するための製造コストが増大すると共に、真空に排気するときの排気性能を低下させるといった問題がある。
【0016】
そこで、本発明は、上述した課題を解決し、処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図ることができるゲートバルブ、および搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0017】
上述の目的を達成するため、本発明に係るゲートバルブは、処理室に跨って搬送される搬送物が通過する開口部と、この開口部を開閉する弁体と、この弁体を移動させる移動機構とを備え、処理室に隣接して配置される。このゲートバルブは、弁体によって開口部が開かれた状態で、開口部を通過する搬送物を、この搬送物の下側から支持する支持機構を備える。
【0018】
また、本発明に係る搬送方法は、処理室に隣接して配置されたゲートバルブの開口部が弁体によって開かれた状態で、処理室とゲートバルブとに跨って搬送されて開口部を通過する搬送物を、ゲートバルブに配置された支持部材によって搬送物の下側から支持して搬送する。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、開口部を通過する途中の搬送物を、搬送物の下側から支持する支持機構を備えることによって、処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0021】
図1は、本実施形態の液晶注入装置を模式的に示した斜視図である。図2は、カセットを搬送するカセット搬送機構を示す斜視図である。
【0022】
実施形態の液晶注入装置は、図1に示すように、被処理物としての液晶パネル(不図示)に液晶を注入するための第1の処理室2a、第2の処理室2b、第3の処理室2cを備えている。また、この液晶注入装置は、複数の液晶パネルが収納されたカセット(搬送用カセット)1を第1の処理室2aから第3の処理室2cに搬送する複数の搬送部材6aを有するカセット搬送機構6を備えている。
【0023】
そして、この液晶注入装置には、各処理室2を気密に閉じるための第1のゲートバルブ3aないし第4のゲートバルブ3dが各処理室2に隣接して設けられている。各ゲートバルブ3は、第1の処理室2aの搬入側、第1の処理室2aないし第3の処理室2cの間、第3の処理室2cの搬出側にそれぞれ配置されている。
【0024】
また、各ゲートバルブ3には、各処理室2に跨って搬送されるカセット1を支持するカセット支持機構14が設けられている。このカセット支持機構14を備える実施形態のゲートバルブ3の構成については後述する。
【0025】
カセット1は、略矩形箱状に形成されており、複数の液晶パネルが厚み方向に配列された状態で収納されている。また、カセット搬送機構6の搬送部材としては、搬送ローラが用いられた例を示すが、例えば搬送板や搬送用ボール、搬送ベルト等が用いられてもよい。
【0026】
図2は、本実施形態のゲートバルブを備える液晶注入装置を示す斜視図である。図2に示すように、液晶注入装置では、処理室2に隣接してゲートバルブ3が配置されることでカセット搬送機構6の搬送部材6aの配置間隔が広くなる。しかしながら、この液晶注入装置では、実施形態のゲートバルブ3が用いられることで、カセット1の短辺方向に沿って搬送する場合であっても、ゲートバルブ3をカセット1が円滑に通過することが可能にされている。
【0027】
次に、本実施形態のゲートバルブ3について、具体的な構成を説明する。
【0028】
(第1の実施形態)
図3Aから図3Cは、弁体13が水平方向に移動して開口部12を開閉する、第1の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。なお、図3Aから図3Cでは、便宜上、弁箱11における開口部12近傍の一部を切り欠いて示している。
【0029】
第1の実施形態のゲートバルブ3は、図3Aに示すように、カセット1を通過させる開口部12を有する弁箱11と、開口部12を開閉する弁体13と、弁体13を移動させる移動機構(不図示)とを備えている。また、このゲートバルブ3は、開口部12を通過するカセット1を支持するカセット支持機構14を備えている。
【0030】
弁体13は、開口部12を閉塞するに足る大きさに形成されており、矢印方向に移動可能に弁箱11に支持されている。カセット支持機構14は、カセット1の下側からカセット1の底面を支持する一組のカセット支持部材14aと、これらカセット支持部材14aを開口部12に対して昇降させる昇降機構(不図示)とを有している。
【0031】
各カセット支持部材14aは、略棒状に形成されており、弁箱11の内部に所定の間隔をあけて配置されている。カセット支持部材14aの先端部には、カセット搬送機構6によって搬送されているカセット1の底面を支持する回転体16が、カセット1の搬送方向に回転自在に設けられている。回転体16としては、例えば円筒状のローラや、球体が用いられている。なお、カセット支持部材14aは、先端部が、カセット1の底面に摺接するような円弧状等に形成されてもよい。昇降機構は、弁体13を移動させる移動機構に同期して動作するように構成されている。
【0032】
カセット支持部材14aは、弁体13の移動に同期して昇降機構が動作することで、開口部12から先端部が退避した退避位置と、先端部がカセット1の底面を支持する支持位置とに昇降される。
【0033】
図3Aに示すように、開口部12が閉じられた状態で、カセット支持部材14aの先端部が弁体13の閉動作を妨げない退避位置に移動されている。図3Bは、開口部12が開かれた状態を示している。図3Bに示すように、弁体13は、移動機構によって開口部12を開く位置に移動されているが、カセット支持部材14aは未だ退避位置に待機している。図3Cは、カセット支持機構14のカセット支持部材14aが、カセット1の底面を支持する支持位置まで上昇された状態を示している。図3Cに示すように、弁体13によって開口部12が開かれた後、カセット支持部材14aは、昇降機構によって支持位置に上昇される。
【0034】
実施形態のゲートバルブ3によれば、カセット1は、開口部12を通過するとき、カセット支持部材14aによって底面が支持されるので、カセット搬送機構6の搬送部材6aによって処理室2とゲートバルブ3とに跨って円滑に搬送される。
【0035】
なお、カセット支持機構としては、カセット支持部材14aの先端部によって、カセット1の底面を支持する構成に限定されるものではなく、例えばカセット1の側面等から突出するガイド部(不図示)を形成し、このガイド部を支持するように構成されてもよい。
【0036】
(第2の実施形態)
第1の実施形態のゲートバルブ3は、弁体13が水平方向に開閉される構成が採られたが、鉛直(上下)方向に開閉される構成が採られてもよい。弁体が上下方向に開閉される構成の場合には、カセット支持部材の配置のみが、第1の実施形態と異なっている。なお、第2の実施形態のゲートバルブは、第1の実施形態と構成部材が同一であるため、便宜上、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【0037】
図4Aから図4Cは、弁体13が上下方向に移動して開口部12を開閉する、第2の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。
【0038】
第2の実施形態のゲートバルブ3は、図4Aないし図4Cに示すように、カセット1の下側からカセット1の底面を支持する一組のカセット支持部材14aを有している。図4中では、ゲートバルブ3を切り欠いて示す都合上、カセット支持部材14aを1つだけ図示している。カセット支持機構14の各カセット支持部材14aの動作は、図3Aから図3Cを参照して説明した動作と同様であるため、説明を省略する。
【0039】
本実施形態においても、カセット搬送機構6によって搬送されるカセット1は、開口部12を通過するときに、カセット支持部材14aによって底面が支持される。このため、カセット1は、カセット搬送機構6の搬送部材6aによって処理室2とゲートバルブ3とに跨って円滑に搬送される。
【0040】
(第3の実施形態)
上述した第2の実施形態では、上下方向に移動して開口部12を開閉する弁体13が、開口部12の上方に移動されて開口部12が開かれる構成が採られたが、開口部12の下方に移動されて開口部12が開かれる構成が採られてもよい。なお、第3の実施形態のゲートバルブにおいて、第1の実施形態と同一の構成部材には、便宜上、同一符号を付して説明を省略する。
【0041】
図5A及び図5Bは、弁体13が上下方向に移動して開口部12を開閉する、第3の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。
【0042】
図5A及び図5Bに示すように、開口部12に対して上下方向に移動される弁体13は、開口部12が開かれた状態で、開口部12の下方向に位置されている。このため、本実施形態では、カセット支持機構14の各カセット支持部材14aが、弁体13の上端部側に固定されて設けられている。
【0043】
カセット支持機構14は、弁体13が開口部12を開く位置に移動された状態で、弁体13に固定されたカセット支持部材14aの先端部が、カセット1の底面を支持する支持位置に位置するように位置決めされている。
【0044】
本実施形態のゲートバルブ3によれば、カセット支持部材14aを昇降動作させるための昇降機構が不要になるので、ゲートバルブ3の構成の簡素化が図られ、液晶注入装置の小型化、製造コストの低減を図ることができる。
【0045】
上述したように、各実施形態のゲートバルブ3は、弁体13によって開かれた開口部12を通過する途中のカセット1を、カセット1の下側から支持するカセット支持機構14を備えている。この構成によって、カセット1が開口部12を通過するときに、カセット1の重心がカセット搬送機構6の搬送部材6aから外れないように支持することができる。したがって、本実施形態のゲートバルブ3によれば、処理室2とゲートバルブ3とに跨って、または2つの処理室2間に跨って開口部12を通過するカセット1を円滑に搬送すると共に、処理室2や液晶注入装置等の製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】実施形態の液晶注入装置を一部切り欠いて模式的に示す斜視図である。
【図2】上記液晶注入装置におけるカセット搬送機構を模式的に示す斜視図である。
【図3A】第1の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図3B】第1の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれた状態を示す斜視図である。
【図3C】第1の実施形態のゲートバルブにおいてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図4A】第2の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図4B】第2の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれた状態を示す斜視図である。
【図4C】第2の実施形態のゲートバルブにおいてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図5A】第3の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図5B】第3の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図6】従来の液晶注入装置を模式的に示す斜視図である。
【図7A】従来のカセット搬送機構の構成を説明するための斜視図である。
【図7B】従来のカセット搬送機構の構成を説明するための斜視図である。
【図8】従来のカセット搬送機構の動作を説明するための斜視図である。
【図9】従来のカセット搬送機構において、カセットの長辺方向に沿って搬送する構成を示す模式的に示す斜視図である。
【図10】従来のカセット搬送機構において、カセットの長辺方向に沿って搬送されたカセットがゲートバルブを通過する状態を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【0047】
1 カセット(搬送物)
2 処理室
2a 第1の処理室
2b 第2の処理室
2c 第3の処理室
3 ゲートバルブ
3a 第1のゲートバルブ
3b 第2のゲートバルブ
3c 第3のゲートバルブ
6 カセット搬送機構
6a 搬送部材
11 弁箱
12 開口部
13 弁体
14 カセット支持機構(支持機構)
14a カセット支持部材(支持部材)
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば液晶注入装置等の真空処理装置に用いられるゲートバルブに関する。また、本発明は、真空処理室等にゲートバルブを跨いで搬送物を搬送するための搬送方法に関する。
【背景技術】
【0002】
液晶パネルの内部に液晶を注入する工程について、図6を参照して説明する。図6は、液晶注入装置を模式的に示す斜視図である。
【0003】
液晶パネル(図示せず)は、液晶パネルの注入孔を下向きにした状態でカセット1内に収納されて搬送される。液晶注入工程では、液晶パネルの注入孔を下向きにした状態で、液晶パネルの内部が真空に排気される。一般的に、液晶パネルの製造工程では、液晶パネルが、液晶パネルが収納されたカセット1ごとに処理室(例えば、第1の処理室ないし第3の処理室)に搬入される。続いて、処理室を排気することで、処理室内の液晶パネルは、外側も内側も真空になる。その状態で、液晶を皿状の容器に入れ、この容器内の液晶を液晶パネルの液晶注入孔に接触させることで、液晶自身で液晶注入孔を封止し、液晶パネルの内部と外部とを遮断する。その後、真空室の圧力を徐々に大気圧に戻すことで、液晶パネルの内部は真空のままであるので、液晶パネルの内外の圧力差によって容器内の液晶は液晶パネルの内部に注入される。液晶パネルの内部が液晶で満たされると、液晶パネルの内部とその外部との圧力差がなくなり、注入工程は完了する。この種の液晶注入方法としては特許文献1に開示されている。
【0004】
また、液晶が注入される液晶パネルは、2枚の透明基板が数ミクロンの間隔をあけた状態で貼り合わせられ、これら透明基板の外周部が樹脂材によって封止(シール)されて構成されている。このため、液晶パネルの内部を真空に排気したり、内部に液晶を注入したりする工程は、数十時間から数時間を要することが多い。そのため、処理室としては、一度に複数の液晶パネルを同時に処理できるように構成されたものが多い。
【0005】
複数の液晶パネルを同時に処理する場合には、例えば、液晶パネルが数十枚ずつ厚み方向に配列されるように矩形箱状のカセット51内に収納されて搬送される。複数の液晶パネルが配列されて収納されたカセット51は、複数のカセット51ごとに、例えば図6に示す例では3つのカセット51ごとにまとめて、カセットロード(搭載)位置で、カセット搬送機構56の搬送板や搬送ローラ等の搬送部材の上に載せられる。なお、便宜上、図においては、各カセット51に収納された液晶パネルを図示していない。
【0006】
その後、第1のゲートバルブ53aが開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで第1の処理室52a内に搬送され、第1のゲートバルブ53aが閉じられる。第1の処理室52aでは、液晶パネルが加熱されて、液晶パネルの温度が所定の温度まで上げられ、液晶の注入速度を速めたり、液晶パネルの残留応力を減らしたりする処理が行なわれる。
【0007】
次に、第2のゲートバルブ53bが開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで、第1の処理室52aから第2の処理室52bに搬送され、第2のゲートバルブ53bが閉じられる。第2の処理室52bでは、液晶パネルの内部を真空に排気するために、処理室52の内部を真空にする。
【0008】
続いて、第3のゲートバルブ53が開けられ、3つのカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで第2の処理室52bから第3の処理室52cに搬送され、第3のゲートバルブ53cが閉じられる。第3の処理室52cでは、液晶パネルの内部に液晶が注入される。なお、図6では、液晶を注入するための液晶注入機構などの図示を省略する。
【0009】
次に、第4のゲートバルブ53dが開けられ、3個のカセット51は、搬送部材に載せられた状態のままで、第3の処理室52cからカセットアンロード位置まで搬送され、カセット51は次工程へと進行する。
【0010】
液晶パネルの製造工程の中で、1つの工程の処理時間が比較的長く、複数の液晶パネルをカセット51に収納し、同時に複数の液晶パネルをまとめて処理を行うような過程は、液晶注入工程だけで採用されている。そのため、液晶パネルは、その前工程が終了すると、カセット51にそれぞれ収納され、液晶注入工程が終了した後、カセット51からそれぞれ取り出されることになる。カセット搬送機構56は、カセットロード位置、各処理室52の内部、カセットアンロード位置等の各位置においては、カセット51の搬送のための搬送部材をどのような形態にも構成することができる。しかし、搬送部材によってカセット51を直接搬送する構成では、矩形箱状のカセット51の短辺方向に沿って搬送する場合、図7A及び図7Bに示すように、処理室52とゲートバルブ53との間で、ゲートバルブ53の搬送方向の寸法だけ長くなってしまう。したがって、ゲートバルブ53の直前に配置された搬送部材と、ゲートバルブ53の直後に配置された搬送部材との間隔が広く離れ過ぎて、カセット51が次の搬送部材に到達する前に、カセット1の重心が搬送部材から外れてしまう。その結果、ゲートバルブ53を跨いでカセット51を搬送することができなくなってしまう問題がある。
【0011】
このため、従来のカセット搬送機構は、図8に示すように、ゲートバルブ53を跨ぐときはカセット51の長手方向に沿って搬送し、各処理室52内ではカセット51の長辺(長手)方向に交差する短辺方向に沿って搬送している。このように搬送することで、ゲートバブル53の箇所でカセット搬送機構56の搬送部材の間隔が広くなっても、カセット51がゲートバルブ53を通過できるように工夫していた。
【0012】
また、他の従来のカセット搬送機構の例としては、図9に示すように、それぞれの処理室52内においてもカセット51の長辺方向に沿って搬送するように構成されたものが開示されている。
【0013】
また、上述したように、各処理室52の間等にゲートバルブ53が配置されたことによってカセット51を搬送するカセット搬送機構56の搬送部材56aの間隔が広くなってしまう。しかしながら、図10に示すように、カセット51の長辺方向に沿って搬送する場合には、カセット搬送機構56の搬送部材56aの配置間隔に比較して、カセット51の長辺方向の寸法が十分に長く確保される。このため、カセット51の長辺方向に沿って搬送する場合は、ゲートバルブ53を跨いでカセット51を通過させることが比較的容易に行うことができる。
【特許文献1】特開2002−207219号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0014】
ところで、図8に示したようなカセット搬送機構では、カセット51の搬送方向を直角に変えるために、カセット搬送機構56が、カセット51の長辺方向用の搬送機構と、この長辺方向に直交する短辺方向用の搬送機構との2種類が必要になる。さらに、カセット51を搬送する2種類の搬送機構のいずれかを鉛直方向に昇降させるなどの昇降機構によって、カセット51を載せ換えるための機構を必要とする。このため、液晶注入装置の構成が複雑化し、液晶注入装置の製造コストが増加してしまうといった問題がある。
【0015】
また、図9に示したように、カセット搬送機構が、カセット51の長辺方向のみに沿って搬送するように構成された場合には、カセット51の長辺方向に沿って処理室52が長い長方形状になり、液晶注入装置の全長が長くなってしまう。さらに加えて、処理室52の内容積に比べ壁面の面積が大きくなってしまう。その結果、処理室を製造するための製造コストが増大すると共に、真空に排気するときの排気性能を低下させるといった問題がある。
【0016】
そこで、本発明は、上述した課題を解決し、処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図ることができるゲートバルブ、および搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0017】
上述の目的を達成するため、本発明に係るゲートバルブは、処理室に跨って搬送される搬送物が通過する開口部と、この開口部を開閉する弁体と、この弁体を移動させる移動機構とを備え、処理室に隣接して配置される。このゲートバルブは、弁体によって開口部が開かれた状態で、開口部を通過する搬送物を、この搬送物の下側から支持する支持機構を備える。
【0018】
また、本発明に係る搬送方法は、処理室に隣接して配置されたゲートバルブの開口部が弁体によって開かれた状態で、処理室とゲートバルブとに跨って搬送されて開口部を通過する搬送物を、ゲートバルブに配置された支持部材によって搬送物の下側から支持して搬送する。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、開口部を通過する途中の搬送物を、搬送物の下側から支持する支持機構を備えることによって、処理室とゲートバルブとに跨って開口部を通過する搬送物を円滑に搬送すると共に、処理室等の製造コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0020】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0021】
図1は、本実施形態の液晶注入装置を模式的に示した斜視図である。図2は、カセットを搬送するカセット搬送機構を示す斜視図である。
【0022】
実施形態の液晶注入装置は、図1に示すように、被処理物としての液晶パネル(不図示)に液晶を注入するための第1の処理室2a、第2の処理室2b、第3の処理室2cを備えている。また、この液晶注入装置は、複数の液晶パネルが収納されたカセット(搬送用カセット)1を第1の処理室2aから第3の処理室2cに搬送する複数の搬送部材6aを有するカセット搬送機構6を備えている。
【0023】
そして、この液晶注入装置には、各処理室2を気密に閉じるための第1のゲートバルブ3aないし第4のゲートバルブ3dが各処理室2に隣接して設けられている。各ゲートバルブ3は、第1の処理室2aの搬入側、第1の処理室2aないし第3の処理室2cの間、第3の処理室2cの搬出側にそれぞれ配置されている。
【0024】
また、各ゲートバルブ3には、各処理室2に跨って搬送されるカセット1を支持するカセット支持機構14が設けられている。このカセット支持機構14を備える実施形態のゲートバルブ3の構成については後述する。
【0025】
カセット1は、略矩形箱状に形成されており、複数の液晶パネルが厚み方向に配列された状態で収納されている。また、カセット搬送機構6の搬送部材としては、搬送ローラが用いられた例を示すが、例えば搬送板や搬送用ボール、搬送ベルト等が用いられてもよい。
【0026】
図2は、本実施形態のゲートバルブを備える液晶注入装置を示す斜視図である。図2に示すように、液晶注入装置では、処理室2に隣接してゲートバルブ3が配置されることでカセット搬送機構6の搬送部材6aの配置間隔が広くなる。しかしながら、この液晶注入装置では、実施形態のゲートバルブ3が用いられることで、カセット1の短辺方向に沿って搬送する場合であっても、ゲートバルブ3をカセット1が円滑に通過することが可能にされている。
【0027】
次に、本実施形態のゲートバルブ3について、具体的な構成を説明する。
【0028】
(第1の実施形態)
図3Aから図3Cは、弁体13が水平方向に移動して開口部12を開閉する、第1の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。なお、図3Aから図3Cでは、便宜上、弁箱11における開口部12近傍の一部を切り欠いて示している。
【0029】
第1の実施形態のゲートバルブ3は、図3Aに示すように、カセット1を通過させる開口部12を有する弁箱11と、開口部12を開閉する弁体13と、弁体13を移動させる移動機構(不図示)とを備えている。また、このゲートバルブ3は、開口部12を通過するカセット1を支持するカセット支持機構14を備えている。
【0030】
弁体13は、開口部12を閉塞するに足る大きさに形成されており、矢印方向に移動可能に弁箱11に支持されている。カセット支持機構14は、カセット1の下側からカセット1の底面を支持する一組のカセット支持部材14aと、これらカセット支持部材14aを開口部12に対して昇降させる昇降機構(不図示)とを有している。
【0031】
各カセット支持部材14aは、略棒状に形成されており、弁箱11の内部に所定の間隔をあけて配置されている。カセット支持部材14aの先端部には、カセット搬送機構6によって搬送されているカセット1の底面を支持する回転体16が、カセット1の搬送方向に回転自在に設けられている。回転体16としては、例えば円筒状のローラや、球体が用いられている。なお、カセット支持部材14aは、先端部が、カセット1の底面に摺接するような円弧状等に形成されてもよい。昇降機構は、弁体13を移動させる移動機構に同期して動作するように構成されている。
【0032】
カセット支持部材14aは、弁体13の移動に同期して昇降機構が動作することで、開口部12から先端部が退避した退避位置と、先端部がカセット1の底面を支持する支持位置とに昇降される。
【0033】
図3Aに示すように、開口部12が閉じられた状態で、カセット支持部材14aの先端部が弁体13の閉動作を妨げない退避位置に移動されている。図3Bは、開口部12が開かれた状態を示している。図3Bに示すように、弁体13は、移動機構によって開口部12を開く位置に移動されているが、カセット支持部材14aは未だ退避位置に待機している。図3Cは、カセット支持機構14のカセット支持部材14aが、カセット1の底面を支持する支持位置まで上昇された状態を示している。図3Cに示すように、弁体13によって開口部12が開かれた後、カセット支持部材14aは、昇降機構によって支持位置に上昇される。
【0034】
実施形態のゲートバルブ3によれば、カセット1は、開口部12を通過するとき、カセット支持部材14aによって底面が支持されるので、カセット搬送機構6の搬送部材6aによって処理室2とゲートバルブ3とに跨って円滑に搬送される。
【0035】
なお、カセット支持機構としては、カセット支持部材14aの先端部によって、カセット1の底面を支持する構成に限定されるものではなく、例えばカセット1の側面等から突出するガイド部(不図示)を形成し、このガイド部を支持するように構成されてもよい。
【0036】
(第2の実施形態)
第1の実施形態のゲートバルブ3は、弁体13が水平方向に開閉される構成が採られたが、鉛直(上下)方向に開閉される構成が採られてもよい。弁体が上下方向に開閉される構成の場合には、カセット支持部材の配置のみが、第1の実施形態と異なっている。なお、第2の実施形態のゲートバルブは、第1の実施形態と構成部材が同一であるため、便宜上、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【0037】
図4Aから図4Cは、弁体13が上下方向に移動して開口部12を開閉する、第2の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。
【0038】
第2の実施形態のゲートバルブ3は、図4Aないし図4Cに示すように、カセット1の下側からカセット1の底面を支持する一組のカセット支持部材14aを有している。図4中では、ゲートバルブ3を切り欠いて示す都合上、カセット支持部材14aを1つだけ図示している。カセット支持機構14の各カセット支持部材14aの動作は、図3Aから図3Cを参照して説明した動作と同様であるため、説明を省略する。
【0039】
本実施形態においても、カセット搬送機構6によって搬送されるカセット1は、開口部12を通過するときに、カセット支持部材14aによって底面が支持される。このため、カセット1は、カセット搬送機構6の搬送部材6aによって処理室2とゲートバルブ3とに跨って円滑に搬送される。
【0040】
(第3の実施形態)
上述した第2の実施形態では、上下方向に移動して開口部12を開閉する弁体13が、開口部12の上方に移動されて開口部12が開かれる構成が採られたが、開口部12の下方に移動されて開口部12が開かれる構成が採られてもよい。なお、第3の実施形態のゲートバルブにおいて、第1の実施形態と同一の構成部材には、便宜上、同一符号を付して説明を省略する。
【0041】
図5A及び図5Bは、弁体13が上下方向に移動して開口部12を開閉する、第3の実施形態のゲートバルブの動作を示す斜視図である。
【0042】
図5A及び図5Bに示すように、開口部12に対して上下方向に移動される弁体13は、開口部12が開かれた状態で、開口部12の下方向に位置されている。このため、本実施形態では、カセット支持機構14の各カセット支持部材14aが、弁体13の上端部側に固定されて設けられている。
【0043】
カセット支持機構14は、弁体13が開口部12を開く位置に移動された状態で、弁体13に固定されたカセット支持部材14aの先端部が、カセット1の底面を支持する支持位置に位置するように位置決めされている。
【0044】
本実施形態のゲートバルブ3によれば、カセット支持部材14aを昇降動作させるための昇降機構が不要になるので、ゲートバルブ3の構成の簡素化が図られ、液晶注入装置の小型化、製造コストの低減を図ることができる。
【0045】
上述したように、各実施形態のゲートバルブ3は、弁体13によって開かれた開口部12を通過する途中のカセット1を、カセット1の下側から支持するカセット支持機構14を備えている。この構成によって、カセット1が開口部12を通過するときに、カセット1の重心がカセット搬送機構6の搬送部材6aから外れないように支持することができる。したがって、本実施形態のゲートバルブ3によれば、処理室2とゲートバルブ3とに跨って、または2つの処理室2間に跨って開口部12を通過するカセット1を円滑に搬送すると共に、処理室2や液晶注入装置等の製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】実施形態の液晶注入装置を一部切り欠いて模式的に示す斜視図である。
【図2】上記液晶注入装置におけるカセット搬送機構を模式的に示す斜視図である。
【図3A】第1の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図3B】第1の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれた状態を示す斜視図である。
【図3C】第1の実施形態のゲートバルブにおいてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図4A】第2の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図4B】第2の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれた状態を示す斜視図である。
【図4C】第2の実施形態のゲートバルブにおいてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図5A】第3の実施形態のゲートバルブを示す斜視図である。
【図5B】第3の実施形態のゲートバルブにおいて開口部が開かれてカセット支持部材が支持位置に移動された状態を示す斜視図である。
【図6】従来の液晶注入装置を模式的に示す斜視図である。
【図7A】従来のカセット搬送機構の構成を説明するための斜視図である。
【図7B】従来のカセット搬送機構の構成を説明するための斜視図である。
【図8】従来のカセット搬送機構の動作を説明するための斜視図である。
【図9】従来のカセット搬送機構において、カセットの長辺方向に沿って搬送する構成を示す模式的に示す斜視図である。
【図10】従来のカセット搬送機構において、カセットの長辺方向に沿って搬送されたカセットがゲートバルブを通過する状態を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【0047】
1 カセット(搬送物)
2 処理室
2a 第1の処理室
2b 第2の処理室
2c 第3の処理室
3 ゲートバルブ
3a 第1のゲートバルブ
3b 第2のゲートバルブ
3c 第3のゲートバルブ
6 カセット搬送機構
6a 搬送部材
11 弁箱
12 開口部
13 弁体
14 カセット支持機構(支持機構)
14a カセット支持部材(支持部材)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
処理室に跨って搬送される搬送物が通過する開口部と、該開口部を開閉する弁体と、該弁体を移動させる移動機構とを備え、前記処理室に隣接して配置されるゲートバルブにおいて、
前記弁体によって前記開口部が開かれた状態で、前記開口部を通過する前記搬送物を、前記搬送物の下側から支持する支持機構を備えることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項2】
前記搬送物は、複数の被処理物が収納される搬送用カセットである、請求項1に記載のゲートバルブ。
【請求項3】
前記支持機構は、前記搬送用カセットを下側から支持する支持部材と、前記移動機構による前記弁体の移動に同期して動作されて前記搬送用カセットを支持する支持位置に対して前記支持部材を昇降させる昇降機構とを有している、請求項2に記載のゲートバルブ。
【請求項4】
前記支持機構は、前記搬送用カセットを下側から支持する支持部材を有し、
前記支持部材は前記弁体に固定されて設けられている、請求項2に記載のゲートバルブ。
【請求項5】
前記支持部材は前記搬送用カセットの底面を支持する、請求項2ないし4のいずれか1項に記載のゲートバルブ。
【請求項6】
処理室に隣接して配置されたゲートバルブの開口部が弁体によって開かれた状態で、前記処理室と前記ゲートバルブとに跨って搬送されて前記開口部を通過する搬送物を、前記ゲートバルブに配置された支持部材によって前記搬送物の下側から支持して搬送する搬送方法。
【請求項1】
処理室に跨って搬送される搬送物が通過する開口部と、該開口部を開閉する弁体と、該弁体を移動させる移動機構とを備え、前記処理室に隣接して配置されるゲートバルブにおいて、
前記弁体によって前記開口部が開かれた状態で、前記開口部を通過する前記搬送物を、前記搬送物の下側から支持する支持機構を備えることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項2】
前記搬送物は、複数の被処理物が収納される搬送用カセットである、請求項1に記載のゲートバルブ。
【請求項3】
前記支持機構は、前記搬送用カセットを下側から支持する支持部材と、前記移動機構による前記弁体の移動に同期して動作されて前記搬送用カセットを支持する支持位置に対して前記支持部材を昇降させる昇降機構とを有している、請求項2に記載のゲートバルブ。
【請求項4】
前記支持機構は、前記搬送用カセットを下側から支持する支持部材を有し、
前記支持部材は前記弁体に固定されて設けられている、請求項2に記載のゲートバルブ。
【請求項5】
前記支持部材は前記搬送用カセットの底面を支持する、請求項2ないし4のいずれか1項に記載のゲートバルブ。
【請求項6】
処理室に隣接して配置されたゲートバルブの開口部が弁体によって開かれた状態で、前記処理室と前記ゲートバルブとに跨って搬送されて前記開口部を通過する搬送物を、前記ゲートバルブに配置された支持部材によって前記搬送物の下側から支持して搬送する搬送方法。
【図1】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10】
【図2】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図5A】
【図5B】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9】
【図10】
【公開番号】特開2008−302996(P2008−302996A)
【公開日】平成20年12月18日(2008.12.18)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−149229(P2007−149229)
【出願日】平成19年6月5日(2007.6.5)
【出願人】(000227294)キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【公開日】平成20年12月18日(2008.12.18)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年6月5日(2007.6.5)
【出願人】(000227294)キヤノンアネルバ株式会社 (564)
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