スパッタ装置
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部品等のスパッタ蒸着を行うスパッタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部品等のスパッタ装置としては、素地基板をセットしたトレーをスパッタ室内に導入し、搬送ローラー等で搬送、通過させる通過型とターンテーブルを利用した回転型のものが使用されていた。しかしながら、何れも導入あるいは搬送時のトレーの摩擦により発塵し、また素地基板への成膜以外に、搬送用の搬送ローラー、搬送ガイド、ブラケット等の構造物にも成膜され、これらのスパッタ成膜が摩擦衝撃により剥がれて、いわゆるスパッタ塵としてスパッタ室内に舞い上り、製品に悪影響を与え生産性の低下にもつながっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スパッタ範囲以外の成膜を極少にし、トレー搬送時の摩擦部分も少なく、発塵を抑えて均一な膜厚を得、自動化を容易にすることができる生産性の優れたスパッタ装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、トレー受取部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接し、前記トレーは裏面中央に軸が固定されており、前記各室の外側に複数台の搬送ロボットを配設し、該搬送ロボットの回動支軸にセカンドアームを設け、該セカンドアームの先端部にファーストアームを回動自在に設け、該ファーストアーム先端部に前記トレー固定軸への着脱部を有し、前記隣接した各搬送ロボットの回動支軸の回動によりファーストアームの先端部がトレーの固定軸受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの固定軸の移動通路を形成した遮蔽板で区画してスパッタリング室とロボットアーム作動域としたものである。
【０００５】
【作用】第１準備室の入口側のゲート弁を開いて（出口側ゲート弁は閉）第１準備室のロボットアームを伸長させ、アーム端部でトレー受取部に運ばれてきた素地基板がセットされたトレーの裏側の軸部を把持し、アームを後退させてトレーを第１準備室内に移動し、入口側のゲート弁を閉じて素地基板の加熱を行う。素地基板の加熱後は、第１準備室の出口側ゲート弁を開き（入口側ゲート弁は閉）、第１準備室のロボットアームをスパッタ室内に伸長させてスパッタ室のロボットアームにトレーを移し変えた後後退させ、第１準備室の出口側ゲート弁を閉じる。
【０００６】スパッタ室ではスパッタリングによってトレーにセットされた素地基板表面に成膜を行うが、成膜の際には、遮蔽板と遮蔽板に形成された移動通路を閉鎖するトレーとにより、スパッタ部の圧力変動を防止し、またロボットアーム等はほとんど遮蔽されて成膜されることがなく、また摩擦部分が少ないために発塵も少ない。
【０００７】素地基板の成膜後は、スパッタ室の出口側ゲート弁を開き、第２準備室のロボットアームをスパッタ室に伸長させ、スパッタ室のロボットアームとでトレーを移し換え、トレーを第２準備室内に移動し、スパッタ室の出口側ゲート弁を閉じる。次に、第２準備室の出口側ゲート弁を開いてロボットアームでトレーをトレー排出部へ移動してトレー搬送装置に移載した後、ロボットアームを後退させて出口側ゲート弁を閉じる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例を図１を参照して説明すると、素地基板をセットしたトレーＴが搬入されるトレー受取部１にゲート弁Ｇ1 を介して加熱装置（図示せず）を備えた第１準備室２が連なり、第１準備室２の反対側はゲート弁Ｇ2 を介して素地基板表面に成膜されるターゲット物質６を中央に設けたスパッタ室３に連なり、スパッタ室３の反対側はゲート弁Ｇ3 を介して第２準備室４に連なり、さらに第２準備室４の反対側はゲート弁Ｇ4 を介してトレー排出部５に連なり、これらは直線上に配列されている。これらの第１準備室２、スパッタ室３、第２準備室４の各外側には、適宜台数の搬送ロボット７1 〜７5 が配設され、各ロボット７1 〜７5 のアーム８1 ，８2 はそれぞれの室内に嵌挿され、各アーム端部でトレーＴの搬送および受渡しを行う。
【０００９】各搬送ロボット７1 〜７5 におけるトレー受渡し機構につき説明する。各搬送ロボット７1 〜７5 としては、それぞれ、ファーストアーム８1 とセカンドアーム８2 とを有し、セカンドアーム８2 を支軸のまわりに角度θだけ回転（揺動）させるとファーストアーム８1 は、逆向きに２θ回転し、その結果ファーストアーム８1 はセカンドアーム８2 と対称に折れてＶ字形を形成し、ファーストアーム８1 先端の出力軸は、セカンドアーム８2 の回転（揺動）により一つの直線上を往復し、かつファーストアーム８1 の先端の出力軸は空間に対する自転は行わないようなロボットが選ばれる。
【００１０】図２は一部断面平面図、図３はそのＡ−Ａ線断面図であり、搬送ロボット７1から搬送ロボット７2 へトレーＴを受渡すところを示したものである。トレーＴ（他のトレーも同じ構造）は裏面中央に正方形断面の軸９が固定され、軸端部９1 と、この軸端部９1 から軸方向に隔たった位置にある軸中部９2 とを、隣り合う搬送ロボットのチャックがかわるがわる把持してトレーＴの受渡しを行う。各搬送ロボットは交互に異なるチャックを備えている。即ち、搬送ロボット７1 のファーストアーム８1 の出力軸３１には図４に示す如く１組の上下開閉挟持片３５，３６により軸９の軸端部９1 を垂直方向に挟むようにした垂直開閉チャック３７が設けられ、隣接する搬送ロボット７2 のファーストアーム８1 の出力軸３１には図５に示す如く１組の揺動開閉レバー３２，３３により軸９の軸中部９2 を水平方向に挟むようにした揺動開閉チャック３４が設けられている。３８は出力軸３１に固定されたブラケット、３９は揺動開閉レバー３２，３３の揺動開閉機構、４０は出力軸３１に固定された、上下開閉挟持片３５，３６の上下開閉機構である。
【００１１】図２，３の状態で、搬送ロボット７1 の垂直開閉チャック３７に軸端部９1 を把持されているトレーＴは、隣接の搬送ロボット７2 の揺動開閉チャック３４に軸端部９2 を把持され、搬送ロボット７2 に移し換えられる。なお、揺動開閉チャック３４は図５の如く、揺動開閉レバー３２，３３を軸９の下面より下の鎖線に示す位置まで開くようになっており、軸９が干渉することなくトレーＴは自由に水平に移動ができる。トレーＴが円形であり、作業中などに回転する必要がある場合には、出力軸３１と上下開閉機構４０との間にそれぞれ、電気或いは流体圧などにより駆動され、外部より操作が可能な回転装置を介在せしめればよい。なお、搬送ロボット間のトレーの受渡しの際に、ファーストアーム８1 とセカンドアーム８2 とは必ずしもＶ字形に折れる必要はなく、両アームが延びたときに受渡しを行うように、各アームの長さを、搬送ロボット間の距離の１／４に選ぶようにしてもよい。
【００１２】さらに、第１準備室２および第２準備室４の搬送ロボット７１、７５のファーストアーム８１はそれぞれトレー受取部１とスパッタ室３およびトレー排出部５とスパッタ室３にまで伸長可能としてある。スパッタ室３の外側に配設される搬送ロボットは、スパッタ室３の長さによって１台あるいは複数台とし、図示例では３台のロボット７２、７３、７４が配設されており、各ロボット７２、７３、７４は、ファーストおよびセカンドアーム８１、８２が互いに重合した位置、すなわち、３個のトレーＴが互いに隣接状態でスパッタ室３のスパッタ位置に対向して並列する間隔で配備されている。ロボット７１とロボット７２とのトレーＴの受渡しはスパッタ室３内で、またロボット７４とロボット７５とのトレーＴの受渡しはスパッタ室３で夫々行われる。また、スパッタ室３内には、トレーＴの軸９が移動する移動通路１０を形成した遮蔽板１１が設けられてスパッタリング室とロボットアーム作動域とに区画されている（図２R>２、３参照）。
【００１３】本実施例において、トレー受取部１に搬送コンベアにより垂直状態で運ばれて来た素地基板をセットしたトレーＴの裏面側突出軸９は、ゲート弁Ｇ1 を開いて第１準備室２内のロボット７1 のセカンドアーム８2 の回動に伴って伸長されたファーストアーム８1 の端部の垂直開閉チャック３７で把持され、その後退によってトレーＴが第１準備室２内に移動してゲート弁Ｇ1 を閉じる。第１準備室２において素地基板が十分に加熱され、加熱後はゲート弁Ｇ2 を開き、ファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移動し、一方、スパッタ室３内のロボット７2 のファーストアーム８1 を伸長させてトレーを移し変え、第１準備室２内のロボット７1 のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ2を閉じる。スパッタ室３内に移動したトレーＴは、加熱された素地基板の温度を確認後、トレーＴを把持したロボット７2 のファーストアーム８1 の反対側への伸長により、ロボット７3 のファーストアーム８1 にトレーＴを移し変え、ここで成膜する物質の特徴に成膜スピードを合わせるようにロボット７3 のスピードを制御しつつスパッタリングを行い、素地基板表面にターゲット物質６の成膜を行い、基板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からトレーＴを移し変える。
【００１４】なお、スパッタリング中は、スパッタ室３内の遮蔽板１１によってファーストアーム８1 、セカンドアーム８2 等のロボットアーム作動域は遮蔽されており、また遮蔽板１１の移動通路１０はトレーＴによって遮蔽されているため、スパッタ範囲以外の成膜が極少化されるが、スパッタリング中のトレーＴの両側の移動通路１０の隙間によって、微妙にスパッタ部の圧力変動が生じ、膜物性に影響を及ぼす。そのため、図１のように、スパッタリング中のトレーＴの両側にトレーＴを隣接保持することができるように搬送ロボット７2 ，７3 ，７4 を配設し、移動通路１０を３つのトレーＴで遮蔽できるようにすることが望ましい。
【００１５】かくして、ロボット７4 のファーストアーム８1 の反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３内出口側に移動し、次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを排出後、ファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。基板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からトレーＴを移し変え、反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３内出口側に移動する。次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてロボット７5 のファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを搬送コンベア上に排出後、ロボット７5 のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、搬送ロボットを使用してトレーの安定搬送を行い、ロボットアームも遮蔽区画内を作動域としたからスパッタ範囲以外の成膜を極少にし、しかも機械的摩擦部分も少なく、発塵を抑えて均一な膜厚をうることができ、さらに全自動化も容易にし、生産性を向上させることができ、また、成膜する物質の特徴に合わせて成膜スピードも合わせることが可能であるため、多品種生産にも適応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の側面を示す説明図。
【図２】本発明の一実施例の一部断面平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】図３のＣ−Ｃ線断面図。
【符号の説明】
１ トレー受取部
２ 第１準備室
３ スパッタ室
４ 第２準備室
５ トレー排出部
６ ターゲット物質
７1 搬送ロボット
８1 ファーストアーム
８2 セカンドアーム
９ 軸
９1 軸端部
９2 軸中部
10 移動通路
11 遮蔽板
Ｇ1 ゲート弁
Ｇ2 ゲート弁
Ｇ3 ゲート弁
Ｇ4 ゲート弁
３１ 出力軸
３１1 出力軸
３２ 揺動開閉レバー
３３ 揺動開閉レバー
３４ 揺動開閉チャック
３５ 上下開閉挟持片
３６ 上下開閉挟持片
３７ 垂直開閉チャック
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部品等のスパッタ蒸着を行うスパッタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＬＣＤ、ＬＤ、電子部品等のスパッタ装置としては、素地基板をセットしたトレーをスパッタ室内に導入し、搬送ローラー等で搬送、通過させる通過型とターンテーブルを利用した回転型のものが使用されていた。しかしながら、何れも導入あるいは搬送時のトレーの摩擦により発塵し、また素地基板への成膜以外に、搬送用の搬送ローラー、搬送ガイド、ブラケット等の構造物にも成膜され、これらのスパッタ成膜が摩擦衝撃により剥がれて、いわゆるスパッタ塵としてスパッタ室内に舞い上り、製品に悪影響を与え生産性の低下にもつながっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、スパッタ範囲以外の成膜を極少にし、トレー搬送時の摩擦部分も少なく、発塵を抑えて均一な膜厚を得、自動化を容易にすることができる生産性の優れたスパッタ装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、トレー受取部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接し、前記トレーは裏面中央に軸が固定されており、前記各室の外側に複数台の搬送ロボットを配設し、該搬送ロボットの回動支軸にセカンドアームを設け、該セカンドアームの先端部にファーストアームを回動自在に設け、該ファーストアーム先端部に前記トレー固定軸への着脱部を有し、前記隣接した各搬送ロボットの回動支軸の回動によりファーストアームの先端部がトレーの固定軸受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの固定軸の移動通路を形成した遮蔽板で区画してスパッタリング室とロボットアーム作動域としたものである。
【０００５】
【作用】第１準備室の入口側のゲート弁を開いて（出口側ゲート弁は閉）第１準備室のロボットアームを伸長させ、アーム端部でトレー受取部に運ばれてきた素地基板がセットされたトレーの裏側の軸部を把持し、アームを後退させてトレーを第１準備室内に移動し、入口側のゲート弁を閉じて素地基板の加熱を行う。素地基板の加熱後は、第１準備室の出口側ゲート弁を開き（入口側ゲート弁は閉）、第１準備室のロボットアームをスパッタ室内に伸長させてスパッタ室のロボットアームにトレーを移し変えた後後退させ、第１準備室の出口側ゲート弁を閉じる。
【０００６】スパッタ室ではスパッタリングによってトレーにセットされた素地基板表面に成膜を行うが、成膜の際には、遮蔽板と遮蔽板に形成された移動通路を閉鎖するトレーとにより、スパッタ部の圧力変動を防止し、またロボットアーム等はほとんど遮蔽されて成膜されることがなく、また摩擦部分が少ないために発塵も少ない。
【０００７】素地基板の成膜後は、スパッタ室の出口側ゲート弁を開き、第２準備室のロボットアームをスパッタ室に伸長させ、スパッタ室のロボットアームとでトレーを移し換え、トレーを第２準備室内に移動し、スパッタ室の出口側ゲート弁を閉じる。次に、第２準備室の出口側ゲート弁を開いてロボットアームでトレーをトレー排出部へ移動してトレー搬送装置に移載した後、ロボットアームを後退させて出口側ゲート弁を閉じる。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例を図１を参照して説明すると、素地基板をセットしたトレーＴが搬入されるトレー受取部１にゲート弁Ｇ1 を介して加熱装置（図示せず）を備えた第１準備室２が連なり、第１準備室２の反対側はゲート弁Ｇ2 を介して素地基板表面に成膜されるターゲット物質６を中央に設けたスパッタ室３に連なり、スパッタ室３の反対側はゲート弁Ｇ3 を介して第２準備室４に連なり、さらに第２準備室４の反対側はゲート弁Ｇ4 を介してトレー排出部５に連なり、これらは直線上に配列されている。これらの第１準備室２、スパッタ室３、第２準備室４の各外側には、適宜台数の搬送ロボット７1 〜７5 が配設され、各ロボット７1 〜７5 のアーム８1 ，８2 はそれぞれの室内に嵌挿され、各アーム端部でトレーＴの搬送および受渡しを行う。
【０００９】各搬送ロボット７1 〜７5 におけるトレー受渡し機構につき説明する。各搬送ロボット７1 〜７5 としては、それぞれ、ファーストアーム８1 とセカンドアーム８2 とを有し、セカンドアーム８2 を支軸のまわりに角度θだけ回転（揺動）させるとファーストアーム８1 は、逆向きに２θ回転し、その結果ファーストアーム８1 はセカンドアーム８2 と対称に折れてＶ字形を形成し、ファーストアーム８1 先端の出力軸は、セカンドアーム８2 の回転（揺動）により一つの直線上を往復し、かつファーストアーム８1 の先端の出力軸は空間に対する自転は行わないようなロボットが選ばれる。
【００１０】図２は一部断面平面図、図３はそのＡ−Ａ線断面図であり、搬送ロボット７1から搬送ロボット７2 へトレーＴを受渡すところを示したものである。トレーＴ（他のトレーも同じ構造）は裏面中央に正方形断面の軸９が固定され、軸端部９1 と、この軸端部９1 から軸方向に隔たった位置にある軸中部９2 とを、隣り合う搬送ロボットのチャックがかわるがわる把持してトレーＴの受渡しを行う。各搬送ロボットは交互に異なるチャックを備えている。即ち、搬送ロボット７1 のファーストアーム８1 の出力軸３１には図４に示す如く１組の上下開閉挟持片３５，３６により軸９の軸端部９1 を垂直方向に挟むようにした垂直開閉チャック３７が設けられ、隣接する搬送ロボット７2 のファーストアーム８1 の出力軸３１には図５に示す如く１組の揺動開閉レバー３２，３３により軸９の軸中部９2 を水平方向に挟むようにした揺動開閉チャック３４が設けられている。３８は出力軸３１に固定されたブラケット、３９は揺動開閉レバー３２，３３の揺動開閉機構、４０は出力軸３１に固定された、上下開閉挟持片３５，３６の上下開閉機構である。
【００１１】図２，３の状態で、搬送ロボット７1 の垂直開閉チャック３７に軸端部９1 を把持されているトレーＴは、隣接の搬送ロボット７2 の揺動開閉チャック３４に軸端部９2 を把持され、搬送ロボット７2 に移し換えられる。なお、揺動開閉チャック３４は図５の如く、揺動開閉レバー３２，３３を軸９の下面より下の鎖線に示す位置まで開くようになっており、軸９が干渉することなくトレーＴは自由に水平に移動ができる。トレーＴが円形であり、作業中などに回転する必要がある場合には、出力軸３１と上下開閉機構４０との間にそれぞれ、電気或いは流体圧などにより駆動され、外部より操作が可能な回転装置を介在せしめればよい。なお、搬送ロボット間のトレーの受渡しの際に、ファーストアーム８1 とセカンドアーム８2 とは必ずしもＶ字形に折れる必要はなく、両アームが延びたときに受渡しを行うように、各アームの長さを、搬送ロボット間の距離の１／４に選ぶようにしてもよい。
【００１２】さらに、第１準備室２および第２準備室４の搬送ロボット７１、７５のファーストアーム８１はそれぞれトレー受取部１とスパッタ室３およびトレー排出部５とスパッタ室３にまで伸長可能としてある。スパッタ室３の外側に配設される搬送ロボットは、スパッタ室３の長さによって１台あるいは複数台とし、図示例では３台のロボット７２、７３、７４が配設されており、各ロボット７２、７３、７４は、ファーストおよびセカンドアーム８１、８２が互いに重合した位置、すなわち、３個のトレーＴが互いに隣接状態でスパッタ室３のスパッタ位置に対向して並列する間隔で配備されている。ロボット７１とロボット７２とのトレーＴの受渡しはスパッタ室３内で、またロボット７４とロボット７５とのトレーＴの受渡しはスパッタ室３で夫々行われる。また、スパッタ室３内には、トレーＴの軸９が移動する移動通路１０を形成した遮蔽板１１が設けられてスパッタリング室とロボットアーム作動域とに区画されている（図２R>２、３参照）。
【００１３】本実施例において、トレー受取部１に搬送コンベアにより垂直状態で運ばれて来た素地基板をセットしたトレーＴの裏面側突出軸９は、ゲート弁Ｇ1 を開いて第１準備室２内のロボット７1 のセカンドアーム８2 の回動に伴って伸長されたファーストアーム８1 の端部の垂直開閉チャック３７で把持され、その後退によってトレーＴが第１準備室２内に移動してゲート弁Ｇ1 を閉じる。第１準備室２において素地基板が十分に加熱され、加熱後はゲート弁Ｇ2 を開き、ファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移動し、一方、スパッタ室３内のロボット７2 のファーストアーム８1 を伸長させてトレーを移し変え、第１準備室２内のロボット７1 のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ2を閉じる。スパッタ室３内に移動したトレーＴは、加熱された素地基板の温度を確認後、トレーＴを把持したロボット７2 のファーストアーム８1 の反対側への伸長により、ロボット７3 のファーストアーム８1 にトレーＴを移し変え、ここで成膜する物質の特徴に成膜スピードを合わせるようにロボット７3 のスピードを制御しつつスパッタリングを行い、素地基板表面にターゲット物質６の成膜を行い、基板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からトレーＴを移し変える。
【００１４】なお、スパッタリング中は、スパッタ室３内の遮蔽板１１によってファーストアーム８1 、セカンドアーム８2 等のロボットアーム作動域は遮蔽されており、また遮蔽板１１の移動通路１０はトレーＴによって遮蔽されているため、スパッタ範囲以外の成膜が極少化されるが、スパッタリング中のトレーＴの両側の移動通路１０の隙間によって、微妙にスパッタ部の圧力変動が生じ、膜物性に影響を及ぼす。そのため、図１のように、スパッタリング中のトレーＴの両側にトレーＴを隣接保持することができるように搬送ロボット７2 ，７3 ，７4 を配設し、移動通路１０を３つのトレーＴで遮蔽できるようにすることが望ましい。
【００１５】かくして、ロボット７4 のファーストアーム８1 の反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３内出口側に移動し、次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを排出後、ファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。基板成膜後は、ロボット７4 のファーストアーム８1 を伸長させて、ロボット７3 のファーストアーム８1 からトレーＴを移し変え、反対側への伸長によりトレーＴをスパッタ室３内出口側に移動する。次にゲート弁Ｇ3 を開いて第２準備室４内のロボット７5 のファーストアーム８1 をスパッタ室３内に伸長させてトレーＴを移し変え、トレーＴを第２準備室４内に移動し、ゲート弁Ｇ3 を閉じる。その後、ゲート弁Ｇ4 を開いてロボット７5 のファーストアーム８1 をトレー排出部５にまで伸長させ、トレーＴを搬送コンベア上に排出後、ロボット７5 のファーストアーム８1 を後退させてゲート弁Ｇ4 を閉じる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、搬送ロボットを使用してトレーの安定搬送を行い、ロボットアームも遮蔽区画内を作動域としたからスパッタ範囲以外の成膜を極少にし、しかも機械的摩擦部分も少なく、発塵を抑えて均一な膜厚をうることができ、さらに全自動化も容易にし、生産性を向上させることができ、また、成膜する物質の特徴に合わせて成膜スピードも合わせることが可能であるため、多品種生産にも適応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の側面を示す説明図。
【図２】本発明の一実施例の一部断面平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】図３のＣ−Ｃ線断面図。
【符号の説明】
１ トレー受取部
２ 第１準備室
３ スパッタ室
４ 第２準備室
５ トレー排出部
６ ターゲット物質
７1 搬送ロボット
８1 ファーストアーム
８2 セカンドアーム
９ 軸
９1 軸端部
９2 軸中部
10 移動通路
11 遮蔽板
Ｇ1 ゲート弁
Ｇ2 ゲート弁
Ｇ3 ゲート弁
Ｇ4 ゲート弁
３１ 出力軸
３１1 出力軸
３２ 揺動開閉レバー
３３ 揺動開閉レバー
３４ 揺動開閉チャック
３５ 上下開閉挟持片
３６ 上下開閉挟持片
３７ 垂直開閉チャック
【特許請求の範囲】
【請求項１】 トレー受取部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接し、前記トレーは裏面中央に軸が固定されており、前記各室の外側に複数台の搬送ロボットを配設し、該搬送ロボットの回動支軸にセカンドアームを設け、該セカンドアームの先端部にファーストアームを回動自在に設け、該ファーストアーム先端部に前記トレー固定軸への着脱部を有し、前記隣接した各搬送ロボットの回動支軸の回動によりファーストアームの先端部がトレーの固定軸受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの固定軸の移動通路を形成した遮蔽板で区画してスパッタリング室とロボットアーム作動域としたことを特徴とするスパッタ装置。
【請求項１】 トレー受取部、第１準備室、スパッタ室、第２準備室、トレー排出部を直線上に配列してそれぞれゲート弁を介して連接し、前記トレーは裏面中央に軸が固定されており、前記各室の外側に複数台の搬送ロボットを配設し、該搬送ロボットの回動支軸にセカンドアームを設け、該セカンドアームの先端部にファーストアームを回動自在に設け、該ファーストアーム先端部に前記トレー固定軸への着脱部を有し、前記隣接した各搬送ロボットの回動支軸の回動によりファーストアームの先端部がトレーの固定軸受渡し可能な位置に伸長するようにアームを各室内に嵌挿し、さらに前記スパッタ室内を前記トレーの固定軸の移動通路を形成した遮蔽板で区画してスパッタリング室とロボットアーム作動域としたことを特徴とするスパッタ装置。
【図１】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【特許番号】特許第３３３０６３１号（Ｐ３３３０６３１）
【登録日】平成１４年７月１９日（２００２．７．１９）
【発行日】平成１４年９月３０日（２００２．９．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願平４−１２２８２３
【出願日】平成４年４月１７日（１９９２．４．１７）
【公開番号】特開平５−２９５５３２
【公開日】平成５年１１月９日（１９９３．１１．９）
【審査請求日】平成１１年１月１４日（１９９９．１．１４）
【出願人】（０００００３０６７）ティーディーケイ株式会社 (7,238)
【参考文献】
【文献】実開 平５−５６９５３（ＪＰ，Ｕ）
【登録日】平成１４年７月１９日（２００２．７．１９）
【発行日】平成１４年９月３０日（２００２．９．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成４年４月１７日（１９９２．４．１７）
【公開番号】特開平５−２９５５３２
【公開日】平成５年１１月９日（１９９３．１１．９）
【審査請求日】平成１１年１月１４日（１９９９．１．１４）
【出願人】（０００００３０６７）ティーディーケイ株式会社 (7,238)
【参考文献】
【文献】実開 平５−５６９５３（ＪＰ，Ｕ）
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