基板処理装置
【課題】 オペレータ自身による識別子の入力を行うことなく、オペレータに対して特定の操作のみを許可することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２と、この基板処理装置本体１２の操作可能な範囲を制御する制御装置１４と、この制御装置１４とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置１６と、ＩＤタグ６から無線により識別子を検出するＩＤリーダ４とを有する。制御装置１４は、オペレータごとに割り当てられた識別子と、この識別子に割り当てられた操作権限と、この操作権限に許可された基板処理装置本体１２に対する操作とを記憶している。制御装置１４は、ＩＤリーダ４により検出された識別子に基づいて、基板処理装置本体１２の操作範囲を制御する。
【解決手段】 基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２と、この基板処理装置本体１２の操作可能な範囲を制御する制御装置１４と、この制御装置１４とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置１６と、ＩＤタグ６から無線により識別子を検出するＩＤリーダ４とを有する。制御装置１４は、オペレータごとに割り当てられた識別子と、この識別子に割り当てられた操作権限と、この操作権限に許可された基板処理装置本体１２に対する操作とを記憶している。制御装置１４は、ＩＤリーダ４により検出された識別子に基づいて、基板処理装置本体１２の操作範囲を制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハなどの被処理体を処理する基板処理装置に関し、特に基板処理装置の操作性に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理装置においては、操作権限がオペレータごとに設けられ、この操作権限によって操作範囲が制限されることで、操作ミスなどが防がれうる。
オペレータは、割り当てられている識別子を、基板処理装置に対して入力することで、許可されている操作範囲で、基板処理装置を操作できる。
しかしながら、操作範囲の制御は、基板処理装置の操作性と、セキュリティなどの安全性とを考慮してなされる必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した背景からなされたものであり、複数のオペレータそれぞれに対して、特定の操作のみを許可する基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明にかかる基板処理装置は、制御に従って、基板処理を行う基板処理手段と、無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理手段に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出するデータ検出手段と、前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理手段に対する操作範囲を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【０００５】
好適には、前記識別データと前記操作範囲とを表示する表示手段をさらに有する。
また、好適には、前記制御手段により操作範囲が制御されることを確認する確認手段をさらに有する。
【０００６】
また、本発明に係る基板処理方法は、制御に従って、基板処理を行う基板処理方法であって、無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出し、前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理に対する操作範囲を制御する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明にかかる基板処理装置によれば、オペレータ自身による識別子の入力を行うことなく、オペレータに対して特定の操作のみを許可することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
［実施形態］
以下、本発明の第１の実施例を説明する。
図１は、本発明にかかる基板処理装置１の構成を例示する図である。
基板処理装置１は、基板処理装置本体１２と、この基板処理装置本体１２に対する操作範囲を制御する制御装置１４と、この制御装置１４とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置１６とを有する。
基板処理装置１は、これらの構成部分により、入力された識別子とパスワードとを識別し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置１のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
【０００９】
制御装置１４は、基板処理装置本体１２に対してオペレータごとに許可された操作権限とパスワードとを記憶し、このオペレータに対して許可されている操作を提供する。
表示・入力装置１６は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作をするために用いられる。
【００１０】
操作範囲が定められた操作権限を、オペレータごとに設定することにより、誤操作などの人為的ミスによる障害が防止されうるという理由から、基板処理装置１を操作するオペレータは、例えば、装置メーカ側保守員、顧客側保守員、顧客側プロセスエンジニアあるいは顧客側ラインオペレータに分類されている。
【００１１】
図２は、オペレータの識別子により許可される操作範囲を例示する図であり、（Ａ）は、識別子と操作権限との関係を例示する図であり、（Ｂ）は、操作権限と、この操作権限で許可されている操作との関係を例示する図である。
図２（Ａ）に示すように、オペレータの識別子には、操作権限が割り当てられており、識別子と、この識別子に割り当てられた権限とは、制御装置１４（図１）にあらかじめ記憶されている。
図２（Ｂ）に示すように、操作権限には、この操作権限で可能となる操作が割り当てられており、操作権限と、この操作権限で可能となる操作とは、同様に、制御装置１４に記憶されている。
ひとつの操作権限に対しては、１または２以上の可能な操作が、割り当てられている。
例えば、操作権限Ａは、操作ａ〜操作ｈを可能とする操作権限であり、操作ａ〜操作ｇを可能とする操作権限Ｂ、操作ａ〜操作ｆを可能とする操作権限Ｃ、あるいは、操作ｂ〜操作ｄを可能とする操作権限Ｄよりも、広い範囲の操作が許可された操作権限である。
【００１２】
図３は、オペレータが基板処理装置１を操作する際に、制御装置１４において行われる制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図３に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、オペレータが、表示・入力装置１６を用いて、識別子とパスワードとを制御装置１４に入力する。
このとき、制御装置１４は入力を受け入れるとともに、表示・入力装置１６に、入力された内容を表示してもよい。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、制御装置１４は、オペレータによる入力が完了したか否かを判断し、完了したならばＳ１０４の処理に進み、完了していないならばＳ１００の処理に戻る。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、制御装置１４は、オペレータに入力された識別子を識別し、この識別子に対して割り当てられている操作権限を参照する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、制御装置１４は、この操作権限で許可されている操作を参照し、この操作範囲で動作するように、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、制御装置１４は、この識別子に割り当てられているパラメータに従って、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、制御装置１４は、入力された識別子と、使用日時とを操作履歴として記憶する。
このようにして、基板処理装置本体１２に対して可能な操作を制御することにより、オペレータによる誤操作などを防止することができる。
【００１３】
図４は、制御装置１４に記録されたオペレータの操作履歴を例示する図である。
制御装置１４には、入力された識別子と、使用日時とが、対になって記録されている。
オペレータが操作終了処理をしなかった場合は、次のオペレータが識別子を入力しなくても、次のオペレータは、基板処理装置１０を使用できることになる。
したがって、図４に示すように、実際には、７人のオペレータが、基板処理装置１０を使用した際においても、制御装置１４に記憶されたオペレータが、例えば、識別子が１１１１１１１１と４４４４４４４４である２人のみである場合もある。このような場合、オペレータは前回使用していたオペレータの操作権限のまま、基板処理装置１０を使用してしまうおそれがある。
【００１４】
次に、本発明の第２の実施例を説明する。
図５は、本発明にかかる基板処理装置１０の構成を示す図である。
基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２と、制御装置１４と、表示・入力装置１６と、アンテナ４０を含むＩＤ（識別子）リーダ４とを有する。
基板処理装置１０は、これらの構成部分により、識別対象物８の識別子を検出し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置１０のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
【００１５】
表示・入力装置１６は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作をするために用いられる。
識別対象物８は、例えば、オペレータが作業するクリーンルーム内にて常時身につけているクリーン服、入退用ＩＤカードあるいは携帯電話であれば何でもよい。
ＩＤ（識別子）リーダ４は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作を行う位置にきたとき、オペレータ自身が身につけている識別対象物８を、読み取れるようにしておくことが好ましい。
【００１６】
［ＩＤタグ６］
図６は、図５に示したＩＤタグ６の構成を示す図である。
図６に示すように、ＩＤタグ６は、アンテナ６０、電源回路６２、リミッタ６４、クロック発生回路６６、ＩＤ発生回路６８および変調回路７０から構成される。
アンテナ６０は、長方形の導体の長手方向にスロットが形成された構成を採り、スロットアンテナとして動作する。
電源回路６２は、ＩＤリーダ４（図５）から送られ、アンテナ６０により捉えられた問い合わせ信号を整流・平滑し、ＩＤタグ６の各構成部分に対して電源（Ｖｄｄ）として供給する。
【００１７】
リミッタ６４は、電源回路６２が生成する電源Ｖｄｄの電圧が、一定以上の値にならないように制限する。
クロック再生回路１４６は、アンテナ６０から入力される問い合わせ信号に含まれる方形波からクロック信号を再生し、ＩＤ発生回路６８に対して出力する。
ＩＤ発生回路６８は、識別対象物８の識別子などのデータを記憶するＲＯＭ・ＲＡＭ（図示せず）などから構成され、クロック信号に同期して、ＲＯＭ・ＲＡＭに記憶されたデータを順次、読み出して、識別子データを生成し、変調回路７０に対して出力する。
【００１８】
変調回路７０は、ＩＤ発生回路６８から入力する識別子データに従って、ＩＤリーダ４側に返す応答信号の強度を変化する。
ＩＤタグ６の構成部分は、電源回路６２が発生し、リミッタ６４が電圧を制限した電源の供給を受けて動作する。
ＩＤタグ６は、これらの構成部分の動作により、ＩＤリーダ４から送信される問い合わせ信号に応えて、識別対象物８の識別子を含む応答信号を返す。
【００１９】
［ＩＤリーダ４］
図７は、ＩＤリーダ４（図５）の構成を示す図である。
図７に示すように、ＩＤリーダ４は、円偏波アンテナ４０、制御部４２、送信部４４、方向性結合器４６、サーキューレータ４８および復調部５０から構成される。
制御部４２は、制御装置１４（図５）からの指示に従って、ＩＤリーダ４の各構成部分の動作を制御し、検出されたＩＤ（識別）データを、制御装置１４に対して出力する。
また、制御部４２は、クロック信号を、送信部４４と復調部５０とに対して出力する。
【００２０】
送信部４４は、ＩＤタグ６に対して送信する問い合わせ信号を、クロック信号に同期して生成し、方向性結合器４６に対して出力する。
方向性結合器４６は、例えば、送信部４４から入力される問い合わせ信号を、電力として１／１０（−１０ｄＢ）だけ、バイアス信号として復調部５０に対して供給し、問い合わせ信号の残りの電力の分を、サーキューレータ４８に対して出力する。
【００２１】
サーキューレータ４８は、方向性結合器４６から入力された問い合わせ信号を円偏波アンテナ４０に対して出力し、送信する。
また、サーキューレータ４８は、円偏波アンテナ４０から入力された応答信号を、復調部５０に対して出力する。
復調部５０は、サーキューレータ４８から入力された応答信号と、バイアス信号とを加算して検波し、クロック信号に同期して、ＩＤデータを検出し、制御部４２に対して出力する。
ＩＤリーダ４は、これらの構成部分の動作により、ＩＤタグ６に対して問い合わせ信号を送信し、この問い合わせ信号に応じて返される応答信号から、ＩＤデータを検出し、制御装置１４に対して出力する。
【００２２】
［基板処理装置本体１２］
基板処理装置本体１２は、ウエハに所望の厚さの膜を形成し、形成される膜の厚さを均一にするように構成されている。
図８は、図５に示された基板処理装置本体１２の上面を例示する図である。
図９は、基板処理装置本体１２の側面を例示する図である。
なお、図８の下側面および図９の左側面が、基板処理装置本体１２の前面である。
また、基板処理装置本体１２では、ウエハなどの基板を搬送するキャリヤとして、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）が使用されている。
【００２３】
図８および図９に示されているように、基板処理装置本体１２は、真空状態などの大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室１０３を備えている。
この第一の搬送室１０３の筐体１０１は、平面視が六角形で、上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
第一の搬送室１０３には、負圧下でウエハ２００を移載する第一のウエハ移載機１１２が、設置されている。
この第一のウエハ移載機１１２は、エレベータ１１５によって、第一の搬送室１０３の気密性を維持しつつ、昇降できるように構成されている。
【００２４】
筐体１０１の六枚の側壁のうち、前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室１２２と搬出用の予備室１２３とが、それぞれゲートバルブ２４４，１２７を介して連結されており、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
さらに、予備室１２２には、搬入室用の基板置き台１４０が設置され、予備室１２３には、搬出室用の基板置き台１４１が設置されている。
【００２５】
予備室１２２および予備室１２３の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室１２１が、ゲートバルブ１２８、１２９を介して連結されている。
第二の搬送室１２１には、ウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４が設置されている。
この第二のウエハ移載機１２４は、第二の搬送室１２１に設置されたエレベータ１２６によって、昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ１３２によって、左右方向に往復移動されるように構成されている。
【００２６】
図８に示されているように、第二の搬送室１２１の左側には、オリフラ合わせ装置１０６が設置されている。
また、図９に示されているように、第二の搬送室１２１の上部には、クリーンエアを供給するクリーンユニット１１８が設置されている。
【００２７】
図８および図９に示されているように、第二の搬送室１２１の筐体１２５には、ウエハ２００を第二の搬送室１２１に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１３４と、前記ウエハ搬入搬出口を閉塞する蓋１４２と、ポッドオープナ１０８とが、それぞれ設置されている。
ポッドオープナ１０８は、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２を開閉するキャップ開閉機構１３６を備えている。
また、ポッドオープナ１０８は、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２をキャップ開閉機構１３６によって開閉することにより、ポッド１００のウエハ出し入れを可能にする。
また、ポッド１００は、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって、前記ＩＯステージ１０５に供給および排出されるようになっている。
【００２８】
図８に示されているように、筐体１０１の六枚の側壁のうち、背面側に位置する二枚の側壁には、ウエハに所望の処理を行う第一の処理炉２０２と、第二の処理炉１３７とが、それぞれ隣接して連結されている。
第一の処理炉２０２および第二の処理炉１３７は、いずれもコールドウオール式の処理炉によって、それぞれ構成されている。
また、筐体１０１における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第三の処理炉としての第一のクーリングユニット１３８と、第四の処理炉としての第二のクーリングユニット１３９とが、それぞれ連結されている。
第一のクーリングユニット１３８および第二のクーリングユニット１３９は、いずれも処理済みのウエハ２００を冷却するように構成されている。
【００２９】
［基板処理装置本体１２による処理工程］
以下、前記構成をもつ基板処理装置本体１２を使用した処理工程を説明する。
未処理のウエハ２００は、２５枚がポッド１００に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置本体１２へ、工程内搬送装置によって搬送される。
図８および図９に示されているように、搬送されたポッド１００は、ＩＯステージ１０５の上に、工程内搬送装置から受け渡されて載置される。
ポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を開閉する蓋１４２が、キャップ開閉機構１３６によって取り外され、ポッド１００のウエハ出し入れ口が開放される。
【００３０】
ポッド１００が、ポッドオープナ１０８により開放されると、第二の搬送室１２１に設置された第二のウエハ移載機１２４は、ポッド１００からウエハ２００をピックアップし、予備室１２２に搬入し、ウエハ２００を基板置き台１４０に移載する。
この移載作業中には、第一の搬送室１０３側のゲートバルブ２４４は閉じられており、第一の搬送室１０３の負圧は維持されている。
ウエハ２００の基板置き台１４０への移載が完了すると、ゲートバルブ１２８が閉じられ、予備室１２２が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
【００３１】
予備室１２２が予め設定された圧力値に減圧されると、ゲートバルブ２４４、１３０が開かれ、予備室１２２、第一の搬送室１０３および第一の処理炉２０２が連通される。
続いて、第一の搬送室１０３の第一のウエハ移載機１１２は、基板置き台１４０からウエハ２００をピックアップして、第一の処理炉２０２に搬入する。
そして、処理ガスが、第一の処理炉２０２内に供給され、所望の処理が、ウエハ２００に行われる。
【００３２】
第一の処理炉２０２で前記処理が完了すると、処理済みのウエハ２００は、第一の搬送室１０３の第一のウエハ移載機１１２によって、第一の搬送室１０３に搬出される。
そして、第一のウエハ移載機１１２は、第一の処理炉２０２から搬出したウエハ２００を第一のクーリングユニット１３８へ搬入し、処理済みのウエハを冷却する。
【００３３】
第一のクーリングユニット１３８にウエハ２００を移載すると、第一のウエハ移載機１１２は、予備室１２２の基板置き台１４０に予め準備されたウエハ２００を、前述した作動によって第一の処理炉２０２に移載し、処理ガスが、第一の処理炉２０２内に供給され、所望の処理が、ウエハ２００に行われる。
第一のクーリングユニット１３８において、予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ２００は、第一のウエハ移載機１１２によって、第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出される。
【００３４】
冷却済みのウエハ２００が、第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出されたのち、ゲートバルブ１２７が開かれる。
そして、第１のウエハ移載機１１２は、第一のクーリングユニット１３８から搬出したウエハ２００を予備室１２３へ搬送し、基板置き台１４１に移載した後、予備室１２３は、ゲートバルブ１２７によって閉じられる。
【００３５】
予備室１２３が、ゲートバルブ１２７によって閉じられると、この排出用予備室１２３内が、不活性ガスにより略大気圧に戻される。
この予備室１２３内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ１２９が開かれ、第二の搬送室１２１の予備室１２３に対応したウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２と、ＩＯステージ１０５に載置された空のポッド１００のキャップとが、ポッドオープナ１０８によって開かれる。
【００３６】
続いて、第二の搬送室１２１の第二のウエハ移載機１２４は、基板置き台１４１からウエハ２００をピックアップして、第二の搬送室１２１に搬出し、第二の搬送室１２１のウエハ搬入搬出口１３４を通して、ポッド１００に収納する。
処理済みの２５枚のウエハ２００のポッド１００への収納が完了すると、ポッド１００のキャップと、ウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２とが、ポッドオープナ１０８によって閉じられる。
閉じられたポッド１００は、ＩＯステージ１０５の上から、次の工程へ工程内搬送装置によって搬送される。
【００３７】
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが順次処理される。
なお、第一の処理炉２０２および第一のクーリングユニット１３８が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉１３７および第二のクーリングユニット１３９が使用される場合についても同様の作動が実施される。
【００３８】
また、上述の基板処理装置では、予備室１２２を搬入用、予備室１２３を搬出用としたが、予備室１２３を搬入用、予備室１２２を搬出用としてもよい。
また、第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７とは、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。
第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７とで別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、続けて第二の処理炉１３７で別の処理を行わせてもよい。
また、第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、第二の処理炉１３７で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット１３８（又は第二のクーリングユニット１３９）を経由するようにしてもよい。
【００３９】
［制御装置１４］
図１０は、制御装置１４の構成を示す図である。
制御装置１４は、ＣＰＵ２４およびメモリ２６などを含むコンピュータ本体２２と、通信インターフェース（通信ＩＦ）２８と、記憶装置３０とを有する。
制御装置１４は、基板処理装置本体１２に対してオペレータごとに許可された操作権限を記憶し、また、このオペレータに対して許可されている操作を提供する。
【００４０】
ＣＰＵ２４は、メモリ２６にロードされたプログラムを実行して制御を行う。
メモリ２６は、ＣＰＵ２４に実行されるプログラムおよび記憶装置３０に記憶されている情報を格納する。
通信ＩＦ２８は、基板処理装置本体１２と情報を送受信する。
記憶装置３０は、後述するデータベースに関する情報などを記憶する。
つまり、制御装置１４は、一般的なコンピュータとしての構成部分を含んでいる。
【００４１】
［制御プログラム３４］
図１１は、制御装置１４上で動作する制御プログラム３４の構成を示す図である。
図１１に示すように、制御プログラム３４は、識別子検出部３４０、識別子識別部３４２、操作履歴更新部３４４、操作範囲設定部３４６、パラメータ設定部３４８、制御部３５０、ユーザインターフェース（ＵＩ）部３５２、識別子データベース（識別子ＤＢ）３５４、操作履歴データベース（操作履歴ＤＢ）３５６および操作権限データベース（操作権限ＤＢ）３５８から構成される。
【００４２】
制御プログラム３４は、これらの構成部分により、ＩＤリーダ４から識別子を検出し、検出された識別子に対応する操作範囲で、基板処理装置本体１２に対する操作を受け入れ、基板処理装置本体１２を制御する。
さらに、制御プログラム３４は、検出された識別子と、検出された時刻（使用日時）とを操作履歴として記憶する。
制御プログラム３４は、例えば、記録媒体３２（図１０）を介して制御装置１４に供給され、メモリ２６にロードされて実行される。
【００４３】
図１２は、図１１に示した識別子ＤＢ３５４が記憶する識別子情報を示す図である。
図１２に示すように、識別子ＤＢ３５４は、オペレータごとに割り当てられている識別子、この識別子に割り当てられている操作権限、この識別子の最終検出時刻、および、この識別子が検出された場合に基板処理装置本体１２に設定されるパラメータ１〜ｎの値を記憶する。
操作権限には、例えば、装置メーカ側保守員のための操作権限、顧客側保守員のための操作権限、顧客側プロセスエンジニアのための操作権限、あるいは、顧客側ラインオペレータのための操作権限がある。
【００４４】
図１３は、図１１に示した操作履歴ＤＢ３５６が記憶するオペレータの操作履歴を例示する図である。
図１３に示すように、操作履歴ＤＢ３５６は、検出された識別子と、この識別子が検出された時刻（使用日時）とを記憶する。
オペレータは、表示・入力装置１６近辺にて基板処理装置１０を操作するので、あらかじめ、オペレータの識別子は、オペレータの有するＩＤタグ６から、ＩＤリーダ４により自動的に検出されるようにしておく。
よって、オペレータが、表示・入力装置１６を用いて、識別子を入力しなくとも、識別子および使用日時は、制御装置１４に記録される。
したがって、実際に作業したオペレータの識別子と、制御装置１４に記録された識別子とは、同一の内容となるため、誰がいつ操作したかという履歴情報が、確実に管理される。
【００４５】
操作権限ＤＢ３５８は、図２（Ａ）に示した操作権限と、図２（Ｂ）に示した操作権限に対して許可されている操作とを記憶する。
基板処理装置本体１２に対して許可されうる操作は、例えば、以下のような操作ａ〜操作ｈである。
操作ａは、処理炉２０２内で処理される温度制御、圧力制御、ガス制御を設定するプロセスレシピおよび関連パラメータを編集する操作である。
操作ｂは、操作ａのレシピをウエハ１枚ずつに関連付け、ウエハの処理順を設定するシーケンスレシピを編集する操作である。
【００４６】
操作ｃは、操作ｂを指定し、１枚以上のウエハにその開始、一時停止および中断を指示する操作である。
操作ｄは、処理炉の状態（温度、圧力、ガス流量など）、第一搬送室（ロードロック）１０３および第２搬送室１２１の状態（圧力、ガス流量など）をモニタする操作である。
操作ｅは、操作ｄの過去のモニタデータを呼び出して表示する操作である。
【００４７】
操作ｆは、モニタデータ、パラメータなど各種データを記憶媒体３２にコピーする操作である。
操作ｇは、装置に故障あるいは異常が発生した後に復旧するための操作である。
操作ｈは、操作ｇの時に、ログデータのコピーなど、調査および解析するための操作である。
【００４８】
例えば、装置メーカ側保守員には、操作権限Ａ（図２（Ａ））が割り当てられている。
また、顧客側保守員には、操作権限Ｂが割り当てられており、顧客側プロセスエンジニアには、操作権限Ｃが割り当てられており、顧客側ラインオペレータには、操作権限Ｄが割り当てられている。
【００４９】
図１１に示すように、制御プログラム３４において、識別子検出部３４０は、ＩＤリーダ４（図７）から出力された識別子を受け入れ、識別子識別部３４２に対して出力する。
識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、受け入れた識別子と、この識別子に対応した操作権限とを、操作範囲設定部３４６に対して出力する。
また、識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４に記憶されているこの識別子の最終検出時刻を、この識別子が検出された時刻に更新する。
【００５０】
さらに、識別子識別部３４２は、この識別子と、この識別子が検出された時刻とを、操作履歴更新部３４４に対して出力する。
操作履歴更新部３４４は、この識別子と、この識別子が検出された時刻とを、操作履歴ＤＢ３５６（図１３）に新たに書き込む。
【００５１】
操作範囲設定部３４６は、操作権限ＤＢ３５８を参照し、受け入れた操作権限に対して許可された操作を、制御部３５０とＵＩ部３５２とに対して出力する。
例えば、装置メーカ側保守員の識別子が検出された場合には、操作範囲設定部３４６は、操作ａ〜操作ｈを許可する旨を制御部３５０に対して出力する。
また、操作範囲設定部３４６は、受け入れた識別子を、パラメータ設定部３４８に対して出力する。
【００５２】
パラメータ設定部３４８は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、受け入れた識別子に対応したパラメータを、制御部３５０とＵＩ部３５２とに対して出力する。
これらのパラメータは、処理炉２０２内で処理される処理実行時間、設定温度、設定圧力、設定ガス流量などである。
また、プロセスレシピもパラメータの一つであり、このプロセスレシピは、上記パラメータで定められた処理を複数個設定するためのパラメータである。
【００５３】
制御部３５０は、許可された操作のみを可能にするように、基板処理装置本体１２を制御する。
例えば、検出された識別子に対して、顧客側ラインオペレータの操作権限である操作権限Ｄが割り当てられている場合には、制御部３５０は、このオペレータが、基板処理装置本体１２の状態をモニタしたり、モニターデータをコピーしたりする操作のみを実行できるように、基板処理装置本体１２を制御する。
また、例えば、操作権限Ａの場合には、制御部３５０は、オペレータが上述の操作ａ〜操作ｈを実行できるように、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５４】
また、制御部３５０は、パラメータ設定部３４８から受け入れたパラメータに従って、ウエハ２００が処理炉２０２内で処理される処理実行時間、設定温度、設定圧力および設定ガス流量などを制御する。
さらに、制御部３５０は、表示・入力装置１６（図５）により指示された操作に従って、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５５】
ＵＩ部３５２は、検出された識別子、この識別子に対して許可されている操作、および、この識別子に対して設定されているパラメータなどを受け入れて、表示・入力装置１６に表示する。
また、ＵＩ部３５２は、表示された内容に対する確認を、表示・入力装置１６から受け入れてもよい。
この場合、ＵＩ部３５２は、確認結果を、操作範囲設定部３４６またはパラメータ設定部３４８に対して出力し、操作範囲設定部３４６またはパラメータ設定部３４８は、確認結果に基づいて、設定内容を制御部３５０に対して出力する。
【００５６】
［制御プログラム３４の動作］
以下、制御プログラム３４の動作を説明する。
図１４は、図１１に示した制御プログラム３４により行われる制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
図１４に示される処理のうち、図３に示した処理と実質的に同じ処理には、同じ符号が付してある。
図１４に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、識別子検出部３４０（図１１）は、ＩＤリーダ４から入力される識別子を検出したか否かを判断する。
検出しなければ再びＳ２００の処理に戻り、検出したならばＳ１０４の処理に進む。
【００５７】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、検出された識別子に割り当てられている操作権限を確認する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、操作範囲設定部３４６は、操作権限ＤＢ３５８を参照し、この操作権限で許可されている操作を、制御部３５０に対して出力する。
制御部３５０は、これらの操作のみを可能とするように、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５８】
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、パラメータ設定部３４８は、識別子ＤＢ３５４を参照し、この識別子に対応したパラメータを、制御部３５０に対して出力する。
制御部３５０は、これらのパラメータに従って、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、操作履歴更新部３４４は、この識別子と、検出された日時とを操作履歴ＤＢ３５６に書き込む。
【００５９】
［基板処理装置１０の全体動作］
以下、基板処理装置１０の全体的な動作を説明する。
図１５は、基板処理装置１０に対する操作（Ｓ３０）を示すフローチャートである。
図１５に示すように、制御装置１４は、Ｓ２０に示された制御処理を実行し、オペレータを識別して操作範囲を制御する。
【００６０】
ステップ３００（Ｓ３００）において、制御装置１４は、表示・入力装置１６に、オペレータが基板処理装置本体１２を操作するための表示をし、オペレータによる操作を受け入れる。
このとき、制御装置１４は、検出された識別子に割り当てられた操作権限で許可されている操作のみを、表示・入力装置１６に表示する。
例えば、検出された識別子に、装置メーカ側保守員のための操作権限Ａが割り当てられている場合には、制御装置１４は、操作ａ〜操作ｈに関する内容を、表示・入力装置１６に表示し、顧客側ラインオペレータのための操作権限Ｄが割り当てられている場合には、操作ｂ〜操作ｄに関する内容のみを表示する。
【００６１】
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、制御装置１４は、表示・入力装置１６により操作が入力されたか否かを判断し、入力されたならばＳ３０４の処理に進み、入力されていないならばＳ３００の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、制御装置１４は、入力された操作を実行する。
例えば、処理炉２０２内で処理される温度制御に関するパラメータ（図１２）を編集する操作である操作ａが入力された場合には、制御装置１４は、識別子ＤＢ３５４内のパラメータを更新する。
また、例えば、１枚以上のウエハを処理する操作である操作ｃが入力された場合には、制御装置１４は、基板処理装置本体１２を制御してウエハを処理する。
また、例えば、基板処理装置本体１２の状態をモニタしたデータを、記録媒体３２（図１０）にコピーする操作である操作ｆが入力された場合には、制御装置１４は、記憶装置３０に記憶されているデータを、記録媒体３２にコピーする。
【００６２】
さらに、ステップ３０６（Ｓ３０６）において、制御装置１４は、操作が終了されるか否かを判断し、引き続き操作される場合にはＳ３００の処理に進み、操作が終了される場合には、処理を終了する。
したがって、オペレータのレベルに対応した操作範囲が自動的に設定されるので、例えば顧客側ラインオペレータが編集すべきでない保守員専用のパラメータを変更するなどの人為的ミスが防がれる。
【００６３】
また、オペレータの操作履歴が、基板処理装置１０に、常に記憶されるので、誰がいつ操作したかを解析したり、装置の運用時間あるいは保守時間などを算出したりすることが可能となる。
また、マルチプロセス炉において、ウエハを処理するパラメータが担当者ごとに異なる場合でも、担当者ごとに対応したパラメータが、自動的に設定されうる。
さらに、オペレータの操作履歴を、管理することができるので、どの装置にどのオペレータがどれだけの時間作業しているかなど、オペレータの工程管理が可能となる。
【００６４】
なお、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置への適用に限られるものではなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用されうる。
また、本発明の基板処理装置は、枚葉装置だけでなく、縦型装置および横型装置にも適用されうる。
つまり、オペレータが、表示・入力装置１６を操作することにより、半導体基板あるいはガラス基板などの基板処理を行う装置であれば、本発明の基板処理装置は、適用されうる。
さらに、本発明の基板処理装置は、基板処理装置本体の炉内の処理が、ＣＶＤ、酸化、拡散あるいはアニールであっても、適用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】基板処理装置１の構成を示す図である。
【図２】識別子により許可される操作範囲を示す図であり、（Ａ）は、識別子と操作権限との関係を示す図であり、（Ｂ）は、操作権限と、この操作権限で許可されている操作との関係を示す図である。
【図３】オペレータが従来の基板処理装置１を操作する際に、制御装置１４において行われる制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【図４】制御装置１４に記録されたオペレータの操作履歴を示す図である。
【図５】本発明にかかる基板処理装置１０の構成を示す図である。
【図６】図５に示したＩＤタグ６の構成を示す図である。
【図７】図５に示したＩＤリーダ４の構成を示す図である。
【図８】図５に示した基板処理装置本体１２の上面図を示す図である。
【図９】図５に示した基板処理装置本体１２の側面図を示す図である。
【図１０】図５に示した制御装置１４の構成を示す図である。
【図１１】図５に示した制御装置１４上で動作する制御プログラム３４の構成を示す図である。
【図１２】図１１に示した識別子ＤＢ３５４が記憶する識別子情報を示す図である。
【図１３】図１１に示した操作履歴ＤＢ３５６が記憶するオペレータの操作履歴を示す図である。
【図１４】図１１に示した制御プログラム３４により行われる制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
【図１５】本発明にかかる基板処理装置１０に対する操作（Ｓ３０）を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６６】
４ ＩＤリーダ
６ ＩＤタグ
８ 識別対象物
１０ 基板処理装置
１２ 基板処理装置本体
１４ 制御装置
１６ 表示・入力装置
２２ コンピュータ本体
２４ ＣＰＵ
２６ メモリ
２８ 通信ＩＦ
３０ 記憶装置
３４ 制御プログラム
４０ 円偏波アンテナ
４２ 制御部
４４ 送信部
４６ 方向性結合器
４８ サーキューレータ
５０ 復調部
６０ アンテナ
６２ 電源回路
６４ リミッタ
６６ クロック発生回路
６８ 発生回路
７０ 変調回路
１０３ 第一の搬送室
１２１ 第二の搬送室
１３７ 第二の処理炉
２００ ウエハ
２０２ 第一の処理炉
３４０ 識別子検出部
３４２ 識別子識別部
３４４ 操作履歴更新部
３４６ 操作範囲設定部
３４８ パラメータ設定部
３５０ 制御部
３５２ ユーザインターフェース部
３５４ 識別子ＤＢ
３５６ 操作履歴ＤＢ
３５８ 操作権限ＤＢ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハなどの被処理体を処理する基板処理装置に関し、特に基板処理装置の操作性に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理装置においては、操作権限がオペレータごとに設けられ、この操作権限によって操作範囲が制限されることで、操作ミスなどが防がれうる。
オペレータは、割り当てられている識別子を、基板処理装置に対して入力することで、許可されている操作範囲で、基板処理装置を操作できる。
しかしながら、操作範囲の制御は、基板処理装置の操作性と、セキュリティなどの安全性とを考慮してなされる必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した背景からなされたものであり、複数のオペレータそれぞれに対して、特定の操作のみを許可する基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明にかかる基板処理装置は、制御に従って、基板処理を行う基板処理手段と、無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理手段に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出するデータ検出手段と、前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理手段に対する操作範囲を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【０００５】
好適には、前記識別データと前記操作範囲とを表示する表示手段をさらに有する。
また、好適には、前記制御手段により操作範囲が制御されることを確認する確認手段をさらに有する。
【０００６】
また、本発明に係る基板処理方法は、制御に従って、基板処理を行う基板処理方法であって、無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出し、前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理に対する操作範囲を制御する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明にかかる基板処理装置によれば、オペレータ自身による識別子の入力を行うことなく、オペレータに対して特定の操作のみを許可することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
［実施形態］
以下、本発明の第１の実施例を説明する。
図１は、本発明にかかる基板処理装置１の構成を例示する図である。
基板処理装置１は、基板処理装置本体１２と、この基板処理装置本体１２に対する操作範囲を制御する制御装置１４と、この制御装置１４とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置１６とを有する。
基板処理装置１は、これらの構成部分により、入力された識別子とパスワードとを識別し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置１のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
【０００９】
制御装置１４は、基板処理装置本体１２に対してオペレータごとに許可された操作権限とパスワードとを記憶し、このオペレータに対して許可されている操作を提供する。
表示・入力装置１６は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作をするために用いられる。
【００１０】
操作範囲が定められた操作権限を、オペレータごとに設定することにより、誤操作などの人為的ミスによる障害が防止されうるという理由から、基板処理装置１を操作するオペレータは、例えば、装置メーカ側保守員、顧客側保守員、顧客側プロセスエンジニアあるいは顧客側ラインオペレータに分類されている。
【００１１】
図２は、オペレータの識別子により許可される操作範囲を例示する図であり、（Ａ）は、識別子と操作権限との関係を例示する図であり、（Ｂ）は、操作権限と、この操作権限で許可されている操作との関係を例示する図である。
図２（Ａ）に示すように、オペレータの識別子には、操作権限が割り当てられており、識別子と、この識別子に割り当てられた権限とは、制御装置１４（図１）にあらかじめ記憶されている。
図２（Ｂ）に示すように、操作権限には、この操作権限で可能となる操作が割り当てられており、操作権限と、この操作権限で可能となる操作とは、同様に、制御装置１４に記憶されている。
ひとつの操作権限に対しては、１または２以上の可能な操作が、割り当てられている。
例えば、操作権限Ａは、操作ａ〜操作ｈを可能とする操作権限であり、操作ａ〜操作ｇを可能とする操作権限Ｂ、操作ａ〜操作ｆを可能とする操作権限Ｃ、あるいは、操作ｂ〜操作ｄを可能とする操作権限Ｄよりも、広い範囲の操作が許可された操作権限である。
【００１２】
図３は、オペレータが基板処理装置１を操作する際に、制御装置１４において行われる制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図３に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、オペレータが、表示・入力装置１６を用いて、識別子とパスワードとを制御装置１４に入力する。
このとき、制御装置１４は入力を受け入れるとともに、表示・入力装置１６に、入力された内容を表示してもよい。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、制御装置１４は、オペレータによる入力が完了したか否かを判断し、完了したならばＳ１０４の処理に進み、完了していないならばＳ１００の処理に戻る。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、制御装置１４は、オペレータに入力された識別子を識別し、この識別子に対して割り当てられている操作権限を参照する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、制御装置１４は、この操作権限で許可されている操作を参照し、この操作範囲で動作するように、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、制御装置１４は、この識別子に割り当てられているパラメータに従って、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、制御装置１４は、入力された識別子と、使用日時とを操作履歴として記憶する。
このようにして、基板処理装置本体１２に対して可能な操作を制御することにより、オペレータによる誤操作などを防止することができる。
【００１３】
図４は、制御装置１４に記録されたオペレータの操作履歴を例示する図である。
制御装置１４には、入力された識別子と、使用日時とが、対になって記録されている。
オペレータが操作終了処理をしなかった場合は、次のオペレータが識別子を入力しなくても、次のオペレータは、基板処理装置１０を使用できることになる。
したがって、図４に示すように、実際には、７人のオペレータが、基板処理装置１０を使用した際においても、制御装置１４に記憶されたオペレータが、例えば、識別子が１１１１１１１１と４４４４４４４４である２人のみである場合もある。このような場合、オペレータは前回使用していたオペレータの操作権限のまま、基板処理装置１０を使用してしまうおそれがある。
【００１４】
次に、本発明の第２の実施例を説明する。
図５は、本発明にかかる基板処理装置１０の構成を示す図である。
基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２と、制御装置１４と、表示・入力装置１６と、アンテナ４０を含むＩＤ（識別子）リーダ４とを有する。
基板処理装置１０は、これらの構成部分により、識別対象物８の識別子を検出し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置１０のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
【００１５】
表示・入力装置１６は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作をするために用いられる。
識別対象物８は、例えば、オペレータが作業するクリーンルーム内にて常時身につけているクリーン服、入退用ＩＤカードあるいは携帯電話であれば何でもよい。
ＩＤ（識別子）リーダ４は、オペレータが基板処理装置本体１２に対して必要な操作を行う位置にきたとき、オペレータ自身が身につけている識別対象物８を、読み取れるようにしておくことが好ましい。
【００１６】
［ＩＤタグ６］
図６は、図５に示したＩＤタグ６の構成を示す図である。
図６に示すように、ＩＤタグ６は、アンテナ６０、電源回路６２、リミッタ６４、クロック発生回路６６、ＩＤ発生回路６８および変調回路７０から構成される。
アンテナ６０は、長方形の導体の長手方向にスロットが形成された構成を採り、スロットアンテナとして動作する。
電源回路６２は、ＩＤリーダ４（図５）から送られ、アンテナ６０により捉えられた問い合わせ信号を整流・平滑し、ＩＤタグ６の各構成部分に対して電源（Ｖｄｄ）として供給する。
【００１７】
リミッタ６４は、電源回路６２が生成する電源Ｖｄｄの電圧が、一定以上の値にならないように制限する。
クロック再生回路１４６は、アンテナ６０から入力される問い合わせ信号に含まれる方形波からクロック信号を再生し、ＩＤ発生回路６８に対して出力する。
ＩＤ発生回路６８は、識別対象物８の識別子などのデータを記憶するＲＯＭ・ＲＡＭ（図示せず）などから構成され、クロック信号に同期して、ＲＯＭ・ＲＡＭに記憶されたデータを順次、読み出して、識別子データを生成し、変調回路７０に対して出力する。
【００１８】
変調回路７０は、ＩＤ発生回路６８から入力する識別子データに従って、ＩＤリーダ４側に返す応答信号の強度を変化する。
ＩＤタグ６の構成部分は、電源回路６２が発生し、リミッタ６４が電圧を制限した電源の供給を受けて動作する。
ＩＤタグ６は、これらの構成部分の動作により、ＩＤリーダ４から送信される問い合わせ信号に応えて、識別対象物８の識別子を含む応答信号を返す。
【００１９】
［ＩＤリーダ４］
図７は、ＩＤリーダ４（図５）の構成を示す図である。
図７に示すように、ＩＤリーダ４は、円偏波アンテナ４０、制御部４２、送信部４４、方向性結合器４６、サーキューレータ４８および復調部５０から構成される。
制御部４２は、制御装置１４（図５）からの指示に従って、ＩＤリーダ４の各構成部分の動作を制御し、検出されたＩＤ（識別）データを、制御装置１４に対して出力する。
また、制御部４２は、クロック信号を、送信部４４と復調部５０とに対して出力する。
【００２０】
送信部４４は、ＩＤタグ６に対して送信する問い合わせ信号を、クロック信号に同期して生成し、方向性結合器４６に対して出力する。
方向性結合器４６は、例えば、送信部４４から入力される問い合わせ信号を、電力として１／１０（−１０ｄＢ）だけ、バイアス信号として復調部５０に対して供給し、問い合わせ信号の残りの電力の分を、サーキューレータ４８に対して出力する。
【００２１】
サーキューレータ４８は、方向性結合器４６から入力された問い合わせ信号を円偏波アンテナ４０に対して出力し、送信する。
また、サーキューレータ４８は、円偏波アンテナ４０から入力された応答信号を、復調部５０に対して出力する。
復調部５０は、サーキューレータ４８から入力された応答信号と、バイアス信号とを加算して検波し、クロック信号に同期して、ＩＤデータを検出し、制御部４２に対して出力する。
ＩＤリーダ４は、これらの構成部分の動作により、ＩＤタグ６に対して問い合わせ信号を送信し、この問い合わせ信号に応じて返される応答信号から、ＩＤデータを検出し、制御装置１４に対して出力する。
【００２２】
［基板処理装置本体１２］
基板処理装置本体１２は、ウエハに所望の厚さの膜を形成し、形成される膜の厚さを均一にするように構成されている。
図８は、図５に示された基板処理装置本体１２の上面を例示する図である。
図９は、基板処理装置本体１２の側面を例示する図である。
なお、図８の下側面および図９の左側面が、基板処理装置本体１２の前面である。
また、基板処理装置本体１２では、ウエハなどの基板を搬送するキャリヤとして、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）が使用されている。
【００２３】
図８および図９に示されているように、基板処理装置本体１２は、真空状態などの大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成された第一の搬送室１０３を備えている。
この第一の搬送室１０３の筐体１０１は、平面視が六角形で、上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
第一の搬送室１０３には、負圧下でウエハ２００を移載する第一のウエハ移載機１１２が、設置されている。
この第一のウエハ移載機１１２は、エレベータ１１５によって、第一の搬送室１０３の気密性を維持しつつ、昇降できるように構成されている。
【００２４】
筐体１０１の六枚の側壁のうち、前側に位置する二枚の側壁には、搬入用の予備室１２２と搬出用の予備室１２３とが、それぞれゲートバルブ２４４，１２７を介して連結されており、それぞれ負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
さらに、予備室１２２には、搬入室用の基板置き台１４０が設置され、予備室１２３には、搬出室用の基板置き台１４１が設置されている。
【００２５】
予備室１２２および予備室１２３の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室１２１が、ゲートバルブ１２８、１２９を介して連結されている。
第二の搬送室１２１には、ウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４が設置されている。
この第二のウエハ移載機１２４は、第二の搬送室１２１に設置されたエレベータ１２６によって、昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ１３２によって、左右方向に往復移動されるように構成されている。
【００２６】
図８に示されているように、第二の搬送室１２１の左側には、オリフラ合わせ装置１０６が設置されている。
また、図９に示されているように、第二の搬送室１２１の上部には、クリーンエアを供給するクリーンユニット１１８が設置されている。
【００２７】
図８および図９に示されているように、第二の搬送室１２１の筐体１２５には、ウエハ２００を第二の搬送室１２１に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１３４と、前記ウエハ搬入搬出口を閉塞する蓋１４２と、ポッドオープナ１０８とが、それぞれ設置されている。
ポッドオープナ１０８は、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２を開閉するキャップ開閉機構１３６を備えている。
また、ポッドオープナ１０８は、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２をキャップ開閉機構１３６によって開閉することにより、ポッド１００のウエハ出し入れを可能にする。
また、ポッド１００は、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって、前記ＩＯステージ１０５に供給および排出されるようになっている。
【００２８】
図８に示されているように、筐体１０１の六枚の側壁のうち、背面側に位置する二枚の側壁には、ウエハに所望の処理を行う第一の処理炉２０２と、第二の処理炉１３７とが、それぞれ隣接して連結されている。
第一の処理炉２０２および第二の処理炉１３７は、いずれもコールドウオール式の処理炉によって、それぞれ構成されている。
また、筐体１０１における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第三の処理炉としての第一のクーリングユニット１３８と、第四の処理炉としての第二のクーリングユニット１３９とが、それぞれ連結されている。
第一のクーリングユニット１３８および第二のクーリングユニット１３９は、いずれも処理済みのウエハ２００を冷却するように構成されている。
【００２９】
［基板処理装置本体１２による処理工程］
以下、前記構成をもつ基板処理装置本体１２を使用した処理工程を説明する。
未処理のウエハ２００は、２５枚がポッド１００に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置本体１２へ、工程内搬送装置によって搬送される。
図８および図９に示されているように、搬送されたポッド１００は、ＩＯステージ１０５の上に、工程内搬送装置から受け渡されて載置される。
ポッド１００のキャップおよびウエハ搬入搬出口１３４を開閉する蓋１４２が、キャップ開閉機構１３６によって取り外され、ポッド１００のウエハ出し入れ口が開放される。
【００３０】
ポッド１００が、ポッドオープナ１０８により開放されると、第二の搬送室１２１に設置された第二のウエハ移載機１２４は、ポッド１００からウエハ２００をピックアップし、予備室１２２に搬入し、ウエハ２００を基板置き台１４０に移載する。
この移載作業中には、第一の搬送室１０３側のゲートバルブ２４４は閉じられており、第一の搬送室１０３の負圧は維持されている。
ウエハ２００の基板置き台１４０への移載が完了すると、ゲートバルブ１２８が閉じられ、予備室１２２が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
【００３１】
予備室１２２が予め設定された圧力値に減圧されると、ゲートバルブ２４４、１３０が開かれ、予備室１２２、第一の搬送室１０３および第一の処理炉２０２が連通される。
続いて、第一の搬送室１０３の第一のウエハ移載機１１２は、基板置き台１４０からウエハ２００をピックアップして、第一の処理炉２０２に搬入する。
そして、処理ガスが、第一の処理炉２０２内に供給され、所望の処理が、ウエハ２００に行われる。
【００３２】
第一の処理炉２０２で前記処理が完了すると、処理済みのウエハ２００は、第一の搬送室１０３の第一のウエハ移載機１１２によって、第一の搬送室１０３に搬出される。
そして、第一のウエハ移載機１１２は、第一の処理炉２０２から搬出したウエハ２００を第一のクーリングユニット１３８へ搬入し、処理済みのウエハを冷却する。
【００３３】
第一のクーリングユニット１３８にウエハ２００を移載すると、第一のウエハ移載機１１２は、予備室１２２の基板置き台１４０に予め準備されたウエハ２００を、前述した作動によって第一の処理炉２０２に移載し、処理ガスが、第一の処理炉２０２内に供給され、所望の処理が、ウエハ２００に行われる。
第一のクーリングユニット１３８において、予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ２００は、第一のウエハ移載機１１２によって、第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出される。
【００３４】
冷却済みのウエハ２００が、第一のクーリングユニット１３８から第一の搬送室１０３に搬出されたのち、ゲートバルブ１２７が開かれる。
そして、第１のウエハ移載機１１２は、第一のクーリングユニット１３８から搬出したウエハ２００を予備室１２３へ搬送し、基板置き台１４１に移載した後、予備室１２３は、ゲートバルブ１２７によって閉じられる。
【００３５】
予備室１２３が、ゲートバルブ１２７によって閉じられると、この排出用予備室１２３内が、不活性ガスにより略大気圧に戻される。
この予備室１２３内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ１２９が開かれ、第二の搬送室１２１の予備室１２３に対応したウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２と、ＩＯステージ１０５に載置された空のポッド１００のキャップとが、ポッドオープナ１０８によって開かれる。
【００３６】
続いて、第二の搬送室１２１の第二のウエハ移載機１２４は、基板置き台１４１からウエハ２００をピックアップして、第二の搬送室１２１に搬出し、第二の搬送室１２１のウエハ搬入搬出口１３４を通して、ポッド１００に収納する。
処理済みの２５枚のウエハ２００のポッド１００への収納が完了すると、ポッド１００のキャップと、ウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２とが、ポッドオープナ１０８によって閉じられる。
閉じられたポッド１００は、ＩＯステージ１０５の上から、次の工程へ工程内搬送装置によって搬送される。
【００３７】
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが順次処理される。
なお、第一の処理炉２０２および第一のクーリングユニット１３８が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉１３７および第二のクーリングユニット１３９が使用される場合についても同様の作動が実施される。
【００３８】
また、上述の基板処理装置では、予備室１２２を搬入用、予備室１２３を搬出用としたが、予備室１２３を搬入用、予備室１２２を搬出用としてもよい。
また、第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７とは、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。
第一の処理炉２０２と第二の処理炉１３７とで別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、続けて第二の処理炉１３７で別の処理を行わせてもよい。
また、第一の処理炉２０２でウエハ２００にある処理を行った後、第二の処理炉１３７で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット１３８（又は第二のクーリングユニット１３９）を経由するようにしてもよい。
【００３９】
［制御装置１４］
図１０は、制御装置１４の構成を示す図である。
制御装置１４は、ＣＰＵ２４およびメモリ２６などを含むコンピュータ本体２２と、通信インターフェース（通信ＩＦ）２８と、記憶装置３０とを有する。
制御装置１４は、基板処理装置本体１２に対してオペレータごとに許可された操作権限を記憶し、また、このオペレータに対して許可されている操作を提供する。
【００４０】
ＣＰＵ２４は、メモリ２６にロードされたプログラムを実行して制御を行う。
メモリ２６は、ＣＰＵ２４に実行されるプログラムおよび記憶装置３０に記憶されている情報を格納する。
通信ＩＦ２８は、基板処理装置本体１２と情報を送受信する。
記憶装置３０は、後述するデータベースに関する情報などを記憶する。
つまり、制御装置１４は、一般的なコンピュータとしての構成部分を含んでいる。
【００４１】
［制御プログラム３４］
図１１は、制御装置１４上で動作する制御プログラム３４の構成を示す図である。
図１１に示すように、制御プログラム３４は、識別子検出部３４０、識別子識別部３４２、操作履歴更新部３４４、操作範囲設定部３４６、パラメータ設定部３４８、制御部３５０、ユーザインターフェース（ＵＩ）部３５２、識別子データベース（識別子ＤＢ）３５４、操作履歴データベース（操作履歴ＤＢ）３５６および操作権限データベース（操作権限ＤＢ）３５８から構成される。
【００４２】
制御プログラム３４は、これらの構成部分により、ＩＤリーダ４から識別子を検出し、検出された識別子に対応する操作範囲で、基板処理装置本体１２に対する操作を受け入れ、基板処理装置本体１２を制御する。
さらに、制御プログラム３４は、検出された識別子と、検出された時刻（使用日時）とを操作履歴として記憶する。
制御プログラム３４は、例えば、記録媒体３２（図１０）を介して制御装置１４に供給され、メモリ２６にロードされて実行される。
【００４３】
図１２は、図１１に示した識別子ＤＢ３５４が記憶する識別子情報を示す図である。
図１２に示すように、識別子ＤＢ３５４は、オペレータごとに割り当てられている識別子、この識別子に割り当てられている操作権限、この識別子の最終検出時刻、および、この識別子が検出された場合に基板処理装置本体１２に設定されるパラメータ１〜ｎの値を記憶する。
操作権限には、例えば、装置メーカ側保守員のための操作権限、顧客側保守員のための操作権限、顧客側プロセスエンジニアのための操作権限、あるいは、顧客側ラインオペレータのための操作権限がある。
【００４４】
図１３は、図１１に示した操作履歴ＤＢ３５６が記憶するオペレータの操作履歴を例示する図である。
図１３に示すように、操作履歴ＤＢ３５６は、検出された識別子と、この識別子が検出された時刻（使用日時）とを記憶する。
オペレータは、表示・入力装置１６近辺にて基板処理装置１０を操作するので、あらかじめ、オペレータの識別子は、オペレータの有するＩＤタグ６から、ＩＤリーダ４により自動的に検出されるようにしておく。
よって、オペレータが、表示・入力装置１６を用いて、識別子を入力しなくとも、識別子および使用日時は、制御装置１４に記録される。
したがって、実際に作業したオペレータの識別子と、制御装置１４に記録された識別子とは、同一の内容となるため、誰がいつ操作したかという履歴情報が、確実に管理される。
【００４５】
操作権限ＤＢ３５８は、図２（Ａ）に示した操作権限と、図２（Ｂ）に示した操作権限に対して許可されている操作とを記憶する。
基板処理装置本体１２に対して許可されうる操作は、例えば、以下のような操作ａ〜操作ｈである。
操作ａは、処理炉２０２内で処理される温度制御、圧力制御、ガス制御を設定するプロセスレシピおよび関連パラメータを編集する操作である。
操作ｂは、操作ａのレシピをウエハ１枚ずつに関連付け、ウエハの処理順を設定するシーケンスレシピを編集する操作である。
【００４６】
操作ｃは、操作ｂを指定し、１枚以上のウエハにその開始、一時停止および中断を指示する操作である。
操作ｄは、処理炉の状態（温度、圧力、ガス流量など）、第一搬送室（ロードロック）１０３および第２搬送室１２１の状態（圧力、ガス流量など）をモニタする操作である。
操作ｅは、操作ｄの過去のモニタデータを呼び出して表示する操作である。
【００４７】
操作ｆは、モニタデータ、パラメータなど各種データを記憶媒体３２にコピーする操作である。
操作ｇは、装置に故障あるいは異常が発生した後に復旧するための操作である。
操作ｈは、操作ｇの時に、ログデータのコピーなど、調査および解析するための操作である。
【００４８】
例えば、装置メーカ側保守員には、操作権限Ａ（図２（Ａ））が割り当てられている。
また、顧客側保守員には、操作権限Ｂが割り当てられており、顧客側プロセスエンジニアには、操作権限Ｃが割り当てられており、顧客側ラインオペレータには、操作権限Ｄが割り当てられている。
【００４９】
図１１に示すように、制御プログラム３４において、識別子検出部３４０は、ＩＤリーダ４（図７）から出力された識別子を受け入れ、識別子識別部３４２に対して出力する。
識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、受け入れた識別子と、この識別子に対応した操作権限とを、操作範囲設定部３４６に対して出力する。
また、識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４に記憶されているこの識別子の最終検出時刻を、この識別子が検出された時刻に更新する。
【００５０】
さらに、識別子識別部３４２は、この識別子と、この識別子が検出された時刻とを、操作履歴更新部３４４に対して出力する。
操作履歴更新部３４４は、この識別子と、この識別子が検出された時刻とを、操作履歴ＤＢ３５６（図１３）に新たに書き込む。
【００５１】
操作範囲設定部３４６は、操作権限ＤＢ３５８を参照し、受け入れた操作権限に対して許可された操作を、制御部３５０とＵＩ部３５２とに対して出力する。
例えば、装置メーカ側保守員の識別子が検出された場合には、操作範囲設定部３４６は、操作ａ〜操作ｈを許可する旨を制御部３５０に対して出力する。
また、操作範囲設定部３４６は、受け入れた識別子を、パラメータ設定部３４８に対して出力する。
【００５２】
パラメータ設定部３４８は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、受け入れた識別子に対応したパラメータを、制御部３５０とＵＩ部３５２とに対して出力する。
これらのパラメータは、処理炉２０２内で処理される処理実行時間、設定温度、設定圧力、設定ガス流量などである。
また、プロセスレシピもパラメータの一つであり、このプロセスレシピは、上記パラメータで定められた処理を複数個設定するためのパラメータである。
【００５３】
制御部３５０は、許可された操作のみを可能にするように、基板処理装置本体１２を制御する。
例えば、検出された識別子に対して、顧客側ラインオペレータの操作権限である操作権限Ｄが割り当てられている場合には、制御部３５０は、このオペレータが、基板処理装置本体１２の状態をモニタしたり、モニターデータをコピーしたりする操作のみを実行できるように、基板処理装置本体１２を制御する。
また、例えば、操作権限Ａの場合には、制御部３５０は、オペレータが上述の操作ａ〜操作ｈを実行できるように、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５４】
また、制御部３５０は、パラメータ設定部３４８から受け入れたパラメータに従って、ウエハ２００が処理炉２０２内で処理される処理実行時間、設定温度、設定圧力および設定ガス流量などを制御する。
さらに、制御部３５０は、表示・入力装置１６（図５）により指示された操作に従って、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５５】
ＵＩ部３５２は、検出された識別子、この識別子に対して許可されている操作、および、この識別子に対して設定されているパラメータなどを受け入れて、表示・入力装置１６に表示する。
また、ＵＩ部３５２は、表示された内容に対する確認を、表示・入力装置１６から受け入れてもよい。
この場合、ＵＩ部３５２は、確認結果を、操作範囲設定部３４６またはパラメータ設定部３４８に対して出力し、操作範囲設定部３４６またはパラメータ設定部３４８は、確認結果に基づいて、設定内容を制御部３５０に対して出力する。
【００５６】
［制御プログラム３４の動作］
以下、制御プログラム３４の動作を説明する。
図１４は、図１１に示した制御プログラム３４により行われる制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
図１４に示される処理のうち、図３に示した処理と実質的に同じ処理には、同じ符号が付してある。
図１４に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、識別子検出部３４０（図１１）は、ＩＤリーダ４から入力される識別子を検出したか否かを判断する。
検出しなければ再びＳ２００の処理に戻り、検出したならばＳ１０４の処理に進む。
【００５７】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、識別子識別部３４２は、識別子ＤＢ３５４（図１２）を参照し、検出された識別子に割り当てられている操作権限を確認する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、操作範囲設定部３４６は、操作権限ＤＢ３５８を参照し、この操作権限で許可されている操作を、制御部３５０に対して出力する。
制御部３５０は、これらの操作のみを可能とするように、基板処理装置本体１２を制御する。
【００５８】
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、パラメータ設定部３４８は、識別子ＤＢ３５４を参照し、この識別子に対応したパラメータを、制御部３５０に対して出力する。
制御部３５０は、これらのパラメータに従って、基板処理装置本体１２を制御する。
ステップ１１０（Ｓ１１０）において、操作履歴更新部３４４は、この識別子と、検出された日時とを操作履歴ＤＢ３５６に書き込む。
【００５９】
［基板処理装置１０の全体動作］
以下、基板処理装置１０の全体的な動作を説明する。
図１５は、基板処理装置１０に対する操作（Ｓ３０）を示すフローチャートである。
図１５に示すように、制御装置１４は、Ｓ２０に示された制御処理を実行し、オペレータを識別して操作範囲を制御する。
【００６０】
ステップ３００（Ｓ３００）において、制御装置１４は、表示・入力装置１６に、オペレータが基板処理装置本体１２を操作するための表示をし、オペレータによる操作を受け入れる。
このとき、制御装置１４は、検出された識別子に割り当てられた操作権限で許可されている操作のみを、表示・入力装置１６に表示する。
例えば、検出された識別子に、装置メーカ側保守員のための操作権限Ａが割り当てられている場合には、制御装置１４は、操作ａ〜操作ｈに関する内容を、表示・入力装置１６に表示し、顧客側ラインオペレータのための操作権限Ｄが割り当てられている場合には、操作ｂ〜操作ｄに関する内容のみを表示する。
【００６１】
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、制御装置１４は、表示・入力装置１６により操作が入力されたか否かを判断し、入力されたならばＳ３０４の処理に進み、入力されていないならばＳ３００の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、制御装置１４は、入力された操作を実行する。
例えば、処理炉２０２内で処理される温度制御に関するパラメータ（図１２）を編集する操作である操作ａが入力された場合には、制御装置１４は、識別子ＤＢ３５４内のパラメータを更新する。
また、例えば、１枚以上のウエハを処理する操作である操作ｃが入力された場合には、制御装置１４は、基板処理装置本体１２を制御してウエハを処理する。
また、例えば、基板処理装置本体１２の状態をモニタしたデータを、記録媒体３２（図１０）にコピーする操作である操作ｆが入力された場合には、制御装置１４は、記憶装置３０に記憶されているデータを、記録媒体３２にコピーする。
【００６２】
さらに、ステップ３０６（Ｓ３０６）において、制御装置１４は、操作が終了されるか否かを判断し、引き続き操作される場合にはＳ３００の処理に進み、操作が終了される場合には、処理を終了する。
したがって、オペレータのレベルに対応した操作範囲が自動的に設定されるので、例えば顧客側ラインオペレータが編集すべきでない保守員専用のパラメータを変更するなどの人為的ミスが防がれる。
【００６３】
また、オペレータの操作履歴が、基板処理装置１０に、常に記憶されるので、誰がいつ操作したかを解析したり、装置の運用時間あるいは保守時間などを算出したりすることが可能となる。
また、マルチプロセス炉において、ウエハを処理するパラメータが担当者ごとに異なる場合でも、担当者ごとに対応したパラメータが、自動的に設定されうる。
さらに、オペレータの操作履歴を、管理することができるので、どの装置にどのオペレータがどれだけの時間作業しているかなど、オペレータの工程管理が可能となる。
【００６４】
なお、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置への適用に限られるものではなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用されうる。
また、本発明の基板処理装置は、枚葉装置だけでなく、縦型装置および横型装置にも適用されうる。
つまり、オペレータが、表示・入力装置１６を操作することにより、半導体基板あるいはガラス基板などの基板処理を行う装置であれば、本発明の基板処理装置は、適用されうる。
さらに、本発明の基板処理装置は、基板処理装置本体の炉内の処理が、ＣＶＤ、酸化、拡散あるいはアニールであっても、適用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】基板処理装置１の構成を示す図である。
【図２】識別子により許可される操作範囲を示す図であり、（Ａ）は、識別子と操作権限との関係を示す図であり、（Ｂ）は、操作権限と、この操作権限で許可されている操作との関係を示す図である。
【図３】オペレータが従来の基板処理装置１を操作する際に、制御装置１４において行われる制御処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【図４】制御装置１４に記録されたオペレータの操作履歴を示す図である。
【図５】本発明にかかる基板処理装置１０の構成を示す図である。
【図６】図５に示したＩＤタグ６の構成を示す図である。
【図７】図５に示したＩＤリーダ４の構成を示す図である。
【図８】図５に示した基板処理装置本体１２の上面図を示す図である。
【図９】図５に示した基板処理装置本体１２の側面図を示す図である。
【図１０】図５に示した制御装置１４の構成を示す図である。
【図１１】図５に示した制御装置１４上で動作する制御プログラム３４の構成を示す図である。
【図１２】図１１に示した識別子ＤＢ３５４が記憶する識別子情報を示す図である。
【図１３】図１１に示した操作履歴ＤＢ３５６が記憶するオペレータの操作履歴を示す図である。
【図１４】図１１に示した制御プログラム３４により行われる制御処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
【図１５】本発明にかかる基板処理装置１０に対する操作（Ｓ３０）を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６６】
４ ＩＤリーダ
６ ＩＤタグ
８ 識別対象物
１０ 基板処理装置
１２ 基板処理装置本体
１４ 制御装置
１６ 表示・入力装置
２２ コンピュータ本体
２４ ＣＰＵ
２６ メモリ
２８ 通信ＩＦ
３０ 記憶装置
３４ 制御プログラム
４０ 円偏波アンテナ
４２ 制御部
４４ 送信部
４６ 方向性結合器
４８ サーキューレータ
５０ 復調部
６０ アンテナ
６２ 電源回路
６４ リミッタ
６６ クロック発生回路
６８ 発生回路
７０ 変調回路
１０３ 第一の搬送室
１２１ 第二の搬送室
１３７ 第二の処理炉
２００ ウエハ
２０２ 第一の処理炉
３４０ 識別子検出部
３４２ 識別子識別部
３４４ 操作履歴更新部
３４６ 操作範囲設定部
３４８ パラメータ設定部
３５０ 制御部
３５２ ユーザインターフェース部
３５４ 識別子ＤＢ
３５６ 操作履歴ＤＢ
３５８ 操作権限ＤＢ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御に従って、基板処理を行う基板処理手段と、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理手段に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出するデータ検出手段と、
前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理手段に対する操作範囲を制御する制御手段と
を有する基板処理装置。
【請求項１】
制御に従って、基板処理を行う基板処理手段と、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、前記基板処理手段に対する操作権限を識別する識別データを含む応答信号から、前記識別データを検出するデータ検出手段と、
前記検出された識別データに基づいて、前記基板処理手段に対する操作範囲を制御する制御手段と
を有する基板処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００６−６０１５７（Ｐ２００６−６０１５７Ａ）
【公開日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２４３１４６（Ｐ２００４−２４３１４６）
【出願日】平成１６年８月２４日（２００４．８．２４）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【公開日】平成１８年３月２日（２００６．３．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年８月２４日（２００４．８．２４）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
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