レンズモジュールの製造方法及び撮像装置

【課題】エア抜き孔を完全に塞ぐ。
【解決手段】第１ウェハレベルレンズ（以下、ＷＬＬ）アレイ２１の第１対向面２１ａ上に、各第１レンズ部１５ａをそれぞれ囲み、かつスリット状のエア抜き孔２５を有する略矩形状の第１接着層２４を形成する。第２ＷＬＬアレイ２２の第２対向面２２ａ上に、各第２レンズ部１６ａをそれぞれ囲み、かつエア抜き孔２５に向けて突出した凸部２６ａを有する略枠状の第２接着層２６を形成する。各エア抜き孔２５と各凸部２６ａとが重なり合うように第１ＷＬＬアレイ２１と第２ＷＬＬアレイ２２とを接着する。各凸部２６ａがそれぞれ各エア抜き孔２５に入り込むことで、接着後にエア抜き孔２５が接着剤で完全に塞がれる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着層を介して複数のレンズを積層してなるレンズモジュールの製造方法、及びこのレンズモジュールを備える撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機などの携帯電子機器には、小型かつ薄型の撮像装置が搭載されている。この撮像装置は、固体固体撮像素子チップと、この固体固体撮像素子チップ上に設けられ、複数のウェハレベルレンズを積層してなるレンズモジュールとからなり、ウェハレベルで製造される（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１では、複数のレンズ部を有するウェハレベルレンズアレイを、各レンズ部を囲むように形成された接着層を介し複数積層して積層体を形成する。この積層体には、ウェハレベルレンズアレイの両対向面と接着層で囲まれる閉じられた空間（以下、キャビティという）が複数形成される。次いで、このウェハレベルレンズアレイの積層体をダイシングにより個片化することでレンズモジュールが生成される。以下、ウェハレベルレンズアレイを個片化したものをウェハレベルレンズと呼ぶ。
【０００４】
ところで、ウェハレベルレンズアレイ同士を、各レンズ部を囲む形状の接着層を介して接着する際には、各接着層間の厚みのばらつきによりキャビティの形成タイミングに差異が生じる。このため、接着時に先にキャビティが形成された部分は、さらに押圧されることにより、キャビティ内の空気が接着層を膨張または破裂させてしまう。
【０００５】
特許文献２〜４には、ウェハレベルレンズアレイ同士を接着する前に接着層に、スリット状のエア抜き孔を形成しておき、このエア抜き孔からキャビティ内の空気を逃がすことにより、接着層の破裂や膨張を防止する製造方法が記載されている。このエア抜き孔は、接着剤の復元力（例えば表面張力のような作用）によって塞がれて消滅する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−０８６０９２号公報
【特許文献２】特開２００５−２５２１８３号公報
【特許文献３】特開２００３−２０４０５３号公報
【特許文献４】特開昭６３−８４０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２〜４に記載のように、接着層に予めエア抜き孔を形成しておくことで、接着層の破裂や膨張は防止することができるが、エア抜き孔の大きさによっては接着剤の復元力だけでは完全に塞ぐことができず、接着層に孔があいてしまうおそれがある。その結果、レンズモジュールの歩留まりが低下するという問題が生じる。
【０００８】
本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、エア抜き孔を完全に塞ぐことができるレンズモジュールの製造方法、及びこのレンズモジュールを備える撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明のレンズモジュールの製造方法は、複数のレンズ部を有するウェハレベルレンズアレイを、個々の前記レンズ部を囲む略枠状の接着層を介して複数積層し、前記ウェハレベルレンズアレイの積層体を各前記接着層の間で切断してレンズモジュールを生成するレンズモジュールの製造方法において、互いに接着されるウェハレベルレンズアレイの両対向面の一方に、各前記レンズ部をそれぞれ囲みかつその一部に略スリット状のエア抜き孔を有する略枠状の第１接着層を形成する第１接着層形成工程と、前記両対向面の他方に、前記エア抜き孔と対向する位置に当該エア抜き孔に向けて突出した凸部を有する第２接着層を形成する第２接着層形成工程と、前記エア抜き孔と前記凸部とを重ね合わせるようにして前記ウェハレベルレンズアレイ同士を接着する接着工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】
前記第２接着層形成工程は、前記第２接着層を、各前記レンズ部を囲む略枠形状に形成することが好ましい。
【００１１】
前記第２接着層形成工程では、前記第２接着層の前記エア抜き孔に対向する部分の厚みを他の部分よりも厚くすることで前記凸部を形成することが好ましい。また、前記第２接着層形成工程では、前記第２接着層の前記エア抜き孔に対向する部分の幅を他の部分よりも広げることが好ましい。
【００１２】
前記第２接着層形成工程の前に、前記他方の対向面の前記エア抜き孔に対向する部分に下地層を形成する下地層形成工程を有しており、前記下地層により前記第２接着層に前記凸部が形成されることが好ましい。
【００１３】
前記第１接着層形成工程及び第２接着層形成工程では、それぞれ前記エア抜き孔、前記凸部を複数形成することが好ましい。
【００１４】
前記第１接着層及び前記第２接着層は略矩形状に形成されており、前記エア抜き孔及び前記凸部は、それぞれ前記第１接着層、前記第２接着層の角部分に形成されることが好ましい。
【００１５】
前記第１接着層形成工程及び第２接着層形成工程では、それぞれスクリーン印刷により接着剤を前記対向面に塗布して、前記第１接着層、前記第２接着層を形成することが好ましい。
【００１６】
また、本発明の撮像装置は、請求項１ないし８いずれか１項記載のレンズモジュールの製造方法で製造されたレンズモジュールと、前記レンズモジュールを透過した被写体光を撮像する撮像素子と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のレンズモジュールの製造方法、及びこのレンズモジュールを備える撮像装置は、第１接着層のエア抜き孔に第２接着層の凸部を重ね合わせるようにしてウェハレベルレンズアレイ同士の接着を行うようにしたので、接着層のエア抜き孔を完全に塞ぐことができる。その結果、接着層に孔があくことによるレンズモジュールの歩留まりの低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】撮像装置の断面図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】第１接着層形成工程を説明するための説明図である。
【図４】図中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】第２接着層形成工程を説明するための説明図である。
【図６】図中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】スクリーン印刷を説明するための説明図である。
【図８】スクリーン印刷により形成された接着層の断面図である。
【図９】接着層の四隅部が厚くなる理由を説明するための説明図である。
【図１０】ＷＬＬアレイ接着工程を説明するための説明図である。
【図１１】第１接着層のエア抜き孔が第２接着層の凸部により塞がれることを説明するための説明図である。
【図１２】ＷＬＬアレイ接着工程の完了後の断面図である。
【図１３】第２接着層に凸部を形成しない比較例を説明するための説明図である。
【図１４】接着層に欠陥孔があいた状態を説明するための説明図である。
【図１５】ダイシング工程を説明するための説明図である。
【図１６】レンズモジュール取付工程を説明するための説明図である。
【図１７】第２実施形態における、撮像素子基板、第１ＷＬＬアレイ、第２ＷＬＬアレイの積層工程を説明するための説明図である。
【図１８】第２実施形態のダイシング工程を説明するための説明図である。
【図１９】第３実施形態の第２接着層形成工程を説明するための説明図である。
【図２０】図１９とは異なる第２接着層形成工程を説明するための説明図である。
【図２１】第４実施形態の第２接着層の正面図である。
【図２２】第４実施形態の第１接着層の正面図である。
【図２３】図２２の凸部の形成方法を具体的に説明するための説明図である。
【図２４】第５実施形態の第１接着層の正面図である。
【図２５】第５実施形態の第２接着層の正面図である。
【図２６】第６実施形態の第２接着層の正面図である。
【図２７】実施例１の第１〜第２接着層の厚みを説明するための説明図である。
【図２８】実施例２の第１〜第２接着層の厚みを説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［第１実施形態］
図１に示すように、撮像装置１０は、ウェハレベルで製造されたものであり、携帯電話機などの各種小型電子機器（図示せず）に搭載される。この撮像装置１０は、固体撮像素子チップ１１と、スペーサ１２を介して固体撮像素子チップ１１上に設けられたレンズモジュール１３とからなる。なお、各図では、撮像装置１０の各部を明確にするため、相互の厚みや幅の比率は無視して一部誇張して表示している。
【００２０】
固体撮像素子チップ１１は、ＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子などの撮像素子１１ａ、及び図示しない電極や論理回路などを有している。撮像素子１１ａは、レンズモジュール１３から入射する被写体光を電気的な撮像信号に変換する。撮像素子１１ａから出力された撮像信号は、小型電子機器に設けられた各種信号処理回路（図示せず）にて信号処理が施されることによりデジタル画像データに変換される。スペーサ１２は、固体撮像素子チップ１１の表面上で撮像素子１１ａを囲むように略枠形状を有している。
【００２１】
レンズモジュール１３は、第１ウェハレベルレンズ（以下、単にＷＬＬという）１５と第２ＷＬＬ１６と接着層１７とからなる。第１ＷＬＬ１５は略凹状の第１レンズ部１５ａを有している。第２ＷＬＬ１６は、接着層１７を介して第１ＷＬＬ１５上に設けられており、略凸状の第２レンズ部１６ａを有している。第１〜第２ＷＬＬ１５，１６は、ウェハレベルレンズアレイ（図４参照）をダイシングして生成したものであり、撮像素子１１ａの受光面の中心を通る光軸を有している。第１〜第２ＷＬＬ１５，１６は、被写体光を撮像素子１１ａの受光面上に結像させる。
【００２２】
図２に示すように、接着層１７は、各レンズ部１５ａ，１６ａを囲むように略矩形状に形成されている。接着層１７と第１〜第２ＷＬＬ１５，１６の両対向面との間に、密閉されたキャビティ１９が形成される。接着層１７は、第１ＷＬＬ１５上に第２ＷＬＬ１６を所定の間隔をあけて保持する。
【００２３】
次に、上記構成の撮像装置１０の製造工程について説明を行う。撮像装置１０の製造工程は、大別して、レンズモジュール１３を製造するレンズモジュール製造工程と、固体撮像素子チップ１１上にレンズモジュール１３を取り付けるレンズモジュール取付工程とからなる。
【００２４】
レンズモジュール製造工程は、第１レンズ部１５ａが２次元配列されている第１ウェハレベルレンズアレイ（以下、単にＷＬＬアレイという）上に、第２レンズ部１６ａが２次元配列されている第２ＷＬＬアレイを積層した積層体を形成し、この積層体を個片化することによりレンズモジュール１３を生成する。このレンズモジュール製造工程は、第１接着層形成工程と、第２接着層形成工程と、ＷＬＬアレイ接着工程と、ダイシング工程との４つの工程からなる。なお、第１〜第２ＷＬＬアレイの大きさ、及び各レンズ部１５ａ，１６ａの配列数、配列パターン、及び配列ピッチは全て同じに形成される。
【００２５】
図３及び図４に示すように、第１接着層形成工程では、第１ＷＬＬアレイ２１の第２ＷＬＬアレイ２２と対向する第１対向面２１ａ上に、スクリーン印刷法を用いて接着剤を塗布して、各第１レンズ部１５ａをそれぞれ囲むように略矩形状の第１接着層２４を形成する。この際に第１接着層２４には、その四隅の角部分（以下、単に四隅部という）にスリット状のエア抜き孔２５を同時に形成する。
【００２６】
第１接着層２４の厚みは、例えば２０μｍ〜４０μｍに調整される。第１接着層２４の幅は、例えば２００〜３００μｍに調整される。エア抜き孔２５の幅は、例えば１００〜３００μｍに調整される。
【００２７】
図５及び図６に示すように、第２接着層形成工程では、第２ＷＬＬアレイ２２の第１ＷＬＬアレイ２１と対向する第２対向面２２ａ上に、スクリーン印刷法を用いて接着剤を塗布して、各第２レンズ部１６ａをそれぞれ囲むように略矩形状でかつ第１接着層２４と略同形状（厚み、幅を含む）の第２接着層２６を形成する。この際に第２接着層２６には、その四隅部に第１対向面２１ａに向けて突出した凸部２６ａが形成される。具体的には、第２接着層２６を第１接着層２４上に位置決めした際に、各凸部２６ａはそれぞれエア抜き孔に向けて突出するような位置に形成される。
【００２８】
凸部２６ａを形成する方法は特に限定されない。例えば、一般にスクリーン印刷法により矩形状の層を形成する場合にはその四隅部の厚みが他の部分よりも厚くなる傾向がある。例えば図７に示すように、第２接着層２６に対応する開口パターンＰを有する印刷版Ｂを第２ＷＬＬアレイ２２上にセットする工程と、この印刷版Ｂ上に接着剤を塗布する工程と、スキージＳで印刷版Ｂ上の余分な接着剤を除去する工程とを実行することで、開口パターンＰのみに接着剤が埋め込まれる。なお、図中の符号Ｍは、印刷版Ｂ内に設けられたメッシュである。
【００２９】
次いで、第２ＷＬＬアレイ２２上から印刷版Ｂを除去することで、第２ＷＬＬアレイ２２上に第２接着層２６が形成される。この際に、印刷版Ｂの開口パターンＰの側壁（以下、パターン側壁という）には接着剤が残ってしまう。このため、図８に示すように第２接着層２６の四隅部以外の部分は、断面が略かまぼこ形状に形成される。
【００３０】
これに対して図９に示すように、第２接着層２６の四隅部は、その図中の２点鎖線で示す部分がパターン側壁に接しないので、四隅部以外の部分と比較してパターン側壁に触れる部分は少なくなる。このため、四隅部は接着剤の塗布量が他の部分と比較して多くなるので厚みが厚くなる。従って、本実施形態ではスクリーン印刷法を用いて第２接着層２６を矩形状に形成することで、その四隅部に凸部２６ａが自然に形成される。なお、この凸部２６ａは、他の部分と比較して１０〜２０μｍ程度高くなる。
【００３１】
図１０及び図１１に示すように、ＷＬＬアレイ接着工程は、最初に、第１対向面２１ａ上の各エア抜き孔２５と、第２対向面２２ａ上の各凸部２６ａとを位置決めする。次いで、各第１接着層２４と各第２接着層２６とを重ね合わせるようにして、第１ＷＬＬアレイ２１と第２ＷＬＬアレイ２２とを接着する。これにより、図１２に示すように、各第１接着層２４と各第２接着層２６とが一体化してなる接着層１７が形成されるとともに、接着層１７と第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２の両対向面により密閉されたキャビティ１９が形成される。
【００３２】
各第１〜第２接着層２４，２６の厚みのばらつきによりキャビティ１９の形成タイミングに差異が生じた場合でも、各第１接着層２４に予めエア抜き孔２５が形成されているので、接着時に先に形成されたキャビティ１９の内部の空気は、キャビティ１９が押圧されたときにエア抜き孔２５を通って外部に抜ける。これにより、接着層１７の膨張や破裂が防止される。
【００３３】
さらに本実施形態では、各第１接着層２４と各第２接着層２６とを重ね合わせた際に、各凸部２６ａがそれぞれ各エア抜き孔２５に入り込むことで、エア抜き孔２５が接着剤で完全に塞がれる。なお、接着剤は粘性を有しているので、エア抜き孔２５が完全に塞がるまでには一定の時間が掛かる。このため、キャビティ１９内からのエア抜きが妨げられることはない。
【００３４】
一方、比較例を示す図１３において、各第２接着層２６に凸部２６ａを形成していない場合には、各第１接着層２４と各第２接着層２６とを重ね合わせて接着層１７を形成した際に、エア抜き孔２５が完全に塞がらない場合がある。その結果、図１４に示すように接着層１７に孔（以下、欠陥孔という）２８があいてしまい、レンズモジュール１３の歩留まりが低下する。
【００３５】
このような比較例に対して本発明では、各第２接着層２６に予め凸部２６ａを形成しておくことにより、エア抜き孔２５を完全に塞いで接着層１７に欠陥孔２８が生じることが防止される。これより、レンズモジュール１３の歩留まりの低下が防止される。
【００３６】
図１５に示すように、ダイシング工程では、接着層１７の硬化後に、各接着層１７の間に設定したダイシングライン（一点鎖線で表示）に沿って、第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２をダイシングする。これにより、第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２を個片化してなるレンズモジュール１３が生成される。以上でレンズモジュール製造工程が完了する。
【００３７】
図１６に示すように、レンズモジュール取付工程では、固体撮像素子チップ１１上にスペーサ１２を介してレンズモジュール１３を取り付ける。これにより、図１に示した撮像装置１０が生成される。
【００３８】
上記第１実施形態では、第１対向面２１ａにエア抜き孔２５を有する第１接着層２４を形成し、第２対向面２２ａに凸部２６ａを有する第２接着層２６を形成しているが、これとは逆に、第２接着層２６にエア抜き孔２５を形成し、第１接着層２４に凸部２６ａを形成してもよい（第２実施形態以降も同様）。
【００３９】
［第２実施形態］
上記第１実施形態では、レンズモジュール１３をウェハレベル工法で形成し、このレンズモジュール１３を固体撮像素子チップ１１上に取り付けることにより撮像装置１０を形成しているが、レンズモジュール１３と固体撮像素子チップ１１とを一体に形成してもよい。
【００４０】
具体的には、図１７に示すように、複数の撮像素子１１ａが２次元配列された撮像素子基板３１上に、第１ＷＬＬアレイ２１と第２ＷＬＬアレイ２２とを積層する。この場合は、撮像素子基板３１の第１ＷＬＬアレイ２１と対向する対向面３１ａ上に、各撮像素子１１ａを囲みかつその一部にエア抜き孔２５を有する略矩形状の第１接着層３２を形成する。また、第１ＷＬＬアレイ２１の撮像素子基板３１に対向する対向面２１ｂ上に、各第１レンズ部１５ａを囲みかつエア抜き孔２５に対向する位置に凸部３３ａを有する矩形状の第２接着層３３を形成する。
【００４１】
第１接着層３２及び第２接着層３３は、基本的には上記実施形態の第１接着層２４、第２接着層２６と同じである。従って、各第１接着層３２と各第２接着層３３とを重ね合わせるようにして、撮像素子基板３１と第１ＷＬＬアレイ２１とを接着する。これにより、各第１接着層３２と各第２接着層３３とが一体化してなる接着層３５（図１８参照）が形成される。この際には、上記第１実施形態と同様に、接着層３５の膨張や破裂が防止されるとともに、エア抜き孔２５を完全に塞いで歩留まりの低下を防止することができる。
【００４２】
次いで、上記実施形態と同様に、第１ＷＬＬアレイ２１上に第２ＷＬＬアレイ２２を積層する。これにより、図１８に示すように、撮像素子基板３１、第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２を積層してなる積層体が形成される。そして、各接着層１７，３５の間に設定したダイシングライン（一点鎖線で表示）に沿って、撮像素子基板３１、第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２をダイシングする。これにより、固体撮像素子チップ１１と第１〜第２ＷＬＬ１５，１６とが一体化されてなる撮像装置が生成される。
【００４３】
［第３実施形態］
上記各実施形態では、スクリーン印刷法により第２接着層２６を形成することで、この第２接着層２６の四隅部に凸部２６ａが自然に形成されるようにしているが、凸部２６ａを積極的に形成してもよい。例えば、図１９に示すように、第２接着層２６の形成前に、第２対向面２２ａのエア抜き孔２５に対向する位置（以下、孔対向位置という）に下地層３７を予め形成しておく。これにより、第２対向面２２ａに第２接着層２６を形成した際に、下地層３７により第２接着層２６の孔対向位置に凸部２６ａを形成することができる。なお、下地層３７は第２ＷＬＬアレイ２２と一体に形成してもよい。
【００４４】
また、図２０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第２対向面２２ａ上に第２接着層２６を形成した後、この第２接着層２６の孔対向位置にさらに接着剤を塗布する、いわゆる２度塗りを行うことで凸部２６ａを形成してもよい。
【００４５】
［第４実施形態］
上記各実施形態では、第１対向面２１ａにエア抜き孔２５を有する第１接着層２４を形成し、第２対向面２２ａに凸部２６ａを有する第２接着層２６を形成しているが、１つの接着層にエア抜き孔と凸部の両方を形成してもよい。例えば、図２１に示すように、第２接着層２６の凸部２６ａと異なる位置にエア抜き孔４０を形成してもよい。さらに、この場合には、図２２に示すように、第１接着層２４のエア抜き孔４０と対向する位置に凸部４１を形成する。この場合も第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４６】
この際に、第１接着層２４の四隅部以外に凸部を形成する場合には、例えば図２３に示すように、第１接着層２４のエア抜き孔４０と対向する部分の幅を他よりも広くすることで、この部分の厚みを増加させる。これにより、凸部４１が形成される。なお、他実施形態の凸部も接着層の幅を部分的に広げることで形成してもよい。
【００４７】
［第５実施形態］
上記各実施形態では、第１〜第２接着層２４，２６の四隅部にエア抜き孔２５、凸部２６ａを形成しているが、例えば図２４及び図２５に示すように第１〜第２接着層２４，２６の四隅部以外に、上記第４実施形態と同様のエア抜き孔４０、凸部４１を設けてもよい。なお、第１接着層２４に凸部４１を設け、第２接着層２６にエア抜き孔４０を設けてもよい。また、エア抜き孔４０及び凸部４１の形成位置は特に限定されない。
【００４８】
［第６実施形態］
上記各実施形態では、第２接着層２６を略矩形状に形成しているが、図２６に示すように、第２対向面２２ａ上のエア抜き孔２５に対向する位置にのみ接着剤を塗布して、エア抜き孔２５に向けて突出した凸部４３ａからなる第２接着層４３を形成してもよい。この場合も第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４９】
上記各実施形態では、各接着層を矩形状に形成しているが、円形状、多角形状等の各種枠形状に形成してもよい。また、各実施形態において、エア抜き孔及び凸部を形成する位置は適宜変更してもよい。なお、多角形状の接着層をスクリーン印刷で形成した場合には、図７〜図９で説明したように角部に凸部が自然に形成される。
【００５０】
上記各実施形態では、固体撮像素子チップ１１上に２層の第１〜第２ＷＬＬ１５，１６が積層されているが、１層または３層以上のＷＬＬが積層されていてもよい。また、第１〜第２レンズ部１５ａ，１６ａの形状も特に限定はされない。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明の効果を実証するための実施例１〜２を示し、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。実施例１〜２ともに、上記第１実施形態で説明したように、第１対向面２１ａにエア抜き孔２５を有する第１接着層２４を形成し、第２対向面２２ａに凸部２６ａを有する第２接着層２６を形成した。この際に、接着剤としてＵＶＸ−８５３６（ＤＥＮＫＡ製）を用い、スクリーン印刷により第１〜第２接着層２４，２６を縦横約３．４ｍｍの矩形状に形成した。なお、スクリーン印刷に用いる印刷版Ｂとして、線径３０μ〜５０μｍｍ、開口径１００μｍ以上のメッシュＭを有するものを用いた。
【００５２】
実施例１では、図２７に示すように第１接着層２４の厚みを２０μｍ、第２接着層２６の厚みを４０μｍに形成した。実施例２では、図２８に示すように第１接着層２４の厚みを４０μｍ、第２接着層２６の厚みを２０μｍに形成した。次いで、各実施例の第１ＷＬＬアレイ２１と第２ＷＬＬアレイ２２とを、圧力０．３〜０．５Ｍｐａ、スピード０．０５〜０．３０ｍｍ／ｓｅｃの条件で接着した。これにより、第１接着層２４と第２接着層２６とが重ね合わせてなる略４０μｍの厚みの接着層１７が形成された。
【００５３】
接着層１７の硬化後に、第１〜第２ＷＬＬアレイ２１，２２をダイシングしてレンズモジュール１３を生成した。次いで、レンズモジュール１３の接着層１７のエア抜き孔２５が完全に塞がっているか否かを目視または光学顕微鏡で観察した。その結果、実施例１〜２ともに、エア抜き孔２５が完全に塞がっていることが確認された。
【符号の説明】
【００５４】
１０撮像装置
１１固体撮像素子チップ
１３レンズモジュール
１５第１ＷＬＬ
１６第２ＷＬＬ
１７接着層
２１第１ＷＬＬアレイ
２２第２ＷＬＬアレイ
２４，３２第１接着層
２５，４０エア抜き孔
２６，３３，４３第２接着層
２６ａ，３３ａ，４１，４３ａ凸部

【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズ部を有するウェハレベルレンズアレイを、個々の前記レンズ部を囲む略枠状の接着層を介して複数積層し、前記ウェハレベルレンズアレイの積層体を各前記接着層の間で切断してレンズモジュールを生成するレンズモジュールの製造方法において、
互いに接着されるウェハレベルレンズアレイの両対向面の一方に、各前記レンズ部をそれぞれ囲みかつその一部に略スリット状のエア抜き孔を有する略枠状の第１接着層を形成する第１接着層形成工程と、
前記両対向面の他方に、前記エア抜き孔と対向する位置に当該エア抜き孔に向けて突出した凸部を有する第２接着層を形成する第２接着層形成工程と、
前記エア抜き孔と前記凸部とを重ね合わせるようにして前記ウェハレベルレンズアレイ同士を接着する接着工程と、
を有することを特徴とするレンズモジュールの製造方法。
【請求項２】
前記第２接着層形成工程は、前記第２接着層を、各前記レンズ部を囲む略枠形状に形成することを特徴とする請求項１記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項３】
前記第２接着層形成工程では、前記第２接着層の前記エア抜き孔に対向する部分の厚みを他の部分よりも厚くすることで前記凸部を形成することを特徴する請求項１または２記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項４】
前記第２接着層形成工程では、前記第２接着層の前記エア抜き孔に対向する部分の幅を他の部分よりも広げることを特徴する請求項３記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項５】
前記第２接着層形成工程の前に、前記他方の対向面の前記エア抜き孔に対向する部分に下地層を形成する下地層形成工程を有しており、前記下地層により前記第２接着層に前記凸部が形成されることを特徴とする請求項１または２記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項６】
前記第１接着層形成工程及び第２接着層形成工程では、それぞれ前記エア抜き孔、前記凸部を複数形成することを特徴とする請求項１ないし５いずれか１項記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項７】
前記第１接着層及び前記第２接着層は略矩形状に形成されており、前記エア抜き孔及び前記凸部は、それぞれ前記第１接着層、前記第２接着層の角部分に形成されることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項８】
前記第１接着層形成工程及び第２接着層形成工程では、それぞれスクリーン印刷により接着剤を前記対向面に塗布して、前記第１接着層、前記第２接着層を形成することを特徴とする請求項１ないし７いずれか１項記載のレンズモジュールの製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし８いずれか１項記載のレンズモジュールの製造方法で製造されたレンズモジュールと、
前記レンズモジュールを透過した被写体光を撮像する撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。

【図１】