塗布装置

【目的】スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できるようにすること。
【構成】スロット部１８の上流側に塗料１２を塗布幅方向に分配させるチャンバ部１７を形成し、スロット部からウエブ１１上へ塗料を押し付けるように塗布する塗布装置１０において、スロット部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとがΔＨ／Ｈ≦0.05を満たし、且つチャンバ部内を塗布幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、スロット部内を流動する塗料の圧力損失ＰｓとがＰｂ／Ｐｓ≦0.15を満たすよう構成されたものである。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走行する支持体に塗布液を塗布する塗布装置に関する。本発明でいう支持体とは、プラスチック、紙、布、金属などのシート又はウエブを指し、塗布液とは磁性分散液、感光液、感熱分散液、粘着液などを指し、夫々磁性記録媒体、写真フィルム、感熱紙、粘着テープを成すものである。
【０００２】
【従来の技術】上記のような塗布には種々な塗布装置が用いられているが、その一つとしてエクストルージョン型ダイ塗布装置（以降“ダイ”と称す）が各分野で用いられている。このエクストルージョン型ダイ塗布装置（ダイ）においては、塗布幅方向に均一に塗布液を分配させることが重要な設計要素の一つである。このようなダイにはＴダイ、コートハンガー型チャンバダイ、多段チャンバダイ及びチャンバ塗料循環型ダイがある。
【０００３】(a) ＴダイこのＴダイは、通常円柱形状の比較的容積の大きなチャンバ部を有し、塗料が、このチャンバ内を塗布幅方向に流れる際の流動抵抗を小さくして、塗布膜の塗布幅方向における膜厚むらを抑制するものである。
【０００４】しかし、このＴダイでは、チャンバ内での塗料の流れが緩慢であるため、特に磁性分散塗料のようなディスパージョン塗料の場合、塗料の凝集が進行して、塗布膜の表面性が低下してしまうおそれがある。
【０００５】(b) コートハンガー型チャンバダイこのコートハンガー型チャンバダイは、チャンバの形状がコートハンガー形状に形成され、このチャンバ内を塗布幅方向に流れる塗料の流速を一定以上に保持して、塗料を同方向に均一に分配し、塗布膜の塗布幅方向の膜厚むらを抑制すると同時に、チャンバ内を流れる塗料に剪断力を与えて、塗料の凝集を抑制し、塗布膜の表面性を良好にしたものである。
【０００６】ところが、上述の塗布膜の膜厚むらの抑制や表面性の向上を達成するためには、塗料の流動物性を的確に把握した上で、このダイの設計を実施しなければならない。また、一旦設計されたダイは、ごく狭い範囲の塗布操作条件（例えば塗布速度、塗布膜厚、塗布粘度等）下でなければ適用できない。
【０００７】(c) 多段チャンバダイこの多段チャンバダイは、特開昭53-36458号公報や英国特許番号1,389,074 号に記載されているように、チャンバを直列に複数段設けたものであり、それぞれのチャンバ容量、スロット部のスロットギャップ、スロット長を最適化することにより、塗布幅方向における塗料の分配性を良好にして、塗布膜の同方向における膜厚むらを抑え、且つ、塗料に剪断力を付与して塗料の凝集を抑制し、塗布膜の表面性を向上させることができる。
【０００８】ところが、塗料に更に剪断力を付与しようとすると、チャンバ容量やスロットギャップを更に小さくしなければならず、この場合、塗布膜に、塗布幅方向のむらが生じてしまうおそれがある。
【０００９】(d) チャンバ塗料循環型ダイこのチャンバ塗料循環型ダイは、特開昭52-22039号公報や米国特許番号4,465,707 号に記載のように、塗料の一部をスロット部以外の部位から外部へ排出させることにより、塗料を積極的に流動させて、塗料に剪断力を付与するものである。また、チャンバ塗料循環型ダイとは異なるが、米国特許番号3,227,136 号記載の如く、チャンバ内にシリンダを設置し、このシリンダを回転させて、チャンバ内の塗料に剪断力を付与するダイも提案されている。
【００１０】しかしながら、上述のチャンバ塗料循環型ダイ等では、ポンプや配管の追加が必要となって、装置構造が煩雑となってしまう。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、各種ダイには一長一短があるが、いずれのダイも、塗布幅方向における均一膜厚塗布が第１の目的であり、塗布膜の表面性向上が第２の目的である。
【００１２】また、近年、塗布膜の薄膜化が要請されており、そのために、スロット部のスロットギャップが狭小化する傾向にある。このスロットギャップが狭小化すると、スロットギャップの加工精度、即ち塗布幅方向の平行度が膜厚むらに与える影響が著しく大きくなってくる。しかし、従来の各種ダイには、このスロットギャップの平行度を加味した設計がなされていない。
【００１３】本発明は、上述の事情を考慮してなされたものであり、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる塗布装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明は、上流側リップと下流側リップに挟まれて塗布幅方向に均一なスロット部が形成され、このスロット部の上流側に塗布液を塗布幅方向に分配させるチャンバー部が形成され、上記上流側リップ及び下流側リップに対向して走行する支持体上に上記スロット部から上記塗布液を押し付けるように塗布する塗布装置において、上記スロット部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとがΔＨ／Ｈ≦0.05を満たし、且つ、上記チャンバ部内を上記塗布幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、上記スロット部内を流動する塗料の圧力損失ＰｓとがＰｂ／Ｐｓ≦0.15を満たすよう構成されたものである。
【００１５】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記塗料がディスパージョン塗料の場合には、ΔＨ／Ｈ≦0.03Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06を満たすよう構成されたものである。
【００１６】
【作用】請求項１に記載の発明には、次の作用がある。スロットギャップＨと塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとから規定されるスロットギャップの精度（平行度）ΔＨ／Ｈは、ΔＨ／Ｈ≦0.05なる範囲に設定されているので、スロットギャップＨの加工精度ΔＨ／Ｈに基づく塗布幅方向の塗布膜厚のむらを極力抑えることができる。また、チャンバ部内を塗布幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂとスロット部内を流動する塗料の圧力損失ＰｓとがＰｂ／Ｐｓ≦0.15なる範囲に設定されたので、更に、塗布幅方向における塗布膜の膜厚むらを、更に抑えることができる。これらの結果、スロットギャップの精度（平行度）を加味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００１７】一般に、Ｐｂ／Ｐｓを小さくすればするほど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくする事によって達成できるが機械装置としての大きさの制限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くするか、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しながら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップＨを小さくすることが望ましいが、式■の制限によりスロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さくすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式■によって与えられる。
【００１８】請求項２に記載の発明には、次の作用がある。ディスパージョン塗料はチャンバ内で凝集し易く、更に、塗布膜の塗布幅方向に膜厚むらが生じ易いので、ΔＨ／Ｈ≦0.03Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06に設定することによって、スロットギャップの精度（平行度）を加味した上で、塗布膜の表面性を良好に維持しつつ、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００１９】ディスパージョン系塗料は通常チキソ性を有し、且つ凝集性も合わせ持つ。そのため、チャンバ部においても流動状態にあることが望まれるが、それにはＰｂを大きくする必要がある。然しながら、ディスパージョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に比べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、膜厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝0.06が上限となる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る塗布装置の一実施例におけるダイヘッドを示す斜視図である。図２は、図１のダイヘッドの縦断面図である。図３は、図２の一部拡大図である。
【００２１】図１及び図２に示す塗布装置１０はＴダイであり、連続的に走行する支持体としてのウエブ１１に塗料１２を塗布するものである。ここで、支持体としては、ウエブ１１の他にプラスチック、紙、布或いは金属等の可撓性シート等がある。また、塗料１２は、磁性分散液、感光液、感熱分散液或いは粘着液等である。
【００２２】塗布装置１０は、上流側ブロック１３と下流側ブロック１４とを接合して構成されたダイヘッド１５を有し、上記接合部分に液インレット１６、チャンバ部１７及びスロット部１８が形成される。上流側ブロック１３と下流側ブロック１４との先端部に、上流側リップ１９と下流側リップ２０とがそれぞれ設けられる。スロット部１８は、これらの上流側リップ１９及び下流側リップ２０間に形成され、チャンバ部１７に連通される。このチャンバ部１７は液インレット１６に連通される。この液インレット１６に、液供給系２１から塗料１２が供給される。従って、塗料１２は、液供給系２１から液インレット１６を経てチャンバ部１７内に流入し、スロット部１８を通って、上流側リップ１９及び下流側リップ２０に対向して走行するウエブ１１に連続的に塗布される。
【００２３】上記上流側リップ１９及び下流側リップ２０、チャンバ部１７並びにスロット部１８は、ウエブ１１の幅とほぼ同一幅に設定される。また、チャンバ部１７は、円柱形状に形成され、液インレット１６からの塗料１２を、塗布幅方向において塗布量が均一になるように分配させ、スロット部１８へ供給する。
【００２４】スロット部１８は、平行平板形状の狭路として構成され、チャンバ部１７と組み合わされて、塗料１２を塗布幅方向に均一に塗布できるように機能する。
【００２５】このスロット部１８のスロットギャップＨは、塗布対象によっても異なるが、通常数十μm から数mmに設定される。このスロットギャップＨは、図３に示すように、スロット部１８の塗布幅方向における最大値をＨmax とし、最小値をＨmin とすると、
【数１】

として規定される。尚、塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨは、ΔＨ＝Ｈmax −Ｈminとして規定される。
【００２６】ところで、塗布幅方向における塗布膜の膜厚むらや塗布膜の表面性状は、スロットギャップＨの塗布幅方向の平行度つまりスロットギャップＨの精度（ΔＨ／Ｈ）、及び塗料１２がチャンバ部１７内を塗布幅方向に流動する際の圧力損失Ｐｂと塗料１２がスロット部１８から流出する方向にこのスロット部１８内を流動する際の圧力損失Ｐｓとの比（Ｐｂ／Ｐｓ）の影響を受ける。
【００２７】上記スロットギャップＨの精度ΔＨ／ＨはΔＨ／Ｈ≦0.05 …■の範囲に設定され、また圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓは、Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 …■に設定される。
【００２８】一般に、Ｐｂ／Ｐｓを小さくすればするほど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくする事によって達成できるが機械装置としての大きさの制限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くするか、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しながら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップＨを小さくすることが望ましいが、式■の制限によりスロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さくすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式■によって与えられる。
【００２９】また、特に、塗料１２が磁性分散液や熱転写型インクリボン用塗料等のようなディスパージョン塗料である場合には、この塗料が凝集しやすく、然も塗布膜の膜厚むらが生じやすいので、スロットギャップＨの精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓは、ΔＨ／Ｈ≦0.03 …■Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 …■に設定される。ディスパージョン系塗料は通常チキソ性を有し、且つ凝集性も持ち合わせる。そのため、チャンバ部においても流動状態にあることが望まれるが、それにはＰｂを大きくする必要がある。然しながら、ディスパージョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に比べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、膜厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝0.06が上限となる。
【００３０】上記実施例によれば、スロットギャップＨと塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとから規定されるスロット部１８の精度（塗布幅方向の平行度）ΔＨ／Ｈは式■なる範囲に設定され、更に、チャンバ部１７内を塗布幅方向に流動する塗料１２の圧力損失Ｐｂと、スロット部１８内を流動する塗料１２の圧力損失Ｐｓとが式■なる範囲に設定されているので、塗布幅方向における塗布膜の膜厚むらを抑えることができる。これらの結果、スロットギャップの精度（平行度）を加味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００３１】また、塗料１２が磁性分散液等のようなディスパージョン塗料の場合には、このディスパージョン塗料がチャンバ部１７内で凝集しやすく、然も塗布膜の塗布幅方向における膜厚むらが生じやすいので、スロットギャップＨの精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓをそれぞれ式■、式■と設定したことから、この場合にも、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布膜表面性を良好に維持しつつ、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００３２】ここで、実験結果を用いて、上記実施例の効果を明確化する。図４は、実験装置として採用したダイを示す斜視図である。図５は、図４のダイの正面図である。図６は、図５のVI-VI 線に沿う断面図である。図７R>７は、図４〜図６の液セパレータを示す斜視図である。図８は、バインダー希釈溶液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。図９は、磁性分散液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
【００３３】実験装置として採用されたダイ３０は、図４R>４〜図６に示すように、上流側ブロック３１に下流側固定ブロック３２及び下流側可動ブロック３３が接合されて構成され、接合面にチャンバ部３４及びスロット部３５が形成される。
【００３４】ダイ３０の幅は約300mm であり、チャンバ部３４は、ダイ３０の幅方向に同一断面形状の円柱形状に形成されて、スロット部３５に連通する。このチャンバ部３４は、ダイ３０の幅方向の両端に設置されたダイ側面部３６及び３７により画成され、一方のダイ側面部３６に液供給系３９が接続される。この液供給系３９からの塗布液４０は、一方のダイ側面部３６に形成された液インレット３８を経てチャンバ部３４へ導かれ、スロット部３５へ供給される。
【００３５】スロット部３５は、上流側ブロック３１と下流側可動ブロック３３との両先端部にそれぞれ形成された上流側リップ４１と下流側リップ４２との間に形成される。そして、このスロット部３５は、下流側可動ブロック３３を上流側ブロック３１に対し接近或いは離反させ、固定ボルト２９で固定することによりスロットギャップＨが規定される。このスロットギャップＨは、本実験では100 〜1000μm の範囲に設定されている。
【００３６】スロットギャップＨは、スロット部３５のダイ幅方向両端部にシム４３及び４４を介在することにより所望の値に設定される。本実験では、シム４３とシム４４との肉厚を異ならせることによって、塗布幅方向におけるスロットギャップＨの誤差ΔＨを設定している。尚、本実験では、スロット部３５のスロットギャップＨの値によっても異なるが、スロット部３５からの塗料４０の吐出量は10〜1000cc／min に設定されている。
【００３７】また、チャンバ部３４には、液インレット３８側の一端部と他端部とに第１圧力計４５と第２圧力計４６がそれぞれ設置され、チャンバ部３４の両端部の圧力がそれぞれ測定される。この第１圧力計４５の測定値Ｐ₁ と第２圧力計４６の測定値Ｐ₂ との差の絶対値を計算して、塗料４０がチャンバ部３４を塗布幅方向に流動する際に生ずる圧力損失Ｐｂを求める。また、上記測定値Ｐ₁ とＰ₂ との平均値を計算して、塗料４０がスロット部３５から流出する方向にスロット部３５内を流れる際の圧力損失Ｐｓを求める。
【００３８】ここで、塗料４０としては、ニュートニアンを示すバインダー希釈溶液と、擬塑性を示す磁性分散塗料を用いた。バインダー希釈溶液は、ＶＡＧＨ（ユニオンカーバイト社製）をメチルエチルケトン、トルエン及びシクロヘキサノンの混合溶剤で希釈し、粘度10〜50 Cp に調整したものである。また、磁性分散塗料は、表１に示す配合を有するものである。
【表１】

【００３９】また、ダイ３０のスロット部３５近傍の上流側リップ４１に、図４〜図６に示すように液セパレータ４７を設置し、スロット部３５から吐出される塗料４０の流量を直接重量測定する。この液セパレータ４７は、図７に示すように、平面形状の基板４８に、三角形状の流路４９を約30mmのピッチで形成し、スロット部３５を塗布幅方向に例えば10分割して、このスロット部３５から吐出される塗料４０を分離するものである。この分離された塗料４０が、複数の計量カップ５０のそれぞれにて集められる。この塗布膜方向に配置された複数の計量カップ５０のそれぞれにて集められた塗料の重量流量の相違（流量むら）は、塗布膜の塗布幅方向の膜厚むらに対応する。
【００４０】上述のように、スロット部３５から吐出された塗料４０の流量を液セパレータ４７及び計量カップ５０を用いて直接重量測定することにより、チャンバ部３４、スロット部３５及び塗布操作条件が塗布膜の膜厚に及ぼす影響を明確化できる。
【００４１】つまり、塗料４０としてバインダー希釈溶液を用いた実験例１では、図８に示すように、スロットギャップＨの精度（平行度）ΔＨ／Ｈが式■を満たし、且つ、圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓが式■を満たす場合に、記号〇で示すように、塗布幅方向の塗料４０の流量むら（つまり塗布膜の同方向における膜厚むら）が30％以下となっている。尚、図８中においては、塗布幅方向の塗料４０の流量むらが30〜50％の場合を記号△で示し、同流量むらが50％以上の場合を記号Ｘで示している。
【００４２】塗料４０として磁性分散塗料を用いた実験例２では、図９に示すように、スロットギャップＨの精度（平行度）ΔＨ／Ｈが式■を満たし、且つ圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓが式■を満たす場合に、記号〇で示すように、塗布幅方向の塗料４０の流量むら（つまり塗布膜の同方向における膜厚むら）が30％以下となっている。尚、図９中においても、塗布幅方向の塗料４０の流量むらが30〜50％の場合を記号△で示し、同流量むらが50％以上の場合を記号Ｘで示している。
【００４３】尚、上記実施例では、塗布装置１０がＴダイの場合を述べたが、図１０に示すコートハンガー型チャンバダイ５１や図１１に示す片ハンガー型チャンバダイ５２に本発明を適用しても良い。この両変形例では、前記実施例と同様な部分に、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００４４】コートハンガー型チャンバダイ５１は、液インレット５３が、ダイ５１の幅方向中央部に設けられたものであり、この液インレット５３に連通したチャンバ５４は、液インレット５３から両方向へ遠ざかる程断面積が減少するように形成されている。また、片ハンガー型チャンバダイ５２は、液インレット５５がダイ５２の一側面部に形成されたものであり、この液インレット５５に連通したチャンバ部５６は、液インレット５５から一方向に遠ざかる程断面積が減少して形成される。これらのコートハンガー型チャンバダイ５１及び片ハンガー型チャンバダイ５２を用いることにより、塗布幅方向における塗布膜の膜厚をより一層均一にすることができる。
【００４５】更に本発明を多段チャンバダイやチャンバ塗料循環型ダイに適用しても良い。
【００４６】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る塗布装置によれば、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る塗布装置の一実施例におけるダイヘッドを示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のダイヘッドの縦断面図である。
【図３】図３は、図２の一部拡大図である。
【図４】図４は、実験装置として採用したダイを示す斜視図である。
【図５】図５は、図４のダイの正面図である。
【図６】図６は、図５のVI-VI 線に沿う断面図である。
【図７】図７は、図４〜図６の液セパレータを示す斜視図である。
【図８】図８は、バインダー希釈溶液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
【図９】図９は、磁性分散液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
【図１０】図１０は、本発明に係る塗布装置が適用されたコートハンガー型チャンバダイを示し、図１０（Ａ）が図１０（Ｂ）のXA-XA 線に沿う断面図であり、図１０（Ｂ）が図１０（Ａ）のXB-XB 線に沿う断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の塗布装置が適用された片ハンガー型チャンバダイを示し、図１１（Ａ）が図１１（Ｂ）のXIA-XIA 線に沿う断面図であり、図１１（Ｂ）が図１１（Ａ）のXIB-XIB 線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１０塗布装置
１１ウエブ
１２塗料
１７チャンバ部
１８スロット部
１９上流側リップ
２０下流側リップ
３０ダイ
３４チャンバ部
３５スロット部
４０塗料
４１上流側リップ
４２下流側リップ
Ｈスロットギャップ
ΔＨスロットギャップの誤差
Ｐｂ圧力損失
Ｐｓ圧力損失

【特許請求の範囲】
【請求項１】上流側リップと下流側リップに挟まれて塗布幅方向に均一なスロット部が形成され、このスロット部の上流側に塗料を塗布幅方向に分配させるチャンバー部が形成され、上記上流側リップ及び下流側リップに対向して走行する支持体上に上記スロット部から上記塗料を押し付けるように塗布する塗布装置において、上記スロット部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとがΔＨ／Ｈ≦0.05を満たし、且つ、上記チャンバ部内を上記塗布幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、上記スロット部内を流動する塗料の圧力損失ＰｓとがＰｂ／Ｐｓ≦0.15を満たすよう構成されたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】上記塗料がディスパージョン塗料の場合には、ΔＨ／Ｈ≦0.03Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06を満たすよう構成された請求項１に記載の塗布装置。

【図３】