半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
【課題】本発明は、反射光用領域および透過光用領域における色特性が等しく、反射光用領域の着色層をインクジェット法により形成することが可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することにより、上記目的を達成する。
【解決手段】本発明は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することにより、上記目的を達成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発され、この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置に、バックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示（透過表示）が行なえる、という利点を有する。しかしながら、このような半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいて、外光が入射光および反射光として着色層を２回通過することから、外光により表示が行われる反射光用領域の色特性と、バックライト光によって表示が行われる透過光用領域との色特性が異なるという問題を有する場合があった。
【０００３】
このような問題を解決するため、例えば、反射光用領域における着色層にスルーホールを設ける方法が採用されている（例えば特許文献１参照）。この方法では、着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソグラフィー法により着色層にスルーホールを形成するのが一般的である。しかしながら、この方法では、微細なスルーホールを形成することが困難であるという問題がある。
【０００４】
また近年、製造コストを削減できることから、着色層の形成方法としてインクジェット法が実用化されつつある。しかしながら、インクジェット法を用いて、スルーホールを有する着色層を形成するのは困難である。
【０００５】
また、反射光用領域および透過光用領域の色特性を等しくすることを目的として、透明基板と、透明基板上にパターン状に形成された透明膜と、透明基板上に透明膜パターンを覆うように形成された着色層とを有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが提案されている（特許文献２参照）。この半透過型液晶表示装置用カラーフィルタでは、透明基板上に透明膜がパターン状に形成されている領域を反射光用領域として用い、透明基板上に着色層のみが形成されている領域を透過光用領域として用いることによって、反射光用領域および透過光用領域の色特性を等しくさせることができる。
しかしながら、特許文献２には、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について詳しく述べられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９４３８１号公報
【特許文献２】特開２００３−３３０００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、反射光用領域および透過光用領域における色特性が等しく、反射光用領域の着色層をインクジェット法により形成することが可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００９】
本発明によれば、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により反射光用領域の着色層を形成することが可能である。また本発明によれば、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成するので、透明樹脂部上に着色層が形成されることがなく、反射光用領域の輝度が高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。
【００１０】
また本発明においては、通常、上記バンク形成工程にて、上記バンクとして遮光部を形成する。一般的に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、着色層のパターン間を遮光し、コントラストを向上させるために、着色層のパターンを仕切るための遮光部を形成するからである。
【００１１】
さらに本発明においては、上記透明樹脂部形成工程にて、上記透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することが好ましい。一般的に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、スルーホールの断面の形状を逆テーパー状または矩形状とするからである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により反射光用領域の着色層を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【図３】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程を説明するための模式図である。
【図４】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程を説明するための模式図である。
【図５】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の他の例を示す工程図である。
【図６】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部剥離工程を説明するための模式図である。
【図７】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【図８】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部剥離工程を説明するための模式図である。
【図９】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について詳細に説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。また、図１（ｃ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、図１（ｄ）は図３のＢ−Ｂ線断面図であり、図１（ｅ）は図４のＣ−Ｃ線断面図である。
図１に例示する本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、まず、透明基板１上に着色層のパターンを仕切るためのバンク２として遮光部を形成する（図１（ａ）、バンク形成工程）。次に、透明基板１上に透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物１３を塗布し、フォトマスク１１を介して紫外線１２を照射して、透明基板１上のバンク（遮光部）２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３をパターン状に形成する（図１（ｂ）および（ｃ）、透明樹脂部形成工程）。この際、図２に例示するように、反射光用領域となる領域にのみ、円柱状の透明樹脂部３を形成する。
次に、透明基板１上のバンク２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３表面が露出するように、インクジェット装置１４により赤色着色層形成用組成物１５Ｒを吐出する（図１（ｄ））。この際、図３に例示するように、赤色着色部となる領域にのみ、赤色着色層形成用組成物１５Ｒを吐出する。続いて、図示しないが、赤色着色層形成用組成物の吐出と同様にして、透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、インクジェット法により緑色着色層形成用組成物を吐出し、さらに透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、インクジェット法により青色着色層形成用組成物を吐出する。その後、図示しないが、各色着色層形成用組成物が吐出されて得られる塗膜を加熱してポストベークを行う。このようにして、図１（ｅ）および図４に例示するように、赤色着色部５Ｒ、緑色着色部５Ｇおよび青色着色部５Ｂから構成される着色層５を形成する（着色層形成工程）。
【００１７】
なお、図１（ｅ）および図４において、透明基板１上に透明樹脂部３および着色層５が形成されている領域を反射光用領域ｒ、透明基板１上に着色層５が形成され、透明樹脂部３が形成されていない領域を透過光用領域ｔとする。
【００１８】
図５は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の他の例を示す工程図である。また、図５（ｂ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、図５（ｃ）は図４のＣ−Ｃ線断面図であり、図５（ｄ）は図６のＤ−Ｄ線断面図である。
図５に例示する本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、まず、透明基板１上に着色層のパターンを仕切るためのバンク２として遮光部を形成する（図５（ａ）、バンク形成工程）。次に、透明基板１上のバンク（遮光部）２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３をパターン状に形成する（図５（ｂ）、透明樹脂部形成工程）。この際、図２に例示するように、反射光用領域となる領域にのみ、円柱状の透明樹脂部３を形成する。
次に、図５（ｃ）および図４に例示するように、透明基板１上のバンク２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３表面が露出するように、インクジェット法により赤色着色部５Ｒ、緑色着色部５Ｇおよび青色着色部５Ｂから構成される着色層５を形成する（着色層形成工程）。
次に、図５（ｄ）および図６に例示するように、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を剥離し、スルーホール６を形成する（透明樹脂部剥離工程）。
【００１９】
なお、図５（ｄ）および図６において、透明基板１上にスルーホール６および着色層５が形成されている領域を反射光用領域ｒ、透明基板１上に着色層５が形成され、スルーホール６が形成されていない領域を透過光用領域ｔとする。
【００２０】
図１および図５に例示するように、本発明においては、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行ってもよく行わなくてもよい。
図１に例示するように、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、透明基板上に透明樹脂部および着色層が形成されている領域を反射光用領域に用い、透明基板上に着色層が形成され、透明樹脂部が形成されていない領域を透過光用領域に用いることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。透明樹脂部を有していない透過光用領域に対して、反射光用領域は透明樹脂部を有していることから、着色層のみの透過光と比較して、色純度を淡くすることが可能となり、外光が反射光用領域を二回通過した際にも、透過光用領域をバックライトが一回通過した際と同様の色特性とすることができる。したがって、反射光用領域の色特性を、透過光用領域における色特性と等しくさせることが可能となる。
一方、図５に例示するように、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、透明基板上にスルーホールおよび着色層が形成されている領域を反射光用領域に用い、透明基板上に着色層が形成され、スルーホールが形成されていない領域を透過光用領域に用いることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。スルーホールを有していない透過光用領域に対して、反射光用領域はスルーホールを有していることから、着色層のみの透過光と比較して、色純度を淡くすることが可能となり、外光が反射光用領域を二回通過した際にも、透過光用領域をバックライトが一回通過した際と同様の色特性とすることができる。したがって、反射光用領域の色特性を、透過光用領域における色特性と等しくさせることが可能となる。
【００２１】
このように本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成し、次いで透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成することによって、反射光用領域の色特性を調整することが可能となり、反射光用領域および透過光用領域の色特性が等しい半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。
【００２２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により着色層を形成することが可能である。
【００２３】
また本発明においては、透明樹脂部の形成に感光性樹脂組成物を用いることができるので、微細な透明樹脂部のパターンを形成することが可能である。そのため、バンクで仕切られた１つの領域内に、微小な透明樹脂部またはスルーホールを複数個形成することができ、反射光用領域における色特性を均一化することが可能である。
【００２４】
さらに本発明においては、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成するので、透明樹脂部上に着色層が形成されることがなく、反射光用領域の輝度が高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。また、透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するので、透明樹脂部の大きさによって反射光用領域での反射色の正確な設計が可能となる。一方、透明樹脂部表面が露出しないように着色層を形成する、すなわち透明樹脂部上にも着色層を形成する場合には、透明樹脂部上の着色層の厚み等のばらつきによって反射色の設計がずれてしまう。
【００２５】
また従来、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、反射光用領域および透過光用領域における色特性を等しくするために、反射光用領域のみに透明樹脂層（枕）を形成し、反射光用領域の着色層の厚みを薄くする方法も採用されている。この方法では、着色層形成用組成物の粘度によっては、着色層表面に厚みムラが生じることがある。そのため、材料による反射色特性の制約が大きい。これに対し、本発明においては、インクジェット法により着色層を形成するので、着色層形成用組成物の粘度によらず、比較的厚みムラの少ない着色層を形成することができる。よって、材料特性に依存せずに、透明樹脂部の設計によって任意に反射色特性を設定することができる。
【００２６】
本発明においては、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成する。これは、本発明においてはインクジェット法により着色層を形成するので、バンクを形成しないと、透明基板上に吐出された着色層形成用組成物が目的とする領域以外に濡れ広がり、各色着色層形成用組成物が混色するおそれがあるからである。
【００２７】
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
【００２８】
１．バンク形成工程
本発明におけるバンク形成工程は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成する工程である。
【００２９】
本工程にて形成されるバンクとしては、着色層のパターンを仕切るものであれば特に限定されるものではなく、例えば、遮光部、後述する透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンク等が挙げられる。通常は、バンクとして遮光部を形成する。一般に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、着色層のパターン間を遮光し、コントラストを向上させるために、着色層のパターンを仕切るための遮光部を形成するからである。また、バンクは、遮光部と透明樹脂バンクとから構成されるものであってもよい。
【００３０】
遮光部の形成材料としては、所望の遮光性を有する材料であれば特に限定されるものではないが、通常、黒色着色剤および樹脂を含有する遮光部形成用樹脂組成物、または、金属材料が用いられる。
遮光部形成用樹脂組成物を用いる場合、黒色着色剤および樹脂としては、一般的なカラーフィルタの遮光部に用いられるものを使用することができる。
また、金属材料を用いる場合、金属材料としては、一般的なカラーフィルタの遮光部に用いられる金属材料を使用することができる。
【００３１】
遮光部の形成方法としては、所望の開口部を有する遮光部を形成できる方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、クロム等の金属材料を用いたスパッタリング法、遮光部形成用樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法、および、遮光部形成用樹脂組成物を用いた熱転写法等を挙げることができる。
【００３２】
なお、透明樹脂バンクの形成材料および形成方法については、後述する透明樹脂部形成工程に記載するものと同様であるので、ここでの説明は省略する。本発明において、透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンクを形成する場合には、工程の簡略化のために、透明樹脂バンクおよび透明樹脂部を同時に形成してもよい。
【００３３】
本工程においては、撥液性を有するバンクを形成することが好ましい。後述する着色層形成工程において、バンクで仕切られた領域内、すなわちバンクの開口部内に吐出される着色層形成用組成物が、バンクを越えて他の開口部へ濡れ広がることを防ぐことができるため、着色層に混色が生じるのを防止することができるからである。
【００３４】
撥液性を有するバンクを形成する方法としては、例えば、バンクの形成材料として撥液剤を含有する材料を用いる方法や、バンクに撥液化処理を施す方法等を挙げることができる。撥液剤を含有する材料を用いる方法では、別途バンクに撥液化処理を施すことなく、撥液性の高いバンクを形成することができる。一方、バンクに撥液化処理を施す方法では、樹脂を含有するバンクのみに選択的にフッ素を導入することができるため、透明基板表面よりも撥液性の高いバンクを容易に形成することができる。
【００３５】
撥液剤を含有する材料を用いる場合、撥液剤としては、所望の撥液性を有する遮光部を形成することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、フッ素含有化合物、および、低表面エネルギー物質の微粒子等を挙げることができる。
【００３６】
フッ素含有化合物としては、例えば、下記式(1)または(2)で表される化合物のモノマーまたはオリゴマー等を例示することができる。
一般式(1)：Ｒｆ−Ｘ−Ｒｆ´
一般式(2)：（Ｒｆ−Ｘ−Ｒ）−Ｙ−（Ｒ´−Ｘ´−Ｒｆ´）
ここで、上記式(1)または(2)において、ＲｆおよびＲｆ´はフルオロアルキル基、ＲおよびＲ´はアルキレン基を表し、ＲｆおよびＲｆ´、またＲおよびＲ´は同一であっても異なっていてもよい。また、Ｘ、Ｘ´およびＹは、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯＯ−、−ＣＯＮＲ”−、−ＯＣＯＮＲ”−、−ＳＯ2ＮＲ”−、−ＳＯ2−、−ＳＯ2Ｏ−、−Ｏ−、−ＮＲ”−、−Ｓ−、−ＣＯ−、ＯＳＯ2Ｏ−、−ＯＰＯ（ＯＨ）Ｏ−のいずれかを表し、Ｘ、Ｘ´およびＹは同一であっても異なっていてもよい。Ｒ”はアルキル基または水素を表す。
【００３７】
さらに、フッ素含有化合物としては、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロエチレンプロピレン樹脂、パーフルオロアルコキシ樹脂等も用いることができる。
【００３８】
また、上記低表面エネルギー物質の微粒子としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン、フルオロオレフィンビニルエーテル系共重合体、３フッ化エチレン−フッ化ビニリデン共重合体等からなる微粒子や、シリコーン微粒子等を挙げることができる。
【００３９】
一方、バンクに撥液化処理を施す場合、撥液化処理方法としては、バンクの撥液性を透明基板表面の撥液性よりも相対的に高くできる方法であれば特に限定されるものではない。
例えば、バンクの形成材料として樹脂を用い、透明基板に無機材料からなる基板を用いる場合には、撥液化処理方法として、バンクにフッ素化合物を導入ガスとしたプラズマを照射する方法が好ましく用いられる。このような方法は、有機物にのみフッ素化合物を導入することができるため、バンクのみに選択的にフッ素を導入でき、バンクの撥液性を透明表面の撥液性よりも容易に高くすることができるからである。
【００４０】
ここで、上記プラズマ照射を行った際の、バンクにおけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ：ＥＳＣＡＬＡＢ ２２０ｉ−ＸＬ）による分析において、遮光部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。
【００４１】
導入ガスに用いられるフッ素化合物としては、例えば、ＣＦ4、ＳＦ6、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｈ8、Ｃ5Ｆ8等を挙げることができる。
【００４２】
また、導入ガスとしては、上記フッ素化合物からなるフッ素ガスと他のガスとが混合されたものであってもよい。他のガスとしては、例えば、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等を挙げることができるが、中でも、窒素が好ましい。他のガスとして窒素を用いる場合、窒素の混合比率は５０％以上であることが好ましく、特に６０％以上であることが好ましい。
【００４３】
プラズマの照射方法としては、バンクを撥液化することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、減圧下でプラズマ照射してもよく、大気圧下でプラズマ照射してもよい。中でも、大気圧下でプラズマ照射を行うことが好ましい。減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面で好ましいからである。
【００４４】
バンクの撥液性としては、透明基板表面よりも相対的に撥液性が高ければ特に限定されるものではないが、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましく、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましく、さらには表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましい。また、純水との接触角が１１°以上であることが好ましい。
【００４５】
一方、透明基板表面の親液性としては、バンクの親液性よりも高ければ特に限定されるものではなく、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満であることが好ましく、中でも表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下であることが好ましく、さらには表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下であることが好ましい。
【００４６】
本発明に用いられる透明基板は、透明樹脂部および着色層を形成可能であり、可視光に対して透明な基板であれば特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタに用いられる透明基板と同様のものとすることができる。具体的には、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等が挙げられる。
【００４７】
２．透明樹脂部形成工程
本発明における透明樹脂部形成工程は、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する工程である。
【００４８】
本工程により透明樹脂部をパターン状に形成する方法としては、透明基板上の反射光用領域となる領域に透明樹脂部を形成可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を、スピンコート法やダイコート法等、一般的な塗布方法で塗布した後、パターン露光し、現像する方法等とすることができる。
【００４９】
透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物としては、可視光線透過率が高い透明樹脂部が得られるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、感光性樹脂、光重合開始剤、および溶剤等を含有する組成物が挙げられる。
【００５０】
感光性樹脂としては、例えば、感光性アクリル樹脂、感光性ポリイミド、ポジレジスト、カルド樹脂、ポリシロキサン、ベンゾシクロブテン等が挙げられる。
また、光重合開始剤としては、上記感光性樹脂の種類に応じて適宜選択される。
さらに、溶剤としては、上記の感光性樹脂、ポリマー成分等を分散または溶解することができるものであれば特に限定されるものではない。
本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、上述したような組成物が用いられる。
【００５１】
また、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物として、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることができる。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることが好ましい。このような光架橋性樹脂組成物を用いる場合には、光架橋性樹脂組成物を光架橋させて得られる光硬化物を加熱することによって分解させることができ、光硬化物をアルカリ系剥離液に対して膨潤しやすくすることができる。その結果、透明樹脂部を容易に剥離することが可能となるからである。
【００５２】
熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物としては、例えば、光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物、熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物などを挙げることができる。
【００５３】
光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物を用いた場合には、下記式に例示するような反応が起こる。すなわち、光照射により架橋サイトＸ，Ｙが反応し、架橋体を生成する。架橋体を加熱すれば、熱分解サイトＺが解裂して、溶剤に可溶な線状高分子になる。
【００５４】
【化１】
【００５５】
上記の光重合（光架橋）可能なポリマー成分としては、例えば、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）；カルボキシル基を含むポリマー；ｏ−クレゾールノボラックエポキシアクリレート、フェノールノボラックエポキシアクリレート等のエポキシアクリレート；ポリエステルアクリレート；ポリウレタンアクリレート；ポリエーテルアクリレート；オリゴマアクリレート；アルキドアクリレート；ポリオールアクリレート；メタクリル酸メチル−スチレン−メタクリル酸共重合体等が挙げられる。
【００５６】
上記の熱分解性を有する架橋剤としては、熱分解性を有する結合基を有する官能基を有するものが挙げられる。例えば、架橋剤としては、両末端に架橋反応に関与する官能基を有し、両官能基をつなぐ部分に熱分解性を有する結合基を有する官能基が挿入されたものを用いることができる。具体的に、架橋剤としては、両末端にエポキシユニットを有し、２つのエポキシ基が３級のカルボン酸エステル結合でつながっているジエポキシ化合物を用いることができる。３級エステルは、加熱により解裂して、ジカルボン酸とオレフィンを生成する。このような架橋剤については、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
また、熱分解性を有する結合基を有する官能基としては、下記一般式(3)で表されるものを挙げることができる。
【００５７】
【化２】
【００５８】
ここで、上記式(3)中、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、Ｒ2は水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基を示す。
【００５９】
上記式(3)において、熱分解性を有する結合基は、Ｏ−Ｃ（ＣはＲ1およびＲ2が結合している炭素原子）−ＯにおけるＯ−Ｃ結合およびＣ−Ｏ結合、ならびに、Ｃ−Ｏ−ＣＨにおけるＯ−ＣＨ結合のうちの少なくとも１つであると考えられる。このような結合基が切断されることにより、上記式(3)で表される官能基から、例えば下記一般式(4)で表される化合物や下記一般式(5)で表される化合物が生成すると予想される。
【００６０】
【化３】
【００６１】
ここで、上記式(5)中、Ｒ1およびＲ2は上記式(3)と同様である。
【００６２】
光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物には、光酸発生剤が含有されていることが好ましい。この組成物としては、光照射のみでは不溶化しないものがあるからである。光酸発生剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、フルオレニリデンイミノｐ−トルエンスルホナート（ＦＩＴＳ）等が挙げられる。ＦＩＴＳは、紫外光照射によりｐ−トルエンスルホン酸を生成する。
具体的には、光重合（光架橋）可能なポリマー成分として、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）を用い、架橋剤として、両末端にエポキシユニットを有し、２つのエポキシ基が３級のカルボン酸エステル結合でつながっているジエポキシ化合物を用い、光酸発生剤として、フルオレニリデンイミノｐ−トルエンスルホナート（ＦＩＴＳ）を用いた場合、光照射で発生した酸が、ＰＶＰのフェノール性ＯＨ基と架橋剤のエポキシ基との反応触媒となり、架橋体が得られる。この架橋体を加熱すると、３級エステル部分が解裂して、線状高分子が生成する。この線状高分子は、テトラヒドロフランなどの有機溶剤に溶解する。
光酸発生剤の種類を適宜選択することにより、架橋体の熱分解温度を調整することができる。
なお、光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物については、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
【００６３】
一方、熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物を用いた場合、下記式に例示するような反応が起こる。すなわち、光照射により架橋サイトＲが反応し、架橋体を生成する。架橋体を加熱すれば、熱分解サイトＱが解裂して、溶剤に可溶な線状高分子になる。
【００６４】
【化４】
【００６５】
上記の熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分としては、光重合性を有する官能基と、熱分解性を有する結合基を有する官能基とを有するものが挙げられる。例えば、側鎖に架橋サイトを結合させたポリマーであって、架橋サイトとポリマー主鎖との間に熱分解性を有する結合基を有する官能基が挿入されたポリマーを用いることができる。
光重合性を有する官能基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニルエーテル基等が挙げられる。
なお、熱分解性を有する結合基を有する官能基については、上記架橋剤の項に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物には、光酸発生剤が含有されていることが好ましい。この組成物としては、光照射のみでは不溶化しないものがあるからである。なお、光酸発生剤については、上述したものと同様である。
また、上記の熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分の具体例および合成方法については、特開2001-226430号公報、特開2006-235499号公報、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
【００６６】
本発明においては、後述する着色層形成工程にて、所定の温度で加熱された際に、熱分解性を有する結合基のすべてが分解（切断）される必要はなく、透明樹脂部がアルカリ系剥離液によって剥離されうる程度に分解（切断）されればよい。
【００６７】
本工程においては、撥液性を有する透明樹脂部を形成することが好ましい。後述する着色層形成工程において、透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するのが容易となるからである。
【００６８】
撥液性を有する透明樹脂部を形成する方法としては、例えば、撥液剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法や、透明樹脂部に撥液化処理を施す方法等を挙げることができる。撥液剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法では、別途透明樹脂部に撥液化処理を施すことなく、撥液性の高い透明樹脂部を形成することができる。一方、透明樹脂部に撥液化処理を施す方法では、透明樹脂部のみに選択的にフッ素を導入することができるため、透明基板表面よりも撥液性の高い透明樹脂部を容易に形成することができる。
【００６９】
なお、撥液剤および撥液化処理方法については、上記バンク形成工程に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。また、透明樹脂部の撥液性については、上記バンクの撥液性と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００７０】
本発明においてバンクおよび透明樹脂部に撥液化処理を施す場合、工程の簡略化のために、本工程においてバンクおよび透明樹脂部に同時に撥液化処理を施してもよい。
【００７１】
また本工程においては、光散乱機能を有する透明樹脂部を形成してもよい。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、光散乱機能を有する透明樹脂部を形成することにより、本発明により製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの視認性を向上させることができるからである。
【００７２】
光散乱機能を有する透明樹脂部を形成する方法としては、例えば、光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法や、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用い、気泡形成処理を施して透明樹脂部の内部に気泡を形成する方法等を挙げることができる。前者の場合には、光散乱性微粒子の含有量を増やしたり、透明樹脂部自体の厚みを厚くしたりすることにより、光散乱効果を高めることができる。一方、後者の場合には、透明樹脂部の内部に形成される気泡の屈折率は約１．０であるので、透明樹脂部を構成する樹脂と気泡との屈折率に差を生じさせて、気泡内へ入射した光が気泡外へ出射する際に種々の方向へ屈折させることができ、光散乱効果を得ることができる。また、透明樹脂部の内部に形成される気泡の泡径や透明樹脂部の空隙率等を調整することにより、透明樹脂部の光散乱の度合いを変化させることができるため、着色層の色に応じて要求される好適な光の散乱の度合いに、各々調整することができる。
【００７３】
光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる場合、光散乱性微粒子としては、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有される樹脂と異なる屈折率を有するものであれば特に限定されるものではなく、一般的に光散乱機能を得るために使用されているものを用いることができる。このような光散乱性微粒子としては、例えば、無機物からなる微粒子および有機ポリマーからなる微粒子等を挙げることができる。この光散乱性微粒子は、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有される樹脂の屈折率に応じて適宜選択される。
【００７４】
また、光散乱性微粒子の平均粒子径としては、０．７μｍ〜３．５μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．０μｍ〜２．０μｍの範囲内であることが好ましい。
【００７５】
光散乱性微粒子の形状としては、特に限定されるものではないが、一般的には球状であることが好ましい。
【００７６】
一方、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用い、気泡形成処理を施して透明樹脂部の内部に気泡を形成する場合、発泡剤としては、所定の温度範囲内で分解し、光散乱効果を得るのに充分な気泡を形成することが可能なものであれば特に限定されるものではない。このような発泡剤としては、例えば、アゾジカルボンアミド、Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、炭酸水素ナトリウム等を挙げることができる。
【００７７】
また、発泡剤の粒径としては、０．０１μｍ〜１μｍの範囲内であることが好ましく、中でも０．０３μｍ〜０．１μｍの範囲内であることが好ましい。発泡剤の粒径が上記範囲内であれば、発泡剤が分解した際に、所望の泡径を有する気泡を形成することができるからである。
【００７８】
透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物中の発泡剤の含有量としては、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有されている樹脂に対して、０．５重量％〜７０重量％の範囲内であることが好ましく、中でも１重量％〜５０重量％の範囲内であることが好ましい。
【００７９】
なお、発泡剤の種類および含有量等を変化させることにより、形成される気泡の泡径および気泡量が変化するが、好適な光散乱効果が得られる気泡の泡径および気泡量に調節するためには、予めシミュレーション等を行って、発泡剤の種類および含有量に応じた気泡量等の変化を計測し、そのような計測結果に基づいて、発泡剤の種類および含有量を適宜選択することが好ましい。
【００８０】
透明樹脂部の内部に気泡を形成する方法としては、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を塗布して得られる透明樹脂部を加熱する方法が用いられる。透明樹脂部を所定の温度で加熱することにより、発泡剤を分解させ、透明樹脂部の内部に気泡を形成する。
この際の加熱の温度としては、用いる発泡剤により異なるが、１８０℃〜２４０℃の範囲内であることが好ましく、さらには２００℃〜２３０℃の範囲内であることが好ましい。
【００８１】
透明樹脂部の内部に気泡を形成する気泡形成処理は、透明樹脂部の内部に気泡を形成することが可能であれば、例えば、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物の塗布後、現像後など、いつ行ってもよい。中でも、ポストベークとして気泡形成処理を行うことが好ましい。気泡形成処理をポストベークとして行う場合には、ある程度硬化が進んだ状態の透明樹脂部の内部に気泡を形成することになる。この場合、透明樹脂部の粘性が高いので、発泡剤が分解する際に発生する力により、気泡の泡径が所望の範囲以上に大きくなりにくく、所望の泡径を有する気泡を容易に形成することができるからである。
【００８２】
透明樹脂部の内部に形成される気泡の泡径は、反射光用領域に入射した光を散乱させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には、０．５μｍ〜２．０μｍの範囲内であることが好ましく、中でも０．５μｍ〜１．０μｍの範囲内であることが好ましい。気泡の泡径が上記範囲よりも大きいと、透明樹脂部を所望の大きさに形成することが困難となり、一方、気泡の泡径が上記範囲よりも小さいと、光の波長によっては光散乱効果が得られない場合があるからである。
【００８３】
また、内部に空隙を有する透明樹脂部の空隙率は、反射光用領域に入射した光を散乱させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には、５％〜４２％の範囲内であることが好ましく、中でも１０％〜２１％の範囲内であることが好ましい。空隙率が上記範囲よりも大きいと、透明樹脂部を所望の大きさに形成することが困難となり、一方、空隙率が上記範囲よりも小さいと、光の波長によっては光散乱効果が得られない場合があるからである。
【００８４】
なお、内部に気泡を有する透明樹脂部の空隙率および厚みは、相互に調整することにより、必要な光散乱効果を実現するものであるため、例えば、空隙率の範囲外であっても、厚みを調整することにより必要な光散乱効果が得られる場合もある。したがって、上記空隙率の範囲および厚みの範囲は、多少異なる場合がある。
【００８５】
また、透明樹脂部の内部に形成される気泡と、透明樹脂部を構成する樹脂との屈折率差は、光散乱機能を得るのに充分な程度であれば特に限定されるものではないが、０．１以上であることが好ましく、中でも０．２以上、特に０．３以上であることが好ましい。屈折率差を上記範囲とすることにより、気泡内へ入射した光が気泡外へ出射する際に種々の方向へ屈折させることができ、充分な光散乱効果を得ることができるからである。気泡内部に存在する気体の屈折率を考慮すると、気泡の屈折率は約１．０であるため、容易に屈折率差を上記範囲とすることができる。
【００８６】
透明基板上に塗布した透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物をパターン露光する方法および現像する方法としては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、一般的なフォトリソグラフィー法におけるパターン露光および現像と同様とすることができる。
【００８７】
本発明においては透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するので、透明樹脂部の厚みとしては、着色層の厚み以上であることが好ましく、通常は着色層の厚みと同程度とされる。また、光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる場合、および、透明樹脂部の内部に気泡を形成する場合には、透明樹脂部の厚みは、光散乱機能を得ることが可能な厚みとされる。具体的に、透明樹脂部の厚みは、１μｍ〜４μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．５μｍ〜３μｍの範囲内、特に２．０μｍ〜２．５μｍの範囲内であることが好ましい。
【００８８】
本工程においては、図７に例示するように透明樹脂部３の断面を逆テーパー状に形成する、あるいは、図１（ｃ）に例示するように透明樹脂部３の断面を矩形状に形成することが好ましい。一般的に半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、スルーホールの断面の形状を逆テーパー状または矩形状とするからである。露光条件および現像条件等を適宜調整することによって、透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することが可能である。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、図８に例示するようにスルーホール６の断面形状を逆テーパー状としたり、図５（ｄ）に例示するようにスルーホール６の断面形状を矩形状としたりすることができる。
【００８９】
また、透明樹脂部の形状としては、例えば、円柱状、角柱状等とすることができる。すなわち、透明樹脂部の平面形状としては、円形状、矩形状等とすることができる。具体的には、図９に示すような平面形状とすることができる。露光条件および現像条件等を適宜調整することによって、透明樹脂部の平面形状を種々の形状とすることが可能である。
【００９０】
さらに、透明樹脂部の配列としては、特に限定されるものではなく、図９（ａ）および（ｂ）に例示するように透明樹脂部３がドット状に設けられていてもよく、図９（ｃ）に例示するように透明樹脂部３がストライプ状に設けられていてもよい。また、図９（ａ）〜（ｃ）に例示するように透明樹脂部３が規則的に配列されていてもよく、図９（ｄ）に例示するように透明樹脂部３がランダムに配列されていてもよい。
【００９１】
また、バンクで仕切られた１つの領域内に形成される透明樹脂部の数としては、特に限定されるものではなく、１個であってもよく複数個であってもよい。
【００９２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部がパターン状に形成されている領域を反射光用領域として用いることから、透明樹脂部の面積を調整することによって反射光用領域における色特性を調整することができる。
透明樹脂部の面積は、バンクで仕切られた領域の面積や、目的とする反射光用領域の色特性等に応じて適宜選択されるものであるが、バンクで仕切られた１つの領域の面積を１００％とすると、バンクで仕切られた１つの領域内に形成された透明樹脂部の面積の総和が５％〜３５％程度であることが好ましい。
【００９３】
３．着色層形成工程
本発明における着色層形成工程は、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する工程である。
【００９４】
着色層形成用組成物としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられるものと同様とすることができ、例えば、顔料、バインダおよび添加剤等を含有するものが用いられる。
【００９５】
透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出する方法としては、例えば、透明樹脂部の厚みを形成される着色層の厚みよりも高くする方法、撥液性を有する透明樹脂部を形成する方法、着色層形成用組成物の吐出量を調整する方法などを挙げることができる。
【００９６】
着色層の形成方法としては、透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成することができる方法であれば特に限定されるものではない。
【００９７】
着色層のパターンとしては特に限定されるものではなく、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三色の着色部が、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列に形成されたもの等とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。
【００９８】
本工程においては、着色層形成用組成物の吐出後に、着色層および透明樹脂部を加熱するポストベークを行ってもよい。本発明においては、透明樹脂部の形成に熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いる場合であって、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、着色層および透明樹脂部のポストベークを行うことが好ましい。透明樹脂部を加熱することにより、透明樹脂部をアルカリ不溶性からアルカリ可溶性に変化させることができるからである。したがって、透明樹脂部剥離工程にて、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を容易に剥離することができる。
【００９９】
着色層および透明樹脂部のポストベークを行う際の加熱条件等は、特に限定されるものではなく、一般的な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におけるポストベーク（焼成）の条件と同様とすることができる。
【０１００】
本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、ポストベークの際の加熱温度は、透明樹脂部をアルカリ可溶性に変化させることができる温度であれば特に限定されるものではないが、具体的には１５０℃〜２５０℃の範囲内であることが好ましく、より好ましくは１８０℃〜２３０℃の範囲内、さらに好ましくは２００℃〜２３０℃の範囲内である。
また、上記の場合、ポストベークの際の加熱時間は、透明樹脂部をアルカリ可溶性に変化させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には１０分以上であることが好ましく、より好ましくは２０分〜１時間の範囲内、さらに好ましくは２０分〜３０分の範囲内である。
【０１０１】
着色層の厚みとしては、１．０μｍ〜６．０μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．５μｍ〜５．０μｍの範囲内、特に１．５μｍ〜３．０μｍの範囲内であることが好ましい。
【０１０２】
４．透明樹脂部剥離工程
本発明においては、上記着色層形成工程後、アルカリ系剥離液を用いて上記透明樹脂部を剥離する透明樹脂部剥離工程を有することが好ましい。透明樹脂部剥離工程を行う場合には、着色層にスルーホールを形成することができる。これにより、反射光用領域の輝度をより高めることができる。
透明樹脂部剥離工程を行う場合には、上述したように、透明樹脂部形成工程にて、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることが好ましい。熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いる場合には、光架橋性樹脂組成物を光架橋させて得られる光硬化物を加熱することによって分解させることができ、光硬化物をアルカリ系剥離液に対して膨潤しやすくすることができる。その結果、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を容易に剥離することが可能となる。着色層に影響を及ぼすことなく、透明樹脂部のみを剥離することができるのである。
【０１０３】
また、バンク形成工程にて、バンクとして透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンクを形成した場合には、本工程において、透明樹脂部と同時に透明樹脂バンクも剥離することができる。
【０１０４】
本工程にて用いられるアルカリ系剥離液としては、透明樹脂部を剥離することが可能であれば特に限定されるものではなく、例えば、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ性水溶液が挙げられる。また、アルカリ性水溶液は、有機アミンや有機溶剤等を含有していてもよい。
【０１０５】
透明樹脂部の剥離方法としては、例えば、アルカリ系剥離液を用いた、浸漬法、スプレー法等が挙げられる。
【０１０６】
５．その他の工程
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、上述の工程以外にも、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、通常行われる工程を有していてもよい。このような工程としては、例えば、着色層上に保護層を形成する保護層形成工程等を挙げることができる。
【０１０７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１０８】
以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。
［実施例１］
（撥液性のバンク・透明樹脂部の形成）
基材として、３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの無アルカリガラス基板を準備した。このガラス基板を定法にしたがって洗浄し、ガラス基板の片側にスパッタ法によりクロム薄膜（厚み１６００Å）を形成した。このクロム薄膜上にポジ型感光性レジスト（東京応化工業（株）製ＯＦＰＲ−８００）を塗布し、所定のマスクを介して露光し、レジストパターンを形成した。次いで、このレジストパターンをマスクとしてクロム薄膜をエッチングし、線幅２０μｍの遮光部を形成した。
【０１０９】
この基板上に感光性樹脂材料（ＪＳＲ（株）製ＮＮ７８０）を塗布し、透明樹脂バンクと透明樹脂部の設計パターンを含むフォトマスクを介して露光、アルカリ現像、焼成硬化を実施した。これによりバンクおよび透明樹脂部の形成が完了した。
更に、透明樹脂バンクおよび透明樹脂部に下記の条件で大気圧プラズマを照射した。
＜大気圧プラズマ照射条件＞
・導入ガス：ＣＦ４ １５（ｌ／ｍｉｎ．）
・電極と基板の間隔：２ｍｍ
・電源出力：２００Ｖ−５Ａ
【０１１０】
（着色層形成工程）
＜着色層形成用組成物の調製＞
着色層形成用組成物として、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、ＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインクを用いた。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア３６９（商品名、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ（株）製）、ＵＶ硬化樹脂としてはＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製）を用いた。また、顔料としては、赤色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、緑色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６＋Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、青色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５＋Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３をそれぞれ用いた。
【０１１１】
＜着色層の形成＞
上記赤色着色層形成用組成物（上記赤色インク）をインクジェット装置を用いて、赤色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて赤色着色層を形成した。
次に、上記緑色着色層形成用組成物（上記緑色インク）を、インクジェット装置を用いて、緑色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて、緑色着色層を形成した。さらに、上記青色着色層形成用組成物（上記青色インク）を、インクジェット装置を用いて、青色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて、青色着色層を形成した。
これによりバンク、透明樹脂部以外の部分に所望の着色層を形成することが出来た。
【符号の説明】
【０１１２】
１ … 透明基板
２ … バンク
３ … 透明樹脂部
４ … バンクで仕切られた領域
５ … 着色層
５Ｒ … 赤色着色部
５Ｇ … 緑色着色部
５Ｂ … 青色着色部
６ … スルーホール
ｒ … 反射光用領域
ｔ … 透過光用領域
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発され、この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置に、バックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示（透過表示）が行なえる、という利点を有する。しかしながら、このような半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいて、外光が入射光および反射光として着色層を２回通過することから、外光により表示が行われる反射光用領域の色特性と、バックライト光によって表示が行われる透過光用領域との色特性が異なるという問題を有する場合があった。
【０００３】
このような問題を解決するため、例えば、反射光用領域における着色層にスルーホールを設ける方法が採用されている（例えば特許文献１参照）。この方法では、着色層形成用感光性樹脂組成物を用いて、フォトリソグラフィー法により着色層にスルーホールを形成するのが一般的である。しかしながら、この方法では、微細なスルーホールを形成することが困難であるという問題がある。
【０００４】
また近年、製造コストを削減できることから、着色層の形成方法としてインクジェット法が実用化されつつある。しかしながら、インクジェット法を用いて、スルーホールを有する着色層を形成するのは困難である。
【０００５】
また、反射光用領域および透過光用領域の色特性を等しくすることを目的として、透明基板と、透明基板上にパターン状に形成された透明膜と、透明基板上に透明膜パターンを覆うように形成された着色層とを有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが提案されている（特許文献２参照）。この半透過型液晶表示装置用カラーフィルタでは、透明基板上に透明膜がパターン状に形成されている領域を反射光用領域として用い、透明基板上に着色層のみが形成されている領域を透過光用領域として用いることによって、反射光用領域および透過光用領域の色特性を等しくさせることができる。
しかしながら、特許文献２には、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について詳しく述べられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９４３８１号公報
【特許文献２】特開２００３−３３０００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、反射光用領域および透過光用領域における色特性が等しく、反射光用領域の着色層をインクジェット法により形成することが可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００９】
本発明によれば、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により反射光用領域の着色層を形成することが可能である。また本発明によれば、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成するので、透明樹脂部上に着色層が形成されることがなく、反射光用領域の輝度が高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。
【００１０】
また本発明においては、通常、上記バンク形成工程にて、上記バンクとして遮光部を形成する。一般的に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、着色層のパターン間を遮光し、コントラストを向上させるために、着色層のパターンを仕切るための遮光部を形成するからである。
【００１１】
さらに本発明においては、上記透明樹脂部形成工程にて、上記透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することが好ましい。一般的に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、スルーホールの断面の形状を逆テーパー状または矩形状とするからである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により反射光用領域の着色層を形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【図３】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程を説明するための模式図である。
【図４】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程を説明するための模式図である。
【図５】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の他の例を示す工程図である。
【図６】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部剥離工程を説明するための模式図である。
【図７】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【図８】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部剥離工程を説明するための模式図である。
【図９】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における透明樹脂部形成工程を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について詳細に説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。また、図１（ｃ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、図１（ｄ）は図３のＢ−Ｂ線断面図であり、図１（ｅ）は図４のＣ−Ｃ線断面図である。
図１に例示する本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、まず、透明基板１上に着色層のパターンを仕切るためのバンク２として遮光部を形成する（図１（ａ）、バンク形成工程）。次に、透明基板１上に透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物１３を塗布し、フォトマスク１１を介して紫外線１２を照射して、透明基板１上のバンク（遮光部）２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３をパターン状に形成する（図１（ｂ）および（ｃ）、透明樹脂部形成工程）。この際、図２に例示するように、反射光用領域となる領域にのみ、円柱状の透明樹脂部３を形成する。
次に、透明基板１上のバンク２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３表面が露出するように、インクジェット装置１４により赤色着色層形成用組成物１５Ｒを吐出する（図１（ｄ））。この際、図３に例示するように、赤色着色部となる領域にのみ、赤色着色層形成用組成物１５Ｒを吐出する。続いて、図示しないが、赤色着色層形成用組成物の吐出と同様にして、透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、インクジェット法により緑色着色層形成用組成物を吐出し、さらに透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、インクジェット法により青色着色層形成用組成物を吐出する。その後、図示しないが、各色着色層形成用組成物が吐出されて得られる塗膜を加熱してポストベークを行う。このようにして、図１（ｅ）および図４に例示するように、赤色着色部５Ｒ、緑色着色部５Ｇおよび青色着色部５Ｂから構成される着色層５を形成する（着色層形成工程）。
【００１７】
なお、図１（ｅ）および図４において、透明基板１上に透明樹脂部３および着色層５が形成されている領域を反射光用領域ｒ、透明基板１上に着色層５が形成され、透明樹脂部３が形成されていない領域を透過光用領域ｔとする。
【００１８】
図５は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の他の例を示す工程図である。また、図５（ｂ）は図２のＡ−Ａ線断面図であり、図５（ｃ）は図４のＣ−Ｃ線断面図であり、図５（ｄ）は図６のＤ−Ｄ線断面図である。
図５に例示する本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、まず、透明基板１上に着色層のパターンを仕切るためのバンク２として遮光部を形成する（図５（ａ）、バンク形成工程）。次に、透明基板１上のバンク（遮光部）２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３をパターン状に形成する（図５（ｂ）、透明樹脂部形成工程）。この際、図２に例示するように、反射光用領域となる領域にのみ、円柱状の透明樹脂部３を形成する。
次に、図５（ｃ）および図４に例示するように、透明基板１上のバンク２で仕切られた領域４内に、透明樹脂部３表面が露出するように、インクジェット法により赤色着色部５Ｒ、緑色着色部５Ｇおよび青色着色部５Ｂから構成される着色層５を形成する（着色層形成工程）。
次に、図５（ｄ）および図６に例示するように、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を剥離し、スルーホール６を形成する（透明樹脂部剥離工程）。
【００１９】
なお、図５（ｄ）および図６において、透明基板１上にスルーホール６および着色層５が形成されている領域を反射光用領域ｒ、透明基板１上に着色層５が形成され、スルーホール６が形成されていない領域を透過光用領域ｔとする。
【００２０】
図１および図５に例示するように、本発明においては、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行ってもよく行わなくてもよい。
図１に例示するように、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、透明基板上に透明樹脂部および着色層が形成されている領域を反射光用領域に用い、透明基板上に着色層が形成され、透明樹脂部が形成されていない領域を透過光用領域に用いることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。透明樹脂部を有していない透過光用領域に対して、反射光用領域は透明樹脂部を有していることから、着色層のみの透過光と比較して、色純度を淡くすることが可能となり、外光が反射光用領域を二回通過した際にも、透過光用領域をバックライトが一回通過した際と同様の色特性とすることができる。したがって、反射光用領域の色特性を、透過光用領域における色特性と等しくさせることが可能となる。
一方、図５に例示するように、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、透明基板上にスルーホールおよび着色層が形成されている領域を反射光用領域に用い、透明基板上に着色層が形成され、スルーホールが形成されていない領域を透過光用領域に用いることができる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。スルーホールを有していない透過光用領域に対して、反射光用領域はスルーホールを有していることから、着色層のみの透過光と比較して、色純度を淡くすることが可能となり、外光が反射光用領域を二回通過した際にも、透過光用領域をバックライトが一回通過した際と同様の色特性とすることができる。したがって、反射光用領域の色特性を、透過光用領域における色特性と等しくさせることが可能となる。
【００２１】
このように本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成し、次いで透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成することによって、反射光用領域の色特性を調整することが可能となり、反射光用領域および透過光用領域の色特性が等しい半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。
【００２２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成した後に、透明樹脂部が形成された透明基板上に着色層を形成するので、インクジェット法により着色層を形成することが可能である。
【００２３】
また本発明においては、透明樹脂部の形成に感光性樹脂組成物を用いることができるので、微細な透明樹脂部のパターンを形成することが可能である。そのため、バンクで仕切られた１つの領域内に、微小な透明樹脂部またはスルーホールを複数個形成することができ、反射光用領域における色特性を均一化することが可能である。
【００２４】
さらに本発明においては、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成するので、透明樹脂部上に着色層が形成されることがなく、反射光用領域の輝度が高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを作製することが可能である。また、透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するので、透明樹脂部の大きさによって反射光用領域での反射色の正確な設計が可能となる。一方、透明樹脂部表面が露出しないように着色層を形成する、すなわち透明樹脂部上にも着色層を形成する場合には、透明樹脂部上の着色層の厚み等のばらつきによって反射色の設計がずれてしまう。
【００２５】
また従来、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、反射光用領域および透過光用領域における色特性を等しくするために、反射光用領域のみに透明樹脂層（枕）を形成し、反射光用領域の着色層の厚みを薄くする方法も採用されている。この方法では、着色層形成用組成物の粘度によっては、着色層表面に厚みムラが生じることがある。そのため、材料による反射色特性の制約が大きい。これに対し、本発明においては、インクジェット法により着色層を形成するので、着色層形成用組成物の粘度によらず、比較的厚みムラの少ない着色層を形成することができる。よって、材料特性に依存せずに、透明樹脂部の設計によって任意に反射色特性を設定することができる。
【００２６】
本発明においては、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成する。これは、本発明においてはインクジェット法により着色層を形成するので、バンクを形成しないと、透明基板上に吐出された着色層形成用組成物が目的とする領域以外に濡れ広がり、各色着色層形成用組成物が混色するおそれがあるからである。
【００２７】
以下、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
【００２８】
１．バンク形成工程
本発明におけるバンク形成工程は、透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成する工程である。
【００２９】
本工程にて形成されるバンクとしては、着色層のパターンを仕切るものであれば特に限定されるものではなく、例えば、遮光部、後述する透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンク等が挙げられる。通常は、バンクとして遮光部を形成する。一般に、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、着色層のパターン間を遮光し、コントラストを向上させるために、着色層のパターンを仕切るための遮光部を形成するからである。また、バンクは、遮光部と透明樹脂バンクとから構成されるものであってもよい。
【００３０】
遮光部の形成材料としては、所望の遮光性を有する材料であれば特に限定されるものではないが、通常、黒色着色剤および樹脂を含有する遮光部形成用樹脂組成物、または、金属材料が用いられる。
遮光部形成用樹脂組成物を用いる場合、黒色着色剤および樹脂としては、一般的なカラーフィルタの遮光部に用いられるものを使用することができる。
また、金属材料を用いる場合、金属材料としては、一般的なカラーフィルタの遮光部に用いられる金属材料を使用することができる。
【００３１】
遮光部の形成方法としては、所望の開口部を有する遮光部を形成できる方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、クロム等の金属材料を用いたスパッタリング法、遮光部形成用樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法、および、遮光部形成用樹脂組成物を用いた熱転写法等を挙げることができる。
【００３２】
なお、透明樹脂バンクの形成材料および形成方法については、後述する透明樹脂部形成工程に記載するものと同様であるので、ここでの説明は省略する。本発明において、透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンクを形成する場合には、工程の簡略化のために、透明樹脂バンクおよび透明樹脂部を同時に形成してもよい。
【００３３】
本工程においては、撥液性を有するバンクを形成することが好ましい。後述する着色層形成工程において、バンクで仕切られた領域内、すなわちバンクの開口部内に吐出される着色層形成用組成物が、バンクを越えて他の開口部へ濡れ広がることを防ぐことができるため、着色層に混色が生じるのを防止することができるからである。
【００３４】
撥液性を有するバンクを形成する方法としては、例えば、バンクの形成材料として撥液剤を含有する材料を用いる方法や、バンクに撥液化処理を施す方法等を挙げることができる。撥液剤を含有する材料を用いる方法では、別途バンクに撥液化処理を施すことなく、撥液性の高いバンクを形成することができる。一方、バンクに撥液化処理を施す方法では、樹脂を含有するバンクのみに選択的にフッ素を導入することができるため、透明基板表面よりも撥液性の高いバンクを容易に形成することができる。
【００３５】
撥液剤を含有する材料を用いる場合、撥液剤としては、所望の撥液性を有する遮光部を形成することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、フッ素含有化合物、および、低表面エネルギー物質の微粒子等を挙げることができる。
【００３６】
フッ素含有化合物としては、例えば、下記式(1)または(2)で表される化合物のモノマーまたはオリゴマー等を例示することができる。
一般式(1)：Ｒｆ−Ｘ−Ｒｆ´
一般式(2)：（Ｒｆ−Ｘ−Ｒ）−Ｙ−（Ｒ´−Ｘ´−Ｒｆ´）
ここで、上記式(1)または(2)において、ＲｆおよびＲｆ´はフルオロアルキル基、ＲおよびＲ´はアルキレン基を表し、ＲｆおよびＲｆ´、またＲおよびＲ´は同一であっても異なっていてもよい。また、Ｘ、Ｘ´およびＹは、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯＯ−、−ＣＯＮＲ”−、−ＯＣＯＮＲ”−、−ＳＯ2ＮＲ”−、−ＳＯ2−、−ＳＯ2Ｏ−、−Ｏ−、−ＮＲ”−、−Ｓ−、−ＣＯ−、ＯＳＯ2Ｏ−、−ＯＰＯ（ＯＨ）Ｏ−のいずれかを表し、Ｘ、Ｘ´およびＹは同一であっても異なっていてもよい。Ｒ”はアルキル基または水素を表す。
【００３７】
さらに、フッ素含有化合物としては、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロエチレンプロピレン樹脂、パーフルオロアルコキシ樹脂等も用いることができる。
【００３８】
また、上記低表面エネルギー物質の微粒子としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン、フルオロオレフィンビニルエーテル系共重合体、３フッ化エチレン−フッ化ビニリデン共重合体等からなる微粒子や、シリコーン微粒子等を挙げることができる。
【００３９】
一方、バンクに撥液化処理を施す場合、撥液化処理方法としては、バンクの撥液性を透明基板表面の撥液性よりも相対的に高くできる方法であれば特に限定されるものではない。
例えば、バンクの形成材料として樹脂を用い、透明基板に無機材料からなる基板を用いる場合には、撥液化処理方法として、バンクにフッ素化合物を導入ガスとしたプラズマを照射する方法が好ましく用いられる。このような方法は、有機物にのみフッ素化合物を導入することができるため、バンクのみに選択的にフッ素を導入でき、バンクの撥液性を透明表面の撥液性よりも容易に高くすることができるからである。
【００４０】
ここで、上記プラズマ照射を行った際の、バンクにおけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ：ＥＳＣＡＬＡＢ ２２０ｉ−ＸＬ）による分析において、遮光部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。
【００４１】
導入ガスに用いられるフッ素化合物としては、例えば、ＣＦ4、ＳＦ6、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｈ8、Ｃ5Ｆ8等を挙げることができる。
【００４２】
また、導入ガスとしては、上記フッ素化合物からなるフッ素ガスと他のガスとが混合されたものであってもよい。他のガスとしては、例えば、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等を挙げることができるが、中でも、窒素が好ましい。他のガスとして窒素を用いる場合、窒素の混合比率は５０％以上であることが好ましく、特に６０％以上であることが好ましい。
【００４３】
プラズマの照射方法としては、バンクを撥液化することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、減圧下でプラズマ照射してもよく、大気圧下でプラズマ照射してもよい。中でも、大気圧下でプラズマ照射を行うことが好ましい。減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面で好ましいからである。
【００４４】
バンクの撥液性としては、透明基板表面よりも相対的に撥液性が高ければ特に限定されるものではないが、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましく、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましく、さらには表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上であることが好ましい。また、純水との接触角が１１°以上であることが好ましい。
【００４５】
一方、透明基板表面の親液性としては、バンクの親液性よりも高ければ特に限定されるものではなく、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満であることが好ましく、中でも表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下であることが好ましく、さらには表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下であることが好ましい。
【００４６】
本発明に用いられる透明基板は、透明樹脂部および着色層を形成可能であり、可視光に対して透明な基板であれば特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタに用いられる透明基板と同様のものとすることができる。具体的には、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等が挙げられる。
【００４７】
２．透明樹脂部形成工程
本発明における透明樹脂部形成工程は、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する工程である。
【００４８】
本工程により透明樹脂部をパターン状に形成する方法としては、透明基板上の反射光用領域となる領域に透明樹脂部を形成可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を、スピンコート法やダイコート法等、一般的な塗布方法で塗布した後、パターン露光し、現像する方法等とすることができる。
【００４９】
透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物としては、可視光線透過率が高い透明樹脂部が得られるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、感光性樹脂、光重合開始剤、および溶剤等を含有する組成物が挙げられる。
【００５０】
感光性樹脂としては、例えば、感光性アクリル樹脂、感光性ポリイミド、ポジレジスト、カルド樹脂、ポリシロキサン、ベンゾシクロブテン等が挙げられる。
また、光重合開始剤としては、上記感光性樹脂の種類に応じて適宜選択される。
さらに、溶剤としては、上記の感光性樹脂、ポリマー成分等を分散または溶解することができるものであれば特に限定されるものではない。
本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、上述したような組成物が用いられる。
【００５１】
また、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物として、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることができる。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることが好ましい。このような光架橋性樹脂組成物を用いる場合には、光架橋性樹脂組成物を光架橋させて得られる光硬化物を加熱することによって分解させることができ、光硬化物をアルカリ系剥離液に対して膨潤しやすくすることができる。その結果、透明樹脂部を容易に剥離することが可能となるからである。
【００５２】
熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物としては、例えば、光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物、熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物などを挙げることができる。
【００５３】
光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物を用いた場合には、下記式に例示するような反応が起こる。すなわち、光照射により架橋サイトＸ，Ｙが反応し、架橋体を生成する。架橋体を加熱すれば、熱分解サイトＺが解裂して、溶剤に可溶な線状高分子になる。
【００５４】
【化１】
【００５５】
上記の光重合（光架橋）可能なポリマー成分としては、例えば、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）；カルボキシル基を含むポリマー；ｏ−クレゾールノボラックエポキシアクリレート、フェノールノボラックエポキシアクリレート等のエポキシアクリレート；ポリエステルアクリレート；ポリウレタンアクリレート；ポリエーテルアクリレート；オリゴマアクリレート；アルキドアクリレート；ポリオールアクリレート；メタクリル酸メチル−スチレン−メタクリル酸共重合体等が挙げられる。
【００５６】
上記の熱分解性を有する架橋剤としては、熱分解性を有する結合基を有する官能基を有するものが挙げられる。例えば、架橋剤としては、両末端に架橋反応に関与する官能基を有し、両官能基をつなぐ部分に熱分解性を有する結合基を有する官能基が挿入されたものを用いることができる。具体的に、架橋剤としては、両末端にエポキシユニットを有し、２つのエポキシ基が３級のカルボン酸エステル結合でつながっているジエポキシ化合物を用いることができる。３級エステルは、加熱により解裂して、ジカルボン酸とオレフィンを生成する。このような架橋剤については、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
また、熱分解性を有する結合基を有する官能基としては、下記一般式(3)で表されるものを挙げることができる。
【００５７】
【化２】
【００５８】
ここで、上記式(3)中、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、Ｒ2は水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基を示す。
【００５９】
上記式(3)において、熱分解性を有する結合基は、Ｏ−Ｃ（ＣはＲ1およびＲ2が結合している炭素原子）−ＯにおけるＯ−Ｃ結合およびＣ−Ｏ結合、ならびに、Ｃ−Ｏ−ＣＨにおけるＯ−ＣＨ結合のうちの少なくとも１つであると考えられる。このような結合基が切断されることにより、上記式(3)で表される官能基から、例えば下記一般式(4)で表される化合物や下記一般式(5)で表される化合物が生成すると予想される。
【００６０】
【化３】
【００６１】
ここで、上記式(5)中、Ｒ1およびＲ2は上記式(3)と同様である。
【００６２】
光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物には、光酸発生剤が含有されていることが好ましい。この組成物としては、光照射のみでは不溶化しないものがあるからである。光酸発生剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、フルオレニリデンイミノｐ−トルエンスルホナート（ＦＩＴＳ）等が挙げられる。ＦＩＴＳは、紫外光照射によりｐ−トルエンスルホン酸を生成する。
具体的には、光重合（光架橋）可能なポリマー成分として、ポリビニルフェノール（ＰＶＰ）を用い、架橋剤として、両末端にエポキシユニットを有し、２つのエポキシ基が３級のカルボン酸エステル結合でつながっているジエポキシ化合物を用い、光酸発生剤として、フルオレニリデンイミノｐ−トルエンスルホナート（ＦＩＴＳ）を用いた場合、光照射で発生した酸が、ＰＶＰのフェノール性ＯＨ基と架橋剤のエポキシ基との反応触媒となり、架橋体が得られる。この架橋体を加熱すると、３級エステル部分が解裂して、線状高分子が生成する。この線状高分子は、テトラヒドロフランなどの有機溶剤に溶解する。
光酸発生剤の種類を適宜選択することにより、架橋体の熱分解温度を調整することができる。
なお、光重合（光架橋）可能なポリマー成分および熱分解性を有する架橋剤を含有する組成物については、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
【００６３】
一方、熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物を用いた場合、下記式に例示するような反応が起こる。すなわち、光照射により架橋サイトＲが反応し、架橋体を生成する。架橋体を加熱すれば、熱分解サイトＱが解裂して、溶剤に可溶な線状高分子になる。
【００６４】
【化４】
【００６５】
上記の熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分としては、光重合性を有する官能基と、熱分解性を有する結合基を有する官能基とを有するものが挙げられる。例えば、側鎖に架橋サイトを結合させたポリマーであって、架橋サイトとポリマー主鎖との間に熱分解性を有する結合基を有する官能基が挿入されたポリマーを用いることができる。
光重合性を有する官能基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニルエーテル基等が挙げられる。
なお、熱分解性を有する結合基を有する官能基については、上記架橋剤の項に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。
熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分を含有する組成物には、光酸発生剤が含有されていることが好ましい。この組成物としては、光照射のみでは不溶化しないものがあるからである。なお、光酸発生剤については、上述したものと同様である。
また、上記の熱分解性を有する光重合（光架橋）可能なポリマー成分の具体例および合成方法については、特開2001-226430号公報、特開2006-235499号公報、未来材料 vol.2，no.9，2002，p．20‐25を参照するものとする。
【００６６】
本発明においては、後述する着色層形成工程にて、所定の温度で加熱された際に、熱分解性を有する結合基のすべてが分解（切断）される必要はなく、透明樹脂部がアルカリ系剥離液によって剥離されうる程度に分解（切断）されればよい。
【００６７】
本工程においては、撥液性を有する透明樹脂部を形成することが好ましい。後述する着色層形成工程において、透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するのが容易となるからである。
【００６８】
撥液性を有する透明樹脂部を形成する方法としては、例えば、撥液剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法や、透明樹脂部に撥液化処理を施す方法等を挙げることができる。撥液剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法では、別途透明樹脂部に撥液化処理を施すことなく、撥液性の高い透明樹脂部を形成することができる。一方、透明樹脂部に撥液化処理を施す方法では、透明樹脂部のみに選択的にフッ素を導入することができるため、透明基板表面よりも撥液性の高い透明樹脂部を容易に形成することができる。
【００６９】
なお、撥液剤および撥液化処理方法については、上記バンク形成工程に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。また、透明樹脂部の撥液性については、上記バンクの撥液性と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００７０】
本発明においてバンクおよび透明樹脂部に撥液化処理を施す場合、工程の簡略化のために、本工程においてバンクおよび透明樹脂部に同時に撥液化処理を施してもよい。
【００７１】
また本工程においては、光散乱機能を有する透明樹脂部を形成してもよい。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行わない場合には、光散乱機能を有する透明樹脂部を形成することにより、本発明により製造される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの視認性を向上させることができるからである。
【００７２】
光散乱機能を有する透明樹脂部を形成する方法としては、例えば、光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる方法や、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用い、気泡形成処理を施して透明樹脂部の内部に気泡を形成する方法等を挙げることができる。前者の場合には、光散乱性微粒子の含有量を増やしたり、透明樹脂部自体の厚みを厚くしたりすることにより、光散乱効果を高めることができる。一方、後者の場合には、透明樹脂部の内部に形成される気泡の屈折率は約１．０であるので、透明樹脂部を構成する樹脂と気泡との屈折率に差を生じさせて、気泡内へ入射した光が気泡外へ出射する際に種々の方向へ屈折させることができ、光散乱効果を得ることができる。また、透明樹脂部の内部に形成される気泡の泡径や透明樹脂部の空隙率等を調整することにより、透明樹脂部の光散乱の度合いを変化させることができるため、着色層の色に応じて要求される好適な光の散乱の度合いに、各々調整することができる。
【００７３】
光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる場合、光散乱性微粒子としては、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有される樹脂と異なる屈折率を有するものであれば特に限定されるものではなく、一般的に光散乱機能を得るために使用されているものを用いることができる。このような光散乱性微粒子としては、例えば、無機物からなる微粒子および有機ポリマーからなる微粒子等を挙げることができる。この光散乱性微粒子は、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有される樹脂の屈折率に応じて適宜選択される。
【００７４】
また、光散乱性微粒子の平均粒子径としては、０．７μｍ〜３．５μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．０μｍ〜２．０μｍの範囲内であることが好ましい。
【００７５】
光散乱性微粒子の形状としては、特に限定されるものではないが、一般的には球状であることが好ましい。
【００７６】
一方、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用い、気泡形成処理を施して透明樹脂部の内部に気泡を形成する場合、発泡剤としては、所定の温度範囲内で分解し、光散乱効果を得るのに充分な気泡を形成することが可能なものであれば特に限定されるものではない。このような発泡剤としては、例えば、アゾジカルボンアミド、Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテトラミン、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、炭酸水素ナトリウム等を挙げることができる。
【００７７】
また、発泡剤の粒径としては、０．０１μｍ〜１μｍの範囲内であることが好ましく、中でも０．０３μｍ〜０．１μｍの範囲内であることが好ましい。発泡剤の粒径が上記範囲内であれば、発泡剤が分解した際に、所望の泡径を有する気泡を形成することができるからである。
【００７８】
透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物中の発泡剤の含有量としては、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物に含有されている樹脂に対して、０．５重量％〜７０重量％の範囲内であることが好ましく、中でも１重量％〜５０重量％の範囲内であることが好ましい。
【００７９】
なお、発泡剤の種類および含有量等を変化させることにより、形成される気泡の泡径および気泡量が変化するが、好適な光散乱効果が得られる気泡の泡径および気泡量に調節するためには、予めシミュレーション等を行って、発泡剤の種類および含有量に応じた気泡量等の変化を計測し、そのような計測結果に基づいて、発泡剤の種類および含有量を適宜選択することが好ましい。
【００８０】
透明樹脂部の内部に気泡を形成する方法としては、発泡剤を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を塗布して得られる透明樹脂部を加熱する方法が用いられる。透明樹脂部を所定の温度で加熱することにより、発泡剤を分解させ、透明樹脂部の内部に気泡を形成する。
この際の加熱の温度としては、用いる発泡剤により異なるが、１８０℃〜２４０℃の範囲内であることが好ましく、さらには２００℃〜２３０℃の範囲内であることが好ましい。
【００８１】
透明樹脂部の内部に気泡を形成する気泡形成処理は、透明樹脂部の内部に気泡を形成することが可能であれば、例えば、透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物の塗布後、現像後など、いつ行ってもよい。中でも、ポストベークとして気泡形成処理を行うことが好ましい。気泡形成処理をポストベークとして行う場合には、ある程度硬化が進んだ状態の透明樹脂部の内部に気泡を形成することになる。この場合、透明樹脂部の粘性が高いので、発泡剤が分解する際に発生する力により、気泡の泡径が所望の範囲以上に大きくなりにくく、所望の泡径を有する気泡を容易に形成することができるからである。
【００８２】
透明樹脂部の内部に形成される気泡の泡径は、反射光用領域に入射した光を散乱させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には、０．５μｍ〜２．０μｍの範囲内であることが好ましく、中でも０．５μｍ〜１．０μｍの範囲内であることが好ましい。気泡の泡径が上記範囲よりも大きいと、透明樹脂部を所望の大きさに形成することが困難となり、一方、気泡の泡径が上記範囲よりも小さいと、光の波長によっては光散乱効果が得られない場合があるからである。
【００８３】
また、内部に空隙を有する透明樹脂部の空隙率は、反射光用領域に入射した光を散乱させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には、５％〜４２％の範囲内であることが好ましく、中でも１０％〜２１％の範囲内であることが好ましい。空隙率が上記範囲よりも大きいと、透明樹脂部を所望の大きさに形成することが困難となり、一方、空隙率が上記範囲よりも小さいと、光の波長によっては光散乱効果が得られない場合があるからである。
【００８４】
なお、内部に気泡を有する透明樹脂部の空隙率および厚みは、相互に調整することにより、必要な光散乱効果を実現するものであるため、例えば、空隙率の範囲外であっても、厚みを調整することにより必要な光散乱効果が得られる場合もある。したがって、上記空隙率の範囲および厚みの範囲は、多少異なる場合がある。
【００８５】
また、透明樹脂部の内部に形成される気泡と、透明樹脂部を構成する樹脂との屈折率差は、光散乱機能を得るのに充分な程度であれば特に限定されるものではないが、０．１以上であることが好ましく、中でも０．２以上、特に０．３以上であることが好ましい。屈折率差を上記範囲とすることにより、気泡内へ入射した光が気泡外へ出射する際に種々の方向へ屈折させることができ、充分な光散乱効果を得ることができるからである。気泡内部に存在する気体の屈折率を考慮すると、気泡の屈折率は約１．０であるため、容易に屈折率差を上記範囲とすることができる。
【００８６】
透明基板上に塗布した透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物をパターン露光する方法および現像する方法としては、透明基板上に透明樹脂部をパターン状に形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、一般的なフォトリソグラフィー法におけるパターン露光および現像と同様とすることができる。
【００８７】
本発明においては透明樹脂部表面が露出するように着色層を形成するので、透明樹脂部の厚みとしては、着色層の厚み以上であることが好ましく、通常は着色層の厚みと同程度とされる。また、光散乱性微粒子を含有する透明樹脂部形成用感光性樹脂組成物を用いる場合、および、透明樹脂部の内部に気泡を形成する場合には、透明樹脂部の厚みは、光散乱機能を得ることが可能な厚みとされる。具体的に、透明樹脂部の厚みは、１μｍ〜４μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．５μｍ〜３μｍの範囲内、特に２．０μｍ〜２．５μｍの範囲内であることが好ましい。
【００８８】
本工程においては、図７に例示するように透明樹脂部３の断面を逆テーパー状に形成する、あるいは、図１（ｃ）に例示するように透明樹脂部３の断面を矩形状に形成することが好ましい。一般的に半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、スルーホールの断面の形状を逆テーパー状または矩形状とするからである。露光条件および現像条件等を適宜調整することによって、透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することが可能である。本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、図８に例示するようにスルーホール６の断面形状を逆テーパー状としたり、図５（ｄ）に例示するようにスルーホール６の断面形状を矩形状としたりすることができる。
【００８９】
また、透明樹脂部の形状としては、例えば、円柱状、角柱状等とすることができる。すなわち、透明樹脂部の平面形状としては、円形状、矩形状等とすることができる。具体的には、図９に示すような平面形状とすることができる。露光条件および現像条件等を適宜調整することによって、透明樹脂部の平面形状を種々の形状とすることが可能である。
【００９０】
さらに、透明樹脂部の配列としては、特に限定されるものではなく、図９（ａ）および（ｂ）に例示するように透明樹脂部３がドット状に設けられていてもよく、図９（ｃ）に例示するように透明樹脂部３がストライプ状に設けられていてもよい。また、図９（ａ）〜（ｃ）に例示するように透明樹脂部３が規則的に配列されていてもよく、図９（ｄ）に例示するように透明樹脂部３がランダムに配列されていてもよい。
【００９１】
また、バンクで仕切られた１つの領域内に形成される透明樹脂部の数としては、特に限定されるものではなく、１個であってもよく複数個であってもよい。
【００９２】
本発明においては、透明基板上に透明樹脂部がパターン状に形成されている領域を反射光用領域として用いることから、透明樹脂部の面積を調整することによって反射光用領域における色特性を調整することができる。
透明樹脂部の面積は、バンクで仕切られた領域の面積や、目的とする反射光用領域の色特性等に応じて適宜選択されるものであるが、バンクで仕切られた１つの領域の面積を１００％とすると、バンクで仕切られた１つの領域内に形成された透明樹脂部の面積の総和が５％〜３５％程度であることが好ましい。
【００９３】
３．着色層形成工程
本発明における着色層形成工程は、上記透明基板上の上記バンクで仕切られた領域内に、上記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する工程である。
【００９４】
着色層形成用組成物としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられるものと同様とすることができ、例えば、顔料、バインダおよび添加剤等を含有するものが用いられる。
【００９５】
透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出する方法としては、例えば、透明樹脂部の厚みを形成される着色層の厚みよりも高くする方法、撥液性を有する透明樹脂部を形成する方法、着色層形成用組成物の吐出量を調整する方法などを挙げることができる。
【００９６】
着色層の形成方法としては、透明基板上のバンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成することができる方法であれば特に限定されるものではない。
【００９７】
着色層のパターンとしては特に限定されるものではなく、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三色の着色部が、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列に形成されたもの等とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。
【００９８】
本工程においては、着色層形成用組成物の吐出後に、着色層および透明樹脂部を加熱するポストベークを行ってもよい。本発明においては、透明樹脂部の形成に熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いる場合であって、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、着色層および透明樹脂部のポストベークを行うことが好ましい。透明樹脂部を加熱することにより、透明樹脂部をアルカリ不溶性からアルカリ可溶性に変化させることができるからである。したがって、透明樹脂部剥離工程にて、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を容易に剥離することができる。
【００９９】
着色層および透明樹脂部のポストベークを行う際の加熱条件等は、特に限定されるものではなく、一般的な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におけるポストベーク（焼成）の条件と同様とすることができる。
【０１００】
本発明において、着色層形成工程後に透明樹脂部剥離工程を行う場合には、ポストベークの際の加熱温度は、透明樹脂部をアルカリ可溶性に変化させることができる温度であれば特に限定されるものではないが、具体的には１５０℃〜２５０℃の範囲内であることが好ましく、より好ましくは１８０℃〜２３０℃の範囲内、さらに好ましくは２００℃〜２３０℃の範囲内である。
また、上記の場合、ポストベークの際の加熱時間は、透明樹脂部をアルカリ可溶性に変化させることが可能であれば特に限定されるものではないが、具体的には１０分以上であることが好ましく、より好ましくは２０分〜１時間の範囲内、さらに好ましくは２０分〜３０分の範囲内である。
【０１０１】
着色層の厚みとしては、１．０μｍ〜６．０μｍの範囲内であることが好ましく、中でも１．５μｍ〜５．０μｍの範囲内、特に１．５μｍ〜３．０μｍの範囲内であることが好ましい。
【０１０２】
４．透明樹脂部剥離工程
本発明においては、上記着色層形成工程後、アルカリ系剥離液を用いて上記透明樹脂部を剥離する透明樹脂部剥離工程を有することが好ましい。透明樹脂部剥離工程を行う場合には、着色層にスルーホールを形成することができる。これにより、反射光用領域の輝度をより高めることができる。
透明樹脂部剥離工程を行う場合には、上述したように、透明樹脂部形成工程にて、熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いることが好ましい。熱分解性を有する光架橋性樹脂組成物を用いる場合には、光架橋性樹脂組成物を光架橋させて得られる光硬化物を加熱することによって分解させることができ、光硬化物をアルカリ系剥離液に対して膨潤しやすくすることができる。その結果、アルカリ系剥離液を用いて透明樹脂部を容易に剥離することが可能となる。着色層に影響を及ぼすことなく、透明樹脂部のみを剥離することができるのである。
【０１０３】
また、バンク形成工程にて、バンクとして透明樹脂部と同一の材料から構成される透明樹脂バンクを形成した場合には、本工程において、透明樹脂部と同時に透明樹脂バンクも剥離することができる。
【０１０４】
本工程にて用いられるアルカリ系剥離液としては、透明樹脂部を剥離することが可能であれば特に限定されるものではなく、例えば、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ性水溶液が挙げられる。また、アルカリ性水溶液は、有機アミンや有機溶剤等を含有していてもよい。
【０１０５】
透明樹脂部の剥離方法としては、例えば、アルカリ系剥離液を用いた、浸漬法、スプレー法等が挙げられる。
【０１０６】
５．その他の工程
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、上述の工程以外にも、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、通常行われる工程を有していてもよい。このような工程としては、例えば、着色層上に保護層を形成する保護層形成工程等を挙げることができる。
【０１０７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１０８】
以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。
［実施例１］
（撥液性のバンク・透明樹脂部の形成）
基材として、３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの無アルカリガラス基板を準備した。このガラス基板を定法にしたがって洗浄し、ガラス基板の片側にスパッタ法によりクロム薄膜（厚み１６００Å）を形成した。このクロム薄膜上にポジ型感光性レジスト（東京応化工業（株）製ＯＦＰＲ−８００）を塗布し、所定のマスクを介して露光し、レジストパターンを形成した。次いで、このレジストパターンをマスクとしてクロム薄膜をエッチングし、線幅２０μｍの遮光部を形成した。
【０１０９】
この基板上に感光性樹脂材料（ＪＳＲ（株）製ＮＮ７８０）を塗布し、透明樹脂バンクと透明樹脂部の設計パターンを含むフォトマスクを介して露光、アルカリ現像、焼成硬化を実施した。これによりバンクおよび透明樹脂部の形成が完了した。
更に、透明樹脂バンクおよび透明樹脂部に下記の条件で大気圧プラズマを照射した。
＜大気圧プラズマ照射条件＞
・導入ガス：ＣＦ４ １５（ｌ／ｍｉｎ．）
・電極と基板の間隔：２ｍｍ
・電源出力：２００Ｖ−５Ａ
【０１１０】
（着色層形成工程）
＜着色層形成用組成物の調製＞
着色層形成用組成物として、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、ＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインクを用いた。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア３６９（商品名、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ（株）製）、ＵＶ硬化樹脂としてはＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製）を用いた。また、顔料としては、赤色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、緑色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６＋Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、青色インクについてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５＋Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３をそれぞれ用いた。
【０１１１】
＜着色層の形成＞
上記赤色着色層形成用組成物（上記赤色インク）をインクジェット装置を用いて、赤色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて赤色着色層を形成した。
次に、上記緑色着色層形成用組成物（上記緑色インク）を、インクジェット装置を用いて、緑色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて、緑色着色層を形成した。さらに、上記青色着色層形成用組成物（上記青色インク）を、インクジェット装置を用いて、青色画素部形成領域に塗布し、これにＵＶ処理を行い硬化させて、青色着色層を形成した。
これによりバンク、透明樹脂部以外の部分に所望の着色層を形成することが出来た。
【符号の説明】
【０１１２】
１ … 透明基板
２ … バンク
３ … 透明樹脂部
４ … バンクで仕切られた領域
５ … 着色層
５Ｒ … 赤色着色部
５Ｇ … 緑色着色部
５Ｂ … 青色着色部
６ … スルーホール
ｒ … 反射光用領域
ｔ … 透過光用領域
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、
前記透明基板上の前記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、
前記透明基板上の前記バンクで仕切られた領域内に、前記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程と
を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記バンク形成工程にて、前記バンクとして遮光部を形成することを特徴とする請求項１に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記透明樹脂部形成工程にて、前記透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項１】
透明基板上に着色層のパターンを仕切るためのバンクを形成するバンク形成工程と、
前記透明基板上の前記バンクで仕切られた領域内に、透明樹脂部をパターン状に形成する透明樹脂部形成工程と、
前記透明基板上の前記バンクで仕切られた領域内に、前記透明樹脂部表面が露出するように、着色層形成用組成物をインクジェット法により吐出して着色層をパターン状に形成する着色層形成工程と
を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記バンク形成工程にて、前記バンクとして遮光部を形成することを特徴とする請求項１に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記透明樹脂部形成工程にて、前記透明樹脂部の断面を逆テーパー状または矩形状に形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−２７６９７０（Ｐ２０１０−２７６９７０Ａ）
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１３０９９４（Ｐ２００９−１３０９９４）
【出願日】平成２１年５月２９日（２００９．５．２９）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月２９日（２００９．５．２９）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
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