【課題】基板搬送路が一方向に連続的に延びる場合であっても、口金部を容易に交換することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】一方向に延びる基板搬送路と、基板搬送路に基板を対面させた状態で基板搬送路の延びる方向に沿って基板を搬送する基板搬送部と、口金部が基板搬送路に対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えた塗布装置であって、前記口金部を載置するものであり、塗布ユニットに取付けられた口金部と対向する口金受取位置と、前記口金部を交換する口金交換位置とに移動可能な口金移載ユニットをさらに備え、前記基板搬送路は、作業スペース形成部を有しており、この作業スペース形成部により、基板搬送路の一部が除去されて前記口金部を交換するための作業スペースが形成され、前記口金交換位置は、前記作業スペース形成部で口金部の交換作業が可能な範囲に設定されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】走行するウエブを安定してガイドできる両面塗工装置を提供する。
【解決手段】上下一対の上ダイ１２と下ダイ１４とを水平に搬送するウエブＷの搬送路に配置し、下ダイ１４の上流側にガイド部材１６を配置し、ガイド部材１６は、多孔質材料よりなる空気吹き出し部４２を有する。 （もっと読む）

【課題】連続的に走行する帯状基材に対して多層塗布を行う際に、高速で安定した薄膜塗布を効率よく行うことができるロール塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】連続的に走行する帯状基材１に対して、アプリケーターロール５を基材１と接触させて塗布液を基材１に塗布するロール塗布方法において、アプリケーターロール５に対してスリットダイ７により２層以上の多層コートを行い、その際のアプリケーターロール５上の塗布液膜厚さをｔ_ａ（μｍ）とした場合、アプリケーターロール５のロール径Ｄ_ａ（ｍｍ）をＤ_ａ≦３．３ｔ_ａ＋１３３．３とし、アプリケーターロール５の回転速度Ｖ_ａと基材１の速度Ｖ_Ｌが０．９≦Ｖ_ａ／Ｖ_Ｌ≦１．２となるように調整を行い、アプリケーターロール５から基材１に転写されずに残った塗布液は掻取装置６によって除去することを特徴とする帯状基材へのロール塗布方法。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】処理液等の薬液の無駄な消費を無くし、且つ、タクトタイムを短縮し、生産性を向上する。
【解決手段】円柱状または円盤状に形成され、その周面に前記ノズル先端の長手方向に沿って平行に形成された複数の払拭部１１ａを有し、所定方向に臨む一の払拭部によりノズル先端３ａを狭持すると共に、前記ノズル先端の長手方向に沿って移動可能に設けられた払拭体１１と、前記払拭体を前記ノズル先端の長手方向に沿って移動させる払拭体移動手段１３，１４，１５と、前記ノズル先端の側方に移動された前記払拭体を軸周りに回転させ、前記一の払拭部に代えて他の払拭部を前記所定方向に臨む状態とする払拭体回転手段１７，１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】煩雑な調整を要することなく、支持体の非塗布部と塗布ヘッドとの接触を確実に回避する。
【解決手段】塗布ヘッド１５は、塗布液を吐出するスリット２１を有し、スリットの長手方向に交差する方向へ連続的に搬送される支持体１１の表面にスリットより吐出される塗布液を塗布する。この塗布ヘッドには、塗布ヘッドの長手方向の両端それぞれに、支持体の幅方向端部の非塗布部分３３に加圧流体を吹き付けるための加圧流体の流路３５を形成する流路構成部材３７が設けられている。流路構成部材は、少なくとも加圧流体の吹き出し口を形成する部材が単一の部品として塗布ヘッドへ取り付けられるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】良好に塗工材料を塗工することが可能な塗工装置及び電極の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ポンプから吐出される塗工材料を塗工部へ流通させる配管部材を備える塗工装置において、前記配管部材内に、開口部を有するメッシュ部材を、該メッシュ部材の下端側が上流側に、上端側が下流側に位置するように傾斜させて該配管部材内の全流路を覆うように配置すると共に、前記配管部材の上部には、前記メッシュ部材と対応する位置に気泡溜まり部を形成したことを特徴する。 （もっと読む）