巻取装置及び巻取方法
【課題】 構成を簡単にするとともに、シートの巻取径が大きくなっても安定した巻き取りが行える巻取装置及び巻取方法を提供すること。
【解決手段】 駆動ローラ８０と、当該駆動ローラ８０に当接して追従回転する巻取ローラ８１とにより巻取装置１７が構成されている。駆動ローラ８０は、モータＭの出力軸に連結されて回転駆動するようになっている。駆動ローラ８０と巻取ローラ８１との間に接着シートＳを挟み込んで当該巻取ローラ８１に接着シートＳのリード端を固定しておき、この状態で駆動ローラ８０が回転駆動することで、接着シートＳが巻取ローラ８１に巻き取られるようになっている。
【解決手段】 駆動ローラ８０と、当該駆動ローラ８０に当接して追従回転する巻取ローラ８１とにより巻取装置１７が構成されている。駆動ローラ８０は、モータＭの出力軸に連結されて回転駆動するようになっている。駆動ローラ８０と巻取ローラ８１との間に接着シートＳを挟み込んで当該巻取ローラ８１に接着シートＳのリード端を固定しておき、この状態で駆動ローラ８０が回転駆動することで、接着シートＳが巻取ローラ８１に巻き取られるようになっている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は巻取装置及び巻取方法に係り、更に詳しくは、帯状のシートの一部を半導体ウエハ等の板状部材に貼付したあとに残る外側の不要シート領域を巻き取ることに適した巻取装置及び巻取方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面にダイボンディング用の接着シートを貼付したりすることが行われている。
【０００３】
このようなシートの貼付装置としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから接着シートを剥離してウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカットを行い、当該カットによって生じた外側の接着シートを不要接着シートとして巻き取る構成が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４７９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、巻取ローラがモータ等の駆動装置に連結される構成となっている。
そのため、巻取ローラによる巻き取りが進むに従って巻取径が増大し、それによる巻取スピードの増大や巻取トルクの減少が発生して巻取不良が発生し易い、という不都合がある。また、巻取スピードやトルクを巻取径に応じて制御した場合には制御が複雑になる。なお、この際、滑りベルトを利用した巻取方法も存在するが、これによると部品点数が多くなるという不利益を招来する。また、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転すると、手を巻き込まれてしまうという危険性も伴うものとなる。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、構成を簡単にするとともに、シートの巻取径が大きくなっても安定した巻き取りが行える巻取装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを備え、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込むとともに、前記巻取ローラに前記シートのリード端を固定することで、前記駆動ローラの駆動によって巻取ローラが帯状シートを巻き取る、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記巻取ローラは、巻取量の増大に伴って巻取ローラの軸線位置を変位させる回転アームの自由端側に支持される、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
また、前記回転アームは、ばねを介して前記駆動ローラの外周面に接する方向に付勢される、という構成を採っている。
【００１０】
また、本発明は、駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを用いて帯状シートを巻き取る方法において、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込んで当該帯状シートのリード端を巻取ローラに固定し、
前記駆動ローラを回転駆動させることで巻取ローラが回転して前記帯状シートが巻き取られることを特徴とする巻取方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、駆動ローラと巻取ローラとの間にシートが挟まれて当該シートのリード端が巻取ローラに固定されるので、駆動ローラの駆動によって巻取ローラがシートを巻き取る方向に追従回転するようになり、これにより、シートをスムースに巻き取ることができるとともに、巻取ローラをモータ等で直接回転駆動した場合の巻取不良を未然に防止することができる他、複雑な制御も一掃することができる。
【００１２】
また、巻取ローラは回転アームの自由端側に支持されているので、その軸線位置を変位させることで巻取径の増大に難なく対応することができる。
【００１３】
また、前記回転アームは駆動ローラの外周面にばね付勢されているので、シートを挟み付ける力が常に安定して維持されることとなり、巻き取りに際して滑り等を生ずることもない。
【００１４】
その上、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転したとしても、巻取ローラには駆動源がないので手を巻き込まれてしまうという危険性はなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付する押圧ローラ１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター１５と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離する剥離装置１６と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１７とを備えて構成されている。
【００１７】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置された張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持する貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。なお、前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００１８】
前記張力測定手段３５は、ロードセル３９と、当該ロードセルに支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とにより構成されている。張力測定ローラ４０は、ガイドローラ２７とブレーキシュー３２とで挟み込まれて前記押圧ローラ１４との間に繰り出された接着シートＳの張力により引っ張られることで、ロードセル３９にその張力を伝えるように構成されている。そして、前記ロードセル３９は、前記繰り出された接着シートＳの張力を測定しながら貼付角度維持手段３７を介して、後述する繰出ヘッド４９が図１中斜め下方へ変位することによって接着シートＳの張力を一定に保つようになっている。
【００１９】
前記貼付角度維持手段３７は、前記押圧ローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度θを一定に保つように構成されている。この貼付角度維持手段３７は、ガイドローラ２７，２８，２９、ロードセル３９、張力測定ローラ４０、ブレーキシュー３２，４２，シリンダ３８，４８，ピールプレート２２及びこれらを支える一対のスライド板４３，４３により構成された繰出ヘッド４９と、当該繰出ヘッド４９を上下に案内する一対のガイドレール４５，４５と、繰出ヘッド４９に昇降力を付与する一対の単軸ロボット４６，４６とを備えて構成されている。ガイドレール４５及び単軸ロボット４６は傾斜姿勢に配置されており、この傾斜角度に沿って繰出ヘッド４９が昇降可能となっている。なお、ピールプレート２２は、スライド板４３の内側に配置されたシリンダ５０に支持されており、図１中Ｘ方向に進退可能に設けられ、これにより、ウエハＷの直径に応じてピールプレート２２の先端位置調整を行えるようになっている。
【００２０】
前記テーブル１３は、図３に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、単軸ロボット５４を介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、単軸ロボット５６を介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２１】
前記押圧ローラ１４は、門型フレーム５７を介して支持されている。門型フレーム５７の上面側には、シリンダ５９，５９が設けられており、これらシリンダ５９の作動により押圧ローラ１４が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム５７は、図２に示されるように、単軸ロボット６０及びガイドレール６１を介して図１中Ｘ方向に移動可能に設けられている。
【００２２】
前記カッター１５は、テーブル１３の上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられている。このカッター１５は、回転中心軸６５に固定された回転アーム６６と、この回転アーム６６に支持されたカッター刃６７とにより構成され、当該カッター刃６７を回転中心軸６５回りに回転させることで、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断できるようになっている。
【００２３】
前記剥離装置１６は、図１及び図４、図５に示されるように、小径ローラ７０と、大径ローラ７１とにより構成されている。これら小径ローラ７０及び大径ローラ７１は、移動フレームＦに支持されている。この移動フレームＦは、図２中Ｙ方向沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結部材７３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２は、単軸ロボット７５に支持されている一方、前部フレームＦ１は、前記ガイドレール６１に支持され、これにより、移動フレームＦは、図２中Ｘ方向に移動可能となっている。大径ローラ７１は、図１に示されるように、アーム部材７４に支持されているとともに、当該アーム部材７４はシリンダ７８によって大径ローラ７１が小径ローラ７０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００２４】
前記巻取装置１７は、移動フレームＦに支持された駆動ローラ８０と、回転アーム８４の自由端側に支持され、ばね８５を介して駆動ローラ８０の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ８１とにより構成されている。駆動ローラ８０の軸端には、駆動源としての駆動モータＭが配置されており、当該モータＭの駆動により、駆動ローラ８０が回転し、巻取ローラ８１がこれに追従回転することで不要接着シートＳ１が巻き取られるようになっている。なお、巻取ローラ８１は、巻取量が増大するに従って、ばね８５の力に抗して図１中右方向へ回転することとなる。
【００２５】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について、図４及び図５をも参照しながら説明する。
【００２６】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳから接着シートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、接着シートＳのリード端は、押圧ローラ１４，剥離装置１６を経由して巻取装置１７の巻取ローラ８１に固定される。この際、繰出ヘッド４９の先端を構成するピールプレート２２は、最上昇位置（図１、図４（Ａ）参照）にあり、当該ピールプレート２２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳは、図１に示されるように、テーブル１３上に配置されるウエハＷの面に対して所定の貼付角度θとなるように設定されている。また、ピールプレート２２は、当該ピールプレート２２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの長さが、ウエハＷの一端から他端、すなわち図４中右端から左端までの長さよりも僅かに長くなるように、シリンダ５０を介して先端の位置調整が行われる。
【００２７】
図示しない移載アームを介してテーブル１３上にウエハＷがセットされた状態で貼付動作が開始される。なお、貼付動作に先立って、ガイドローラ２７、２９にはブレーキシュー３２，４２が当接して接着シートＳの繰り出しが抑制される。そして、テーブル１３が静止した状態で、押圧ローラ１４が回転しながらウエハＷ上を図４中左側に移動する。この押圧ローラの移動に伴って、接着シートＳには張力が加わり、張力測定ローラ４０がＸ方向へ引っ張られることとなる。そこでロードセル３９がその張力を測定することによって、所定張力を維持するために貼付角度維持手段３７を使って繰出ヘッド４９を斜め下方へ下げる。つまり、ロードセル３９が張力を測定し、そのデータを基に所定の張力となるように一対の単軸ロボット４６に指令を出すように制御される。
従って、結果的に、繰出ヘッド４９が、ガイド４５及び単軸ロボット４６（図１参照）の傾斜角度に沿って次第に下降し、これにより、ピールプレート２２の先端と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの長さが短くなっても貼付角度θが常に一定となるように維持されることとなる。
【００２８】
本実施形態では、上記のように押圧ローラ１４が貼付動作を行う間、ロードセル３９によって接着シートＳの張力を測定しながら繰出ヘッド４９を下降させるので、結果的に貼付角度θが維持されることになるが、繰出ヘッド４９の下降制御はロードセル３９を省略することもできる。すなわち、図４（Ａ）に示されるように、押圧ローラ１４の最下点の位置と、ピールプレート２２の貼付時初期の先端位置をそれぞれＰ１，Ｐ２とし、接着シートＳを貼り終えた時点のピールプレートの先端位置をＰ３とし、角Ｐ２，Ｐ１，Ｐ３の貼付角度をθとしたとき、押圧ローラ１４が単軸ロボット６０によって移動して点Ｐ１，Ｐ３の距離が短くなるに従い、ピールプレート２２の高さすなわち、点Ｐ２，Ｐ３間の距離も短くなるように貼付角度維持手段３７を構成する繰出ヘッド４９をガイドバー４５に沿って下降させて、常に貼付角度θを維持するように単軸ロボット４６、６０を同期制御することもできる。なお、繰出ヘッド４９の移動量は三角関数によって簡単に導き出せる。このように押圧ローラ１４の移動距離の検出に基づいて貼付角度θを一定に維持することで、ロードセル３９を用いた張力制御と同様の作用、効果を生じせしめることができ、本発明においては、これらの制御を選択的に採用することができる。
【００２９】
図４（Ｄ）、（Ｅ）に示されるように、接着シートＳの貼付が完了すると、カッター１５が下降してウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断を行い、その後にカッター１５が上昇して初期位置（図１参照）に復帰する。この際、ピールプレート２２の先端はウエハＷの左端近傍に位置し、これにより、ピールプレート２２の先端位置から左側に存在する接着シート領域を次のウエハＷへの接着領域とすることができ、接着シートＳを無駄に消費することがないようになっている。
【００３０】
次いで、ウエハＷが移載装置を介してテーブル１３から取り去られると、図５に示されるように、押圧ローラ１４が上昇し、剥離装置１６を構成する小径ローラ７０及び大径ローラ７１が左側に移動するとともに、巻取装置１７の駆動ローラ８０が駆動して不要接着シートＳ１を巻き取ることで、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離することができる。
【００３１】
そして、ブレーキシュー３２，４２がガイドローラ２７，２９から離れて原反Ｌの繰り出しを可能とすると共に、駆動ローラ８０がロックした状態で剥離装置１６と巻取装置１７が初期位置に復帰することによって、新しい接着シートＳが引き出され、新たなウエハＷが再びテーブル１３上に移載される。
【００３２】
従って、このような実施形態によれば、不要接着シートＳ１は、駆動ローラ８０が回転することで、巻取ローラ８１が追従して回転するので、当該追従回転によって不要接着シートＳ１を巻き取ることができる、という効果を得る。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３４】
例えば、前記実施形態では、板状部材がウエハである場合を示したが、ウエハ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【００３５】
また、回転アーム８４にシリンダ等による駆動装置を設け、不要接着シートＳ１の巻き径が所定の大きさになったことをセンサで検知して、その駆動源によって回転アーム８４を図１中右方向に回転させて、完全に駆動ローラ８０から縁を切るようにすることもできる。このように構成することによって、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転したとしても、巻取ローラは強制的に駆動源から切り離されているので、手を巻き込まれてしまうという危険性は更に低くなる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】テーブルの概略断面図。
【図４】接着シートの貼付動作説明図。
【図５】剥離装置による不要接着シートの剥離動作説明図。
【符号の説明】
【００３７】
１０ シート貼付装置
１７ 巻取装置
８０ 駆動ローラ
８１ 巻取ローラ
８４ 回転アーム
８５ ばね
Ｍ モータ
Ｌ 原反
ＰＳ 剥離シート
Ｓ 接着シート
Ｓ１ 不要接着シート
Ｗ ウエハ（板状部材）
【技術分野】
【０００１】
本発明は巻取装置及び巻取方法に係り、更に詳しくは、帯状のシートの一部を半導体ウエハ等の板状部材に貼付したあとに残る外側の不要シート領域を巻き取ることに適した巻取装置及び巻取方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面にダイボンディング用の接着シートを貼付したりすることが行われている。
【０００３】
このようなシートの貼付装置としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから接着シートを剥離してウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカットを行い、当該カットによって生じた外側の接着シートを不要接着シートとして巻き取る構成が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４７９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、巻取ローラがモータ等の駆動装置に連結される構成となっている。
そのため、巻取ローラによる巻き取りが進むに従って巻取径が増大し、それによる巻取スピードの増大や巻取トルクの減少が発生して巻取不良が発生し易い、という不都合がある。また、巻取スピードやトルクを巻取径に応じて制御した場合には制御が複雑になる。なお、この際、滑りベルトを利用した巻取方法も存在するが、これによると部品点数が多くなるという不利益を招来する。また、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転すると、手を巻き込まれてしまうという危険性も伴うものとなる。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、構成を簡単にするとともに、シートの巻取径が大きくなっても安定した巻き取りが行える巻取装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを備え、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込むとともに、前記巻取ローラに前記シートのリード端を固定することで、前記駆動ローラの駆動によって巻取ローラが帯状シートを巻き取る、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記巻取ローラは、巻取量の増大に伴って巻取ローラの軸線位置を変位させる回転アームの自由端側に支持される、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
また、前記回転アームは、ばねを介して前記駆動ローラの外周面に接する方向に付勢される、という構成を採っている。
【００１０】
また、本発明は、駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを用いて帯状シートを巻き取る方法において、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込んで当該帯状シートのリード端を巻取ローラに固定し、
前記駆動ローラを回転駆動させることで巻取ローラが回転して前記帯状シートが巻き取られることを特徴とする巻取方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、駆動ローラと巻取ローラとの間にシートが挟まれて当該シートのリード端が巻取ローラに固定されるので、駆動ローラの駆動によって巻取ローラがシートを巻き取る方向に追従回転するようになり、これにより、シートをスムースに巻き取ることができるとともに、巻取ローラをモータ等で直接回転駆動した場合の巻取不良を未然に防止することができる他、複雑な制御も一掃することができる。
【００１２】
また、巻取ローラは回転アームの自由端側に支持されているので、その軸線位置を変位させることで巻取径の増大に難なく対応することができる。
【００１３】
また、前記回転アームは駆動ローラの外周面にばね付勢されているので、シートを挟み付ける力が常に安定して維持されることとなり、巻き取りに際して滑り等を生ずることもない。
【００１４】
その上、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転したとしても、巻取ローラには駆動源がないので手を巻き込まれてしまうという危険性はなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付する押圧ローラ１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター１５と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離する剥離装置１６と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１７とを備えて構成されている。
【００１７】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置された張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持する貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。なお、前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００１８】
前記張力測定手段３５は、ロードセル３９と、当該ロードセルに支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とにより構成されている。張力測定ローラ４０は、ガイドローラ２７とブレーキシュー３２とで挟み込まれて前記押圧ローラ１４との間に繰り出された接着シートＳの張力により引っ張られることで、ロードセル３９にその張力を伝えるように構成されている。そして、前記ロードセル３９は、前記繰り出された接着シートＳの張力を測定しながら貼付角度維持手段３７を介して、後述する繰出ヘッド４９が図１中斜め下方へ変位することによって接着シートＳの張力を一定に保つようになっている。
【００１９】
前記貼付角度維持手段３７は、前記押圧ローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度θを一定に保つように構成されている。この貼付角度維持手段３７は、ガイドローラ２７，２８，２９、ロードセル３９、張力測定ローラ４０、ブレーキシュー３２，４２，シリンダ３８，４８，ピールプレート２２及びこれらを支える一対のスライド板４３，４３により構成された繰出ヘッド４９と、当該繰出ヘッド４９を上下に案内する一対のガイドレール４５，４５と、繰出ヘッド４９に昇降力を付与する一対の単軸ロボット４６，４６とを備えて構成されている。ガイドレール４５及び単軸ロボット４６は傾斜姿勢に配置されており、この傾斜角度に沿って繰出ヘッド４９が昇降可能となっている。なお、ピールプレート２２は、スライド板４３の内側に配置されたシリンダ５０に支持されており、図１中Ｘ方向に進退可能に設けられ、これにより、ウエハＷの直径に応じてピールプレート２２の先端位置調整を行えるようになっている。
【００２０】
前記テーブル１３は、図３に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、単軸ロボット５４を介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、単軸ロボット５６を介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２１】
前記押圧ローラ１４は、門型フレーム５７を介して支持されている。門型フレーム５７の上面側には、シリンダ５９，５９が設けられており、これらシリンダ５９の作動により押圧ローラ１４が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム５７は、図２に示されるように、単軸ロボット６０及びガイドレール６１を介して図１中Ｘ方向に移動可能に設けられている。
【００２２】
前記カッター１５は、テーブル１３の上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられている。このカッター１５は、回転中心軸６５に固定された回転アーム６６と、この回転アーム６６に支持されたカッター刃６７とにより構成され、当該カッター刃６７を回転中心軸６５回りに回転させることで、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断できるようになっている。
【００２３】
前記剥離装置１６は、図１及び図４、図５に示されるように、小径ローラ７０と、大径ローラ７１とにより構成されている。これら小径ローラ７０及び大径ローラ７１は、移動フレームＦに支持されている。この移動フレームＦは、図２中Ｙ方向沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結部材７３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２は、単軸ロボット７５に支持されている一方、前部フレームＦ１は、前記ガイドレール６１に支持され、これにより、移動フレームＦは、図２中Ｘ方向に移動可能となっている。大径ローラ７１は、図１に示されるように、アーム部材７４に支持されているとともに、当該アーム部材７４はシリンダ７８によって大径ローラ７１が小径ローラ７０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００２４】
前記巻取装置１７は、移動フレームＦに支持された駆動ローラ８０と、回転アーム８４の自由端側に支持され、ばね８５を介して駆動ローラ８０の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ８１とにより構成されている。駆動ローラ８０の軸端には、駆動源としての駆動モータＭが配置されており、当該モータＭの駆動により、駆動ローラ８０が回転し、巻取ローラ８１がこれに追従回転することで不要接着シートＳ１が巻き取られるようになっている。なお、巻取ローラ８１は、巻取量が増大するに従って、ばね８５の力に抗して図１中右方向へ回転することとなる。
【００２５】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について、図４及び図５をも参照しながら説明する。
【００２６】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳから接着シートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、接着シートＳのリード端は、押圧ローラ１４，剥離装置１６を経由して巻取装置１７の巻取ローラ８１に固定される。この際、繰出ヘッド４９の先端を構成するピールプレート２２は、最上昇位置（図１、図４（Ａ）参照）にあり、当該ピールプレート２２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳは、図１に示されるように、テーブル１３上に配置されるウエハＷの面に対して所定の貼付角度θとなるように設定されている。また、ピールプレート２２は、当該ピールプレート２２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの長さが、ウエハＷの一端から他端、すなわち図４中右端から左端までの長さよりも僅かに長くなるように、シリンダ５０を介して先端の位置調整が行われる。
【００２７】
図示しない移載アームを介してテーブル１３上にウエハＷがセットされた状態で貼付動作が開始される。なお、貼付動作に先立って、ガイドローラ２７、２９にはブレーキシュー３２，４２が当接して接着シートＳの繰り出しが抑制される。そして、テーブル１３が静止した状態で、押圧ローラ１４が回転しながらウエハＷ上を図４中左側に移動する。この押圧ローラの移動に伴って、接着シートＳには張力が加わり、張力測定ローラ４０がＸ方向へ引っ張られることとなる。そこでロードセル３９がその張力を測定することによって、所定張力を維持するために貼付角度維持手段３７を使って繰出ヘッド４９を斜め下方へ下げる。つまり、ロードセル３９が張力を測定し、そのデータを基に所定の張力となるように一対の単軸ロボット４６に指令を出すように制御される。
従って、結果的に、繰出ヘッド４９が、ガイド４５及び単軸ロボット４６（図１参照）の傾斜角度に沿って次第に下降し、これにより、ピールプレート２２の先端と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの長さが短くなっても貼付角度θが常に一定となるように維持されることとなる。
【００２８】
本実施形態では、上記のように押圧ローラ１４が貼付動作を行う間、ロードセル３９によって接着シートＳの張力を測定しながら繰出ヘッド４９を下降させるので、結果的に貼付角度θが維持されることになるが、繰出ヘッド４９の下降制御はロードセル３９を省略することもできる。すなわち、図４（Ａ）に示されるように、押圧ローラ１４の最下点の位置と、ピールプレート２２の貼付時初期の先端位置をそれぞれＰ１，Ｐ２とし、接着シートＳを貼り終えた時点のピールプレートの先端位置をＰ３とし、角Ｐ２，Ｐ１，Ｐ３の貼付角度をθとしたとき、押圧ローラ１４が単軸ロボット６０によって移動して点Ｐ１，Ｐ３の距離が短くなるに従い、ピールプレート２２の高さすなわち、点Ｐ２，Ｐ３間の距離も短くなるように貼付角度維持手段３７を構成する繰出ヘッド４９をガイドバー４５に沿って下降させて、常に貼付角度θを維持するように単軸ロボット４６、６０を同期制御することもできる。なお、繰出ヘッド４９の移動量は三角関数によって簡単に導き出せる。このように押圧ローラ１４の移動距離の検出に基づいて貼付角度θを一定に維持することで、ロードセル３９を用いた張力制御と同様の作用、効果を生じせしめることができ、本発明においては、これらの制御を選択的に採用することができる。
【００２９】
図４（Ｄ）、（Ｅ）に示されるように、接着シートＳの貼付が完了すると、カッター１５が下降してウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断を行い、その後にカッター１５が上昇して初期位置（図１参照）に復帰する。この際、ピールプレート２２の先端はウエハＷの左端近傍に位置し、これにより、ピールプレート２２の先端位置から左側に存在する接着シート領域を次のウエハＷへの接着領域とすることができ、接着シートＳを無駄に消費することがないようになっている。
【００３０】
次いで、ウエハＷが移載装置を介してテーブル１３から取り去られると、図５に示されるように、押圧ローラ１４が上昇し、剥離装置１６を構成する小径ローラ７０及び大径ローラ７１が左側に移動するとともに、巻取装置１７の駆動ローラ８０が駆動して不要接着シートＳ１を巻き取ることで、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離することができる。
【００３１】
そして、ブレーキシュー３２，４２がガイドローラ２７，２９から離れて原反Ｌの繰り出しを可能とすると共に、駆動ローラ８０がロックした状態で剥離装置１６と巻取装置１７が初期位置に復帰することによって、新しい接着シートＳが引き出され、新たなウエハＷが再びテーブル１３上に移載される。
【００３２】
従って、このような実施形態によれば、不要接着シートＳ１は、駆動ローラ８０が回転することで、巻取ローラ８１が追従して回転するので、当該追従回転によって不要接着シートＳ１を巻き取ることができる、という効果を得る。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３４】
例えば、前記実施形態では、板状部材がウエハである場合を示したが、ウエハ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【００３５】
また、回転アーム８４にシリンダ等による駆動装置を設け、不要接着シートＳ１の巻き径が所定の大きさになったことをセンサで検知して、その駆動源によって回転アーム８４を図１中右方向に回転させて、完全に駆動ローラ８０から縁を切るようにすることもできる。このように構成することによって、巻き取ったシートを巻取ローラから取り外すときに、何らかの原因で巻取用のモータが回転したとしても、巻取ローラは強制的に駆動源から切り離されているので、手を巻き込まれてしまうという危険性は更に低くなる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】テーブルの概略断面図。
【図４】接着シートの貼付動作説明図。
【図５】剥離装置による不要接着シートの剥離動作説明図。
【符号の説明】
【００３７】
１０ シート貼付装置
１７ 巻取装置
８０ 駆動ローラ
８１ 巻取ローラ
８４ 回転アーム
８５ ばね
Ｍ モータ
Ｌ 原反
ＰＳ 剥離シート
Ｓ 接着シート
Ｓ１ 不要接着シート
Ｗ ウエハ（板状部材）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを備え、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込むとともに、前記巻取ローラに前記シートのリード端を固定することで、前記駆動ローラの駆動によって巻取ローラが帯状シートを巻き取ることを特徴とする巻取装置。
【請求項２】
前記巻取ローラは、巻取量の増大に伴って巻取ローラの軸線位置を変位させる回転アームの自由端側に支持されていることを特徴とする請求項１記載の巻取装置。
【請求項３】
前記回転アームは、ばねを介して前記駆動ローラの外周面に接する方向に付勢されていることを特徴とする請求項１又は２記載の巻取装置。
【請求項４】
駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを用いて帯状シートを巻き取る方法において、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込んで当該帯状シートのリード端を巻取ローラに固定し、
前記駆動ローラを回転駆動させることで巻取ローラが回転して前記帯状シートが巻き取られることを特徴とする巻取方法。
【請求項１】
駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを備え、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込むとともに、前記巻取ローラに前記シートのリード端を固定することで、前記駆動ローラの駆動によって巻取ローラが帯状シートを巻き取ることを特徴とする巻取装置。
【請求項２】
前記巻取ローラは、巻取量の増大に伴って巻取ローラの軸線位置を変位させる回転アームの自由端側に支持されていることを特徴とする請求項１記載の巻取装置。
【請求項３】
前記回転アームは、ばねを介して前記駆動ローラの外周面に接する方向に付勢されていることを特徴とする請求項１又は２記載の巻取装置。
【請求項４】
駆動源に連結された駆動ローラと、当該駆動ローラに当接して追従回転する巻取ローラとを用いて帯状シートを巻き取る方法において、
前記駆動ローラと巻取ローラとの間に帯状シートを挟み込んで当該帯状シートのリード端を巻取ローラに固定し、
前記駆動ローラを回転駆動させることで巻取ローラが回転して前記帯状シートが巻き取られることを特徴とする巻取方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００７−１５８１８（Ｐ２００７−１５８１８Ａ）
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１９８８１０（Ｐ２００５−１９８８１０）
【出願日】平成１７年７月７日（２００５．７．７）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年７月７日（２００５．７．７）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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