搬送装置
【課題】 搬送経路内が真空の状態で用いられても振動フィーダの振動のバランスを良好に維持して、被搬送物の搬送を円滑に行い得る搬送装置の提供。
【解決手段】 ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に往復振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの振動を吸収するための弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されている構成の搬送装置。
【解決手段】 ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に往復振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの振動を吸収するための弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されている構成の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動フィーダによって、ホッパーから供給された被搬送物を処理装置側へ搬送するよう構成された搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホッパーから供給された被搬送物を振動フィーダの振動搬送によって処理装置側へ搬送するよう構成された搬送装置として、下記特許文献１に示す技術が提案されている。
この搬送装置は、振動フィーダにトラフを備え、トラフの搬送面は囲繞体で囲繞されて囲繞体の内部と外部とが遮断されている。ホッパーと囲繞体の入口側内部、囲繞体の出口側内部と処理装置とは、ベローズ（伸縮継手）を介して連通接続され、ベローズにより振動フィーダの水平方向の力を打ち消すよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１９８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、処理装置の内部を真空にして用いる場合では、搬送装置において被搬送物の搬送経路内が真空になる。そうなると、搬送装置全体が処理装置側へ引かれ、引かれる力に応じた分だけトラフが正規位置から偏移してしまう。このような状態で振動フィーダを駆動すると、振動フィーダの振動のバランスが崩れ、被搬送物の搬送が円滑に行われない。
【０００５】
そこで本発明は、搬送経路内が真空の状態で用いられても振動フィーダの振動のバランスを良好に維持して、被搬送物の搬送を円滑に行い得る搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送装置は、ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に往復振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの振動を吸収するための弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されていることを特徴としている。
【０００７】
上記構成において、処理装置内を真空にすることで、第一ベローズが処理装置側へ縮む方向に弾性変形するような、トラフを処理装置側へ引く方向の力が発生するものの、第一ベローズの弾性復元力と等しい弾性復元力を有する第二ベローズの他端部が支持部材に固定されていてトラフを処理装置側へ引く方向の力を弾性復元力によって相殺する。このため、処理装置内が真空になってもトラフに偏移がなく、したがって振動フィーダの振動のバランスが崩れることを抑制し、ホッパーからトラフ内に供給された被搬送物は、トラフの往復振動により処理装置側へ円滑に搬送される。
【０００８】
また、第二ベローズとして第一ベローズと同様の構成のものを用いることにより、トラフを処理装置側へ引く方向の力に対抗するような特別な弾性体を設計する手間を必要とすることなく、振動フィーダの振動のバランスが崩れることを抑制して、ホッパーからトラフ内に供給された被搬送物を、トラフの往復振動により処理装置側へ円滑に搬送させられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の搬送装置では、処理装置内を真空にすることでトラフを処理装置側へ引く方向の力を、第一ベローズと等しい弾性復元力を有する第二ベローズによって相殺するから、振動フィーダの振動のバランスを良好に維持して、被搬送物の搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態を示す搬送装置の側面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下図１の側面図に基づいて、本発明の実施形態に係る搬送装置１の構成を説明する。
搬送装置１は、振動フィーダ２とトラフ３とを有する。振動フィーダ２は、基台Ｇに、立設した脚部材２３，２４によって支持されている。振動フィーダ２は振動部２１と振動発生部２２とから構成され、振動部２１が前側（一方側）の脚部材２３の上端部に支持され、振動発生部２２が後側（他方側）の脚部材２４によって支持されている。
【００１２】
トラフ３は水平軸Ｈを軸心とする筒状に形成され、振動フィーダ２の振動部２１に一体的に取付けられている。トラフ３の上方にはホッパー８が配置され、被搬送物Ｓはホッパー８からトラフ３に落下供給される。ホッパー８はその下部に、トラフ３の上部に挿入される供給口部８０を有する。
振動フィーダ２は、ホッパー８の供給口部８０からトラフ３に供給された被搬送物Ｓを、トラフ３の前側（一方側）に配置した処理装置９へ搬送するために、トラフ３を前側と処理装置９側の反対側である後側（他方側）とに往復振動させる。
【００１３】
搬送装置１は、水平軸Ｈを軸心とする第一ベローズ４および第二ベローズ５を有する。第一ベローズ４は、振動フィーダ２の振動を吸収するための弾性復元力を有して、トラフ３の前部３１と処理装置９の入口部９０とを接続する構成である。
トラフ３の前側部分は第一ベローズ４の内部を挿通し、トラフ３の前端部は処理装置９の内部に開放されている。
【００１４】
第一ベローズ４は、ステンレス製の伸縮継手であり、前後両端部にフランジ４０，４１を有し、フランジ４０，４１の間が伸縮部４２とされている。前部のフランジ４０が処理装置９の入口部９０に連結され、後部のフランジ４１がトラフ３の前側途中部分に形成したフランジ３１０に連結されている。
【００１５】
第二ベローズ５は、処理装置９側へトラフ３が引かれる方向の力を弾性復元力によって相殺するための部材である。処理装置９側へトラフ３が引かれる方向の力は、処理装置９の内部を真空にすることにより発生する。
第二ベローズ５の弾性復元力は、第一ベローズ４の弾性復元力に等しく設定されている。第二ベローズ５は、第一ベローズ４と同様の構成を有する。すなわち第二ベローズ５は、ステンレス製の伸縮継手であり、前後両端部にフランジ５０，５１を有し、フランジ５０，５１の間が伸縮部５２とされている。
【００１６】
トラフ３の後部３２は第二ベローズ５の内部を挿通しており、トラフ３の後端部が第二ベローズ５の後端部のフランジ５１と同一鉛直面にある。第二ベローズ５の前端部のフランジ５０が、トラフ３の後側途中部分に形成したフランジ３１１に連結されている。
【００１７】
搬送装置１は、第二ベローズ５の後端部分を位置決め固定することで、不動に支持する支持部材６を有する。支持部材６は上下方向に沿う柱部材６０と、梁部材６１とから正面視して門型形状に形成されている。柱部材６０は左右一対で設けられ（図では一方のみ表れている）、それぞれ基台Ｇに立設固定されている。梁部材６１は左右両側の柱部材６０の上部に架渡すように配置されている。第二ベローズ５の後端部のフランジ５１が、梁部材６１に設けたフランジ６２に連結されている。
【００１８】
符号３３は、鉛直軸Ｖを軸心としてトラフ３の上部に立設された供給管部材を示している。供給管部材３３の上端部にはフランジ３３０が形成されている。供給管部材３３の内部をホッパー８の供給口部８０が挿通している。
符号７は、第三ベローズを示している。第三ベローズ７は鉛直軸Ｖを軸心とし、下端部および上端部にフランジ７０，７１を有し、フランジ７０，７１の間が伸縮部７２とされている。下端部のフランジ７０は供給管部材３３のフランジ３３０に連結されている。上端部のフランジ７１はホッパー８のフランジ８１に連結されている。
【００１９】
上記構成の搬送装置１では、処理装置９の内部を真空にして被搬送物Ｓを処理する。そうすると搬送装置１のトラフ３の内部も真空になる。したがって、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生している。また、ホッパー８から自由落下で、被搬送物Ｓが供給口部８０から、トラフ３内に供給され、トラフ３内に供給された被搬送物Ｓは、振動フィーダ２の駆動によりトラフ３が水平方向（前後方向）へ往復振動することで、順次処理装置９側に搬送され、供給口部８０から処理装置９に供給される。
【００２０】
処理装置９の内部を真空にして被搬送物Ｓを処理すると、搬送装置１のトラフ３の内部も真空になる。したがって、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生している。
しかしながら、この処理装置９は第二ベローズ５を有し、第二ベローズ５の前端部分がトラフ３の後部に接続され、第二ベローズ５の後端部分は支持部材６に不動に支持されている。この構成により、第二ベローズ５はその弾性復元力により前記力に抵抗している。つまり第二ベローズ５の弾性復元力は前記力を相殺する方向に働いている。このため、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生していても、搬送装置１には、該力が働いていない状態と看做すことができる。
【００２１】
処理装置９の内部を真空にすると搬送装置１のトラフ３の内部も真空になり、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生すると、第一ベローズ４のみでは、該力に応じた分だけ第一ベローズ４が縮むことになり、第一ベローズ４が縮んだ状態では振動フィーダ２の振動のバランスが崩れ、被搬送物Ｓの搬送が円滑に行われなくなる。
しかしながら、この実施形態の搬送装置１では、第二ベローズ５がその弾性復元力により前記力を相殺するから、前記力によるトラフ３の偏移がなく、したがって振動フィーダ２の振動のバランスを良好に保つことができ、被搬送物Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
【００２２】
また、第二ベローズ５として第一ベローズ４と同様の構成のベローズを用いているから、前記力を相殺することが可能な弾性復元力を有するベローズを特別に設計する必要がなく、製造コストも最小限に抑えることができる。
【００２３】
上記実施形態では、処理装置９の内部を真空にすることに伴って生じる、トラフ３を処理装置９側へ引く力をベローズを用いて相殺するよう構成したが、これに限定されず、第二ベローズ５の代わりに、第二ベローズ５（第一ベローズ４）と等しい弾性復元力を有するバネを用いることができ、この場合も上記実施形態と同様の作用効果を奏し得る。
【００２４】
なお真空とは、それに近い状態、あるいは外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態も含む概念である。すなわち、トラフ３を処理装置９側へ引く力は、処理装置９の内部が真空の状態で発生するが、真空でなくともそれに近い状態、あるいは真空状態に到達するまで外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態であっても、トラフ３は処理装置９側へ引かれる力を受けることが考えられる。このような、外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態において、第一ベローズ４が縮もうとする力を第二ベローズ５が、その弾性復元力により相殺する。よってトラフ３の偏移がなく、振動フィーダ２の振動のバランスを良好に保つことができ、被搬送物Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
また、弾性復元力は全く等しくなくとも良い。
【００２５】
また、第二ベローズ５やこれに代わるバネを、支持部材６０とトラフ３とを接続するよう設ける代わりに、第一ベローズ４と処理装置９の入口部９０の間に、前記力に対抗するようトラフ３を後方へ押すバネを設けるようにして、前記力を相殺するよう構成することもできる。
【符号の説明】
【００２６】
１…搬送装置、２…振動フィーダ、３…トラフ、４…第一ベローズ、５…第二ベローズ、６…支持部材、９…処理装置、Ｓ…被搬送物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動フィーダによって、ホッパーから供給された被搬送物を処理装置側へ搬送するよう構成された搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホッパーから供給された被搬送物を振動フィーダの振動搬送によって処理装置側へ搬送するよう構成された搬送装置として、下記特許文献１に示す技術が提案されている。
この搬送装置は、振動フィーダにトラフを備え、トラフの搬送面は囲繞体で囲繞されて囲繞体の内部と外部とが遮断されている。ホッパーと囲繞体の入口側内部、囲繞体の出口側内部と処理装置とは、ベローズ（伸縮継手）を介して連通接続され、ベローズにより振動フィーダの水平方向の力を打ち消すよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１９８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、処理装置の内部を真空にして用いる場合では、搬送装置において被搬送物の搬送経路内が真空になる。そうなると、搬送装置全体が処理装置側へ引かれ、引かれる力に応じた分だけトラフが正規位置から偏移してしまう。このような状態で振動フィーダを駆動すると、振動フィーダの振動のバランスが崩れ、被搬送物の搬送が円滑に行われない。
【０００５】
そこで本発明は、搬送経路内が真空の状態で用いられても振動フィーダの振動のバランスを良好に維持して、被搬送物の搬送を円滑に行い得る搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送装置は、ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に往復振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの振動を吸収するための弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されていることを特徴としている。
【０００７】
上記構成において、処理装置内を真空にすることで、第一ベローズが処理装置側へ縮む方向に弾性変形するような、トラフを処理装置側へ引く方向の力が発生するものの、第一ベローズの弾性復元力と等しい弾性復元力を有する第二ベローズの他端部が支持部材に固定されていてトラフを処理装置側へ引く方向の力を弾性復元力によって相殺する。このため、処理装置内が真空になってもトラフに偏移がなく、したがって振動フィーダの振動のバランスが崩れることを抑制し、ホッパーからトラフ内に供給された被搬送物は、トラフの往復振動により処理装置側へ円滑に搬送される。
【０００８】
また、第二ベローズとして第一ベローズと同様の構成のものを用いることにより、トラフを処理装置側へ引く方向の力に対抗するような特別な弾性体を設計する手間を必要とすることなく、振動フィーダの振動のバランスが崩れることを抑制して、ホッパーからトラフ内に供給された被搬送物を、トラフの往復振動により処理装置側へ円滑に搬送させられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の搬送装置では、処理装置内を真空にすることでトラフを処理装置側へ引く方向の力を、第一ベローズと等しい弾性復元力を有する第二ベローズによって相殺するから、振動フィーダの振動のバランスを良好に維持して、被搬送物の搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態を示す搬送装置の側面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下図１の側面図に基づいて、本発明の実施形態に係る搬送装置１の構成を説明する。
搬送装置１は、振動フィーダ２とトラフ３とを有する。振動フィーダ２は、基台Ｇに、立設した脚部材２３，２４によって支持されている。振動フィーダ２は振動部２１と振動発生部２２とから構成され、振動部２１が前側（一方側）の脚部材２３の上端部に支持され、振動発生部２２が後側（他方側）の脚部材２４によって支持されている。
【００１２】
トラフ３は水平軸Ｈを軸心とする筒状に形成され、振動フィーダ２の振動部２１に一体的に取付けられている。トラフ３の上方にはホッパー８が配置され、被搬送物Ｓはホッパー８からトラフ３に落下供給される。ホッパー８はその下部に、トラフ３の上部に挿入される供給口部８０を有する。
振動フィーダ２は、ホッパー８の供給口部８０からトラフ３に供給された被搬送物Ｓを、トラフ３の前側（一方側）に配置した処理装置９へ搬送するために、トラフ３を前側と処理装置９側の反対側である後側（他方側）とに往復振動させる。
【００１３】
搬送装置１は、水平軸Ｈを軸心とする第一ベローズ４および第二ベローズ５を有する。第一ベローズ４は、振動フィーダ２の振動を吸収するための弾性復元力を有して、トラフ３の前部３１と処理装置９の入口部９０とを接続する構成である。
トラフ３の前側部分は第一ベローズ４の内部を挿通し、トラフ３の前端部は処理装置９の内部に開放されている。
【００１４】
第一ベローズ４は、ステンレス製の伸縮継手であり、前後両端部にフランジ４０，４１を有し、フランジ４０，４１の間が伸縮部４２とされている。前部のフランジ４０が処理装置９の入口部９０に連結され、後部のフランジ４１がトラフ３の前側途中部分に形成したフランジ３１０に連結されている。
【００１５】
第二ベローズ５は、処理装置９側へトラフ３が引かれる方向の力を弾性復元力によって相殺するための部材である。処理装置９側へトラフ３が引かれる方向の力は、処理装置９の内部を真空にすることにより発生する。
第二ベローズ５の弾性復元力は、第一ベローズ４の弾性復元力に等しく設定されている。第二ベローズ５は、第一ベローズ４と同様の構成を有する。すなわち第二ベローズ５は、ステンレス製の伸縮継手であり、前後両端部にフランジ５０，５１を有し、フランジ５０，５１の間が伸縮部５２とされている。
【００１６】
トラフ３の後部３２は第二ベローズ５の内部を挿通しており、トラフ３の後端部が第二ベローズ５の後端部のフランジ５１と同一鉛直面にある。第二ベローズ５の前端部のフランジ５０が、トラフ３の後側途中部分に形成したフランジ３１１に連結されている。
【００１７】
搬送装置１は、第二ベローズ５の後端部分を位置決め固定することで、不動に支持する支持部材６を有する。支持部材６は上下方向に沿う柱部材６０と、梁部材６１とから正面視して門型形状に形成されている。柱部材６０は左右一対で設けられ（図では一方のみ表れている）、それぞれ基台Ｇに立設固定されている。梁部材６１は左右両側の柱部材６０の上部に架渡すように配置されている。第二ベローズ５の後端部のフランジ５１が、梁部材６１に設けたフランジ６２に連結されている。
【００１８】
符号３３は、鉛直軸Ｖを軸心としてトラフ３の上部に立設された供給管部材を示している。供給管部材３３の上端部にはフランジ３３０が形成されている。供給管部材３３の内部をホッパー８の供給口部８０が挿通している。
符号７は、第三ベローズを示している。第三ベローズ７は鉛直軸Ｖを軸心とし、下端部および上端部にフランジ７０，７１を有し、フランジ７０，７１の間が伸縮部７２とされている。下端部のフランジ７０は供給管部材３３のフランジ３３０に連結されている。上端部のフランジ７１はホッパー８のフランジ８１に連結されている。
【００１９】
上記構成の搬送装置１では、処理装置９の内部を真空にして被搬送物Ｓを処理する。そうすると搬送装置１のトラフ３の内部も真空になる。したがって、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生している。また、ホッパー８から自由落下で、被搬送物Ｓが供給口部８０から、トラフ３内に供給され、トラフ３内に供給された被搬送物Ｓは、振動フィーダ２の駆動によりトラフ３が水平方向（前後方向）へ往復振動することで、順次処理装置９側に搬送され、供給口部８０から処理装置９に供給される。
【００２０】
処理装置９の内部を真空にして被搬送物Ｓを処理すると、搬送装置１のトラフ３の内部も真空になる。したがって、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生している。
しかしながら、この処理装置９は第二ベローズ５を有し、第二ベローズ５の前端部分がトラフ３の後部に接続され、第二ベローズ５の後端部分は支持部材６に不動に支持されている。この構成により、第二ベローズ５はその弾性復元力により前記力に抵抗している。つまり第二ベローズ５の弾性復元力は前記力を相殺する方向に働いている。このため、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生していても、搬送装置１には、該力が働いていない状態と看做すことができる。
【００２１】
処理装置９の内部を真空にすると搬送装置１のトラフ３の内部も真空になり、真空の程度に応じた分の力が搬送装置１を処理装置９側へ引く力として発生すると、第一ベローズ４のみでは、該力に応じた分だけ第一ベローズ４が縮むことになり、第一ベローズ４が縮んだ状態では振動フィーダ２の振動のバランスが崩れ、被搬送物Ｓの搬送が円滑に行われなくなる。
しかしながら、この実施形態の搬送装置１では、第二ベローズ５がその弾性復元力により前記力を相殺するから、前記力によるトラフ３の偏移がなく、したがって振動フィーダ２の振動のバランスを良好に保つことができ、被搬送物Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
【００２２】
また、第二ベローズ５として第一ベローズ４と同様の構成のベローズを用いているから、前記力を相殺することが可能な弾性復元力を有するベローズを特別に設計する必要がなく、製造コストも最小限に抑えることができる。
【００２３】
上記実施形態では、処理装置９の内部を真空にすることに伴って生じる、トラフ３を処理装置９側へ引く力をベローズを用いて相殺するよう構成したが、これに限定されず、第二ベローズ５の代わりに、第二ベローズ５（第一ベローズ４）と等しい弾性復元力を有するバネを用いることができ、この場合も上記実施形態と同様の作用効果を奏し得る。
【００２４】
なお真空とは、それに近い状態、あるいは外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態も含む概念である。すなわち、トラフ３を処理装置９側へ引く力は、処理装置９の内部が真空の状態で発生するが、真空でなくともそれに近い状態、あるいは真空状態に到達するまで外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態であっても、トラフ３は処理装置９側へ引かれる力を受けることが考えられる。このような、外気圧に対してトラフ３の内部が減圧された状態において、第一ベローズ４が縮もうとする力を第二ベローズ５が、その弾性復元力により相殺する。よってトラフ３の偏移がなく、振動フィーダ２の振動のバランスを良好に保つことができ、被搬送物Ｓの搬送を円滑に行うことができる。
また、弾性復元力は全く等しくなくとも良い。
【００２５】
また、第二ベローズ５やこれに代わるバネを、支持部材６０とトラフ３とを接続するよう設ける代わりに、第一ベローズ４と処理装置９の入口部９０の間に、前記力に対抗するようトラフ３を後方へ押すバネを設けるようにして、前記力を相殺するよう構成することもできる。
【符号の説明】
【００２６】
１…搬送装置、２…振動フィーダ、３…トラフ、４…第一ベローズ、５…第二ベローズ、６…支持部材、９…処理装置、Ｓ…被搬送物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの水平方向の力を吸収可能な弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、
該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項１】
ホッパーから供給された被搬送物を真空状態で処理可能な処理装置側へ搬送するための筒状のトラフと、該トラフをその一方側である処理装置側と該処理装置側の反対側である他方側に振動させる振動フィーダと、該振動フィーダの水平方向の力を吸収可能な弾性復元力を有して、前記トラフの一端側と処理装置を接続する第一ベローズとを備え、
該第一ベローズの弾性復元力に等しい弾性復元力を有する第二ベローズが設けられ、該第二ベローズの一端部は前記トラフの他端側に接続され、該第二ベローズの他端部は、位置決めされた支持部材に固定されていることを特徴とする搬送装置。
【図１】
【公開番号】特開２０１１−１３１９５３（Ｐ２０１１−１３１９５３Ａ）
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２９０６６８（Ｐ２００９−２９０６６８）
【出願日】平成２１年１２月２２日（２００９．１２．２２）
【出願人】（０００００２０５９）シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月２２日（２００９．１２．２２）
【出願人】（０００００２０５９）シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Ｆターム（参考）】
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