シート切断装置及び切断方法
【課題】 ウエハ等の板状部材に貼付されたシートを板状部材の形状に合わせて切断する際に、ノッチ等の細部形状部が存在していても、これに対応した切り込みを先行して形成し、その後に、板状部材の形状に合わせてシートを切断するシート切断装置及びその方法を提供する。
【解決手段】外周部分に略Ｖ字状のノッチＮを有するウエハＷをシートＳの貼付対象としたときに、前記シートＳをウエハＷに貼付する前に、ノッチＮに対応する切り込みＰＣを細部切断ユニット２００で形成する。切り込みＰＣが形成されたシートＳがウエハＷ上に供給されてプレスロール１４で押圧することで切り込みＰＣがノッチＮに対応した位置で貼付され、当該貼付後に、カッター刃１６を保持するロボット１７を介してウエハＷの外周に沿って切断を行うことで、当該ウエハＷの形状に合わせてシートＳの切断を行うことができる。
【解決手段】外周部分に略Ｖ字状のノッチＮを有するウエハＷをシートＳの貼付対象としたときに、前記シートＳをウエハＷに貼付する前に、ノッチＮに対応する切り込みＰＣを細部切断ユニット２００で形成する。切り込みＰＣが形成されたシートＳがウエハＷ上に供給されてプレスロール１４で押圧することで切り込みＰＣがノッチＮに対応した位置で貼付され、当該貼付後に、カッター刃１６を保持するロボット１７を介してウエハＷの外周に沿って切断を行うことで、当該ウエハＷの形状に合わせてシートＳの切断を行うことができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、外周部分及び／又は面内に細部形状部を備えた板状部材をシート貼付対象とし、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートに対して先に細部形状部に対応する切り込みを設けておき、シートを貼付した後に、板状部材の形状に合わせてシートを切断することができるシート装置及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その表面となる回路面を保護するための保護シートを貼付することが行われている。
【０００３】
このような保護シートの貼付は、ウエハの外周よりはみ出る大きさの保護シートをウエハに貼付することによって行われ、シートを貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカッター刃を移動させることにより、ウエハの形状に合わせてシートが切断されることとなる。
【０００４】
ところで、ウエハは平面形状が略円形をなしており、その外周部分に結晶方位を示す略Ｖ字状のノッチが形成されている場合が多い、従って、略円形の軌跡に沿ってカッター刃を回転させてシートの切断を行った場合には、ノッチ部分にシートが残ってしまうことなる。このように、ノッチ部分にシートが残されると、その粘着面に埃等が付着してしまう他、シート貼付後にウエハの裏面を研削する場合には、研削面側に粘着面が露出することとなり、その粘着剤がグラインダに転着して研削面の平滑精度に悪影響を及ぼすという不都合を招来する。そこで、特許文献１には、ウエハ外周に沿って移動可能なカッター刃をノッチの形成縁に沿って移動させることで、当該ノッチ領域にシートが残らないようにするシート切断装置及び方法が提案されている
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１５４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述したノッチは、非常に小さな細部形状部となるものであり、ノッチ形成縁に沿ってカッター刃の向きを変えながら切断を行うことは実質的に困難な制御となる。そのため、特許文献１の切断方法を採用しても、ノッチ形成縁領域に少量のシートがはみ出して残り、Ｖノッチに完全に対応した切り込み形成は期待できない、という不都合がある。また、カッター刃の移動制御を高精度に実現してシートの残りを完全に解消しようとすると、ノッチ形成縁に無理な負荷が加わってウエハ割れ等の損傷を惹起せしめる、という不都合を招来する。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材に貼付されたシートを板状部材の形状に合わせて切断する際に、例えば、略Ｖ字状のノッチ等からなる細部形状部が存在していても、シートを板状部材に貼付する前の段階で、細部形状部に対応した切り込みを形成し、その後に切り込み以外の領域を板状部材の形状に合わせて切断することのできるシート切断装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記切断手段は、前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みを当該シートに形成する細部切断ユニットと、前記シートを板状部材に貼付した状態で前記細部を除く外周に対応してシートを切断する外周切断ユニットとを備える、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を含み、当該切断刃は、前記シートの面に対して略直交する方向に進退可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【００１０】
また、前記シートは剥離テープに仮着された帯状をなし、前記シートを剥離テープから剥離するためのピールプレート上に前記細部切断ユニットが設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に合わせてシートを切り込み可能なレーザカッターにより構成することもできる。
【００１２】
また、前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに支持されて前記板状部材の外周に沿って移動可能なカッター刃により構成される。
【００１３】
更に、前記細部切断ユニットと前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに交互に支持されるように設けることができる。
【００１４】
また、前記切断装置は、前記シートを検査する検査手段を更に含み、当該検査手段がシートの異常を検出したときに、当該異常部分が前記板状部材に貼付されないように前記シートを空送りするように設けることができる。
【００１５】
また、本発明は、外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成しておき、次いで、前記切り込みが細部形状部に対応するように前記シートを板状部材に貼付し、その後に、前記細部を除く外周に対応してシートを切断する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、シートをウエハに貼付する前に、細部切断ユニットにより、板状部材に形成された細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成できるため、シートを板状部材に貼付した後に細部形状部に対応する切り込み若しくは切断を行う際に生じる不都合、すなわち、不完全な切断や、板状部材の損傷等を確実に防止することができる。
【００１７】
また、細部切断ユニットは細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を備えてシートの面に対して進退可能とされているため、スタンプを押すような動きで瞬時に切り込みが形成できることとなり、切り込み形成時間を短縮することができる。
【００１８】
更に、ピールプレート上に細部切断ユニットが設けられた構成とすれば、切り込み形成時のシート支持面としてピールプレートを有効利用することができ、専用のカッターダイを不要とすることができる。
【００１９】
また、前記細部切断ユニットがレーザカッターにより構成された場合には、細部形状が種々異なる板状部材にシートを貼付して切断する場合でも容易に対応することができる。すなわち、レーザの走査軌跡はプログラムにより制御できるので、細部形状部に応じた走査軌跡を簡単に設定、変更することで種々の細部形状部に対応した切断が可能となる。
【００２０】
更に、外周切断ユニットが数値制御可能な多関節型のロボットに支持される構成では、カッター刃を姿勢調整しながら移動させることも容易となり、半導体ウエハのような外周の断面形状が面取り加工されているような形状であっても、板状部材からはみ出すことなくシートを切断することが可能となる。
【００２１】
また、細部切断ユニットと前記外周切断ユニットがロボットに交互に支持される構成とすれば、ロボットを共通の駆動源として有効利用することができ、また、細部切断位置を変更した場合の対応も容易となる。
【００２２】
なお、本明細書において、「細部」とは、輪郭が入り組んでいる場合を勿論含む他、板状部材が平面視で屈曲した領域を有する場合の当該屈曲領域等も含む概念として用いられる。つまり、カッター刃が移動する方向における刃縁の向きを細かく変更若しくは制御することが難しい領域は本発明の細部に含めることができる。従って、結晶方位を示すノッチに替えて、オリエンテーションフラットが形成されたウエハの場合にあっては、円弧状の領域と直線領域とが交わる屈曲部間の直線状部も細部に含めれば、シート貼付後の切断は円弧状の軌跡に沿った移動のみとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１には、本実施形態に係るシート切断装置及び切断方法が適用されたウエハ処理装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、ウエハ処理装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、外周部分に細部形状部となる略Ｖ字状のノッチＮが形成された板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着性のシートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付するプレスローラ１４を含む貼付手段１５と、ウエハＷにシートＳを貼付する前に前記ノッチＮに略対応する切り込みＰＣ（図４参照）を形成する切断手段としての細部切断ユニット２００と、ウエハＷにシートＳを貼付した後に、前記切り込みＰＣを除くウエハＷ外縁に沿ってシートＳを切断する切断手段としての外周切断ユニットを構成するカッター刃１６と、このカッター刃１６を着脱自在に装着するロボット１７と、カッター刃１６及び後述する吸着アーム１００を収納するストック装置１８と、ウエハＷの外側の不要シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離して巻き取る巻取装置１９とを備えて構成されている。
【００２５】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状のシートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌの剥離シートＰＳを急激に反転してシートＳを剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置されるとともに、ロードセル３９及び当該ロードセル３９に支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とを含む張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持して前記プレスローラ１４と相互に作用してウエハＷに対するシートＳの貼付角度θを一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによってシートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００２６】
なお、前記シート繰出ユニット１２並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段３５及び貼付角度維持手段３７は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。
【００２７】
前記テーブル１３は、図２に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２の外縁との間に隙間Ｃを形成する状態で当該内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、図示しない単軸ロボットを介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、図示しない単軸ロボットを介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２８】
前記貼付手段１５は、前記プレスローラ１４と、これを回転可能に支持する門型フレーム５７と、当該門型フレーム５７の上面側に設けられるとともに、前記プレスローラ１４を上下に昇降させるシリンダ５９と、これらシリンダ５９の中間に設けられた係合部材６０と、門型フレーム５７を図２中Ｘ軸方向に移動可能に案内して前記プレスローラ１４でシートＳに貼付圧力を付与する一対のガイドレール６１とを備えて構成されている。
【００２９】
前記細部切断ユニット２００は、図３及び図４にも示されるように、前記ピールプレート２２に掛け渡されたフレーム２０１と、このフレーム２０１の上平面部２０２の略中央に配置されたシリンダ２０３と、このシリンダ２０３の下部に設けられるとともに先端縁（下端縁）の形状が前述したノッチＮの形状に略対応する領域を含む切断刃２０４とにより形成されている。切断刃２０４は、前記シリンダ２０３の駆動によりシートＳの面に対して略直交する方向に進退可能とされており、これにより、ピールプレート２２をカッターダイとして略Ｖ字状の切り込みＰＣを形成するようになっている。なお、切り込みＰＣの形成部位は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、シートＳの幅方向略中央部に設定され、所定のタイミングでシリンダ２０３が上下動を行うことによって切断動作を行うようになっている。また、フレーム２０１は、図示しない治具によってＸ軸方向へ位置調整可能に設けられており、これにより、ウエハＷの直径に応じて切り込みＰＣを形成すべき位置が調整可能とされる。
【００３０】
前記外周切断ユニットを構成するカッター刃１６は、略円筒軸状の刃ホルダ１６Ａと、この刃ホルダ１６Ａの先端に着脱自在に設けられた刃１６Ｂとからなり、当該カッター刃１６は、ロボット１７の自由端側に装着されてシートＳが貼付されたウエハＷの外周に沿って移動可能に設けられている。
【００３１】
前記ロボット１７は、ベース部６４と、当該ベース部６４の上面側に配置された第１アーム６５Ａ〜第６アーム６５Ｆと、第６アーム６５Ｆの先端側すなわち自由端側に取り付けられた工具保持チャック６９とを含む複数の関節を有する多関節型ロボットである。第２、第３及び第５アーム６５Ｂ、６５Ｃ、６５Ｅは、図２の状態で言えばＹ×Ｚ面内で回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム６５Ａ、６５Ｄ、６５Ｆは、その軸周りに回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット１７は数値制御（ＮＣコントロール）されるものである。すなわち、対象物（本実施形態ではウエハＷ）に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものである。
【００３２】
前記工具保持チャック６９は、略円筒状をなす受容体７０と、当該受容体７０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置された三つのチャック爪７１とを備えて構成されている。各チャック爪７１は、空圧によって受容体７０の中心に対して径方向に進退可能となっている。ロボット１７は、前記工具保持チャック６９にカッター刃１６の刃ホルダ１６Ａを受容して支持することができる他、貼付手段１５における前記係合部材６０を受容して貼付手段１５の駆動機構として作用し、更に、巻取装置１９における後述する係合部材９４を受容して当該巻取装置１９の駆動装置として作用するようになっている。また、図２に示されるように、ストック装置１８に収容された搬送用部材としての吸着アーム１００をカッター刃１６から持ち替えてウエハＷを搬送することもできるように設けられている。
【００３３】
前記巻取装置１９は、図１及び図２に示されるように、２つのローラ８０、８１と、これらローラを支持する移動フレームＦと、当該移動フレームＦに支持された駆動ローラ９０と、回転アーム９１の自由端側に支持され、ばね９２を介して駆動ローラ９０の外周面に接して不要シートＳ１をニップする巻取ローラ９３と、駆動ローラ９０の軸端に配置された駆動モータＭとを含む。移動フレームＦは、図２中Ｙ軸方向に沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結パイプ８３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２には、前記ロボット１７の工具保持チャック６９に連結するための係合部材９４が設けられている。また、前部フレームＦ１と後部フレームＦ２は、前記貼付手段１５の門型フレーム５７を移動可能に案内するガイドレール６１にそれぞれ支持されており、これにより、フレームＦは、門型フレーム５７と同様に移動可能となっている。前記駆動モータＭは、駆動ローラ９０を介してフレームＦの移動に同期して不要シートＳ１を巻き取るように設定されている。なお、前記ローラ８１は、図１に示されるように、アーム部材８４に支持されているとともに、当該アーム部材８４はシリンダ８８によってローラ８１がローラ８０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００３４】
次に、本実施形態におけるシートＳの貼付並びに切断方法について説明する。
【００３５】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳからシートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、シートＳのリード端は、プレスローラ１４の外周下部を通って巻取装置１９の巻取ローラ９３に固定される。そして、図１に示されるように、プレスローラ１４と、ピールプレート２２との間に位置するシートＳと、テーブル１３の上面とでなす角度が設定角度θとなるように張力調整が行われ、当該張力が設定値であることを条件として、細部切断ユニット２００が駆動して切断刃２０４で切り込みＰＣを形成する。
【００３６】
なお、プレスローラ１４とピールプレート２２との間のシートＳ領域は、ウエハＷに貼付される領域を含むものであるが、原反Ｌを掛け回す作業を完了して装置を最初に駆動させる初期動作においては、当該領域にノッチＮに対応する切り込みＰＣが形成されていない。そのため、当該領域分を１ストローク空送りすることとなり、この空送りによって、上流側で切り込みＰＣが形成されたシートＳの領域がプレスローラ１４とピールプレート２２との間に位置することとなる。
【００３７】
この一方、ロボット１７は、その自由端側に取り付けられた工具保持チャック６９によって吸着アーム１００を装着し、図示しないウエハストッカからウエハＷを取り出し、図示しないアライメント装置に移載する。アライメント装置に載置されたウエハＷは、その中心とノッチＮの検出が行われ、その後に、ロボット１７を介して当該ウエハＷの中心とノッチＮがテーブル１３の所定の位置に載置されるように移載される。本実施形態では、図２に示されるように、ノッチＮが内側テーブル５２のＹ軸方向中心であって、Ｘ軸方向におけるシートＳの繰出方向下流側に位置するように設定され、前記プレスローラ１４及びピールプレート２２間のシートＳをプレスローラ１４の押圧力でウエハＷに貼付したときに、ノッチＮの形成縁に切り込みＰＣが一致する態勢が整うこととなる（図４参照）。
【００３８】
この後、ロボット１７は、吸着アーム１００をストッカ１８に戻し、工具保持チャック６９を介して貼付手段１５を構成する門型フレーム５７上の係合部材６０に嵌合する。そして、門型フレーム５７を図１中左側に移動させることで、プレスローラ１４が回転しながらウエハＷ上を転動する。このプレスローラの転動に伴って、シートＳに加わる張力を測定しつつ貼付角度θが常に一定となるように所定制御してシート貼付が行われ、貼付完了後は、切り込みＰＣがノッチＮに略一致した状態となる。なお、貼付角度θを維持しながら貼付する態様は、特願２００５−１９８８０６号に詳述されている。
【００３９】
シートＳの貼付が完了すると、ロボット１７は、前記係合部材６０との連結を解除し、ストッカ１８に収容されているカッター刃１６に持ち替え動作する。そして、このカッター刃１６がウエハＷの前記切り込みＰＣを除く外周縁に沿って移動するようにロボット１７が動作することで、ウエハＷの形状に合わせてシートＳの切断を行うことができる。この切断が行われた後に、ロボット１７は、カッター刃１６を吸着アーム１００に再び持ち替えて当該吸着アーム１００でウエハＷを吸着保持しつつ図示しない後工程若しくはウエハストッカに移載する。そして、この移載が終了した後に、吸着アーム１００をストッカ１８に戻す一方、ロボット１７の工具保持チャック６９が、前記巻取装置１９の後部フレームＦ２に設けられた係合部材９４に連結する。次いで、ロボット１７の動作を介してフレームＦが図１中左側に移動し、ローラ８０，８１がフレームＦと共に左側に移動するとともに、駆動ローラ９０がその移動に同期駆動して不要シートＳ１の巻き取りを開始することで、不要シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離しつつ当該不要シートＳ１を巻き取ることができる。
【００４０】
このようにしてシートＳの貼付と、不要シートＳ１の巻き取りが行われた後は、新たなウエハＷにシートＳを貼付するために、細部切断ユニット２００を駆動して次の切り込みＰＣを形成してシートＳが所定量繰り出されるとともに、ピールプレート２２、貼付手段１５及び巻取装置１９が図１に示される位置に戻り、以後、同様の動作を繰り返すことで、順次ウエハＷにシートＳを貼付して切断を行う。
【００４１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４２】
例えば、前記実施形態では、細部切断ユニット２００が独立駆動するタイプである場合を図示、説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、細部切断ユニット２００を構成する切断刃２０４を適宜なストッカに収納できるようにし、前記ロボット１７が、その自由端に切断刃２０４を着脱可能としてカッター刃１６と持ち替え動作できるようにしてもよい。この場合には、切り込みＰＣの形成位置が変更されても、ロボットにその変更された切り込みＰＣの形成位置データを再入力することで難なく対応することが可能となる。
【００４３】
更に、シートＳをウエハＷ上に臨ませた状態、つまり、プレスローラ１４とピールプレート２２との間にシートＳを繰り出した状態において、シートＳにノッチＮに対応する切り込みＰＣを形成するようにしてもよい。このような構成では、原反Ｌを掛け回わした後の初期動作において、シートＳを１ストローク分空送りする必要がなくなり、ランニングコストを低減することができる。
【００４４】
また、細部切断ユニット２００は、細部形状部の輪郭に合わせてシートＳに切り込みを形成可能なレーザカッターにより構成してもよい。この場合には、細部形状が変更されても、危険なカッター刃の交換は必要なく、プログラムの変更で済むので安全なうえ、カッター刃の磨耗や損傷による切断不良の発生を防止できる。また、複雑な外周形状に対応でき、ノッチ等が非常に小さくても微細加工が可能となる。
【００４５】
更に、前記実施形態では、細部形状部としてノッチＮが形成されたウエハＷについて図示、説明したが、オリエンテーションフラットと円弧状外周形状を備えたウエハを対象とすることもできる。この場合の細部は、オリエンテーションフラット部を細部形状部とすることができ、当該オリエンテーションフラット部の長さ若しくはそれ以上の長さを有する切断刃を細部切断ユニットに装着すればよい。また、細部の形状は、特に限定されるものではなく、カッター刃の移動方向の向きが制御困難な部位であれば、種々の細部形状を含む。更に、細部は複数箇所であってもよく、それに対応して細部切断ユニット２００の数を増やせばよい。
【００４６】
また、前記シートＳの繰出経路上に撮像カメラ等による検査手段を配置し、当該検査手段でシートの領域内に傷や異物等の異常箇所を検出したときに、シートＳをウエハＷに貼付する前に駆動ローラ９０を回転させることによって、その異常箇所がウエハＷに貼付されないように空送りする構成を採用することもできる。このような構成とした場合、例えば、裏面研削工程でウエハＷを極薄に研削するときに、シートＳの傷や異物等が原因によるウエハＷの破損を確実に防止することができる。
【００４７】
更に、板状部材として光ディスク等のその面内に小さな穴が設けられた形状の板状部材も対象とすることができる。このような場合は、シートを貼付する前の段階でその中心穴を細部形状部として、それに略対応した穴（切り込み）をシートに形成してから光ディスクに貼付し、その後外周に対応してシートを切断すればよい。
【００４８】
また、本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、シートが貼付されるガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】図１における細部切断ユニット領域の拡大斜視図。
【図４】切り込みＰＣがノッチＮに略一致して貼付された状態を示す概略平面図。
【符号の説明】
【００５０】
１０ ウエハ処理装置
１６ カッター刃（外周切断ユニット）
１７ ロボット
２００ 細部切断ユニット
２０４ 切断刃
ＰＣ 切り込み
Ｎ ノッチ
Ｓ シート
Ｗ 半導体ウエハ（板状部材）
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、外周部分及び／又は面内に細部形状部を備えた板状部材をシート貼付対象とし、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートに対して先に細部形状部に対応する切り込みを設けておき、シートを貼付した後に、板状部材の形状に合わせてシートを切断することができるシート装置及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その表面となる回路面を保護するための保護シートを貼付することが行われている。
【０００３】
このような保護シートの貼付は、ウエハの外周よりはみ出る大きさの保護シートをウエハに貼付することによって行われ、シートを貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカッター刃を移動させることにより、ウエハの形状に合わせてシートが切断されることとなる。
【０００４】
ところで、ウエハは平面形状が略円形をなしており、その外周部分に結晶方位を示す略Ｖ字状のノッチが形成されている場合が多い、従って、略円形の軌跡に沿ってカッター刃を回転させてシートの切断を行った場合には、ノッチ部分にシートが残ってしまうことなる。このように、ノッチ部分にシートが残されると、その粘着面に埃等が付着してしまう他、シート貼付後にウエハの裏面を研削する場合には、研削面側に粘着面が露出することとなり、その粘着剤がグラインダに転着して研削面の平滑精度に悪影響を及ぼすという不都合を招来する。そこで、特許文献１には、ウエハ外周に沿って移動可能なカッター刃をノッチの形成縁に沿って移動させることで、当該ノッチ領域にシートが残らないようにするシート切断装置及び方法が提案されている
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１５４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述したノッチは、非常に小さな細部形状部となるものであり、ノッチ形成縁に沿ってカッター刃の向きを変えながら切断を行うことは実質的に困難な制御となる。そのため、特許文献１の切断方法を採用しても、ノッチ形成縁領域に少量のシートがはみ出して残り、Ｖノッチに完全に対応した切り込み形成は期待できない、という不都合がある。また、カッター刃の移動制御を高精度に実現してシートの残りを完全に解消しようとすると、ノッチ形成縁に無理な負荷が加わってウエハ割れ等の損傷を惹起せしめる、という不都合を招来する。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の板状部材に貼付されたシートを板状部材の形状に合わせて切断する際に、例えば、略Ｖ字状のノッチ等からなる細部形状部が存在していても、シートを板状部材に貼付する前の段階で、細部形状部に対応した切り込みを形成し、その後に切り込み以外の領域を板状部材の形状に合わせて切断することのできるシート切断装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記切断手段は、前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みを当該シートに形成する細部切断ユニットと、前記シートを板状部材に貼付した状態で前記細部を除く外周に対応してシートを切断する外周切断ユニットとを備える、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を含み、当該切断刃は、前記シートの面に対して略直交する方向に進退可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【００１０】
また、前記シートは剥離テープに仮着された帯状をなし、前記シートを剥離テープから剥離するためのピールプレート上に前記細部切断ユニットが設けられる、という構成を採ることができる。
【００１１】
更に、前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に合わせてシートを切り込み可能なレーザカッターにより構成することもできる。
【００１２】
また、前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに支持されて前記板状部材の外周に沿って移動可能なカッター刃により構成される。
【００１３】
更に、前記細部切断ユニットと前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに交互に支持されるように設けることができる。
【００１４】
また、前記切断装置は、前記シートを検査する検査手段を更に含み、当該検査手段がシートの異常を検出したときに、当該異常部分が前記板状部材に貼付されないように前記シートを空送りするように設けることができる。
【００１５】
また、本発明は、外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成しておき、次いで、前記切り込みが細部形状部に対応するように前記シートを板状部材に貼付し、その後に、前記細部を除く外周に対応してシートを切断する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、シートをウエハに貼付する前に、細部切断ユニットにより、板状部材に形成された細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成できるため、シートを板状部材に貼付した後に細部形状部に対応する切り込み若しくは切断を行う際に生じる不都合、すなわち、不完全な切断や、板状部材の損傷等を確実に防止することができる。
【００１７】
また、細部切断ユニットは細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を備えてシートの面に対して進退可能とされているため、スタンプを押すような動きで瞬時に切り込みが形成できることとなり、切り込み形成時間を短縮することができる。
【００１８】
更に、ピールプレート上に細部切断ユニットが設けられた構成とすれば、切り込み形成時のシート支持面としてピールプレートを有効利用することができ、専用のカッターダイを不要とすることができる。
【００１９】
また、前記細部切断ユニットがレーザカッターにより構成された場合には、細部形状が種々異なる板状部材にシートを貼付して切断する場合でも容易に対応することができる。すなわち、レーザの走査軌跡はプログラムにより制御できるので、細部形状部に応じた走査軌跡を簡単に設定、変更することで種々の細部形状部に対応した切断が可能となる。
【００２０】
更に、外周切断ユニットが数値制御可能な多関節型のロボットに支持される構成では、カッター刃を姿勢調整しながら移動させることも容易となり、半導体ウエハのような外周の断面形状が面取り加工されているような形状であっても、板状部材からはみ出すことなくシートを切断することが可能となる。
【００２１】
また、細部切断ユニットと前記外周切断ユニットがロボットに交互に支持される構成とすれば、ロボットを共通の駆動源として有効利用することができ、また、細部切断位置を変更した場合の対応も容易となる。
【００２２】
なお、本明細書において、「細部」とは、輪郭が入り組んでいる場合を勿論含む他、板状部材が平面視で屈曲した領域を有する場合の当該屈曲領域等も含む概念として用いられる。つまり、カッター刃が移動する方向における刃縁の向きを細かく変更若しくは制御することが難しい領域は本発明の細部に含めることができる。従って、結晶方位を示すノッチに替えて、オリエンテーションフラットが形成されたウエハの場合にあっては、円弧状の領域と直線領域とが交わる屈曲部間の直線状部も細部に含めれば、シート貼付後の切断は円弧状の軌跡に沿った移動のみとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１には、本実施形態に係るシート切断装置及び切断方法が適用されたウエハ処理装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、ウエハ処理装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、外周部分に細部形状部となる略Ｖ字状のノッチＮが形成された板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着性のシートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付するプレスローラ１４を含む貼付手段１５と、ウエハＷにシートＳを貼付する前に前記ノッチＮに略対応する切り込みＰＣ（図４参照）を形成する切断手段としての細部切断ユニット２００と、ウエハＷにシートＳを貼付した後に、前記切り込みＰＣを除くウエハＷ外縁に沿ってシートＳを切断する切断手段としての外周切断ユニットを構成するカッター刃１６と、このカッター刃１６を着脱自在に装着するロボット１７と、カッター刃１６及び後述する吸着アーム１００を収納するストック装置１８と、ウエハＷの外側の不要シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離して巻き取る巻取装置１９とを備えて構成されている。
【００２５】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状のシートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌの剥離シートＰＳを急激に反転してシートＳを剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置されるとともに、ロードセル３９及び当該ロードセル３９に支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とを含む張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持して前記プレスローラ１４と相互に作用してウエハＷに対するシートＳの貼付角度θを一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによってシートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００２６】
なお、前記シート繰出ユニット１２並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段３５及び貼付角度維持手段３７は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。
【００２７】
前記テーブル１３は、図２に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２の外縁との間に隙間Ｃを形成する状態で当該内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、図示しない単軸ロボットを介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、図示しない単軸ロボットを介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２８】
前記貼付手段１５は、前記プレスローラ１４と、これを回転可能に支持する門型フレーム５７と、当該門型フレーム５７の上面側に設けられるとともに、前記プレスローラ１４を上下に昇降させるシリンダ５９と、これらシリンダ５９の中間に設けられた係合部材６０と、門型フレーム５７を図２中Ｘ軸方向に移動可能に案内して前記プレスローラ１４でシートＳに貼付圧力を付与する一対のガイドレール６１とを備えて構成されている。
【００２９】
前記細部切断ユニット２００は、図３及び図４にも示されるように、前記ピールプレート２２に掛け渡されたフレーム２０１と、このフレーム２０１の上平面部２０２の略中央に配置されたシリンダ２０３と、このシリンダ２０３の下部に設けられるとともに先端縁（下端縁）の形状が前述したノッチＮの形状に略対応する領域を含む切断刃２０４とにより形成されている。切断刃２０４は、前記シリンダ２０３の駆動によりシートＳの面に対して略直交する方向に進退可能とされており、これにより、ピールプレート２２をカッターダイとして略Ｖ字状の切り込みＰＣを形成するようになっている。なお、切り込みＰＣの形成部位は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、シートＳの幅方向略中央部に設定され、所定のタイミングでシリンダ２０３が上下動を行うことによって切断動作を行うようになっている。また、フレーム２０１は、図示しない治具によってＸ軸方向へ位置調整可能に設けられており、これにより、ウエハＷの直径に応じて切り込みＰＣを形成すべき位置が調整可能とされる。
【００３０】
前記外周切断ユニットを構成するカッター刃１６は、略円筒軸状の刃ホルダ１６Ａと、この刃ホルダ１６Ａの先端に着脱自在に設けられた刃１６Ｂとからなり、当該カッター刃１６は、ロボット１７の自由端側に装着されてシートＳが貼付されたウエハＷの外周に沿って移動可能に設けられている。
【００３１】
前記ロボット１７は、ベース部６４と、当該ベース部６４の上面側に配置された第１アーム６５Ａ〜第６アーム６５Ｆと、第６アーム６５Ｆの先端側すなわち自由端側に取り付けられた工具保持チャック６９とを含む複数の関節を有する多関節型ロボットである。第２、第３及び第５アーム６５Ｂ、６５Ｃ、６５Ｅは、図２の状態で言えばＹ×Ｚ面内で回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム６５Ａ、６５Ｄ、６５Ｆは、その軸周りに回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット１７は数値制御（ＮＣコントロール）されるものである。すなわち、対象物（本実施形態ではウエハＷ）に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものである。
【００３２】
前記工具保持チャック６９は、略円筒状をなす受容体７０と、当該受容体７０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置された三つのチャック爪７１とを備えて構成されている。各チャック爪７１は、空圧によって受容体７０の中心に対して径方向に進退可能となっている。ロボット１７は、前記工具保持チャック６９にカッター刃１６の刃ホルダ１６Ａを受容して支持することができる他、貼付手段１５における前記係合部材６０を受容して貼付手段１５の駆動機構として作用し、更に、巻取装置１９における後述する係合部材９４を受容して当該巻取装置１９の駆動装置として作用するようになっている。また、図２に示されるように、ストック装置１８に収容された搬送用部材としての吸着アーム１００をカッター刃１６から持ち替えてウエハＷを搬送することもできるように設けられている。
【００３３】
前記巻取装置１９は、図１及び図２に示されるように、２つのローラ８０、８１と、これらローラを支持する移動フレームＦと、当該移動フレームＦに支持された駆動ローラ９０と、回転アーム９１の自由端側に支持され、ばね９２を介して駆動ローラ９０の外周面に接して不要シートＳ１をニップする巻取ローラ９３と、駆動ローラ９０の軸端に配置された駆動モータＭとを含む。移動フレームＦは、図２中Ｙ軸方向に沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結パイプ８３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２には、前記ロボット１７の工具保持チャック６９に連結するための係合部材９４が設けられている。また、前部フレームＦ１と後部フレームＦ２は、前記貼付手段１５の門型フレーム５７を移動可能に案内するガイドレール６１にそれぞれ支持されており、これにより、フレームＦは、門型フレーム５７と同様に移動可能となっている。前記駆動モータＭは、駆動ローラ９０を介してフレームＦの移動に同期して不要シートＳ１を巻き取るように設定されている。なお、前記ローラ８１は、図１に示されるように、アーム部材８４に支持されているとともに、当該アーム部材８４はシリンダ８８によってローラ８１がローラ８０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００３４】
次に、本実施形態におけるシートＳの貼付並びに切断方法について説明する。
【００３５】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳからシートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、シートＳのリード端は、プレスローラ１４の外周下部を通って巻取装置１９の巻取ローラ９３に固定される。そして、図１に示されるように、プレスローラ１４と、ピールプレート２２との間に位置するシートＳと、テーブル１３の上面とでなす角度が設定角度θとなるように張力調整が行われ、当該張力が設定値であることを条件として、細部切断ユニット２００が駆動して切断刃２０４で切り込みＰＣを形成する。
【００３６】
なお、プレスローラ１４とピールプレート２２との間のシートＳ領域は、ウエハＷに貼付される領域を含むものであるが、原反Ｌを掛け回す作業を完了して装置を最初に駆動させる初期動作においては、当該領域にノッチＮに対応する切り込みＰＣが形成されていない。そのため、当該領域分を１ストローク空送りすることとなり、この空送りによって、上流側で切り込みＰＣが形成されたシートＳの領域がプレスローラ１４とピールプレート２２との間に位置することとなる。
【００３７】
この一方、ロボット１７は、その自由端側に取り付けられた工具保持チャック６９によって吸着アーム１００を装着し、図示しないウエハストッカからウエハＷを取り出し、図示しないアライメント装置に移載する。アライメント装置に載置されたウエハＷは、その中心とノッチＮの検出が行われ、その後に、ロボット１７を介して当該ウエハＷの中心とノッチＮがテーブル１３の所定の位置に載置されるように移載される。本実施形態では、図２に示されるように、ノッチＮが内側テーブル５２のＹ軸方向中心であって、Ｘ軸方向におけるシートＳの繰出方向下流側に位置するように設定され、前記プレスローラ１４及びピールプレート２２間のシートＳをプレスローラ１４の押圧力でウエハＷに貼付したときに、ノッチＮの形成縁に切り込みＰＣが一致する態勢が整うこととなる（図４参照）。
【００３８】
この後、ロボット１７は、吸着アーム１００をストッカ１８に戻し、工具保持チャック６９を介して貼付手段１５を構成する門型フレーム５７上の係合部材６０に嵌合する。そして、門型フレーム５７を図１中左側に移動させることで、プレスローラ１４が回転しながらウエハＷ上を転動する。このプレスローラの転動に伴って、シートＳに加わる張力を測定しつつ貼付角度θが常に一定となるように所定制御してシート貼付が行われ、貼付完了後は、切り込みＰＣがノッチＮに略一致した状態となる。なお、貼付角度θを維持しながら貼付する態様は、特願２００５−１９８８０６号に詳述されている。
【００３９】
シートＳの貼付が完了すると、ロボット１７は、前記係合部材６０との連結を解除し、ストッカ１８に収容されているカッター刃１６に持ち替え動作する。そして、このカッター刃１６がウエハＷの前記切り込みＰＣを除く外周縁に沿って移動するようにロボット１７が動作することで、ウエハＷの形状に合わせてシートＳの切断を行うことができる。この切断が行われた後に、ロボット１７は、カッター刃１６を吸着アーム１００に再び持ち替えて当該吸着アーム１００でウエハＷを吸着保持しつつ図示しない後工程若しくはウエハストッカに移載する。そして、この移載が終了した後に、吸着アーム１００をストッカ１８に戻す一方、ロボット１７の工具保持チャック６９が、前記巻取装置１９の後部フレームＦ２に設けられた係合部材９４に連結する。次いで、ロボット１７の動作を介してフレームＦが図１中左側に移動し、ローラ８０，８１がフレームＦと共に左側に移動するとともに、駆動ローラ９０がその移動に同期駆動して不要シートＳ１の巻き取りを開始することで、不要シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離しつつ当該不要シートＳ１を巻き取ることができる。
【００４０】
このようにしてシートＳの貼付と、不要シートＳ１の巻き取りが行われた後は、新たなウエハＷにシートＳを貼付するために、細部切断ユニット２００を駆動して次の切り込みＰＣを形成してシートＳが所定量繰り出されるとともに、ピールプレート２２、貼付手段１５及び巻取装置１９が図１に示される位置に戻り、以後、同様の動作を繰り返すことで、順次ウエハＷにシートＳを貼付して切断を行う。
【００４１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４２】
例えば、前記実施形態では、細部切断ユニット２００が独立駆動するタイプである場合を図示、説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、細部切断ユニット２００を構成する切断刃２０４を適宜なストッカに収納できるようにし、前記ロボット１７が、その自由端に切断刃２０４を着脱可能としてカッター刃１６と持ち替え動作できるようにしてもよい。この場合には、切り込みＰＣの形成位置が変更されても、ロボットにその変更された切り込みＰＣの形成位置データを再入力することで難なく対応することが可能となる。
【００４３】
更に、シートＳをウエハＷ上に臨ませた状態、つまり、プレスローラ１４とピールプレート２２との間にシートＳを繰り出した状態において、シートＳにノッチＮに対応する切り込みＰＣを形成するようにしてもよい。このような構成では、原反Ｌを掛け回わした後の初期動作において、シートＳを１ストローク分空送りする必要がなくなり、ランニングコストを低減することができる。
【００４４】
また、細部切断ユニット２００は、細部形状部の輪郭に合わせてシートＳに切り込みを形成可能なレーザカッターにより構成してもよい。この場合には、細部形状が変更されても、危険なカッター刃の交換は必要なく、プログラムの変更で済むので安全なうえ、カッター刃の磨耗や損傷による切断不良の発生を防止できる。また、複雑な外周形状に対応でき、ノッチ等が非常に小さくても微細加工が可能となる。
【００４５】
更に、前記実施形態では、細部形状部としてノッチＮが形成されたウエハＷについて図示、説明したが、オリエンテーションフラットと円弧状外周形状を備えたウエハを対象とすることもできる。この場合の細部は、オリエンテーションフラット部を細部形状部とすることができ、当該オリエンテーションフラット部の長さ若しくはそれ以上の長さを有する切断刃を細部切断ユニットに装着すればよい。また、細部の形状は、特に限定されるものではなく、カッター刃の移動方向の向きが制御困難な部位であれば、種々の細部形状を含む。更に、細部は複数箇所であってもよく、それに対応して細部切断ユニット２００の数を増やせばよい。
【００４６】
また、前記シートＳの繰出経路上に撮像カメラ等による検査手段を配置し、当該検査手段でシートの領域内に傷や異物等の異常箇所を検出したときに、シートＳをウエハＷに貼付する前に駆動ローラ９０を回転させることによって、その異常箇所がウエハＷに貼付されないように空送りする構成を採用することもできる。このような構成とした場合、例えば、裏面研削工程でウエハＷを極薄に研削するときに、シートＳの傷や異物等が原因によるウエハＷの破損を確実に防止することができる。
【００４７】
更に、板状部材として光ディスク等のその面内に小さな穴が設けられた形状の板状部材も対象とすることができる。このような場合は、シートを貼付する前の段階でその中心穴を細部形状部として、それに略対応した穴（切り込み）をシートに形成してから光ディスクに貼付し、その後外周に対応してシートを切断すればよい。
【００４８】
また、本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、シートが貼付されるガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】図１における細部切断ユニット領域の拡大斜視図。
【図４】切り込みＰＣがノッチＮに略一致して貼付された状態を示す概略平面図。
【符号の説明】
【００５０】
１０ ウエハ処理装置
１６ カッター刃（外周切断ユニット）
１７ ロボット
２００ 細部切断ユニット
２０４ 切断刃
ＰＣ 切り込み
Ｎ ノッチ
Ｓ シート
Ｗ 半導体ウエハ（板状部材）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記切断手段は、前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みを当該シートに形成する細部切断ユニットと、前記シートを板状部材に貼付した状態で前記細部を除く外周に対応してシートを切断する外周切断ユニットとを備えていることを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を含み、当該切断刃は、前記シートの面に対して略直交する方向に進退可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項３】
前記シートは剥離テープに仮着された帯状をなし、前記シートを剥離テープから剥離するためのピールプレート上に前記細部切断ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート切断装置。
【請求項４】
前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に合わせてシートを切り込み可能なレーザカッターにより構成されることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項５】
前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに支持されて前記板状部材の外周に沿って移動可能なカッター刃により構成されていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項６】
前記細部切断ユニットと前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに交互に支持されることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項７】
前記シートを検査する検査手段を更に含み、当該検査手段がシートの異常を検出したときに、当該異常部分が前記板状部材に貼付されないように前記シートを空送りすることを特徴とする請求項１ないし６の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項８】
外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成しておき、次いで、前記切り込みが細部形状部に対応するように前記シートを板状部材に貼付し、その後に、前記細部を除く外周に対応してシートを切断することを特徴とするシート切断方法。
【請求項１】
外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記切断手段は、前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みを当該シートに形成する細部切断ユニットと、前記シートを板状部材に貼付した状態で前記細部を除く外周に対応してシートを切断する外周切断ユニットとを備えていることを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に略対応する切断刃を含み、当該切断刃は、前記シートの面に対して略直交する方向に進退可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項３】
前記シートは剥離テープに仮着された帯状をなし、前記シートを剥離テープから剥離するためのピールプレート上に前記細部切断ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート切断装置。
【請求項４】
前記細部切断ユニットは、前記細部形状部の輪郭に合わせてシートを切り込み可能なレーザカッターにより構成されることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項５】
前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに支持されて前記板状部材の外周に沿って移動可能なカッター刃により構成されていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項６】
前記細部切断ユニットと前記外周切断ユニットは、数値制御可能な多関節型のロボットに交互に支持されることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項７】
前記シートを検査する検査手段を更に含み、当該検査手段がシートの異常を検出したときに、当該異常部分が前記板状部材に貼付されないように前記シートを空送りすることを特徴とする請求項１ないし６の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項８】
外周部分及び／又は面内に細部形状部を有する板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した後に、切断手段を介してシートを板状部材の形状に合わせて切断するシート切断装置において、
前記シートを板状部材に貼付する前の段階で前記細部形状部に略対応した切り込みをシートに形成しておき、次いで、前記切り込みが細部形状部に対応するように前記シートを板状部材に貼付し、その後に、前記細部を除く外周に対応してシートを切断することを特徴とするシート切断方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００７−３０７６５５（Ｐ２００７−３０７６５５Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１３８６８８（Ｐ２００６−１３８６８８）
【出願日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
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