センサの状態把握機能付き渦流量計
【課題】 渦検出センサの状態把握をすることが可能な、センサの状態把握機能付き渦流量計を提供する。
【解決手段】 渦検出センサ５と、温度情報出力手段３２を構成する温度センサ４と、渦検出センサ５の絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段３３と、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段３４と、正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び渦検出センサ５の絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段３５と、その絶縁抵抗値比較手段３５において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力する信号出力手段３６と、を備えて本発明の渦流量計１を構成する。
【解決手段】 渦検出センサ５と、温度情報出力手段３２を構成する温度センサ４と、渦検出センサ５の絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段３３と、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段３４と、正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び渦検出センサ５の絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段３５と、その絶縁抵抗値比較手段３５において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力する信号出力手段３６と、を備えて本発明の渦流量計１を構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や流体の流量計測に広く使用される渦流量計に関し、詳しくは、センサの状態把握機能を有する渦流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
流管に流れる被測定流体の流量を計測するために渦流量計が用いられている。渦流量計は、周知のように、流体の流れの中に渦発生体を配設したとき、所定のレイノルズ数範囲では、渦発生体から単位時間内に発生するカルマン渦の数（渦周波数）が気体、液体に関係なく流量に比例することを利用したもので、この比例定数はストローハル数と呼ばれている。渦検出センサとしては、圧電センサ等が挙げられ、渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出することが可能である。渦流量計は、被測定流体の物性に影響されずに流量を測定できる簡易な流量計であって、気体や流体の流量計測に広く使用されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２８６９０５４号公報 （第３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記従来技術にあっては、渦検出センサの劣化が生じ始めても気が付くことがなく、そのまま使い続けてしまうことが通常である。すなわち、出力異常となるまで使い続け、サービスマンに劣化を指摘されるまで分からないことが通常である。渦検出センサの劣化が進行し出力異常が生じてしまうと、正常復帰させるための部品手配が必要になり、また、突然の出費が伴ってしまうことになる。さらに、部品を手配することはその部品が納入されるまで待たなくてはならず、流量計測に影響を来してしまうことになる。従って、渦検出センサの劣化状態を把握していないと、時間のロスや出費が突然に発生してしまうことになる。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、渦検出センサの状態把握をすることが可能な渦流量計、すなわちセンサの状態把握機能付き渦流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計は、被測定流体を通過させる測定管と、前記被測定流体の流れに対向するように前記測定管に設ける渦発生体と、圧電素子を有し前記渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出する渦検出センサと、を備える渦流量計であって、前記渦検出センサの温度情報を出力する温度情報出力手段と、前記渦検出センサの絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段と、前記温度情報に対応する正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び前記絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段と、該絶縁抵抗値比較手段において前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲を外れた場合に、又は逆に、前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲内にある場合に、所定の信号を出力する信号出力手段と、を更に備えることを特徴としている。
【０００６】
請求項２記載の本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計は、請求項１に記載のセンサの状態把握機能付き渦流量計において、前記正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段、又は前記温度情報に基づいて前記正常な絶縁抵抗値を算出する正常値算出手段を備えることを特徴としている。
【０００７】
このような特徴を有する本発明によれば、容積流量の測定に必要不可欠な構成となる渦検出センサの状態を把握するために、渦検出センサの絶縁抵抗値と、温度情報に基づく正常値の範囲とを比較し、そして、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲に含まれるか否かの判断を行う。その結果、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲を外れているようであれば、渦検出センサの状態が良くないとして例えば警告信号のような信号を出力する。また、これとは逆に、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲内であるようであれば、渦検出センサの状態が良いとして例えば正常信号のような信号を出力する。渦検出センサの状態把握は、所望のタイミングで行い、必要があれば常時行うようにしても良い。上記警告信号や正常信号のような所定の信号を出力することによって、渦検出センサの状態に係る表示、アラーム、接点（リレー、オープンコレクタ）などの後処理が行える。
【０００８】
本発明によれば、例えば、渦検出センサの劣化による流量出力異常となる前にセンサの寿命であることを知らせることが可能になる。その結果、計画的に部品購入及びメンテナンスサービスを受けることが可能になる。また、長期にわたって安心して渦流量計を使用することが可能になる。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に記載された本発明によれば、信号出力手段からの所定の信号に基づいて渦検出センサの状態を把握することができるという効果を奏する。また、請求項２に記載された本発明によれば、絶縁抵抗値との比較を行うために用いる正常値を、予め記憶させておく方式と演算によって求める方式のいずれかから選択することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の渦流量計、すなわちセンサの状態把握機能付き渦流量計の一実施の形態を示す図であり、図１（ａ）は渦流量計の断面図、図１（ｂ）は渦検出センサの状態把握に係るブロック図である。また、図２（ａ）は振動管の断面図、図２（ｂ）は渦検出センサの断面図、図２（ｃ）は渦検出部の断面図、図３は渦流量計の回路構成図、図４は渦流量計の動作を示すフローチャートである。
【００１１】
図１（ａ）において、引用符号１は本発明の渦流量計（センサの状態把握機能付き渦流量計）を示している。その本発明の渦流量計１は、測定管２と、渦発生体３と、温度センサ４を内蔵した渦検出センサ５と、その渦検出センサ５からの出力信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量（容積流量）を算出する流量変換器（図示省略）とを備えて構成されている。また、本発明の渦流量計１は、渦検出センサ５の状態把握（ここでは劣化状態の把握）をすることができるように構成されている。以下、図１（ａ）、図２、図３を参照しながら上記の各構成について説明する。
【００１２】
測定管２は、管断面が例えば円形状となる筒状に形成されている。測定管２は、被測定流体が流れる方向に沿って伸びるように形成されている。渦発生体３は、測定管２の内部に渦を発生させるための部分であって、被測定流体の流れに対向するように、その形状が形成されている。渦発生体３は、本形態において、三角柱形状に形成されている（形状は一例であるものとする。特許文献１の特許第２８６９０５４号公報には幾つかの例が開示されている）。渦発生体３には、一端が開口した計測室６が形成されている。計測室６は、渦発生体３の軸方向に形成されている。このような計測室６には、被測定流体の流れに対して直交方向に貫通する導圧孔７が形成されている。導圧孔７は、渦（カルマン渦）による変動圧を計測室６に導入するために形成されている。
【００１３】
ここで、渦発生体３により生じる渦について説明する。渦は、測定管２に流入する被測定流体が渦発生体３に沿って流れる流れによって生じる運動量変化の大きい位置から剥離するもので、渦発生体３の断面が本形態のように三角形状の場合は、三角形エッジ部が剥離点となる。渦発生体３から剥離し流出する渦は、カルマンの安定渦条件に従って、千鳥状に交互に発生し、一定の渦間距離及び渦列間距離を保った渦列を形成しながら流出する。渦間距離は、単位時間当たりに発生する渦の数、すなわち、渦周波数と、所定時間内に、例えば、基準タンク等の基準容器に流入した流体から求めた流量に基づいて算出された単位時間当たりの流速とから求めることができる。
【００１４】
渦検出センサ５は、渦検出のためのセンサであって、ここでは圧電センサが用いられている。渦検出センサ５は、振動管８と渦検出部９とを備えて構成されている。振動管８は、計測室６に差し込まれる可動管部１０と、可動管部１０の一端に連成される受圧板１１と、可動管部１０の他端に連成されて測定管２の固定部に固定される振動部取り付けフランジ１２と、その振動部取り付けフランジ１２に連成される振動管頭部１３と、振動管頭部１３から可動管部１０の上記一端近傍にかけて形成される空洞部１４とを有している。
【００１５】
可動管部１０は、計測室６の内周面に対して僅かな隙間があくような形状に形成されている。受圧板１１は、導圧孔７の位置に合うように配置形成されている。振動部取り付けフランジ１２には、ボルト穴１５が形成されている。振動管頭部１３には、渦検出部９を固定するための固定部１６が形成されている。空洞部１４には、渦検出部９が僅かな隙間をあけて差し込まれるようになっている。
【００１６】
渦検出部９は、振動管８に対して着脱自在となるように構成されている。すなわち、渦検出センサ５は、渦検出部９に劣化が生じてもその渦検出部９を交換すれば容易に正常復帰させることができるようになっている。また、渦検出センサ５は、被測定流体の流れを止めずにメンテナンスを行うことができるようになっている。渦検出部９には、後述するが、温度センサ４が一体化されている。渦検出部９は、振動管８が受けるカルマン渦による圧力変動を忠実に受けて電気信号に変換して流量変換器（図示省略）へ出力することができるように構成されている。具体的には、弾性母材１７と、圧電素子板１８と、電極板１９と、端子２０と、リード線２１と、挿通管２２と、バネ板２３と、素子カバー２４とを備えて構成されている。
【００１７】
弾性母材１７は、異径の金属柱であって、上端部２５と支持円柱部２６とバネ取り付け部２７とを有している。上端部２５には、圧電素子板１８が貼り付けによって取り付けられている。弾性母材１７は、上端部２５側が素子カバー２４内に収容されるようになっている。支持円柱部２６は、可動管部１０に差し込まれる部分であって、空洞部１４に対して僅かな隙間があくような形状に形成されている。支持円柱部２６の上端には、上端部２７が、また、支持円柱部２６の下端には、バネ取り付け部２７が連成されている。バネ取り付け部２７は、支持円柱部２６よりも小径であって、バネ板２３が溶接等により連成されている。
【００１８】
バネ板２３は、空洞部１４の端部に形成される係止凹部２８に挿入され、そして、バネ作用によって支持可能となる部分であって、放射状のスリット（図示省略）が複数形成されている。バネ板２３は、係止凹部２８の径よりも若干大きな径となるように形成されている。
【００１９】
圧電素子板１８は、上端部２５に形成された二つの面取り部に各々金ペースト等の導電性接着剤を用いて貼着された圧電素子であって、非貼着面には、各々、例えば多孔板からなる電極板１９が貼着されている。圧電素子板１８は、端子２０を介してリード線２１に接続されている。
【００２０】
素子カバー２４は、圧電素子板１８、電極板１９、及び端子２０からなる検出素子部（符号省略）を密封するために備えられている。素子カバー２４は、両端部が窄む略円筒体の形状に形成されている。素子カバー２４の周囲には、素子カバーフランジ２９が形成されている。渦検出部９は、素子カバーフランジ２９を介して振動管頭部１３の固定部１６に固定されるようになっている。素子カバー２４の上端部には、リード線２１を挿通する挿通管２２が気密に取り付けられている。また、素子カバー２４の下端部には、上端部２５と支持円柱部２６の境界部分が溶接されている。素子カバー２４の下端部からは、支持円柱部２６とバネ板２３とが突出するようになっている。素子カバー２４は、上記検出素子部を収容するために二分割することができる形状に形成されている。引用符号３０は分割部分の溶接部を示している。
【００２１】
温度センサ４は、特に限定するものではないが、本形態において渦検出センサ５に一体化されている。温度センサ４は、渦検出センサ５の温度を測定するための、言い換えれば渦検出センサ５の温度情報を出力するためのセンサであって、弾性母材１７の内部に収容固定されている。温度センサ４は、渦検出センサ５と同様に端子２０を介してリード線２１に接続されている。温度センサ４は、特許請求の範囲に記載した温度情報出力手段３２（後述する）を構成するものとする。温度情報は、温度センサ４を内蔵することに限らず、外部から入力するようにしてもよいものとする。
【００２２】
上記構成において、渦検出センサ５は、温度センサ４を内蔵した渦検出部９を振動管８内に挿入して振動伝達可能に一体に固着したものであって、振動管８と渦検出部９との固着部分は、係止凹部２８とバネ板２３の外周のバネ力による接触部分、及び、振動管８の振動管頭部１３の固定部１６と素子カバーフランジ２９とのボルト穴を介したボルト締めによる部分の二カ所となっている。
【００２３】
測定管２の流路３１に被測定流体（図示省略）が流れ、カルマン渦が左右交互に発生すると、変動圧力が生じ受圧板１１が左右に振動する。これにより振動管８の可動管部１０は、振動部取り付けフランジ１２を支点として振動する。振動は、バネ板２３を介して弾性母材１７に伝達される。弾性母材１７は、上端部２５側が素子カバー２４内に収容され、また、固着されていることから、上端部２５側を支点として片持ち状に左右に振動して圧電素子板１８に交番応力を生じさせる。渦検出センサ５は、渦に対応した電気信号を流量変換器（図示省略）に出力する。
【００２４】
次に、本発明の渦流量計１において行われる、渦検出センサ５の状態把握（劣化状態の判断）について説明する。
【００２５】
図１（ｂ）において、本発明の渦流量計１は、上記説明の渦検出センサ５及び温度センサ４の他に、渦検出センサ５の温度情報を出力する温度情報出力手段３２と、渦検出センサ５の絶縁抵抗値（圧電素子板１８の絶縁抵抗値）を出力する絶縁抵抗値出力手段３３と、温度センサ５の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値（後述する）を予め記憶する正常値記憶手段（メモリ）３４と、正常な絶縁抵抗値から決められる正常値の範囲（後述する）及び渦検出センサ５の絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段３５と、その絶縁抵抗値比較手段３５において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が上記正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力する信号出力手段３６と、を備えて構成されている。本発明の渦流量計１は、このような構成によって渦検出センサ５の状態把握（ここでは劣化状態の把握）をすることができるようになっている
【００２６】
尚、正常値記憶手段３４に替えて次のような機能を有する正常値算出手段（図示省略）を備えてもよいものとする。その正常値算出手段は、温度センサ５の測定温度に基づいて正常な絶縁抵抗値を算出する機能を有している。正常値記憶手段３４と上記正常値算出手段のいずれかを選択すればよいものとする。また、図１（ｂ）の構成において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が上記正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力するとしているが、これに限らず、上記正常値の範囲内の場合に正常信号を出力するようにしてもよいものとする。
【００２７】
本発明の渦流量計１について更に具体的に構成を説明すると、図３に示されるように、渦検出センサ５には、切替器３７が接続されている。切替器３７は、ＣＰＵ３８の制御によってチャージアンプ３９又は定電流回路４０への接続切り替えを行えるようになっている。チャージアンプ３９には、増幅・フィルタ４１が接続されている。また、増幅・フィルタ４１には、トリガ４２が接続されている。さらに、トリガ４２には、ＣＰＵ３８が接続されている。ＣＰＵ３８は、渦検出センサ５からの電気信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量（容積流量）を算出することができるようになっている。
【００２８】
切替器３７の接続切り替えによって渦検出センサ５に一定電流を供給し、渦検出センサ５の両端電圧を計測（渦検出センサ５に一定電圧を供給し、渦検出センサ５の両端電圧と固定抵抗の分圧電圧を計測することでもよいものとする）すると、その両端電圧は、Ａ／Ｄ変換器４３を介してＣＰＵ３８に入力される。ＣＰＵ３８では、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が算出される（この回路は上記絶縁抵抗値出力手段３３に相当する）。温度センサ４の検出値は、Ａ／Ｄ変換器４４を介してＣＰＵ３８に入力される（この回路は上記温度情報出力手段３２に相当する）。ＣＰＵ３８では、温度センサ４の測定温度に基づいて渦検出センサ５の劣化状態の把握が行われる（ＣＰＵ３８は絶縁抵抗値比較手段３５としても機能する）。
【００２９】
渦検出センサ５の劣化状態の把握に際しては、ＣＰＵ３８に接続される正常値記憶手段（メモリ）３４に予め記憶させておいた正常な絶縁抵抗値の中から、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値が読み込まれるものとする。また、ＣＰＵ３８では、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値に基づいて正常値の範囲（正常として許容できる範囲）が設定されるものとする。
【００３０】
図４において、本発明の渦流量計１が作動し計測が開始されると、渦検出センサ５及び温度センサ４により渦検出及び温度計測が行われる（ステップＳ１）。次に、渦検出センサ５からの電気信号及び温度センサ４からの電気信号がＣＰＵ３８に取り込まれる。ＣＰＵ３８では、渦検出センサ５からの電気信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量が算出される（ステップＳ２）。次に、算出された流速又は流量が表示器４５に表示・出力される（ステップＳ３）。次に、温度センサ４からの電気信号に基づいて渦検出センサ５の温度がｔ℃（例えばｔ＝４００℃やｔ＝３００℃など）以上であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ４）。
【００３１】
ステップＳ４の処理において、渦検出センサ５の温度がｔ℃未満の場合には、ステップＳ１の処理に戻り、再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の温度がｔ℃以上の場合には、流量データをメモリに待避させるとともに（ステップＳ５）、メモリに待避させた流量データに基づいて表示器４５への表示・出力が行われる（ステップＳ６）。尚、ステップＳ６での表示・出力は、後述する絶縁抵抗値の測定終了まで、又は渦検出センサ５の劣化状態の把握終了まで行われる。
【００３２】
流量データのメモリへの待避が行われると、次に、切替器３７の接続切り替えが行われる（ステップＳ７）。次に、正常値記憶手段（メモリ）３４に予め記憶させておいた正常な絶縁抵抗値が読み込まれる（ステップＳ８）。次に、渦検出センサ５の両端電圧が検出され、ＣＰＵ３８において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が算出される（ステップＳ９）。次に、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値から正常値の範囲が決められ、その正常値の範囲と渦検出センサ５の絶縁抵抗値とが比較され、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ１０）。
【００３３】
ステップＳ１０の処理において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内である場合には、切替器３７の接続切り替えが行われ（ステップＳ１１）、そして、ステップＳ１の処理に戻って再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲外である場合には、切替器３７の接続切り替え間隔が短くなるように変更される（ステップＳ１２）。尚、ステップＳ１２以降の処理を行わずに後述するステップＳ１５の処理に移行してもよいものとする。
【００３４】
次に、渦検出センサ５の絶縁抵抗値がステップＳ１０とは別の許容範囲内であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ１３）。ステップＳ１３の処理において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内である場合には、切替器３７の接続切り替えが行われ（ステップＳ１４）、そして、ステップＳ１の処理に戻って再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲外である場合には、渦検出センサ５の劣化が有ることが判断される。そして、所定の信号が出力回路４６に出力され、警告表示や警告アラームや警告接点等がなされる（ステップＳ１５）。上記所定の信号は、ここでは警告信号であり、特に図示しないが、リセットを掛けない限り警告表示や警告アラームや警告接点等が続くものとする（この限りでないものとする）。
【００３５】
尚、上記警告信号の数をカウントしておいて、あるカウントに達したら警告表示方法を変更（例えば警告表示がセンサ交換時期を知らせるランプの点滅であって、その点滅の間隔を変更するなど）したりすることも効果的である。また、上記警告信号を初めてカウントした時に、その日時を記憶しておいて経過時間等をユーザーが把握できるようにすることも効果的である。
【００３６】
以上、図１ないし図４を参照しながら説明してきたように、本発明の渦流量計１によれば、渦検出センサ５の劣化による流量出力異常となる前にセンサの寿命であることを知らせることができる。その結果、計画的に部品購入及びメンテナンスサービスを受けることができる。また、長期にわたって安心して渦流量計１を使用することができる。
【００３７】
本発明の渦流量計１によれば、ユーザー側で判断することができる。また、本発明の渦流量計１によれば、渦検出センサ５の絶縁抵抗値測定時であっても、表示・出力を途切れないようにすることができる。さらに、本発明の渦流量計１によれば、複雑な回路にならず安価に提供することができる。
【００３８】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計の一実施の形態を示す図であり、（ａ）は渦流量計の断面図、（ｂ）は渦検出センサの状態把握に係るブロック図である。
【図２】（ａ）は振動管の断面図、（ｂ）は渦検出センサの断面図、（ｃ）は渦検出部の断面図である。
【図３】渦流量計の回路構成図である。
【図４】渦流量計の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４０】
１ 渦流量計（センサの状態把握機能付き渦流量計）
２ 測定管
３ 渦発生体
４ 温度センサ（温度情報出力手段）
５ 渦検出センサ
６ 計測室
７ 導圧孔
８ 振動管
９ 渦検出部
１０ 可動管部
１１ 受圧板
１２ 振動部取り付けフランジ
１３ 振動管頭部
１４ 空洞部
１５ ボルト穴
１６ 固定部
１７ 弾性母材
１８ 圧電素子板
１９ 電極板
２０ 端子
２１ リード線
２２ 挿通管
２３ バネ板
２４ 素子カバー
２５ 上端部
２６ 支持円柱部
２７ バネ取り付け部
２８ 係止凹部
２９ 素子カバーフランジ
３０ 溶接部
３１ 流路
３２ 温度情報出力手段
３３ 絶縁抵抗値出力手段
３４ 正常値記憶手段
３５ 絶縁抵抗値比較手段
３６ 信号出力手段
３７ 切替器
３８ ＣＰＵ
３９ チャージアンプ
４０ 定電流回路
４１ 増幅・フィルタ
４２ トリガ
４３、４４ Ａ／Ｄ変換器
４５ 表示器
４６ 出力回路
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や流体の流量計測に広く使用される渦流量計に関し、詳しくは、センサの状態把握機能を有する渦流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
流管に流れる被測定流体の流量を計測するために渦流量計が用いられている。渦流量計は、周知のように、流体の流れの中に渦発生体を配設したとき、所定のレイノルズ数範囲では、渦発生体から単位時間内に発生するカルマン渦の数（渦周波数）が気体、液体に関係なく流量に比例することを利用したもので、この比例定数はストローハル数と呼ばれている。渦検出センサとしては、圧電センサ等が挙げられ、渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出することが可能である。渦流量計は、被測定流体の物性に影響されずに流量を測定できる簡易な流量計であって、気体や流体の流量計測に広く使用されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２８６９０５４号公報 （第３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記従来技術にあっては、渦検出センサの劣化が生じ始めても気が付くことがなく、そのまま使い続けてしまうことが通常である。すなわち、出力異常となるまで使い続け、サービスマンに劣化を指摘されるまで分からないことが通常である。渦検出センサの劣化が進行し出力異常が生じてしまうと、正常復帰させるための部品手配が必要になり、また、突然の出費が伴ってしまうことになる。さらに、部品を手配することはその部品が納入されるまで待たなくてはならず、流量計測に影響を来してしまうことになる。従って、渦検出センサの劣化状態を把握していないと、時間のロスや出費が突然に発生してしまうことになる。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、渦検出センサの状態把握をすることが可能な渦流量計、すなわちセンサの状態把握機能付き渦流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計は、被測定流体を通過させる測定管と、前記被測定流体の流れに対向するように前記測定管に設ける渦発生体と、圧電素子を有し前記渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出する渦検出センサと、を備える渦流量計であって、前記渦検出センサの温度情報を出力する温度情報出力手段と、前記渦検出センサの絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段と、前記温度情報に対応する正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び前記絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段と、該絶縁抵抗値比較手段において前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲を外れた場合に、又は逆に、前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲内にある場合に、所定の信号を出力する信号出力手段と、を更に備えることを特徴としている。
【０００６】
請求項２記載の本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計は、請求項１に記載のセンサの状態把握機能付き渦流量計において、前記正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段、又は前記温度情報に基づいて前記正常な絶縁抵抗値を算出する正常値算出手段を備えることを特徴としている。
【０００７】
このような特徴を有する本発明によれば、容積流量の測定に必要不可欠な構成となる渦検出センサの状態を把握するために、渦検出センサの絶縁抵抗値と、温度情報に基づく正常値の範囲とを比較し、そして、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲に含まれるか否かの判断を行う。その結果、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲を外れているようであれば、渦検出センサの状態が良くないとして例えば警告信号のような信号を出力する。また、これとは逆に、渦検出センサの絶縁抵抗値が正常値の範囲内であるようであれば、渦検出センサの状態が良いとして例えば正常信号のような信号を出力する。渦検出センサの状態把握は、所望のタイミングで行い、必要があれば常時行うようにしても良い。上記警告信号や正常信号のような所定の信号を出力することによって、渦検出センサの状態に係る表示、アラーム、接点（リレー、オープンコレクタ）などの後処理が行える。
【０００８】
本発明によれば、例えば、渦検出センサの劣化による流量出力異常となる前にセンサの寿命であることを知らせることが可能になる。その結果、計画的に部品購入及びメンテナンスサービスを受けることが可能になる。また、長期にわたって安心して渦流量計を使用することが可能になる。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に記載された本発明によれば、信号出力手段からの所定の信号に基づいて渦検出センサの状態を把握することができるという効果を奏する。また、請求項２に記載された本発明によれば、絶縁抵抗値との比較を行うために用いる正常値を、予め記憶させておく方式と演算によって求める方式のいずれかから選択することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の渦流量計、すなわちセンサの状態把握機能付き渦流量計の一実施の形態を示す図であり、図１（ａ）は渦流量計の断面図、図１（ｂ）は渦検出センサの状態把握に係るブロック図である。また、図２（ａ）は振動管の断面図、図２（ｂ）は渦検出センサの断面図、図２（ｃ）は渦検出部の断面図、図３は渦流量計の回路構成図、図４は渦流量計の動作を示すフローチャートである。
【００１１】
図１（ａ）において、引用符号１は本発明の渦流量計（センサの状態把握機能付き渦流量計）を示している。その本発明の渦流量計１は、測定管２と、渦発生体３と、温度センサ４を内蔵した渦検出センサ５と、その渦検出センサ５からの出力信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量（容積流量）を算出する流量変換器（図示省略）とを備えて構成されている。また、本発明の渦流量計１は、渦検出センサ５の状態把握（ここでは劣化状態の把握）をすることができるように構成されている。以下、図１（ａ）、図２、図３を参照しながら上記の各構成について説明する。
【００１２】
測定管２は、管断面が例えば円形状となる筒状に形成されている。測定管２は、被測定流体が流れる方向に沿って伸びるように形成されている。渦発生体３は、測定管２の内部に渦を発生させるための部分であって、被測定流体の流れに対向するように、その形状が形成されている。渦発生体３は、本形態において、三角柱形状に形成されている（形状は一例であるものとする。特許文献１の特許第２８６９０５４号公報には幾つかの例が開示されている）。渦発生体３には、一端が開口した計測室６が形成されている。計測室６は、渦発生体３の軸方向に形成されている。このような計測室６には、被測定流体の流れに対して直交方向に貫通する導圧孔７が形成されている。導圧孔７は、渦（カルマン渦）による変動圧を計測室６に導入するために形成されている。
【００１３】
ここで、渦発生体３により生じる渦について説明する。渦は、測定管２に流入する被測定流体が渦発生体３に沿って流れる流れによって生じる運動量変化の大きい位置から剥離するもので、渦発生体３の断面が本形態のように三角形状の場合は、三角形エッジ部が剥離点となる。渦発生体３から剥離し流出する渦は、カルマンの安定渦条件に従って、千鳥状に交互に発生し、一定の渦間距離及び渦列間距離を保った渦列を形成しながら流出する。渦間距離は、単位時間当たりに発生する渦の数、すなわち、渦周波数と、所定時間内に、例えば、基準タンク等の基準容器に流入した流体から求めた流量に基づいて算出された単位時間当たりの流速とから求めることができる。
【００１４】
渦検出センサ５は、渦検出のためのセンサであって、ここでは圧電センサが用いられている。渦検出センサ５は、振動管８と渦検出部９とを備えて構成されている。振動管８は、計測室６に差し込まれる可動管部１０と、可動管部１０の一端に連成される受圧板１１と、可動管部１０の他端に連成されて測定管２の固定部に固定される振動部取り付けフランジ１２と、その振動部取り付けフランジ１２に連成される振動管頭部１３と、振動管頭部１３から可動管部１０の上記一端近傍にかけて形成される空洞部１４とを有している。
【００１５】
可動管部１０は、計測室６の内周面に対して僅かな隙間があくような形状に形成されている。受圧板１１は、導圧孔７の位置に合うように配置形成されている。振動部取り付けフランジ１２には、ボルト穴１５が形成されている。振動管頭部１３には、渦検出部９を固定するための固定部１６が形成されている。空洞部１４には、渦検出部９が僅かな隙間をあけて差し込まれるようになっている。
【００１６】
渦検出部９は、振動管８に対して着脱自在となるように構成されている。すなわち、渦検出センサ５は、渦検出部９に劣化が生じてもその渦検出部９を交換すれば容易に正常復帰させることができるようになっている。また、渦検出センサ５は、被測定流体の流れを止めずにメンテナンスを行うことができるようになっている。渦検出部９には、後述するが、温度センサ４が一体化されている。渦検出部９は、振動管８が受けるカルマン渦による圧力変動を忠実に受けて電気信号に変換して流量変換器（図示省略）へ出力することができるように構成されている。具体的には、弾性母材１７と、圧電素子板１８と、電極板１９と、端子２０と、リード線２１と、挿通管２２と、バネ板２３と、素子カバー２４とを備えて構成されている。
【００１７】
弾性母材１７は、異径の金属柱であって、上端部２５と支持円柱部２６とバネ取り付け部２７とを有している。上端部２５には、圧電素子板１８が貼り付けによって取り付けられている。弾性母材１７は、上端部２５側が素子カバー２４内に収容されるようになっている。支持円柱部２６は、可動管部１０に差し込まれる部分であって、空洞部１４に対して僅かな隙間があくような形状に形成されている。支持円柱部２６の上端には、上端部２７が、また、支持円柱部２６の下端には、バネ取り付け部２７が連成されている。バネ取り付け部２７は、支持円柱部２６よりも小径であって、バネ板２３が溶接等により連成されている。
【００１８】
バネ板２３は、空洞部１４の端部に形成される係止凹部２８に挿入され、そして、バネ作用によって支持可能となる部分であって、放射状のスリット（図示省略）が複数形成されている。バネ板２３は、係止凹部２８の径よりも若干大きな径となるように形成されている。
【００１９】
圧電素子板１８は、上端部２５に形成された二つの面取り部に各々金ペースト等の導電性接着剤を用いて貼着された圧電素子であって、非貼着面には、各々、例えば多孔板からなる電極板１９が貼着されている。圧電素子板１８は、端子２０を介してリード線２１に接続されている。
【００２０】
素子カバー２４は、圧電素子板１８、電極板１９、及び端子２０からなる検出素子部（符号省略）を密封するために備えられている。素子カバー２４は、両端部が窄む略円筒体の形状に形成されている。素子カバー２４の周囲には、素子カバーフランジ２９が形成されている。渦検出部９は、素子カバーフランジ２９を介して振動管頭部１３の固定部１６に固定されるようになっている。素子カバー２４の上端部には、リード線２１を挿通する挿通管２２が気密に取り付けられている。また、素子カバー２４の下端部には、上端部２５と支持円柱部２６の境界部分が溶接されている。素子カバー２４の下端部からは、支持円柱部２６とバネ板２３とが突出するようになっている。素子カバー２４は、上記検出素子部を収容するために二分割することができる形状に形成されている。引用符号３０は分割部分の溶接部を示している。
【００２１】
温度センサ４は、特に限定するものではないが、本形態において渦検出センサ５に一体化されている。温度センサ４は、渦検出センサ５の温度を測定するための、言い換えれば渦検出センサ５の温度情報を出力するためのセンサであって、弾性母材１７の内部に収容固定されている。温度センサ４は、渦検出センサ５と同様に端子２０を介してリード線２１に接続されている。温度センサ４は、特許請求の範囲に記載した温度情報出力手段３２（後述する）を構成するものとする。温度情報は、温度センサ４を内蔵することに限らず、外部から入力するようにしてもよいものとする。
【００２２】
上記構成において、渦検出センサ５は、温度センサ４を内蔵した渦検出部９を振動管８内に挿入して振動伝達可能に一体に固着したものであって、振動管８と渦検出部９との固着部分は、係止凹部２８とバネ板２３の外周のバネ力による接触部分、及び、振動管８の振動管頭部１３の固定部１６と素子カバーフランジ２９とのボルト穴を介したボルト締めによる部分の二カ所となっている。
【００２３】
測定管２の流路３１に被測定流体（図示省略）が流れ、カルマン渦が左右交互に発生すると、変動圧力が生じ受圧板１１が左右に振動する。これにより振動管８の可動管部１０は、振動部取り付けフランジ１２を支点として振動する。振動は、バネ板２３を介して弾性母材１７に伝達される。弾性母材１７は、上端部２５側が素子カバー２４内に収容され、また、固着されていることから、上端部２５側を支点として片持ち状に左右に振動して圧電素子板１８に交番応力を生じさせる。渦検出センサ５は、渦に対応した電気信号を流量変換器（図示省略）に出力する。
【００２４】
次に、本発明の渦流量計１において行われる、渦検出センサ５の状態把握（劣化状態の判断）について説明する。
【００２５】
図１（ｂ）において、本発明の渦流量計１は、上記説明の渦検出センサ５及び温度センサ４の他に、渦検出センサ５の温度情報を出力する温度情報出力手段３２と、渦検出センサ５の絶縁抵抗値（圧電素子板１８の絶縁抵抗値）を出力する絶縁抵抗値出力手段３３と、温度センサ５の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値（後述する）を予め記憶する正常値記憶手段（メモリ）３４と、正常な絶縁抵抗値から決められる正常値の範囲（後述する）及び渦検出センサ５の絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段３５と、その絶縁抵抗値比較手段３５において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が上記正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力する信号出力手段３６と、を備えて構成されている。本発明の渦流量計１は、このような構成によって渦検出センサ５の状態把握（ここでは劣化状態の把握）をすることができるようになっている
【００２６】
尚、正常値記憶手段３４に替えて次のような機能を有する正常値算出手段（図示省略）を備えてもよいものとする。その正常値算出手段は、温度センサ５の測定温度に基づいて正常な絶縁抵抗値を算出する機能を有している。正常値記憶手段３４と上記正常値算出手段のいずれかを選択すればよいものとする。また、図１（ｂ）の構成において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が上記正常値の範囲を外れた場合に警告信号を出力するとしているが、これに限らず、上記正常値の範囲内の場合に正常信号を出力するようにしてもよいものとする。
【００２７】
本発明の渦流量計１について更に具体的に構成を説明すると、図３に示されるように、渦検出センサ５には、切替器３７が接続されている。切替器３７は、ＣＰＵ３８の制御によってチャージアンプ３９又は定電流回路４０への接続切り替えを行えるようになっている。チャージアンプ３９には、増幅・フィルタ４１が接続されている。また、増幅・フィルタ４１には、トリガ４２が接続されている。さらに、トリガ４２には、ＣＰＵ３８が接続されている。ＣＰＵ３８は、渦検出センサ５からの電気信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量（容積流量）を算出することができるようになっている。
【００２８】
切替器３７の接続切り替えによって渦検出センサ５に一定電流を供給し、渦検出センサ５の両端電圧を計測（渦検出センサ５に一定電圧を供給し、渦検出センサ５の両端電圧と固定抵抗の分圧電圧を計測することでもよいものとする）すると、その両端電圧は、Ａ／Ｄ変換器４３を介してＣＰＵ３８に入力される。ＣＰＵ３８では、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が算出される（この回路は上記絶縁抵抗値出力手段３３に相当する）。温度センサ４の検出値は、Ａ／Ｄ変換器４４を介してＣＰＵ３８に入力される（この回路は上記温度情報出力手段３２に相当する）。ＣＰＵ３８では、温度センサ４の測定温度に基づいて渦検出センサ５の劣化状態の把握が行われる（ＣＰＵ３８は絶縁抵抗値比較手段３５としても機能する）。
【００２９】
渦検出センサ５の劣化状態の把握に際しては、ＣＰＵ３８に接続される正常値記憶手段（メモリ）３４に予め記憶させておいた正常な絶縁抵抗値の中から、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値が読み込まれるものとする。また、ＣＰＵ３８では、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値に基づいて正常値の範囲（正常として許容できる範囲）が設定されるものとする。
【００３０】
図４において、本発明の渦流量計１が作動し計測が開始されると、渦検出センサ５及び温度センサ４により渦検出及び温度計測が行われる（ステップＳ１）。次に、渦検出センサ５からの電気信号及び温度センサ４からの電気信号がＣＰＵ３８に取り込まれる。ＣＰＵ３８では、渦検出センサ５からの電気信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量が算出される（ステップＳ２）。次に、算出された流速又は流量が表示器４５に表示・出力される（ステップＳ３）。次に、温度センサ４からの電気信号に基づいて渦検出センサ５の温度がｔ℃（例えばｔ＝４００℃やｔ＝３００℃など）以上であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ４）。
【００３１】
ステップＳ４の処理において、渦検出センサ５の温度がｔ℃未満の場合には、ステップＳ１の処理に戻り、再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の温度がｔ℃以上の場合には、流量データをメモリに待避させるとともに（ステップＳ５）、メモリに待避させた流量データに基づいて表示器４５への表示・出力が行われる（ステップＳ６）。尚、ステップＳ６での表示・出力は、後述する絶縁抵抗値の測定終了まで、又は渦検出センサ５の劣化状態の把握終了まで行われる。
【００３２】
流量データのメモリへの待避が行われると、次に、切替器３７の接続切り替えが行われる（ステップＳ７）。次に、正常値記憶手段（メモリ）３４に予め記憶させておいた正常な絶縁抵抗値が読み込まれる（ステップＳ８）。次に、渦検出センサ５の両端電圧が検出され、ＣＰＵ３８において渦検出センサ５の絶縁抵抗値が算出される（ステップＳ９）。次に、温度センサ４の測定温度に対応する正常な絶縁抵抗値から正常値の範囲が決められ、その正常値の範囲と渦検出センサ５の絶縁抵抗値とが比較され、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ１０）。
【００３３】
ステップＳ１０の処理において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内である場合には、切替器３７の接続切り替えが行われ（ステップＳ１１）、そして、ステップＳ１の処理に戻って再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲外である場合には、切替器３７の接続切り替え間隔が短くなるように変更される（ステップＳ１２）。尚、ステップＳ１２以降の処理を行わずに後述するステップＳ１５の処理に移行してもよいものとする。
【００３４】
次に、渦検出センサ５の絶縁抵抗値がステップＳ１０とは別の許容範囲内であるかどうかの判断がなされる（ステップＳ１３）。ステップＳ１３の処理において、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲内である場合には、切替器３７の接続切り替えが行われ（ステップＳ１４）、そして、ステップＳ１の処理に戻って再び渦検出及び温度計測が続けられる。一方、渦検出センサ５の絶縁抵抗値が許容範囲外である場合には、渦検出センサ５の劣化が有ることが判断される。そして、所定の信号が出力回路４６に出力され、警告表示や警告アラームや警告接点等がなされる（ステップＳ１５）。上記所定の信号は、ここでは警告信号であり、特に図示しないが、リセットを掛けない限り警告表示や警告アラームや警告接点等が続くものとする（この限りでないものとする）。
【００３５】
尚、上記警告信号の数をカウントしておいて、あるカウントに達したら警告表示方法を変更（例えば警告表示がセンサ交換時期を知らせるランプの点滅であって、その点滅の間隔を変更するなど）したりすることも効果的である。また、上記警告信号を初めてカウントした時に、その日時を記憶しておいて経過時間等をユーザーが把握できるようにすることも効果的である。
【００３６】
以上、図１ないし図４を参照しながら説明してきたように、本発明の渦流量計１によれば、渦検出センサ５の劣化による流量出力異常となる前にセンサの寿命であることを知らせることができる。その結果、計画的に部品購入及びメンテナンスサービスを受けることができる。また、長期にわたって安心して渦流量計１を使用することができる。
【００３７】
本発明の渦流量計１によれば、ユーザー側で判断することができる。また、本発明の渦流量計１によれば、渦検出センサ５の絶縁抵抗値測定時であっても、表示・出力を途切れないようにすることができる。さらに、本発明の渦流量計１によれば、複雑な回路にならず安価に提供することができる。
【００３８】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のセンサの状態把握機能付き渦流量計の一実施の形態を示す図であり、（ａ）は渦流量計の断面図、（ｂ）は渦検出センサの状態把握に係るブロック図である。
【図２】（ａ）は振動管の断面図、（ｂ）は渦検出センサの断面図、（ｃ）は渦検出部の断面図である。
【図３】渦流量計の回路構成図である。
【図４】渦流量計の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４０】
１ 渦流量計（センサの状態把握機能付き渦流量計）
２ 測定管
３ 渦発生体
４ 温度センサ（温度情報出力手段）
５ 渦検出センサ
６ 計測室
７ 導圧孔
８ 振動管
９ 渦検出部
１０ 可動管部
１１ 受圧板
１２ 振動部取り付けフランジ
１３ 振動管頭部
１４ 空洞部
１５ ボルト穴
１６ 固定部
１７ 弾性母材
１８ 圧電素子板
１９ 電極板
２０ 端子
２１ リード線
２２ 挿通管
２３ バネ板
２４ 素子カバー
２５ 上端部
２６ 支持円柱部
２７ バネ取り付け部
２８ 係止凹部
２９ 素子カバーフランジ
３０ 溶接部
３１ 流路
３２ 温度情報出力手段
３３ 絶縁抵抗値出力手段
３４ 正常値記憶手段
３５ 絶縁抵抗値比較手段
３６ 信号出力手段
３７ 切替器
３８ ＣＰＵ
３９ チャージアンプ
４０ 定電流回路
４１ 増幅・フィルタ
４２ トリガ
４３、４４ Ａ／Ｄ変換器
４５ 表示器
４６ 出力回路
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体を通過させる測定管と、前記被測定流体の流れに対向するように前記測定管に設ける渦発生体と、圧電素子を有し前記渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出する渦検出センサと、を備える渦流量計であって、
前記渦検出センサの温度情報を出力する温度情報出力手段と、前記渦検出センサの絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段と、前記温度情報に対応する正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び前記絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段と、該絶縁抵抗値比較手段において前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲を外れた場合に、又は逆に、前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲内にある場合に、所定の信号を出力する信号出力手段と、を更に備える
ことを特徴とするセンサの状態把握機能付き渦流量計。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサの状態把握機能付き渦流量計において、
前記正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段、又は前記温度情報に基づいて前記正常な絶縁抵抗値を算出する正常値算出手段を備える
ことを特徴とするセンサの状態把握機能付き渦流量計。
【請求項１】
被測定流体を通過させる測定管と、前記被測定流体の流れに対向するように前記測定管に設ける渦発生体と、圧電素子を有し前記渦発生体により生じるカルマン渦に基づく渦変動差圧を検出する渦検出センサと、を備える渦流量計であって、
前記渦検出センサの温度情報を出力する温度情報出力手段と、前記渦検出センサの絶縁抵抗値を出力する絶縁抵抗値出力手段と、前記温度情報に対応する正常な絶縁抵抗値から決める正常値の範囲及び前記絶縁抵抗値を比較する絶縁抵抗値比較手段と、該絶縁抵抗値比較手段において前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲を外れた場合に、又は逆に、前記絶縁抵抗値が前記正常値の範囲内にある場合に、所定の信号を出力する信号出力手段と、を更に備える
ことを特徴とするセンサの状態把握機能付き渦流量計。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサの状態把握機能付き渦流量計において、
前記正常な絶縁抵抗値を予め記憶する正常値記憶手段、又は前記温度情報に基づいて前記正常な絶縁抵抗値を算出する正常値算出手段を備える
ことを特徴とするセンサの状態把握機能付き渦流量計。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００６−８４１９９（Ｐ２００６−８４１９９Ａ）
【公開日】平成１８年３月３０日（２００６．３．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２６６６８９（Ｐ２００４−２６６６８９）
【出願日】平成１６年９月１４日（２００４．９．１４）
【出願人】（０００１０３５７４）株式会社オーバル (82)
【公開日】平成１８年３月３０日（２００６．３．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年９月１４日（２００４．９．１４）
【出願人】（０００１０３５７４）株式会社オーバル (82)
[ Back to top ]