フレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材
【課題】パターン付フレキシブル基材１に測定光を照射した場合、この測定光を明瞭に受光してパターンの光学特性を精度良く検出する。
【解決手段】パターン付フレキシブル基材１はパターン形成領域２を有するガラスフィルム１２と、ガラスフィルム１２に接着剤１３を介して接着された支持フィルム１１とを有している。ガラスフィルム１２のパターン形成領域２に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成されている。支持フィルム１１および接着剤１３のうちパターン形成領域２に対応する領域内の少なくとも一部に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａが設けられている。
【解決手段】パターン付フレキシブル基材１はパターン形成領域２を有するガラスフィルム１２と、ガラスフィルム１２に接着剤１３を介して接着された支持フィルム１１とを有している。ガラスフィルム１２のパターン形成領域２に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成されている。支持フィルム１１および接着剤１３のうちパターン形成領域２に対応する領域内の少なくとも一部に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａが設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持フィルムに接着剤を介してガラスフィルムが積層されたフレキシブル基材、およびフレキシブル基材上にパターンが形成されたパターン付フレキシブル基材に係り、とりわけ、パターンがもつ色彩、形状等のパターン情報を正しく検知することができるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電子ディスプレイ、建築、家具装飾、電子デバイス、半導体デバイス、車体部材等には、従来から、ガラス板が多く用いられている。このうち、液晶ディスプレイ、電子ペーパー、有機ＥＬディスプレイ等の電子ディスプレイに使用されるカラーフィルタには、一般的に、枚葉状のガラス板が基板として用いられており、このガラス板に、複数色の画素がパターン状に形成されて、カラーフィルタが製造されている。また、カラーフィルタの対向基板であるＴＦＴ基板若しくは電極基板、有機ＥＬ用表示素子基板、または太陽電池等にも、枚葉状のガラス板が用いられている。
【０００３】
ところで、最近のガラス製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度のガラスフィルムが製造されるようになっている。このようなガラスフィルムは、可撓性を有しており、ロール状に巻き取り可能になっている。例えば、このガラスフィルムをカラーフィルタの基板に用いる場合には、ガラスフィルムが巻き取られたロールからガラスフィルムを繰り出して連続的にカラーフィルタを製造することができ、枚葉状のガラス板を用いる場合に比べて、生産効率を向上させることができる。しかしながら、このようなガラスフィルムはその厚さが薄いことから、耐衝撃性が低下し、製造工程中に損傷するという問題がある。
【０００４】
このような問題の対策として、フレキシブルなガラスフィルムとガラスフィルムに接着剤を介して接着されたプラスチック製支持フィルムとを有する積層体（フレキシブル基材）を用い、このフレキシブル基材のガラスフィルム上に画素パターンを形成して得られるカラーフィルタが開発されている。
【０００５】
この場合、このようにして得られたカラーフィルタに関し、画素パターンの色彩および形状等を検出するため測定光を画素パターンに照射してパターンの光学特性を検出している。しかしながら、フレキシブル基材上の画素パターンに測定光を照射しても、この測定光がフレキシブル基材を確実に透過することができず、測定光を精度良く受光できないため、パターンの光学特性を確実に検出することがむずかしい、という問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２２８１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、測定光を用いて画素パターン等のパターンの光学特性を精度良く確実に検出することができるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、パターンが形成されるパターン形成領域を表面に有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【０００９】
本発明は、マークが形成されるマーク形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記マーク形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成されたマーク用開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１０】
本発明は、前記マーク形成領域は、パターン形成用のアライメントマークが形成されるアライメントマーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記アライメントマーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第２開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１１】
本発明は、前記マーク形成領域は、対向する基板との貼り合せ用の貼合マークが形成される貼合マーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記貼合マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第３開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１２】
本発明は、前記マーク形成領域は、パターンの長寸法確認用マークが形成される長寸法確認用マーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記長寸法確認用マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第４開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１３】
本発明は、パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域内に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材と、前記ガラスフィルムの前記パターン形成領域に形成されたパターンとを備えたことを特徴とするパターン付フレキシブル基材である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、フレキシブル基材の支持フィルムのうちパターン形成領域またはマーク形成領域に対応する領域内の少なくとも一部に、支持フィルムを除去して形成された第１開孔またはマーク用開孔が設けられている。ガラスフィルムのパターン形成領域にパターンを形成し、あるいはガラスフィルムのマーク形成領域にマークを形成し、このパターンまたはマークに対してガラスフィルム側から測定光を照射し、この測定光を受光する場合、測定光を第１開孔またはマーク用開孔に向けて照射する。このことにより、第１開孔またはマーク用開孔によって測定光の散乱を抑え、測定光を精度良く受光することができる。このためパターンの色彩および形状についての光学特性を精度良く検出することができ、あるいはマークを精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明によるフレキシブル基材を示す断面図。
【図２】図２（ａ）は、本発明によるフレキシブル基材の上面図、図２（ｂ）は、フレキシブル基材の底面図。
【図３】図３（ａ）は、本発明によるフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図、図３（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図４】図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図５】図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第２開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図６】図６（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第３開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図７】図７（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第４開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図８】図８は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔とパターンとの関係を示す図。
【図９】図９は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔とパターンとの関係を示す図。
【図１０】図１０は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第２開孔、第３開孔および第４開孔と、アライメントマーク、貼合マークおよび長寸法確認用マークとの関係を示す図。
【図１１】図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１２】図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１３】図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１４】図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１５】図１５は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１６】図１６は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１７】図１７は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１８】図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はアライメントマーク、貼合マークおよび長寸法確認用マークの形状を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１７】
まず、図１乃至図３により本発明によるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材について説明する。
【００１８】
図１に示すように、本発明によるフレキシブル基材１Ａは後述する画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成されるパターン形成領域２を表面に有するフレキシブルなガラスフィルム１２と、ガラスフィルム１２に接着剤１３を介して接着された支持フィルム１１とを備えている。
【００１９】
ここで、「フレキシブル」とは、柔軟性があることを意味しており、一般的に可撓性があり、曲げることが可能なことを意味する。
【００２０】
また、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、パターン形成領域２に対応する領域内の所望部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａが設けられている。
【００２１】
さらにまたガラスフィルム１２はその表面にパターン形成用のアライメントマーク３ａが形成されるアライメントマーク形成領域（マーク形成領域）３を有している（図２（ａ）（ｂ））。そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、アライメントマーク形成領域３に対応する部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第２開孔（マーク用開孔）３Ａが設けられている。
【００２２】
またガラスフィルム１２は、その表面に対向する基板、例えばＴＦＴ基板と貼り合せる際に用いられる貼り合わせ用の貼合マーク４ａが形成される貼合マーク形成領域（マーク形成領域）４を有している（図６参照）。
【００２３】
そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、貼合マーク形成領域４に対応する部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第３開孔（マーク用開孔）４Ａが設けられている。
【００２４】
またガラスフィルム１２は、その表面に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの長寸法確認用マーク５ａが形成される長寸法確認用マーク形成領域（マーク形成領域）５を有している（図７参照）。
【００２５】
そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、長寸法確認用マーク形成領域５に対応する部分に、支持フィルムおよび接着剤１３を除去して形成された第４開孔（マーク用開孔）５Ａが設けられている。
【００２６】
上述した構成からなるフレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２のうち、パターン形成領域２に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを設け、ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３にアライメントマーク３ａを設け、ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に貼合マーク４ａを設け、ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に長寸法確認用マーク５ａを設ける。このことにより、本発明によるパターン付フレキシブル基材として、例えばカラーフィルタ１が得られる。
【００２７】
次にこのような構成からなるフレキシブル基材１Ａおよびパターン付フレキシブル基材１の各構成部分について説明する。
【００２８】
まずガラスフィルム１２上に設けられた画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃについて述べる。図２（ａ）（ｂ）に示すように、フレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２上には４つのパターン形成領域２が形成され、各パターン形成領域内２内に多数の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが設けられ、４面付けのパターン付フレキシブル基材１が構成されている。
【００２９】
すなわち、ガラスフィルム１２の各パターン形成領域２には、マトリックス形状にパターニングされたブラックマトリックス９が設けられており（図８および図９参照）、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃは、ガラスフィルム１２上のブラックマトリックス９により画定される各開口部内に形成されている。この場合、ブラックマトリックス９の各開口部内に、赤色（Ｒ）画素用感光性材料、緑色（Ｇ）画素用感光性材料、および青色（Ｂ）画素用感光性材料により、赤色画素パターン２a、緑色画素パターン２ｂおよび青色画素パターン２ｃが形成されている。各画素パターン２a、２ｂ、２ｃの配列は、図示しないが、ストライプ配列、デルタ配列（トライアングル配列）、正方配列（四画素配列）等の公知の配列とすることができる。このように異なる色を有した三つの隣り合う画素パターンによって、画面上における一つの表示画素が形成されるようになっている。更に、黄色画素パターン（図示せず）等を追加して４色以上の画素が形成されるようにしても良い。なお各画素パターン２a、２ｂ、２ｃを形成する感光性材料としては、各色の顔料と溶剤とバインダーとしての接合性樹脂とを含む顔料分散型の感光性樹脂組成物を用いることができ、ブラックマトリックス９を形成する感光性材料としては、遮光性を有する黒色の顔料を分散させた感光性樹脂組成物を用いることができる。
【００３０】
このようなパターン付フレキシブル基材１は、例えば、各画素パターン２a、２ｂ、２ｃに対応して配列されたＴＦＴ等のスイッチング素子と液晶層とを含む液晶素子、および面光源と組み合わされて、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）または電子ペーパー等に用いられる。この構成において、液晶はスイッチング素子によって制御されてシャッターとして機能し、面光源からの光を所望の色の画素のみを介して出射させる。このようにして、画面上にカラー映像が表示されるようになっている。
【００３１】
次にフレキシブル基材１Ａを構成する支持フィルム１１、ガラスフィルム１２および接着剤１３について述べる。
【００３２】
まず支持フィルム１１の材料としては、柔軟性を有するプラスチックを挙げることができ、ガラスフィルム１２への衝撃や局所的な加圧、歪みに対する脆弱性を補ってガラスフィルム１２を補強するためのものである。単体のガラスフィルム１２を、異物を巻き込んで巻き取った場合には、局所的な衝撃、加圧、傷等により、ガラスフィルム１２が容易に破損する可能性がある。そこで、ガラスフィルム１２に支持フィルム１１を貼り合せることにより、強度を増大させて、ガラスフィルム１２の破損を防止することができる。また、ガラスフィルム１２に支持フィルム１１を貼り合せることにより、ガラスフィルム１２が割れた場合であっても、ガラスの破片等の飛散を防止することができる。
【００３３】
支持フィルム１１は特に制限はなく汎用的なフィルムを使用できる。例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ナイロン６６（６６Ｎ）、アクリロニトルプタジェンスチレン（ＡＢＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等の材料を挙げることができる。また、金属フィルムでも使用でき、ステンレス、銅、鉄、アルミなどが利用できる。フィルム厚は特に制限はないが、ガラスフィルム１２の強度補強の観点から０．００５〜２．０００ｍｍの範囲、ロールｔｏロールプロセス適用においては、０．００５〜０．２００ｍｍの範囲が好適である。大きさはガラスフィルム１２を補強する理由からガラスフィルム１２全面を覆うことが好ましいが、ガラスフィルム１２の面積に対し、多少のずれがあっても補強の目的は達成され、具体的には±５％以内であれば良い。
【００３４】
ガラスフィルム１２は、ロール状にできる程度の厚さが薄いもので０．１ｍｍ以下が好適である。ガラスフィルム１２の面積は特に制限はないが、シート状の場合、例えば２０ｃｍ２〜９００００ｃｍ２である。本発明においては、ガラスフィルム１２はいわゆるロールｔｏロールプロセスで使用される帯状形態であってもよく、その場合、幅は５ｃｍから２００ｃｍ、長さは３ｍから３０００ｍである。ガラスフィルム１２の材料としては、一般にディスプレイ用途に用いられるソーダライムガラス、無アルカリガラスが好ましい。このうち、無色で透明度が高く、線熱膨張係数が小さくて変形しにくい無アルカリガラスが好適である。
【００３５】
接着剤１３はガラスフィルム１２と支持フィルムを接着できるものであれば特に制限はなく、アクリル系、スチレン系、シリコン系等の樹脂材料が好ましい。また接着剤１３の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましい。このことにより、支持フィルム１１とガラスフィルム１２とを接着するために十分な粘着力を確保できる。接着剤１３は、ガラスフィルム１２から剥離せずにガラスフィルム１２に永久的又は半永久的に接着する場合に限られず、最終的にガラスフィルム１２から剥離できる場合、すなわち粘着剤も包含する。
【００３６】
次に支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａについて以下述べる。
【００３７】
このうち、第１開孔２Ａは図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、ガラスフィルム１２のパターン形成領域２に対応する領域内の所望部分に設けられている。第１開孔２Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００３８】
ガラスフィルム１２のパターン形成領域２上には、上述のように、ブラックマトリックス９（図８および図９参照）および画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成される。なお、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）において、ブラックマトリックスは便宜上示されていない。画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状等の光学特性を検出するため、この画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性を精度良く測定することができる。
【００３９】
図４（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、各パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に１つずつの第１開孔２Ａが設けられている。
【００４０】
また図４（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に２面付のパターン形成領域２を設けるとともに、各パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に５つずつの第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４１】
さらに図４（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に１面付のパターン形成領域２を設けるとともに、パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に５つの第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４２】
なお、第１開孔２Ａは必ずしもパターン形成領域２内に形成される必要はなく、パターン形成領域２の大きさによっては、支持フィルム１１がガラスフィルム１２を補強することができれば、パターン形成領域２全体を囲むよう第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４３】
ここで、図４(ａ)（ｂ）（ｃ）において、便宜上第１開孔２Ａのみが示されているが、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００４４】
また、第２開孔３Ａは図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうちガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３に対応する領域に設けられている。第２開孔３Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００４５】
ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３上には、上述のようにアライメントマーク３ａが形成される。アライメントマーク３ａの位置を検出するため、このアライメントマーク３ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第２開孔３Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、アライメントマーク３ａの位置を精度良く測定することができる。
【００４６】
アライメントマーク形成領域３はアライメントマーク３ａが形成される領域であり、このアライメントマーク３ａに照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積はアライメントマーク形成領域３の面積より大きいことが好ましく、また第２開孔３Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００４７】
第２開孔３Ａは少なくともアライメントマーク３ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお第２開孔３Ａは必ずしもアライメントマーク３ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えばアライメントマーク３ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、このアライメントマーク３ａの交差部のみを覆うように第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右２つのアライメントマーク形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように２つの第２開孔３Ａが設けられている。
【００４９】
また図５（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左下と右上の２つのアライメントマーク形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように２つの第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００５０】
さらに図５（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右４つのアライメント形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように４つの第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００５１】
ここで、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第２開孔３Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００５２】
また、第３開孔４Ａは図６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に対応する領域に設けられている。第３開孔４Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００５３】
ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４上には、上述のように貼合マーク４ａが形成される。貼合マーク４ａの位置を検出するため、この貼合マーク４ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第３開孔４Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、貼合マーク４ａの位置を精度良く測定することができる。
【００５４】
貼合マーク形成領域４は貼合マーク４ａが形成される領域であり、この貼合マーク４ａに照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積は貼合マーク形成領域４の面積より大きいことが好ましく、また第３開孔４Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００５５】
第３開孔４Ａは少なくとも貼合マーク４ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお第３開孔４Ａは必ずしも貼合マーク４ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えば貼合マーク４ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、この貼合マーク４ａの交差部のみを覆うように第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５６】
図６（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右２つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように２つの第３開孔４Ａが設けられている。
【００５７】
また、図６（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左下と右上の２つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように２つの第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５８】
さらに図６（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右４つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように４つの第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５９】
ここで図６（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第３開孔４Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００６０】
また、第４開孔５Ａは図７（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうちガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に対応する領域に設けられている。第４開孔５Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００６１】
ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５上には、上述のように長寸法確認用マーク５ａが形成される。長寸法確認用マーク５ａの位置を検出するため、この長寸法確認用マーク５ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第４開孔５Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、長寸法確認用マーク５ａの位置を精度良く測定することができる。
【００６２】
長寸法確認用マーク形成領域５は長寸法確認用マーク５が形成される領域であり、この長寸法確認用マーク５に照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積は長寸法確認用マーク形成領域５の面積より大きいことが好ましく、また第４開孔５Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００６３】
第４開孔５Ａは少なくとも長寸法確認用マーク５ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお、第４開孔５Ａは必ずしも長寸法確認用マーク５ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えば長寸法確認用マーク５ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、この長寸法確認用マーク５ａの交差部のみを覆うように第４開孔５Ａを設けてもよい。
【００６４】
なお、図７（ａ）（ｂ）に示すように、２つの長寸法確認用マーク５ａが１つの第４開孔５Ａにより囲まれた例を示したが、これに限らず１つの長寸法確認用マーク５ａを１つの第４開孔５Ａで囲ってもよく、３つ以上の長寸法確認用マーク５ａを１つの第４開孔５Ａで囲ってもよい。
【００６５】
図７（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の多数の長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように多数の第４開孔５Ａが設けられている。
【００６６】
また、図７（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に２面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の多数の長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように多数の第４開孔５Ａを設けても良い。
【００６７】
さらに図７（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に１面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の４つの長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように４つの第４開孔５Ａを設けてもよい。
【００６８】
ここで、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第４開孔５Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａおよび第３開孔４Ａは便宜上取り除いて示されている、
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００６９】
まず上述のように一方の主面に接着剤１３が設けられた支持フィルム１１が準備される。この場合、支持フィルム１１および接着剤１３には切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きによって第１開孔２Ａ、または第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａの少なくともいずれかの開孔が予め形成されている。
【００７０】
また、第１開孔２Ａは例えば、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状用の光学特性を検出するため測定光を照射する際用いるものであるから、第１開孔２Ａの形状は
５× ５ｍｍの形状をもつ。
【００７１】
また、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは、各々アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を検出するため測定光を照射する際用いられるものであるから、いずれも第１開孔２Ａより大きな形状、例えば１×１ｍｍから １０×１０ ｍｍの形状をもつ。この場合、第２開孔３Ａ、第３開孔４および第４開孔５Ａの形状が １ｍｍ未満では、測定光を確実に受光してマーク３ａ、４ａ、５ａを検出することはできず、１０ｍｍ超では支持フィルム１１の面積が減少して、ガラスフィルム１２を支持フィルム１１により十分に補強することはむずかしくなる。
【００７２】
次に支持フィルム１１の接着剤１３上にガラスフィルム１２が接着され、このようにしてフレキシブル基材１Ａが得られる。
【００７３】
次にフレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２のうち、パターン形成領域２にブラックマトリックス９が形成される。また、ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３にアライメントマーク３ａが形成される場合には、ブラックマトリクス形成時と同時に形成される。ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に貼合マーク４ａが形成される場合や、ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に長寸法確認用マーク５ａが形成される場合についても同様である。なお、上述したアライメントマーク、貼号マーク、長寸法確認用マーク等のマーク類は、ブラックマトリクス形成時と同時である必要はなく、ブラックマトリクス以外のパターンと同時に形成されてもよく、あるいは、マーク類のみを単独でパターン形成してもよい。
【００７４】
この場合、ガラスフィルム１２に形成されるアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの形状は図１８（ａ）に示すようなリング状の形状、図１８（ｂ）に示すような円形の形状、図１８（ｃ）に示すような十字状の形状、図１８（ｄ）に示すような四角形状の形状のいずれかの形状をとることができる。
【００７５】
次にガラスフィルム１２上のアライメントマーク３ａを基準として、ガラスフィルム１２のブラックマトリックス９により囲まれた空間内に、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが順次形成される。このようにしてフレキシブル基材１１のガラスフィルム１２上に、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃと、アライメントマーク３ａと、貼合マーク４ａと、長寸法確認用マーク５ａの少なくともいずれかのマークを設けてなるパターン付フレキシブル基材１としてカラーフィルタが得られる。
【００７６】
次にガラスフィルム１２上の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに対して測定光を照射して画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状等の光学特性を検出する作用について説明する。
【００７７】
まず図３（ａ）に示すように、パターン付フレキシブル基材１に対してガラスフィルム１２の上方から測定光１０を照射する。この場合、測定光１０は照射部２０から照射される。
【００７８】
この際、支持フィルム１１および接着剤１３に、測定光１０が通過する第１開孔２Ａが形成されているため、第１開孔２Ａを通過する測定光１０は受光部２１により確実に受光され、受光部２１により受光された光に基づいて画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性を精度良く検知することができる。
【００７９】
受光部２１により検知される光学特性としては、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状、透過率、および反射率が考えられる。
【００８０】
すなわち、図３（ｂ）（ｃ）に示す比較例のように、パターン付フレキシブル基材１に第１開孔２Ａがない場合、照射部２０からの測定光１０は支持フィルム１１および接着剤１３の部分で散乱して受光部２１に十分に到達しないことも考えられる（図３（ｂ））。
【００８１】
あるいは照射部２０からの測定光１０が支持フィルム１１および接着剤１３によって遮断されて受光部２１に全く達しないことも考えられる（図３（ｃ））。
【００８２】
これに対して本発明によれば、照射部２０から照射される測定光１０を第１開孔２Ａを介して受光部２１まで確実に導くことができる。
【００８３】
次に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射される測定光１０について詳述する。
【００８４】
画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性のうち、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの形状を検出する場合、測定光１０としては複数の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを十分覆うだけの断面形状をもつ光が用いられる（図８）。また測定光１０の断面形状は第１開孔２Ａより十分小さくなっている。このことにより、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの幅等の形状を確実に検出することができる。
【００８５】
他方、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、反射率、透過率等を検出する場合、測定光１０としては、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの範囲内に入るだけの断面形状をもつ光が用いられる（図９）。また測定光１０の断面形状は第１開孔２Ａより十分小さくなっている。このことにより、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、反射率、透過率等を確実に検出することができる。
【００８６】
なお、図３（ａ）、図８および図９において照射部２０から測定光１０を画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射するとともに、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを透過する光を受光部２１で受光する例を示したが、照射部２０から測定光１０を画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射するとともに、パターン付フレキシブル基材１側から反射する光を、照射部２０と同一側に配置した受光部２１により受光してもよい。
【００８７】
次に図１０より、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａを測定光１０を用いて検出する場合について説明する。照射部２０から測定部１０がこれらアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射される。この場合、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを検出する場合と同様、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射された測定光１０は、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを通過して、受光部２１に達する。
【００８８】
そして受光部２１で受光した光に基づいて、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を確実に検出することができる。
【００８９】
図１０に示すように、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を検出する測定光１０としては、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａをいずれも覆うだけの断面形状をもつ光が用いられ、かつ測定光１０の断面形状は第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａより十分に小さくなっている。
【００９０】
なお、図１０において、照射部２０から測定光１０をアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射するとともに、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａを透過する光を受光部２１で受光する例を示したが、照射部２０から測定光１０をアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射するとともにパターン付フレキシブル基材１側から反射する光を照射部２０と同一側に配置した受光部２１により受光してもよい。
【００９１】
次に図１１乃至図１７により、比較例としてのパターン付フレキシブル基材１に対して測定光１０を照射した状態について述べる。
【００９２】
ここで図１１乃至図１４は、第１開孔２Ａをもたないパターン付フレキシブル基材１を示す。
【００９３】
図１１乃至図１４において、図１乃至図１０に示す本発明によるパターン付フレキシブル基材１と同一部分には同一符号を符して詳細を説明は省略する。
【００９４】
図１１（ａ）に示すように、比較例としてのパターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射した場合、接着剤１３自体によりパターン付フレキシブル基材１を透過する測定光は大きく散乱する。
【００９５】
あるいは、図１１（ｂ）に示すように、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射した場合、支持フィルム１１自体によりパターン付フレキシブル基材１を透過する測定光が大きく散乱する。あるいは図１１（ｃ）に示すように、測定光１０が支持フィルム１１と接着剤１３とにより大きく散乱することも考えられる。
【００９６】
あるいはまた、図１２（ａ）に示すように、測定光１０が接着剤１３と支持フィルム１１との非平坦な界面で散乱することも考えられる。
【００９７】
また、図１２（ｂ）に示すように、測定光１０が接着剤１３中の気泡１３ａにより散乱することも考えられる。
【００９８】
さらに、図１２（ｃ）に示すように測定光１０が接着剤１３中のゴミ１３ｂにより散乱することも考えられる。
【００９９】
また、図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようにパターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しパターン付フレキシブル基材１からの反射光を検出する場合、ガラスフィルム１２と接着剤１３との界面で反射光が散乱することも考えられる。（図１３（ａ））。
【０１００】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が支持フィルム１１で散乱することも考えられる（図１３（ｂ））。
【０１０１】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光がガラスフィルム１２と接着剤１３との界面および支持フィルム１１において散乱することも考えられる（図１３（ｃ））。
【０１０２】
あるいはまた、パターン付フレキシブル基材１に対して測定光１０を照射した場合、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が支持フィルム１１と接着剤１３との間の非平坦な界面あるいは接着剤１３中で大きく散乱することが考えられる（図１４（ａ））。
【０１０３】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が接着剤１３中の気泡１３ａにより散乱することも考えられる（図１４（ｂ））。
【０１０４】
あるいはまた、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が接着剤１３中のゴミ１３ｂにより散乱することも考えられる（図１４（ｃ））。
【０１０５】
次に、図１５乃至図１７により、第２開孔第３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａをもたない比較例としてのパターン付フレキシブル基材１について説明する。
【０１０６】
図１５に示すように、支持フィルム１１にへーズがある場合、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａはぼやけてみえるようになる。
【０１０７】
図１６に示すように、支持フィルム１１の透過率が低いと、パターン付フレキシブル基材１１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａは不明瞭となる。
【０１０８】
さらに図１７に示すように、支持フィルム１１が非透過性のものであると、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａは全くみえなくなる。
【０１０９】
これに対して本発明によれば、パターン付フレキシブル基材１が第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを有するので、パターン付フレキシブル基材１に照射部２０から測定光１０を照射した場合に、この光を受光部２１により確実に受光することができる。このため、この受光部２１で受光した光に基づいて、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性、アライメントマーク３ａの位置、貼合マーク４ａの位置、および長寸法確認用、マーク５ａの位置を精度良く検出することができる。
【０１１０】
なお、上記実施の形態において、パターン付フレキシブル基材１としてカラーフィルタの例を示したが、これに限らず、パターン付フレキシブル基材をＴＦＴ基板、光学素子、タッチパネルセンサ等のディスプレイ部材として用いてもよく、太陽電池などのエネルギ関連部材、有機ＥＬ、無機ＥＬなどの照明材として用いてもよい。
【実施例】
【０１１１】
次に、本発明の具体的実施例について述べる。
【０１１２】
まず、支持フィルム１１として、厚さ３９μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの接着剤１３付きのＰＥＴ製支持フィルム（日東電工社製、ＲＰ２０７）を準備するとともに、この接着剤１３付きＰＥＴ製支持フィルム１１を３インチのコアに巻き取った。この接着剤１３付きＰＥＴ製支持フィルム１１を巻き返し機（ディーエヌケー製 RM0303TK）により巻き返した際に、刃によるくり抜きで所定の箇所をくり抜き、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを有する接着剤１３付き支持フィルム１１を準備した。ここで、それぞれの開孔の大きさは５ｍｍ×５ｍｍとした。これにロール状フレキシブルガラスフィルム１２であって厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのもの（日本電気硝子社製 ＯＡ-１０Ｇ）をラミネータ（ディーエヌケー製 LM-203-SB）によりラミネートすることで、フレキシブル基材１Ａを作製した。
【０１１３】
次に、フレキシブル基材１Ａをロールｔｏロール塗工装置の巻き出し部にセットし、ガラスフィルム１２上に、マイクログラビアにて赤色のフォトレジストを塗布した。
【０１１４】
続いて、レジストを塗布したフレキシブル基材１Ａを露光装置の巻き出し部にセットし、フォトマスクを介し紫外線露光を施した。
【０１１５】
続いて、現像装置を用いて現像を行い、その後200度で15分加熱することでパターンが形成されたパターン付フレキシブル基材１を得た。
【０１１６】
この場合、パターンの色を測定するため、パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａが形成されている。
【比較例】
【０１１７】
支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを設けなかったこと以外は実施例と同じ方法でパターン付フレキシブル基材１を得た。
【測定結果】
【０１１８】
本発明によるパターン付フレキシブル基材および比較例によるパターン付フレキシブル基材について、パターン部分の色を顕微分光装置（オリンパス社製OSP-SP）にて測定した。パターン部分の位置は、開孔箇所を顕微分光装置の測定エリアに合わせ、測定部位の画像を見ながら位置を微調整し、測定位置を特定した。その結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく赤色のレジストピークが検出されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく測定できなかった。
【０１１９】
また、精密自動２次元測定装置AMIC1300（ソキア）にて、長寸法を測定した。パターン部分の位置は、開孔箇所を測定エリアに合わせ、測定部位の画像を見ながら位置を微調整し、測定位置を特定した。その結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく長寸法確認用マークが検出され正しく座標測定されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく長寸法確認用マークの座標を測定できなかった。
【０１２０】
なお、貼合マーク及びアライメントマークの検出動作についても、長寸法確認用マークと同様な方法で確認することができる。上記長寸法確認用マークの測定と同様にマーク検出を行った結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく貼合マーク及びアライメントマークが検出され正しく座標測定されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく貼合マーク及びアライメントマークの座標を測定できなかった。
【符号の説明】
【０１２１】
１ パターン付フレキシブル基材
１Ａ フレキシブル基材
２ パターン形成領域
２ａ、２ｂ、２ｃ 画素パターン
２Ａ 第１開孔
３ アライメントマーク形成領域
３ａ アライメントマーク
３Ａ 第２開孔
４ 貼合マーク形成領域
４ａ 貼合マーク
４Ａ 第３開孔
５ 長寸法確認用マーク形成領域
５ａ 長寸法確認用マーク
５Ａ 第４開孔
１０ 測定光
１１ 支持フィルム
１２ ガラスフィルム
１３ 接着剤
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持フィルムに接着剤を介してガラスフィルムが積層されたフレキシブル基材、およびフレキシブル基材上にパターンが形成されたパターン付フレキシブル基材に係り、とりわけ、パターンがもつ色彩、形状等のパターン情報を正しく検知することができるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電子ディスプレイ、建築、家具装飾、電子デバイス、半導体デバイス、車体部材等には、従来から、ガラス板が多く用いられている。このうち、液晶ディスプレイ、電子ペーパー、有機ＥＬディスプレイ等の電子ディスプレイに使用されるカラーフィルタには、一般的に、枚葉状のガラス板が基板として用いられており、このガラス板に、複数色の画素がパターン状に形成されて、カラーフィルタが製造されている。また、カラーフィルタの対向基板であるＴＦＴ基板若しくは電極基板、有機ＥＬ用表示素子基板、または太陽電池等にも、枚葉状のガラス板が用いられている。
【０００３】
ところで、最近のガラス製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度のガラスフィルムが製造されるようになっている。このようなガラスフィルムは、可撓性を有しており、ロール状に巻き取り可能になっている。例えば、このガラスフィルムをカラーフィルタの基板に用いる場合には、ガラスフィルムが巻き取られたロールからガラスフィルムを繰り出して連続的にカラーフィルタを製造することができ、枚葉状のガラス板を用いる場合に比べて、生産効率を向上させることができる。しかしながら、このようなガラスフィルムはその厚さが薄いことから、耐衝撃性が低下し、製造工程中に損傷するという問題がある。
【０００４】
このような問題の対策として、フレキシブルなガラスフィルムとガラスフィルムに接着剤を介して接着されたプラスチック製支持フィルムとを有する積層体（フレキシブル基材）を用い、このフレキシブル基材のガラスフィルム上に画素パターンを形成して得られるカラーフィルタが開発されている。
【０００５】
この場合、このようにして得られたカラーフィルタに関し、画素パターンの色彩および形状等を検出するため測定光を画素パターンに照射してパターンの光学特性を検出している。しかしながら、フレキシブル基材上の画素パターンに測定光を照射しても、この測定光がフレキシブル基材を確実に透過することができず、測定光を精度良く受光できないため、パターンの光学特性を確実に検出することがむずかしい、という問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２２８１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、測定光を用いて画素パターン等のパターンの光学特性を精度良く確実に検出することができるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、パターンが形成されるパターン形成領域を表面に有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【０００９】
本発明は、マークが形成されるマーク形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記マーク形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成されたマーク用開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１０】
本発明は、前記マーク形成領域は、パターン形成用のアライメントマークが形成されるアライメントマーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記アライメントマーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第２開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１１】
本発明は、前記マーク形成領域は、対向する基板との貼り合せ用の貼合マークが形成される貼合マーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記貼合マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第３開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１２】
本発明は、前記マーク形成領域は、パターンの長寸法確認用マークが形成される長寸法確認用マーク形成領域であり、前記支持フィルムのうち前記長寸法確認用マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第４開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材である。
【００１３】
本発明は、パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域内に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材と、前記ガラスフィルムの前記パターン形成領域に形成されたパターンとを備えたことを特徴とするパターン付フレキシブル基材である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、フレキシブル基材の支持フィルムのうちパターン形成領域またはマーク形成領域に対応する領域内の少なくとも一部に、支持フィルムを除去して形成された第１開孔またはマーク用開孔が設けられている。ガラスフィルムのパターン形成領域にパターンを形成し、あるいはガラスフィルムのマーク形成領域にマークを形成し、このパターンまたはマークに対してガラスフィルム側から測定光を照射し、この測定光を受光する場合、測定光を第１開孔またはマーク用開孔に向けて照射する。このことにより、第１開孔またはマーク用開孔によって測定光の散乱を抑え、測定光を精度良く受光することができる。このためパターンの色彩および形状についての光学特性を精度良く検出することができ、あるいはマークを精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明によるフレキシブル基材を示す断面図。
【図２】図２（ａ）は、本発明によるフレキシブル基材の上面図、図２（ｂ）は、フレキシブル基材の底面図。
【図３】図３（ａ）は、本発明によるフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図、図３（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図４】図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図５】図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第２開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図６】図６（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第３開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図７】図７（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明によるフレキシブル基材に設けられた第４開孔を示す支持フィルム側からみた底面図。
【図８】図８は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔とパターンとの関係を示す図。
【図９】図９は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第１開孔とパターンとの関係を示す図。
【図１０】図１０は本発明によるフレキシブル基材に設けられた第２開孔、第３開孔および第４開孔と、アライメントマーク、貼合マークおよび長寸法確認用マークとの関係を示す図。
【図１１】図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１２】図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１３】図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１４】図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１５】図１５は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１６】図１６は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１７】図１７は比較例としてのフレキシブル基材に測定光を照射した状態を示す図。
【図１８】図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はアライメントマーク、貼合マークおよび長寸法確認用マークの形状を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１７】
まず、図１乃至図３により本発明によるフレキシブル基材およびパターン付フレキシブル基材について説明する。
【００１８】
図１に示すように、本発明によるフレキシブル基材１Ａは後述する画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成されるパターン形成領域２を表面に有するフレキシブルなガラスフィルム１２と、ガラスフィルム１２に接着剤１３を介して接着された支持フィルム１１とを備えている。
【００１９】
ここで、「フレキシブル」とは、柔軟性があることを意味しており、一般的に可撓性があり、曲げることが可能なことを意味する。
【００２０】
また、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、パターン形成領域２に対応する領域内の所望部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａが設けられている。
【００２１】
さらにまたガラスフィルム１２はその表面にパターン形成用のアライメントマーク３ａが形成されるアライメントマーク形成領域（マーク形成領域）３を有している（図２（ａ）（ｂ））。そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、アライメントマーク形成領域３に対応する部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第２開孔（マーク用開孔）３Ａが設けられている。
【００２２】
またガラスフィルム１２は、その表面に対向する基板、例えばＴＦＴ基板と貼り合せる際に用いられる貼り合わせ用の貼合マーク４ａが形成される貼合マーク形成領域（マーク形成領域）４を有している（図６参照）。
【００２３】
そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、貼合マーク形成領域４に対応する部分に、支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第３開孔（マーク用開孔）４Ａが設けられている。
【００２４】
またガラスフィルム１２は、その表面に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの長寸法確認用マーク５ａが形成される長寸法確認用マーク形成領域（マーク形成領域）５を有している（図７参照）。
【００２５】
そして支持フィルム１１および接着剤１３のうち、長寸法確認用マーク形成領域５に対応する部分に、支持フィルムおよび接着剤１３を除去して形成された第４開孔（マーク用開孔）５Ａが設けられている。
【００２６】
上述した構成からなるフレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２のうち、パターン形成領域２に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを設け、ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３にアライメントマーク３ａを設け、ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に貼合マーク４ａを設け、ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に長寸法確認用マーク５ａを設ける。このことにより、本発明によるパターン付フレキシブル基材として、例えばカラーフィルタ１が得られる。
【００２７】
次にこのような構成からなるフレキシブル基材１Ａおよびパターン付フレキシブル基材１の各構成部分について説明する。
【００２８】
まずガラスフィルム１２上に設けられた画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃについて述べる。図２（ａ）（ｂ）に示すように、フレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２上には４つのパターン形成領域２が形成され、各パターン形成領域内２内に多数の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが設けられ、４面付けのパターン付フレキシブル基材１が構成されている。
【００２９】
すなわち、ガラスフィルム１２の各パターン形成領域２には、マトリックス形状にパターニングされたブラックマトリックス９が設けられており（図８および図９参照）、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃは、ガラスフィルム１２上のブラックマトリックス９により画定される各開口部内に形成されている。この場合、ブラックマトリックス９の各開口部内に、赤色（Ｒ）画素用感光性材料、緑色（Ｇ）画素用感光性材料、および青色（Ｂ）画素用感光性材料により、赤色画素パターン２a、緑色画素パターン２ｂおよび青色画素パターン２ｃが形成されている。各画素パターン２a、２ｂ、２ｃの配列は、図示しないが、ストライプ配列、デルタ配列（トライアングル配列）、正方配列（四画素配列）等の公知の配列とすることができる。このように異なる色を有した三つの隣り合う画素パターンによって、画面上における一つの表示画素が形成されるようになっている。更に、黄色画素パターン（図示せず）等を追加して４色以上の画素が形成されるようにしても良い。なお各画素パターン２a、２ｂ、２ｃを形成する感光性材料としては、各色の顔料と溶剤とバインダーとしての接合性樹脂とを含む顔料分散型の感光性樹脂組成物を用いることができ、ブラックマトリックス９を形成する感光性材料としては、遮光性を有する黒色の顔料を分散させた感光性樹脂組成物を用いることができる。
【００３０】
このようなパターン付フレキシブル基材１は、例えば、各画素パターン２a、２ｂ、２ｃに対応して配列されたＴＦＴ等のスイッチング素子と液晶層とを含む液晶素子、および面光源と組み合わされて、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）または電子ペーパー等に用いられる。この構成において、液晶はスイッチング素子によって制御されてシャッターとして機能し、面光源からの光を所望の色の画素のみを介して出射させる。このようにして、画面上にカラー映像が表示されるようになっている。
【００３１】
次にフレキシブル基材１Ａを構成する支持フィルム１１、ガラスフィルム１２および接着剤１３について述べる。
【００３２】
まず支持フィルム１１の材料としては、柔軟性を有するプラスチックを挙げることができ、ガラスフィルム１２への衝撃や局所的な加圧、歪みに対する脆弱性を補ってガラスフィルム１２を補強するためのものである。単体のガラスフィルム１２を、異物を巻き込んで巻き取った場合には、局所的な衝撃、加圧、傷等により、ガラスフィルム１２が容易に破損する可能性がある。そこで、ガラスフィルム１２に支持フィルム１１を貼り合せることにより、強度を増大させて、ガラスフィルム１２の破損を防止することができる。また、ガラスフィルム１２に支持フィルム１１を貼り合せることにより、ガラスフィルム１２が割れた場合であっても、ガラスの破片等の飛散を防止することができる。
【００３３】
支持フィルム１１は特に制限はなく汎用的なフィルムを使用できる。例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ナイロン６６（６６Ｎ）、アクリロニトルプタジェンスチレン（ＡＢＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等の材料を挙げることができる。また、金属フィルムでも使用でき、ステンレス、銅、鉄、アルミなどが利用できる。フィルム厚は特に制限はないが、ガラスフィルム１２の強度補強の観点から０．００５〜２．０００ｍｍの範囲、ロールｔｏロールプロセス適用においては、０．００５〜０．２００ｍｍの範囲が好適である。大きさはガラスフィルム１２を補強する理由からガラスフィルム１２全面を覆うことが好ましいが、ガラスフィルム１２の面積に対し、多少のずれがあっても補強の目的は達成され、具体的には±５％以内であれば良い。
【００３４】
ガラスフィルム１２は、ロール状にできる程度の厚さが薄いもので０．１ｍｍ以下が好適である。ガラスフィルム１２の面積は特に制限はないが、シート状の場合、例えば２０ｃｍ２〜９００００ｃｍ２である。本発明においては、ガラスフィルム１２はいわゆるロールｔｏロールプロセスで使用される帯状形態であってもよく、その場合、幅は５ｃｍから２００ｃｍ、長さは３ｍから３０００ｍである。ガラスフィルム１２の材料としては、一般にディスプレイ用途に用いられるソーダライムガラス、無アルカリガラスが好ましい。このうち、無色で透明度が高く、線熱膨張係数が小さくて変形しにくい無アルカリガラスが好適である。
【００３５】
接着剤１３はガラスフィルム１２と支持フィルムを接着できるものであれば特に制限はなく、アクリル系、スチレン系、シリコン系等の樹脂材料が好ましい。また接着剤１３の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましい。このことにより、支持フィルム１１とガラスフィルム１２とを接着するために十分な粘着力を確保できる。接着剤１３は、ガラスフィルム１２から剥離せずにガラスフィルム１２に永久的又は半永久的に接着する場合に限られず、最終的にガラスフィルム１２から剥離できる場合、すなわち粘着剤も包含する。
【００３６】
次に支持フィルム１１および接着剤１３を除去して形成された第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａについて以下述べる。
【００３７】
このうち、第１開孔２Ａは図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、ガラスフィルム１２のパターン形成領域２に対応する領域内の所望部分に設けられている。第１開孔２Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００３８】
ガラスフィルム１２のパターン形成領域２上には、上述のように、ブラックマトリックス９（図８および図９参照）および画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが形成される。なお、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）において、ブラックマトリックスは便宜上示されていない。画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状等の光学特性を検出するため、この画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性を精度良く測定することができる。
【００３９】
図４（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、各パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に１つずつの第１開孔２Ａが設けられている。
【００４０】
また図４（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に２面付のパターン形成領域２を設けるとともに、各パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に５つずつの第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４１】
さらに図４（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に１面付のパターン形成領域２を設けるとともに、パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１と接着剤１３の領域内に５つの第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４２】
なお、第１開孔２Ａは必ずしもパターン形成領域２内に形成される必要はなく、パターン形成領域２の大きさによっては、支持フィルム１１がガラスフィルム１２を補強することができれば、パターン形成領域２全体を囲むよう第１開孔２Ａを設けてもよい。
【００４３】
ここで、図４(ａ)（ｂ）（ｃ）において、便宜上第１開孔２Ａのみが示されているが、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００４４】
また、第２開孔３Ａは図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうちガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３に対応する領域に設けられている。第２開孔３Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００４５】
ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３上には、上述のようにアライメントマーク３ａが形成される。アライメントマーク３ａの位置を検出するため、このアライメントマーク３ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第２開孔３Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、アライメントマーク３ａの位置を精度良く測定することができる。
【００４６】
アライメントマーク形成領域３はアライメントマーク３ａが形成される領域であり、このアライメントマーク３ａに照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積はアライメントマーク形成領域３の面積より大きいことが好ましく、また第２開孔３Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００４７】
第２開孔３Ａは少なくともアライメントマーク３ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお第２開孔３Ａは必ずしもアライメントマーク３ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えばアライメントマーク３ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、このアライメントマーク３ａの交差部のみを覆うように第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右２つのアライメントマーク形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように２つの第２開孔３Ａが設けられている。
【００４９】
また図５（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左下と右上の２つのアライメントマーク形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように２つの第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００５０】
さらに図５（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右４つのアライメント形成領域３に対応して、アライメント形成領域３を囲むように４つの第２開孔３Ａを設けてもよい。
【００５１】
ここで、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第２開孔３Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第３開孔４Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００５２】
また、第３開孔４Ａは図６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうち、ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に対応する領域に設けられている。第３開孔４Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００５３】
ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４上には、上述のように貼合マーク４ａが形成される。貼合マーク４ａの位置を検出するため、この貼合マーク４ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第３開孔４Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、貼合マーク４ａの位置を精度良く測定することができる。
【００５４】
貼合マーク形成領域４は貼合マーク４ａが形成される領域であり、この貼合マーク４ａに照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積は貼合マーク形成領域４の面積より大きいことが好ましく、また第３開孔４Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００５５】
第３開孔４Ａは少なくとも貼合マーク４ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお第３開孔４Ａは必ずしも貼合マーク４ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えば貼合マーク４ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、この貼合マーク４ａの交差部のみを覆うように第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５６】
図６（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右２つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように２つの第３開孔４Ａが設けられている。
【００５７】
また、図６（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左下と右上の２つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように２つの第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５８】
さらに図６（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の左右４つの貼合マーク形成領域４に対応して、貼合マーク形成領域４を囲むように４つの第３開孔４Ａを設けてもよい。
【００５９】
ここで図６（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第３開孔４Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第４開孔５Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａおよび第４開孔５Ａは便宜上取り除いて示されている。
【００６０】
また、第４開孔５Ａは図７（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、支持フィルム１１および接着剤１３のうちガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に対応する領域に設けられている。第４開孔５Ａは支持フィルム１１および接着剤１３を切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きにより形成することができる。
【００６１】
ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５上には、上述のように長寸法確認用マーク５ａが形成される。長寸法確認用マーク５ａの位置を検出するため、この長寸法確認用マーク５ａに測定光が照射されるが、支持フィルム１１および接着剤１３に第４開孔５Ａを設けることにより、照射された測定光を確実に受光して、長寸法確認用マーク５ａの位置を精度良く測定することができる。
【００６２】
長寸法確認用マーク形成領域５は長寸法確認用マーク５が形成される領域であり、この長寸法確認用マーク５に照射される照射光１０を確実に受光することができるよう、照射光１０の断面積は長寸法確認用マーク形成領域５の面積より大きいことが好ましく、また第４開孔５Ａの面積はさらに照射光１０の断面積より大きいことが好ましい（図１０参照）。
【００６３】
第４開孔５Ａは少なくとも長寸法確認用マーク５ａを囲むよう形成されていれば、その面積は照射光１０の断面積より小さくてもかまわない。なお、第４開孔５Ａは必ずしも長寸法確認用マーク５ａを囲むように形成されていなくてもよく、例えば長寸法確認用マーク５ａが十字状の形状の場合は（図１０参照）、この長寸法確認用マーク５ａの交差部のみを覆うように第４開孔５Ａを設けてもよい。
【００６４】
なお、図７（ａ）（ｂ）に示すように、２つの長寸法確認用マーク５ａが１つの第４開孔５Ａにより囲まれた例を示したが、これに限らず１つの長寸法確認用マーク５ａを１つの第４開孔５Ａで囲ってもよく、３つ以上の長寸法確認用マーク５ａを１つの第４開孔５Ａで囲ってもよい。
【００６５】
図７（ａ）に示すように、ガラスフィルム１２上に４面付けのパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の多数の長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように多数の第４開孔５Ａが設けられている。
【００６６】
また、図７（ｂ）に示すように、ガラスフィルム１２上に２面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の多数の長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように多数の第４開孔５Ａを設けても良い。
【００６７】
さらに図７（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１２上に１面付のパターン形成領域２を設けるとともに、ガラスフィルム１２上の４つの長寸法確認用マーク形成領域５に対応して、長寸法確認用マーク形成領域５を囲むように４つの第４開孔５Ａを設けてもよい。
【００６８】
ここで、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）において、便宜上、第４開孔５Ａのみが示されているが、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａが形成されていてもよく、これら第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａおよび第３開孔４Ａは便宜上取り除いて示されている、
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００６９】
まず上述のように一方の主面に接着剤１３が設けられた支持フィルム１１が準備される。この場合、支持フィルム１１および接着剤１３には切削刃による断裁あるいは型押しによるくり抜きによって第１開孔２Ａ、または第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａの少なくともいずれかの開孔が予め形成されている。
【００７０】
また、第１開孔２Ａは例えば、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状用の光学特性を検出するため測定光を照射する際用いるものであるから、第１開孔２Ａの形状は
５× ５ｍｍの形状をもつ。
【００７１】
また、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａは、各々アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を検出するため測定光を照射する際用いられるものであるから、いずれも第１開孔２Ａより大きな形状、例えば１×１ｍｍから １０×１０ ｍｍの形状をもつ。この場合、第２開孔３Ａ、第３開孔４および第４開孔５Ａの形状が １ｍｍ未満では、測定光を確実に受光してマーク３ａ、４ａ、５ａを検出することはできず、１０ｍｍ超では支持フィルム１１の面積が減少して、ガラスフィルム１２を支持フィルム１１により十分に補強することはむずかしくなる。
【００７２】
次に支持フィルム１１の接着剤１３上にガラスフィルム１２が接着され、このようにしてフレキシブル基材１Ａが得られる。
【００７３】
次にフレキシブル基材１Ａのガラスフィルム１２のうち、パターン形成領域２にブラックマトリックス９が形成される。また、ガラスフィルム１２のアライメントマーク形成領域３にアライメントマーク３ａが形成される場合には、ブラックマトリクス形成時と同時に形成される。ガラスフィルム１２の貼合マーク形成領域４に貼合マーク４ａが形成される場合や、ガラスフィルム１２の長寸法確認用マーク形成領域５に長寸法確認用マーク５ａが形成される場合についても同様である。なお、上述したアライメントマーク、貼号マーク、長寸法確認用マーク等のマーク類は、ブラックマトリクス形成時と同時である必要はなく、ブラックマトリクス以外のパターンと同時に形成されてもよく、あるいは、マーク類のみを単独でパターン形成してもよい。
【００７４】
この場合、ガラスフィルム１２に形成されるアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの形状は図１８（ａ）に示すようなリング状の形状、図１８（ｂ）に示すような円形の形状、図１８（ｃ）に示すような十字状の形状、図１８（ｄ）に示すような四角形状の形状のいずれかの形状をとることができる。
【００７５】
次にガラスフィルム１２上のアライメントマーク３ａを基準として、ガラスフィルム１２のブラックマトリックス９により囲まれた空間内に、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃが順次形成される。このようにしてフレキシブル基材１１のガラスフィルム１２上に、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃと、アライメントマーク３ａと、貼合マーク４ａと、長寸法確認用マーク５ａの少なくともいずれかのマークを設けてなるパターン付フレキシブル基材１としてカラーフィルタが得られる。
【００７６】
次にガラスフィルム１２上の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに対して測定光を照射して画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状等の光学特性を検出する作用について説明する。
【００７７】
まず図３（ａ）に示すように、パターン付フレキシブル基材１に対してガラスフィルム１２の上方から測定光１０を照射する。この場合、測定光１０は照射部２０から照射される。
【００７８】
この際、支持フィルム１１および接着剤１３に、測定光１０が通過する第１開孔２Ａが形成されているため、第１開孔２Ａを通過する測定光１０は受光部２１により確実に受光され、受光部２１により受光された光に基づいて画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性を精度良く検知することができる。
【００７９】
受光部２１により検知される光学特性としては、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、形状、透過率、および反射率が考えられる。
【００８０】
すなわち、図３（ｂ）（ｃ）に示す比較例のように、パターン付フレキシブル基材１に第１開孔２Ａがない場合、照射部２０からの測定光１０は支持フィルム１１および接着剤１３の部分で散乱して受光部２１に十分に到達しないことも考えられる（図３（ｂ））。
【００８１】
あるいは照射部２０からの測定光１０が支持フィルム１１および接着剤１３によって遮断されて受光部２１に全く達しないことも考えられる（図３（ｃ））。
【００８２】
これに対して本発明によれば、照射部２０から照射される測定光１０を第１開孔２Ａを介して受光部２１まで確実に導くことができる。
【００８３】
次に画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射される測定光１０について詳述する。
【００８４】
画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性のうち、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの形状を検出する場合、測定光１０としては複数の画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを十分覆うだけの断面形状をもつ光が用いられる（図８）。また測定光１０の断面形状は第１開孔２Ａより十分小さくなっている。このことにより、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの幅等の形状を確実に検出することができる。
【００８５】
他方、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、反射率、透過率等を検出する場合、測定光１０としては、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの範囲内に入るだけの断面形状をもつ光が用いられる（図９）。また測定光１０の断面形状は第１開孔２Ａより十分小さくなっている。このことにより、各画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの色彩、反射率、透過率等を確実に検出することができる。
【００８６】
なお、図３（ａ）、図８および図９において照射部２０から測定光１０を画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射するとともに、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを透過する光を受光部２１で受光する例を示したが、照射部２０から測定光１０を画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃに照射するとともに、パターン付フレキシブル基材１側から反射する光を、照射部２０と同一側に配置した受光部２１により受光してもよい。
【００８７】
次に図１０より、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａを測定光１０を用いて検出する場合について説明する。照射部２０から測定部１０がこれらアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射される。この場合、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃを検出する場合と同様、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射された測定光１０は、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを通過して、受光部２１に達する。
【００８８】
そして受光部２１で受光した光に基づいて、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を確実に検出することができる。
【００８９】
図１０に示すように、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａの位置を検出する測定光１０としては、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａをいずれも覆うだけの断面形状をもつ光が用いられ、かつ測定光１０の断面形状は第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａより十分に小さくなっている。
【００９０】
なお、図１０において、照射部２０から測定光１０をアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射するとともに、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａを透過する光を受光部２１で受光する例を示したが、照射部２０から測定光１０をアライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａに照射するとともにパターン付フレキシブル基材１側から反射する光を照射部２０と同一側に配置した受光部２１により受光してもよい。
【００９１】
次に図１１乃至図１７により、比較例としてのパターン付フレキシブル基材１に対して測定光１０を照射した状態について述べる。
【００９２】
ここで図１１乃至図１４は、第１開孔２Ａをもたないパターン付フレキシブル基材１を示す。
【００９３】
図１１乃至図１４において、図１乃至図１０に示す本発明によるパターン付フレキシブル基材１と同一部分には同一符号を符して詳細を説明は省略する。
【００９４】
図１１（ａ）に示すように、比較例としてのパターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射した場合、接着剤１３自体によりパターン付フレキシブル基材１を透過する測定光は大きく散乱する。
【００９５】
あるいは、図１１（ｂ）に示すように、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射した場合、支持フィルム１１自体によりパターン付フレキシブル基材１を透過する測定光が大きく散乱する。あるいは図１１（ｃ）に示すように、測定光１０が支持フィルム１１と接着剤１３とにより大きく散乱することも考えられる。
【００９６】
あるいはまた、図１２（ａ）に示すように、測定光１０が接着剤１３と支持フィルム１１との非平坦な界面で散乱することも考えられる。
【００９７】
また、図１２（ｂ）に示すように、測定光１０が接着剤１３中の気泡１３ａにより散乱することも考えられる。
【００９８】
さらに、図１２（ｃ）に示すように測定光１０が接着剤１３中のゴミ１３ｂにより散乱することも考えられる。
【００９９】
また、図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようにパターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しパターン付フレキシブル基材１からの反射光を検出する場合、ガラスフィルム１２と接着剤１３との界面で反射光が散乱することも考えられる。（図１３（ａ））。
【０１００】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が支持フィルム１１で散乱することも考えられる（図１３（ｂ））。
【０１０１】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光がガラスフィルム１２と接着剤１３との界面および支持フィルム１１において散乱することも考えられる（図１３（ｃ））。
【０１０２】
あるいはまた、パターン付フレキシブル基材１に対して測定光１０を照射した場合、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が支持フィルム１１と接着剤１３との間の非平坦な界面あるいは接着剤１３中で大きく散乱することが考えられる（図１４（ａ））。
【０１０３】
また、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が接着剤１３中の気泡１３ａにより散乱することも考えられる（図１４（ｂ））。
【０１０４】
あるいはまた、パターン付フレキシブル基材１からの反射光が接着剤１３中のゴミ１３ｂにより散乱することも考えられる（図１４（ｃ））。
【０１０５】
次に、図１５乃至図１７により、第２開孔第３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａをもたない比較例としてのパターン付フレキシブル基材１について説明する。
【０１０６】
図１５に示すように、支持フィルム１１にへーズがある場合、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａはぼやけてみえるようになる。
【０１０７】
図１６に示すように、支持フィルム１１の透過率が低いと、パターン付フレキシブル基材１１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａは不明瞭となる。
【０１０８】
さらに図１７に示すように、支持フィルム１１が非透過性のものであると、パターン付フレキシブル基材１に測定光１０を照射しても、アライメントマーク３ａ、貼合マーク４ａおよび長寸法確認用マーク５ａは全くみえなくなる。
【０１０９】
これに対して本発明によれば、パターン付フレキシブル基材１が第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを有するので、パターン付フレキシブル基材１に照射部２０から測定光１０を照射した場合に、この光を受光部２１により確実に受光することができる。このため、この受光部２１で受光した光に基づいて、画素パターン２ａ、２ｂ、２ｃの光学特性、アライメントマーク３ａの位置、貼合マーク４ａの位置、および長寸法確認用、マーク５ａの位置を精度良く検出することができる。
【０１１０】
なお、上記実施の形態において、パターン付フレキシブル基材１としてカラーフィルタの例を示したが、これに限らず、パターン付フレキシブル基材をＴＦＴ基板、光学素子、タッチパネルセンサ等のディスプレイ部材として用いてもよく、太陽電池などのエネルギ関連部材、有機ＥＬ、無機ＥＬなどの照明材として用いてもよい。
【実施例】
【０１１１】
次に、本発明の具体的実施例について述べる。
【０１１２】
まず、支持フィルム１１として、厚さ３９μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの接着剤１３付きのＰＥＴ製支持フィルム（日東電工社製、ＲＰ２０７）を準備するとともに、この接着剤１３付きＰＥＴ製支持フィルム１１を３インチのコアに巻き取った。この接着剤１３付きＰＥＴ製支持フィルム１１を巻き返し機（ディーエヌケー製 RM0303TK）により巻き返した際に、刃によるくり抜きで所定の箇所をくり抜き、第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを有する接着剤１３付き支持フィルム１１を準備した。ここで、それぞれの開孔の大きさは５ｍｍ×５ｍｍとした。これにロール状フレキシブルガラスフィルム１２であって厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのもの（日本電気硝子社製 ＯＡ-１０Ｇ）をラミネータ（ディーエヌケー製 LM-203-SB）によりラミネートすることで、フレキシブル基材１Ａを作製した。
【０１１３】
次に、フレキシブル基材１Ａをロールｔｏロール塗工装置の巻き出し部にセットし、ガラスフィルム１２上に、マイクログラビアにて赤色のフォトレジストを塗布した。
【０１１４】
続いて、レジストを塗布したフレキシブル基材１Ａを露光装置の巻き出し部にセットし、フォトマスクを介し紫外線露光を施した。
【０１１５】
続いて、現像装置を用いて現像を行い、その後200度で15分加熱することでパターンが形成されたパターン付フレキシブル基材１を得た。
【０１１６】
この場合、パターンの色を測定するため、パターン形成領域２に対応する支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａが形成されている。
【比較例】
【０１１７】
支持フィルム１１および接着剤１３に第１開孔２Ａ、第２開孔３Ａ、第３開孔４Ａおよび第４開孔５Ａを設けなかったこと以外は実施例と同じ方法でパターン付フレキシブル基材１を得た。
【測定結果】
【０１１８】
本発明によるパターン付フレキシブル基材および比較例によるパターン付フレキシブル基材について、パターン部分の色を顕微分光装置（オリンパス社製OSP-SP）にて測定した。パターン部分の位置は、開孔箇所を顕微分光装置の測定エリアに合わせ、測定部位の画像を見ながら位置を微調整し、測定位置を特定した。その結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく赤色のレジストピークが検出されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく測定できなかった。
【０１１９】
また、精密自動２次元測定装置AMIC1300（ソキア）にて、長寸法を測定した。パターン部分の位置は、開孔箇所を測定エリアに合わせ、測定部位の画像を見ながら位置を微調整し、測定位置を特定した。その結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく長寸法確認用マークが検出され正しく座標測定されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく長寸法確認用マークの座標を測定できなかった。
【０１２０】
なお、貼合マーク及びアライメントマークの検出動作についても、長寸法確認用マークと同様な方法で確認することができる。上記長寸法確認用マークの測定と同様にマーク検出を行った結果、本発明によるパターン付フレキシブル基材１１については正しく貼合マーク及びアライメントマークが検出され正しく座標測定されたが、比較例によるパターン付フレキシブル基材１においては支持フィルム１１における光の散乱により正しく貼合マーク及びアライメントマークの座標を測定できなかった。
【符号の説明】
【０１２１】
１ パターン付フレキシブル基材
１Ａ フレキシブル基材
２ パターン形成領域
２ａ、２ｂ、２ｃ 画素パターン
２Ａ 第１開孔
３ アライメントマーク形成領域
３ａ アライメントマーク
３Ａ 第２開孔
４ 貼合マーク形成領域
４ａ 貼合マーク
４Ａ 第３開孔
５ 長寸法確認用マーク形成領域
５ａ 長寸法確認用マーク
５Ａ 第４開孔
１０ 測定光
１１ 支持フィルム
１２ ガラスフィルム
１３ 接着剤
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、
前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材。
【請求項２】
マークが形成されるマーク形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、
前記支持フィルムのうち前記マーク形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成されたマーク用開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材。
【請求項３】
前記マーク形成領域は、パターン形成用のアライメントマークが形成されるアライメントマーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記アライメントマーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第２開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項４】
前記マーク形成領域は、対向する基板との貼り合せ用の貼合マークが形成される貼合マーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記貼合マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第３開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項５】
前記マーク形成領域は、パターンの長寸法確認用マークが形成される長寸法確認用マーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記長寸法確認用マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第４開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項６】
パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域内に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするレキシブル基材と、前記ガラスフィルムの前記パターン形成領域に形成されたパターンとを備えたことを特徴とするパターン付フレキシブル基材。
【請求項１】
パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、
前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材。
【請求項２】
マークが形成されるマーク形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、
前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、
前記支持フィルムのうち前記マーク形成領域に対応する領域に、前記支持フィルムを除去して形成されたマーク用開孔が設けられていることを特徴とするフレキシブル基材。
【請求項３】
前記マーク形成領域は、パターン形成用のアライメントマークが形成されるアライメントマーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記アライメントマーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第２開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項４】
前記マーク形成領域は、対向する基板との貼り合せ用の貼合マークが形成される貼合マーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記貼合マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第３開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項５】
前記マーク形成領域は、パターンの長寸法確認用マークが形成される長寸法確認用マーク形成領域であり、
前記支持フィルムのうち前記長寸法確認用マーク形成領域に対応する領域に、前記マーク用開孔として前記支持フィルムを除去して形成された第４開孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル基材。
【請求項６】
パターンが形成されるパターン形成領域を有するフレキシブルなガラスフィルムと、前記ガラスフィルムに接着剤を介して接着された支持フィルムとを備え、前記支持フィルムのうち前記パターン形成領域に対応する領域内に、前記支持フィルムを除去して形成された第１開孔が設けられていることを特徴とするレキシブル基材と、前記ガラスフィルムの前記パターン形成領域に形成されたパターンとを備えたことを特徴とするパターン付フレキシブル基材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１３−７２９４８（Ｐ２０１３−７２９４８Ａ）
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１０９２２（Ｐ２０１１−２１０９２２）
【出願日】平成２３年９月２７日（２０１１．９．２７）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２７日（２０１１．９．２７）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
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