マーク面クリーニング装置

【課題】本発明は、マーク面クリーニング装置において、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。
【解決手段】複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿らせ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、この時の散布した異物を異物収集手段で収集する。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマーク面クリーニング装置に関し、例えば半導体集積回路（以下、ＩＣとする）のマーキング処理の前工程であるマーク面のクリーニングに適用して好適である。
【０００２】
【従来の技術】従来、一連のＩＣチツプ製造工程には、ＩＣチツプの所定位置にロツトナンバーや会社名、製品名などをマークするマーキング処理がある。このマーキング処理にはレーザマーキングやインクマーキング等がある。マーキング処理において、ＩＣチツプの所定位置にゴミ等の異物が付着した状態でマーキングした場合、金型を用いる後工程においてマークが欠けてしまう。このため、マーキング処理の前工程であるＩＣチツプのマーク面のクリーニングとして、コツトン等を用いて手拭きが行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、マーク面のクリーニングは、人手によつてマーク面をコツトン等で拭きとるため工数がかかつてしまう欠点や、マーク面に付着した異物を除去しきれない欠点がある。このため、人手によらない方法として、乾式のクリーニング装置が用いられている。この乾式のクリーニングは、回転ブラシによつてＩＣチツプのマーク面をこすることにより、付着した異物を除去するようになされている。
【０００４】しかし、この回転ブラシはすぐに磨耗してしまうため、交換頻度が高いという問題がある。また、回転ブラシによつて除去された異物が再度ＩＣチツプのマーク面に付着するおそれがある。
【０００５】本発明は以上の点を考慮してなされたもので、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得るマーク面クリーニング装置を提案しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するため本発明においては、回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬入側に、回転ベルト手段を湿らせる加湿手段を配し、回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬出側に、加湿手段によつて湿らされた回転ベルト手段に気体を吹きつける送風手段を配し、回転ベルト手段を挟んで送風手段と対向する位置に、当該送風手段によつて散布された異物を収集する異物収集手段を配してなるクリーニング部と、当該クリーニング部と所定の間隔を有した位置に、複数の所定部材を搬送する搬送手段を備える。
【０００７】複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿らせ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、この時の散布した異物を異物収集手段で収集することにより、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
【０００９】図１においては、マーキング装置１の全体構成を示す。マーキング装置１は、マーキング部２とマーキングの前工程として用いるクリーニング部３とでなつている。このマーキング部２とクリーニング部３の下側には搬送手段であるベルトコンベア４が配設されており、当該ベルトコンベア４の上面所定位置に配置された複数のＩＣチツプ５が、前工程の処理を終えて順次搬送されるようになされている。
【００１０】クリーニング部３は、図２に示す断面図のように回転ベルト式である。この回転ベルト６は布製であり、回転ベルト６の最下位と、ベルトコンベア４によつて搬送されるＩＣチツプ５のマーク面とが接触し得る間隔を有して配設されている。また、この回転ベルト６の内側には、加湿器７及びエアブロー８が配設される。この加湿器７は、ＩＣチツプ５の搬入側に配設され、マーク面と接触前のベルト部分を裏側から湿らせるようになされている。またエアブロー８は、ＩＣチツプ５の搬出側に配設され、マーク面と接触後のベルト部分の裏側に気体を吹きつけるようになされている。
【００１１】さらに、回転ベルト６を挟んでエアブロー８との対向位置にはダクト９が配設される。ダクト９は、エアブロー８からの気体によつて回転ベルト６から吹き飛ばされた異物を集めるものである。またさらに、回転ベルト６の湿つた部分をＩＣチツプ５と接触させることによつて異物を除去した後、回転ベルト６によつて湿つたＩＣチツプ５を乾かすためのエアブロー１０をマーキング部２の手前に配設する。
【００１２】以上の構成において、ＩＣチツプ５の製造工程におけるマーキングの際、ベルトコンベア４の上面に配置された複数のＩＣチツプ５がクリーニング部３へと搬送される。このとき、クリーニング部３の回転ベルト６は、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩＣチツプ５の搬送方向と対応方向に回転する。ちなみに図２においては、ＩＣチツプ５の搬送方向が紙面に対して左方向であるため、回転ベルト６の回転方向が時計回りとなつている。このため回転ベルト６とベルトコンベア４は連動するようなかたちとなる。
【００１３】まず、回転ベルト６は加湿器７から噴射される霧状の液体によつて湿らされ、当該回転ベルト６が最下位まで回転すると、ベルトコンベア４によつて搬送されたＩＣチツプ５の表面と接触する。このとき、ＩＣチツプ５の表面に付着していたゴミ等の異物は当該湿つた回転ベルト６に付着することにより、ＩＣチツプ５から除去される。
【００１４】この後、回転ベルト６は上方向へと回転し、ゴミ等の異物が付着した面の裏面側からエアブロー８によつて気体を吹きつける。このエアブロー８は、回転ベルト６の異物付着面の裏面側から気体を吹きつけることにより、異物を吹き飛ばす。また吹き飛ばされた当該異物は、回転ベルト６の異物付着面側に配設されたダクト９によつて収集される。
【００１５】クリーニング部３は、上述のような処理により、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩＣチツプ５の表面を順次クリーニングする。また、回転ベルト６によつて異物を除去されたＩＣチツプ５は、回転ベルト６によつて湿らされている。このため当該ＩＣチツプ５はエアブロー１０によつて乾かされ、この後、次工程であるマーキング部２へと搬送され、異物を除去されたＩＣチツプ５のマーク面にマーキング処理が施される。
【００１６】以上の構成によれば、マーキング処理の前工程として、複数のＩＣチツプ５を搬送するベルトコンベア４と所定間隔を有した位置に、回転ベルト６、加湿器７、エアブロー８、１０及びダクト９でなるクリーニング部３を配設する。このクリーニング部３は、加湿器７によつて回転ベルト６を湿らせ、湿つた回転ベルト６とＩＣチツプ５を接触させて異物をＩＣチツプ５から除去する。この後、エアブロー８によつて回転ベルト６に気体を吹きつけ、この時の散布した異物をダクト９で収集することにより、ＩＣチツプ５のマーク面上に付着したゴミ等の異物を高精度に除去し得る。また、マーキング部２の手前に配設されたエアブロー１０によつて湿つたＩＣチツプ５のマーク面を乾かすことにより、従来に比してマーキング処理を向上し得る。
【００１７】なお上述の実施例においては、エアブロー８によつて回転ベルト６から吹き飛ばされた異物を集めるダクト９を配設するものについて述べたが、本発明はこれに限らず、上記ダクト９の代わりに吸引式の吸塵器等を配設するようにしても良い。この場合、上述の効果に加えてゴミ等の異物の散布及び異物の再付着を防止し得る。
【００１８】また上述の実施例においては、布製の回転ベルト６を用いるものについて述べたが、本発明はこれに限らず、布製ではなく化学繊維等の回転ベルトを用いても良い。
【００１９】さらに上述の実施例においては、回転ベルト６を設けたクリーニング部３について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば図３に示すような縦型の回転ベルト１５を設け、当該回転ベルト１５の内部に管状の加湿器１７及びエアブロー１８を設けたクリーニング部１６（ダクト等は図示せず）のように、上述のクリーニング部３と異なる形状のものでも同様の効果を得ることができる。
【００２０】また上述の実施例においては、搬送手段としてベルトコンベア４を用いるものについて述べたが、本発明はこれに限らず、ベルトコンベア以外の搬送手段を用いるようにしても良い。
【００２１】さらに上述の実施例においては、ＩＣチツプ５のマーク面に対するクリーニングに用いるものについて述べたが、本発明はこれに限らず、ＩＣチツプ以外のもののマーク面のクリーニングにも適用し得る。
【００２２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿らせ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、この時の散布した異物を異物収集手段で収集することにより、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得るマーク面クリーニング装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるマーキング装置の全体構成の概略を示す略線図である。
【図２】図１にの示すマーキング装置のクリーニング部の構成を示す略線的断面図である。
【図３】他の実施例におけるクリーニング部の構成を示す略線的斜視図である。
【符号の説明】
１……マーキング装置、２……マーキング部、３、１６……クリーニング部、４……ベルトコンベア、５……ＩＣチツプ、６、１５……回転ベルト、７、１７……加湿器、８、１０、１８……エアブロー、９……ダクト。

【特許請求の範囲】
【請求項１】所定部材の搬送方向と対応する方向に回転する回転ベルト手段と、上記回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬入側に配され、上記回転ベルト手段を湿らせる加湿手段と、上記回転ベルト手段の内側かつ上記所定部材の搬出側に配され、上記加湿手段によつて湿らされた上記回転ベルト手段に気体を吹きつける送風手段と、上記回転ベルト手段を挟んで上記送風手段と対向する位置に配され、当該送風手段によつて散布された異物を収集する異物収集手段とでなるクリーニング部と、上記クリーニング部と所定の間隔を有した位置に配設され、複数の上記所定部材を搬送する搬送手段とを具えることを特徴とするマーク面クリーニング装置。

【図１】