表面処理装置
【課題】表面処理液が、処理を所望しない裏面側へ回り込むことを防止しつつ、被処理面の端部領域も高精度に処理を施すことが可能な表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１は、処理液Ｘをシート材１０の被処理面１６に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置１であって、端部領域処理面１７ｃを有する端部領域処理部３を備えている。端部領域処理面１７ｃは、シート材１０の被処理面１６に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、端部領域処理部３の下端部１７ａは、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部に対して接するように配置されている。
【解決手段】表面処理装置１は、処理液Ｘをシート材１０の被処理面１６に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置１であって、端部領域処理面１７ｃを有する端部領域処理部３を備えている。端部領域処理面１７ｃは、シート材１０の被処理面１６に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、端部領域処理部３の下端部１７ａは、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部に対して接するように配置されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理液を被処理物の被処理面に流下させて表面処理を施す表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シート材などの長尺の薄体に対し、メッキなどの表面処理を施す場合には、その薄体を長尺方向に沿って走行させ、表面処理装置の中を順に通過させていく。そして、この表面処理装置の中で、連続的に、薄体の表面処理を行う。このような表面処理装置では、薄体の一方の面のみに選択的に表面処理を施す場合には、薄体の面方向を垂直に保持した状態で、その薄体の一方の面（被処理面）のみに表面処理液を流下させて表面処理を施す。しかし、このとき、表面処理液の一部が、処理を所望しない裏面側へ回り込んでしまうという問題がある。そこで、この問題に対し、薄体の上端部に近接して板材を設ける構成がある。これは、この板材を、表面処理液の回り込みを防止するための壁として用いる手法である（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭６１−１２７８９５号公報（昭和６１年６月１６日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような構成の表面処理装置においても、被処理物（薄体）の直線性やスティフネス性により、板材と被処理物との間に隙間が生じ、非処理面側に処理液の回り込み（乗り越え）が起きてしまう恐れがある。
【０００４】
そこで、本発明は、表面処理液が、処理を所望しない裏面側へ回り込むことを防止しつつ、被処理面の端部領域も高精度に処理を施すことが可能な表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明に係る表面処理装置は、表面処理液を被処理物の被処理面に沿って流下させて表面処理を施すための表面処理装置であって、第１ガイド面を有する第１部材を備えている。第１ガイド面は、被処理物の被処理面における端部領域に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、第１部材の端部は、表面処理液の一部に対して接するように配置されている。
【０００６】
ここでは、被処理物（例えば、シート材）の表面に、メッキなどの、表面処理を施す表面処理装置において、被処理物の一方の面を選択的に表面処理しつつ、被処理面の端部領域にまで表面処理を施すことを可能にするための構成を採用している。
【０００７】
ここで、微小隙間とは、被処理物の被処理面と側壁部の面との間で、表面処理液が毛細管力によって液面が入り込む程度の隙間である。これは、液体の種類や密度などによって変化するが、例えば、０．３ｍｍ程度である。また、第１部材の端部が接する表面処理液は、被処理物の被処理面に沿って流下している表面処理液であってもよいし、他の部材の表面を流れる表面処理液であってもよい。
【０００８】
このような構成によると、第１部材の端部に接触した表面処理液の一部が、毛細管力（表面張力）によって、被処理物の被処理面と第１ガイド面との間の隙間に入り込む。また、被処理面が存在しなくなる領域では、第１ガイド面と対向する面が存在しなくなる。このため、被処理面の端部より外側の領域では毛細管現象が発生せず、必然的に、表面処理液が被処理面の端部で止まることになる。この結果、被処理面の端部領域にも表面処理液を行き届かせること、および被処理物の他の面（処理を所望しない面）への処理液の回りこみを防ぐことが可能になり、被処理面のみへの表面処理を高精度で実施することが可能になる。
【０００９】
第２の発明に係る表面処理装置は、第１の発明に係る表面処理装置であって、第２ガイド面を有する第２部材を備えている。第２ガイド面は、被処理面における第１部材が配置された領域以外の領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられている。
【００１０】
ここでは、被処理面の端部領域を除いた領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられた第２ガイド面を備えている。
これにより、表面処理液を、第２ガイド面に沿って流下させると同時に、被処理物の被処理面にも沿って流下させることができる。これは、第２ガイド面と被処理面との間が微小隙間であるため、表面処理液が毛細管力（表面張力）によって第２ガイド面と被処理面との両面に吸着するからである。この結果、毛細管力の働きによって、第２ガイド面と被処理面との対向面の間に表面処理液が行きわたり、ムラの少ない表面処理を行うことが可能になる。
【００１１】
第３の発明に係る表面処理装置は、第１または第２の発明に係る表面処理装置であって、第３ガイド面を有する第３部材と堰とを備えている。第３ガイド面は、第２ガイド面の一方の端部から略水平に設けられている。堰は、第３ガイド面の第２ガイド面とは反対側の端部に第３ガイド面から突出して設けられている。
【００１２】
ここでは、第３ガイド面を有する第３部材と、第３ガイド面から突出して設けられた堰と、を備えている。
ここで、表面処理液は、堰の第３ガイド面側とは反対側に供給される。
【００１３】
これにより、供給された表面処理液は、堰の高さを超えるまで一時的に堰き止められる。その後、堰から溢れた表面処理液が第３ガイド面へ流れ出す。すなわち、堰から溢れる表面処理液のみが、表面処理が行われる第１ガイド面側に供給される。この結果、例えば、シャワー形式などにより、直接的に表面処理液が第３ガイド面に供給される場合に比べ、表面処理液の流れの勢いを抑え、流量を一定に保つことが可能になり、第３ガイド面上における整流性も向上させることが可能になる。したがって、表面処理のムラを軽減することが可能になる。
【００１４】
第４の発明に係る表面処理装置は、第１から第３の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材が、板状の部材である。
これにより、第１部材の端部は、板形状における側面を含み、第１ガイド面は、板形状における一方の面とすることができる。つまり、板形状部材の側面が、表面処理液の液面に接する。そして、この端部から第１ガイド面と被処理物の被処理面との間の微小隙間へ、毛細管力によって表面処理液が入り込む。この結果、表面処理液が、被処理面の端部領域に行き届くことが、簡易な部材によって可能になる。また、装置にかかる費用を抑えつつ、被処理物の非処理領域を減少させ、資材の利用効率を上昇させることが可能になる。
【００１５】
第５の発明に係る表面処理装置は、第１から４の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材の端部が、曲面を含むように形成されている。
ここでは、第１部材の端部が、曲面を含んでいる。
ここで、曲面とは、例えば、円周面形状であってもよい。
【００１６】
そして、第１部材の端部における、被処理面の端部領域に対向する側に、この曲面が設けられていてもよい。つまり、第１ガイド面の端部を含むように曲面形状が形成されていることが好ましい。なお、この曲面は複数個設けられていてもよい。
【００１７】
これにより、第１部材の端部における被処理面に対向する部分（第１ガイド面の端部を含む部分）が、曲面になるため、例え被処理物に自由度があり、この自由度によって第１ガイド面と被処理面とが接触した状態になっても、第１ガイド面と被処理面との接触面積が微小面積に抑えられる。したがって、その接触している微小面積部分以外の部分は、第１ガイド面と被処理面との間に微小隙間が存在することになる。この結果、被処理物の自由度によらず、表面処理液が毛細管力によって入り込みやすい微小隙間を、第１ガイド面と被処理面との間に設けることが可能になる。
【００１８】
また、曲面形状は、第１ガイド面を含まなくてもよい。
また、第１部材の下端が曲面形状を成している形状であってもよい。
これにより、第１部材の下端において、この第１部材と表面処理液とが接する面積を大きく設けることができる。このため、表面処理液の毛細管力による入り込みが確実かつ容易になる。またさらに、被処理面の中央側から端部側方向に向けて、第１部材と被処理面との間隔が狭くなる形状であるため、毛細管力によって表面処理液が入り込みやすい。
この結果、表面処理にムラができることを抑えつつ、端部領域も高精度に表面処理することが可能になる。
【００１９】
第６の発明に係る表面処理装置は、第１から４のいずれか１つの発明に係る表面処理装置であって、第１部材の端部は、被処理面の端部側に近づくにつれて被処理面との間隔が狭くなるように形成されたテーパ形状である。
【００２０】
ここでは、第１部材の端部がテーパ形状を成している。
これにより、第１部材の表面処理液に接触している部分から第１ガイド面側に向けて、第１部材と被処理物との隙間が徐々に狭くなっているので、毛細管現象が発生しやすくなる。この結果、安定して表面処理液を被処理面の端部領域に供給することが可能になり、ムラのない表面処理が可能になる。
【００２１】
第７の発明に係る表面処理装置は、第１から第６の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材が、被処理物の被処理面と略平行な方向に移動可能である。
ここでは、第１部材は、被処理面に対し平行に移動させることが可能である。
【００２２】
これにより、表面処理液の流量が変化することなどによって、液面の位置が変化した場合でも、表面処理液と第１部材の端部とが接触している状態にさせることが可能になる。この結果、表面処理液の流量によらず、第１部材の端部が液面に接するように調整することができるため、確実に毛細管現象を発生させ、被処理面の端部領域を表面処理することが可能になる。
【００２３】
第８の発明に係る表面処理装置は、第１から第７の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材の第１ガイド面と被処理物の被処理面との距離は調整可能である。
【００２４】
ここでは、第１ガイド面と被処理面との距離は、調整することが可能である。
これにより、毛細管力を調整することが可能になる。すなわち、第１ガイド面と被処理面との微小隙間に、表面処理液が入り込む度合いを調整することが可能になる。この結果、被処理物の端部領域における処理領域を調整することが可能になる。また、毛細管力は、固液界面における固体表面と液体との親和性や、液体の密度などによって異なる。このため、本発明の構成によって、さまざまな表面処理液に対応することが可能になる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る表面処理装置によれば、表面処理液が、被処理物の処理を所望しない面へ回り込むことを防止しつつ、被処理面の端部領域にも高精度に処理を施すことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の一実施形態に係る表面処理装置１について、図１から図５を用いて説明すれば以下の通りである。
本実施形態の表面処理装置１は、幅３０ｃｍ、厚さ３８μｍの長尺のポリイミド膜を含むシート材１０に対して、メッキ処理等の表面処理するための装置である。なお、このシート材１０は、表面処理を施される前段階では、長尺方向に沿ってロール状に巻かれた状態で保持されているものとする。
【００２７】
［表面処理装置１の構成］
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１に示すように、主として、筐体部２と、ガイドローラ対９ａ，９ｂ（図３参照）と、処理液供給部Ｓと、処理部Ｐとを備えている。
【００２８】
（筐体部２）
筐体部２は、内側に空間を有する直方体形状の部材である。この筐体部２は、側面部１８ａ，１８ｂと底面部１９とを有している。
【００２９】
側面部１８ａには、シート材１０の入り口である搬入口２０が形成されている。一方、側面部１８ｂには、シート材１０の出口である搬出口２１が形成されている。これらの搬入口２０および搬出口２１は、矩形状の開口部である。
【００３０】
底面部１９は、矩形の面である。そして、底面部１９とこの底面部１９に連接する側面の一部とが、シート材１０の被処理面１６に対して表面処理を施し終えた後の処理液Ｘ（廃液）を一時的に溜める廃液溜め１９ａを形成している。
【００３１】
また、筐体部２は、塩化ビニル製の筐体であって、上部に開口部（図示しない）を有している。この開口部には、蓋部材（図示しない）が、気密性が高く、かつ開閉可能に開口部を塞ぐように配置されている。
【００３２】
（処理液供給部Ｓ）
次に、表面処理に用いる処理液Ｘを処理部Ｐに供給するための部材群である処理液供給部Ｓについて説明する。処理液供給部Ｓは、処理液Ｘを筐体部２内に流入させるための供給管７と、流入された処理液を一時的に溜めるための貯留部（第３部材）５とを備えている。
【００３３】
供給管７は、図２に示すように、処理液Ｘを筐体部２内に供給するために、筐体部２の上部に、外部から連結して設けられている。また、供給管７は、内部が空洞になっている円筒形状の塩化ビニル製の部材である。そして、円筒形状の外周面（円周面）に相当する部分には、複数の微小穴７ａが、シート材１０の搬送方向に沿って一列に形成されている。また、この微小穴７ａは、後述する縦壁１１に対向する方向に設けられている。
【００３４】
貯留部５は、筐体部２に固定されている平板状の基板部５ａを備えている。また、貯留部５は、基板部５ａの上面側に、縦壁１１と堰６と供給ガイド面（第３ガイド面）１３（図５参照）とを有している。また、基板部５ａの上面と縦壁１１と堰６とによって、液溜め１２が形成されている。
【００３５】
また、基板部５ａは、一方の端部が筐体部２に固定されて略水平に設けられている。そして、この基板部５ａのシート材１０の搬入口２０側から搬出口２１側方向への長さは、当該表面処理装置１における処理区間Ｙ（図３参照）の長さと同じ程度の長さである。
【００３６】
縦壁１１は、基板部５ａ上に上方向に向けて略垂直に形成された板状の部材である。この縦壁１１は、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、縦壁１１は、供給管７の微小穴７ａから流出する処理液を受け止める役割を果たしている。つまり、処理液Ｘは、この縦壁１１に当たった後、縦壁１１に沿って流下することになる。
【００３７】
堰６は、基板部５ａの上面から上方向に突出するように形成された直方体形状の部材であり、縦壁１１よりシート材１０側に設けられている。この堰６は、長手方向において、縦壁１１と略平行である。また、堰６は、縦壁１１と同様に、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、堰６の基板部５ａからの高さは、縦壁１１より低い高さである。
【００３８】
このように形成された堰６は、上述のように、縦壁１１と基板部５ａとともに、液溜め１２を形成する役割を果たす。すなわち、縦壁１１に沿って流下した処理液Ｘは、堰６の高さを超えるまでは、液溜め１２に溜まることになる。
【００３９】
供給ガイド面１３は、基板部５ａの上面の一部であり、堰６の下端からシート材１０側の端部までの略平面状の面である。この供給ガイド面１３は、上述の液溜め１２から堰６の上面の高さを超えて溢れ出した処理液Ｘを、シート材１０の被処理面１６と、後述する処理部Ｐの中央領域処理面１４との間の隙間へと導く役割を果たしている。
【００４０】
（処理部Ｐ）
次に、処理液供給部Ｓによって供給された処理液Ｘによって、シート材１０の被処理面１６を高精度に処理する処理部Ｐについて説明する。
【００４１】
処理部Ｐは、図５に示すように、シート材１０の被処理面１６の中央領域１６ｂ（本実施形態では、被処理面１６の上部の端部領域を除いた領域）を処理するための中央領域処理部（第２部材）４と、端部領域１６ａ（本実施形態では、上部の端部領域）を処理するための端部領域処理部（第１部材）３とを備えている。
【００４２】
中央領域処理部４は、基板部５ａにおけるシート材１０側の端部から、下方に向けて略垂直に設けられている平板状の部材である。この中央領域処理部４は、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、この中央領域処理部４は、シート材１０の被処理面１６に対し、微小隙間を介して対向して設けられた中央領域処理面（第２ガイド面）１４を有している。
【００４３】
中央領域処理面１４は、中央領域処理部４における一方の面である。この中央領域処理面１４は、供給ガイド面１３に連接して形成されている。また、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の微小隙間は、処理液Ｘがこの微小隙間を流下する際に毛細管力が働く程度の大きさとなっている。そして、中央領域処理面１４は、供給ガイド面１３との連接部から、筐体部２の底面から所定の高さ位置まで設けられている。
【００４４】
このような構成によると、供給ガイド面１３上を流れてきた処理液Ｘは、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の隙間において流下する。
また、中央領域処理面１４と供給ガイド面１３との連接部分は、滑らかな曲面形状であることが好ましい。これにより、供給ガイド面１３上を流れてきた処理液Ｘがシート材１０の方向に飛散したり、脈動したりすることを抑えることができる。
【００４５】
また、図４に示すように、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近には、処理液Ｘが流れる方向に対して垂直方向（シート材１０の搬送方向に対し平行方向に）に沿った条を有する微小凹凸２２が形成されている。これにより、処理液Ｘが、シート材１０の搬送方向に沿って均一に広がり易くなり、よりムラのない表面処理を施すことができる。
【００４６】
端部領域処理部３は、図１および図２に示すように、中央領域処理部４の上方向に、略垂直に配設された板形状の部材である。この端部領域処理部３は、上端部１７ｂと下端部１７ａと端部領域処理面（第１ガイド面）１７ｃとを有している。
【００４７】
上端部１７ｂは、図２に示すように、筐体部２に固定されている。このため、上端部１７ｂの固定位置が決定されれば、端部領域処理部３の配設位置が決定される。ただし、端部領域処理部３の固定方法は、これに限定されるものではない。例えば、端部領域処理部３は、例えば、基板部５ａの一部分や縦壁１１の一部分などに固定される構成であってもよい。
【００４８】
下端部１７ａは、図５に示すように、被処理面１６の端部領域１６ａに対向する領域（端部処理領域面１７ｃの下端部）は、曲面形状を成している。具体的には、板形状の部材に半円柱形状の部材が密着して組み合わされた形状になっている。そして、半円柱形状の部材の条の部分が被処理面１６の端部領域１６ａに近接するように設けられている。また、本実施形態においては、この半円柱状の部材は、端部処理領域面１７ｃに沿って上下に２つ設けられている。なお、板状の部材と半円球状の部材とは、個々に形成された後に接着剤などで接着されたものであってもよいし、あるいは、射出成型などによる一体形成物であってもよい。
【００４９】
また、この下端部１７ａは、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近において、供給ガイド面１３から中央領域処理面１４に流れる処理液Ｘに接するように設けられている。この下端部１７ａは、処理液Ｘを、被処理面１６と、後述する端部領域処理面１７ｃと、の間の微小隙間へ吸い上げるために、最初に表面張力によって端部領域処理部３に吸着させる役割を果たしている。
【００５０】
なお、この処理液Ｘと下端部１７ａとが接する度合いは、処理液Ｘの流量によって変化するので、必要に応じて流量を調節すれば、下端部１７ａと処理液Ｘとの接する度合いを調節することができる。
【００５１】
端部領域処理面１７ｃは、端部領域処理部３におけるシート材１０の被処理面１６に対向する面である。そして、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの間には、最も近接する部分（半円柱形状の条の部分と被処理面１６ａと）では、約０．３ｍｍの微小隙間が設けられている。また、最も離れている部分（平面部分と被処理面１６ａとの距離）では、約１．５ｍｍの微小隙間が設けられている。これらの距離は、本実施形態において使用する処理液Ｘが、毛細管力によって入り込む大きさの隙間である。なお、本実施形態におけるシート材１０のように、被処理物が非剛体物（剛体物ではない物体）である場合は、処理液Ｘを流していない状態において、端部領域処理面１７ｃの半円柱形状の条の部分と被処理面１６ａとが接している状態であってもよい。これは、シート材１０が端部領域処理面１７ｃに対して垂直方向に、非剛体物であることによる自由度を有するため、処理液Ｘが入り込むことによって、自然に微小隙間が形成されるためである。
【００５２】
以上の構成により、端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとの微小隙間は、毛細管力が働きやすくなるため、処理液Ｘを効果的に入り込ませることが可能になる。また、上下に並べられた半円柱状の部材同士の間にも毛細管力が働き、処理液Ｘを保持しやすい形状となっている。この結果、端部領域１６ａと端部領域処理部３との間の隙間に処理液Ｘを効果的に入り込ませて保持することができる。
【００５３】
（ガイドローラ対９ａ，９ｂ）
ガイドローラ対９ａ，９ｂは、図３に示すように、筐体部２の内部に設けられている。ガイドローラ対９ａは、搬入口２０近傍に設けられている。ガイドローラ対９ｂは、搬出口２１近傍に設けられている。また、ガイドローラ対９ａとガイドローラ対９ｂとの間には、シート材１０の被処理面１６に表面処理を施す処理区間Ｙが位置している。このガイドローラ対９ａ，９ｂは、略円柱状の部材であり、円周面である外周面２３にシート材１０を密着させた状態で回転する。
【００５４】
ここで、本実施形態におけるシート材１０は、筐体部２の外部にロール状に巻かれた状態で保持されている。このシート材１０は、筐体部２の外部に設けられた図示しない搬送ローラ対によって、ロール状態から引き出される。そして、上記搬送ローラ対に対して筐体部２を挟んで反対側に設けられている図示しない搬送ローラ対によって、搬入口２０から筐体部２の内部へと搬送される。
【００５５】
このとき、ガイドローラ対９ａおよびガイドローラ対９ｂは、処理区間Ｙにおいて、シート材１０の被処理面１６が、中央領域処理面１４および端部領域処理面１７ｃに対し、微小隙間を介して対向して搬送されるように誘導する。また、ガイドローラ対９ｂは、処理後のシート材１０を、筐体部２の外部に設けられている図示しない搬送ローラ対へ、搬出口２１を通って搬送されるように誘導する。そして、筐体部２内で表面処理を施された後、搬出口２１から搬出される。ただし、本実施形態では、長尺のシート材１０を搬送方向に連続的に表面処理を施す構成であるため、シート材１０の搬入出は連続的に行われる。
【００５６】
なお、本実施形態におけるガイドローラ対９ａ，９ｂは、回転自在に設けられており、シート材１０を搬送するための動力を有していない。しかし、このガイドローラ対９ａ，９ｂは、モータなどによって動力を持たせた搬送ローラ対としての機能を併せ持つものであってもよい。この場合、ガイドローラ対９ａ，ｂは、比較的、半径が大きいものであることが好ましい。これは、側面とシート材１０との密着面積が広くなり、摩擦力が高くなるためである。すなわち、ガイドローラ対９ａ，９ｂの側面とシート材１０との摩擦力が、シート材１０を搬送するために十分であればよい。
【００５７】
また、ガイドローラ対９ａ，９ｂは、図１２（ａ）に示すようにシート材１０の上端または（及び）下端をガイドする（例えば、段付き円柱）構造であってもよいし、シート材１０を圧着する構造であってもよい。あるいはまた、図１２（ｂ）に示すように、３つのガイドローラによって、シート材１０を交互に挟む構成であってもよい。
【００５８】
＜表面処理装置１における表面処理液Ｘの流路＞
次に、本実施形態に係る表面処理装置１における表面処理液Ｘの流路を、図５を用いて、以下で説明する。
【００５９】
先ず、供給管７の内部を流れてきた処理液Ｘは、供給管７の微小穴７ａから流出する。流出した処理液Ｘは、縦壁１１に当たり、この縦壁１１に沿って流下する。このようにすると、供給される処理液Ｘが飛散することを抑えることができる。そして、縦壁１１に沿って流下した処理液Ｘは、堰６によって堰き止められ、堰６の高さに至るまで、液溜め１２に溜まる。このように、処理液Ｘが、一旦、液溜め１２に溜まることによって、処理液Ｘの勢いが抑制される。
【００６０】
次に、供給管７から供給され続け、堰６の高さを超えた処理液Ｘは、堰６側から溢れ出し、供給ガイド面１３上を流れ出す。供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘは、この供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との接続部およびその近傍に設けられた微小凹凸２２（図４参照）によって、シート材１０の搬送方向に広がりつつ、下流方向に流れていく。
【００６１】
このとき、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部は、端部領域処理部３の下端部１７ａに接触する。この下端部１７ａに接触した処理液Ｘの一部は、表面張力によって端部領域処理部３の表面に吸着する。そしてさらに、この吸着した処理液Ｘは、毛細管力によって、端部領域処理面１７ｃとシート材１０の被処理面１６における端部領域１６ａとの微小隙間に入り込む。すなわち、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの隙間で毛細管現象が発生し、その隙間に処理液Ｘが広がって保持される。
【００６２】
ここで、処理液Ｘの上昇は、シート材１０の上端付近で止まる。これは、毛細管現象の原理に基づく結果である。つまり、毛細管力は、液体の表面張力によって、物体間の微小隙間を液面が上昇する現象であるため、端部領域処理面１７ｃに対し微小隙間を介して対向する物体（シート材１０の被処理面１６）が存在しない領域（シート材１０の上端部より上の領域）では、毛細管力が働かないからである。
【００６３】
一方、毛細管力によって端部領域処理面１７ｃ方向に入り込まなかった処理液Ｘは、中央領域処理面１４と、シート材１０の被処理面１６との間の微小隙間に沿って流下する。このとき、シート材１０に、中央領域処理面１４に近づく方向に若干の自由度を持たせておけば、処理液Ｘと被処理面１６との表面張力によって、シート材１０の被処理面１６が中央領域処理面１４方向に吸い寄せられる。
【００６４】
このように、中央領域処理面１４と被処理面１６との微小隙間を、中央領域処理面１４と被処理面１６との両方に接触しながら流下した処理液Ｘは、中央領域処理面１４の下端２６に到達して筐体部２の底部に滴下する。
【００６５】
なお、筐体部２の底部に滴下した処理液Ｘは、図示しない循環ポンプによって、再び、供給管７に循環される。ただし、この循環の間には、処理液Ｘの濾過や濃度、温度などの条件を調整するための図示しない調整槽を介していてもよい。
【００６６】
［表面処理装置１の特徴］
（１）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１および図５に示すように、処理液Ｘをシート材１０の被処理面１６に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置１であって、端部領域処理面１７ｃを有する端部領域処理部３を備えている。端部領域処理面１７ｃは、シート材１０の被処理面１６に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、端部領域処理部３の下端部１７ａは、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部に対して接するように配置されている。
【００６７】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａに接触した処理液Ｘの一部が、毛細管力（表面張力）によって、シート材１０の被処理面１６と端部領域処理面１７ｃとの間の隙間に入り込ませることができる。そして、被処理面１６が存在しなくなる領域では、端部領域処理面１７ｃと対向する面が存在しなくなる。このため、被処理面１６の上端部２５より上側の領域では毛細管現象が発生せず、必然的に、処理液Ｘが被処理面１６の上端部２５でとどめることができる。
【００６８】
この結果、被処理面１６の端部領域１６ａにも処理液Ｘを行き届かせること、およびシート材１０の裏面２７等の意図しない部分への処理液Ｘの回りこみを防ぐことが可能になり、被処理面１６のみへの表面処理を高精度で実施することが可能になる。
【００６９】
（２）
本実施形態に係る表面処理装置１では、図２に示すように、中央領域処理面１４を有する中央領域処理部４を備えている。中央領域処理面１４は、被処理面１６における端部領域処理部３が対向して配置された端部領域１６ａ以外の中央領域１６ｂに対し、微小隙間を介して対向して設けられている。
【００７０】
これにより、処理液Ｘを、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の隙間に沿って流下させることができる。また、このとき、中央領域処理面１４と被処理面１６との間が微小隙間であるため、処理液Ｘが毛細管力（表面張力）によって中央領域処理面１４と被処理面１６との両面に吸着させることができる。
【００７１】
この結果、毛細管力の働きによって、中央領域処理面１４と被処理面１６との隙間に処理液Ｘが行きわたり、被処理面１６における端部領域１６ａだけでなく中央領域に対してもムラの少ない表面処理を行うことが可能になる。
【００７２】
（３）
本実施形態に係る表面処理装置１では、図２に示すように、供給ガイド面１３を有する貯留部５と堰６とを備えている。供給ガイド面１３は、中央領域処理面１４の上端部から略水平に設けられている。堰６は、供給ガイド面１３の中央領域処理面１４とは反対側の端部に供給ガイド面１３から上方向に突出して設けられている。そして、処理液Ｘは、供給管７から、堰６の供給ガイド面１３側とは反対側の液溜め１２に供給される。
【００７３】
これにより、供給管７から供給された処理液Ｘを、堰６の高さを超えるまで一時的に堰き止めた後、堰６から溢れた処理液Ｘを供給ガイド面１３へ流出させることができる。すなわち、堰６から溢れる処理液Ｘのみが、表面処理が行われる端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４側に供給される。
【００７４】
この結果、処理液Ｘが、供給管７から直接的に供給ガイド面１３に供給される場合に比べ、処理液Ｘの流れの勢いを抑え、供給ガイド面１３上から安定して処理液Ｘを下流側へと供給することができる。よって、端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４に供給される流量を安定化させ、表面処理のムラを軽減することが可能になる。
【００７５】
（４）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１に示すように、端部領域処理部３として、板状の部材を用いている。
【００７６】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａは、板形状における側面を含み、端部領域処理面１７ｃは、板形状における一方の面とすることができる。つまり、板形状部材の側面が、処理液Ｘの液面に接する。そして、この下端部１７ａから端部領域処理面１７ｃとシート材１０の被処理面１６との間の微小隙間へ、毛細管力によって処理液Ｘが入り込む。この結果、簡易な部材を用いることで、処理液Ｘを被処理面１６の端部領域１６ａに行き届かせることができる。また、装置にかかる費用を抑えつつ、シート材１０の非処理領域を減少させ、資材の利用効率を上昇させることが可能になる。
【００７７】
（５）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図２に示すように、シート材１０の被処理面１６における端部領域１６ａに対向する側（端部処理面１７ｃ側）に半円柱形状部分を、端部領域処理面１７ｃに沿って上下に二つ備えている。
【００７８】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａにおけるシート材１０の端部領域１６に対向する部分（端部領域処理面１７ｃの端部を含む部分）が、曲面形状になるため、処理液Ｘが流れていない初期状態においてシート材１０自身の自由度によって端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとが接触した状態になっていても、端部領域処理部１７ｃと端部領域１６ａとの接触面積が微小面積に抑えられる。したがって、処理液Ｘは、毛細管力によって端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとの間の微小隙間に入り込みやすくなる。また、上下に並べられた半円柱状の部材同士の間にも毛細管力が働き、端部領域処理部１７ｃと端部領域１６ａとの微小隙間に処理液Ｘを保持しやすい形状となっている。
【００７９】
＜実施例＞
本実施形態に係る表面処理装置１を備えた表面処理システムによる表面処理の実施例について以下で述べる。
【００８０】
本実施例は、ポリイミド膜の表面にニッケルメッキ処理を行ったものである。以下に、実施条件を示す。
本実施例において用いた表面処理システムは、複数の処理槽を備えている。詳細には、第１槽から第４槽までを備え、このうち第１槽と第２槽とにおいては、本実施形態に係る表面処理装置１が採用され、第３槽と第４槽とにおいては、従来の全浸漬法にて用いられる表面処理装置が採用されている。
【００８１】
被処理物として用いた長尺のシート材１０は、幅３０ｃｍ、厚さ３８μｍの、ポリイミド膜を表面に有するシート材１０である。このシート材１０の搬送速度は、０．３ｍ／分とした。また、中央領域処理面１４におけるシート材１０の搬送方向の長さは３０ｃｍである。また、端部領域処理面１７ｃと対向しているシート材１０の端部領域１６ａの高さ方向の長さは、５．０ｍｍである。また、端部領域処理面１７ｃの半円柱形状の条部分とシート材１０の端部領域１６ａとの距離は、０．３ｍｍである。また、中央領域処理面１４とシート材１０との距離は０．５ｍｍである。ただし、この端部領域処理面１７ｃとシート材１０との距離は、シート材１０に若干の自由度を持たせているため、処理液Ｘの表面張力によって変化する。
【００８２】
ここで、上記の条件の下で、ニッケルメッキ処理を施すための前処理として、以下の処理を実施した。
先ず、第１槽において、シート材１０の被処理面１６に、脱脂処理を行なった。ここで用いた処理液Ｘは、モノエタトルアミン４４％、ポリオキシエチレンアルキルエーテル１．７％と若干のキレート剤を含む水溶液である。
【００８３】
次に、第２槽において、シート材１０の被処理面１６に、アルカリ加水分解を行った。ここで用いた処理液Ｘは、ＫＯＨ３ｍｏｌ／ｌの水溶液である。
そして、第３槽において、シート材１０の被処理面１６およびその裏面２７の両面に、パラジウム付与処理を行った。
【００８４】
最後に、第４槽において、シート材１０の被処理面１６およびその裏面２７の両面に、ニッケル処理を行った。ここで用いた処理液Ｘは、３５℃、ｐＨ８．８に調整された、無電解ニッケルメッキ液ＥＮＩＬＥＸ ＮＩ−５（荏原ユージライト株式会社製）である。
【００８５】
なお、これらの各処理の前後には、それぞれ、超純水による水洗処理や乾燥処理を行った。
以上の処理の後に、被処理面１６およびその裏面２７の確認を行った。被処理面１６の上端部２５から５００μｍまでの領域を除く領域に、ニッケルメッキが施されていることが確認された。また、裏面２７には、ニッケルの付着は確認されなかった。
【００８６】
この結果は、第１槽および第２槽において、被処理面１６の上端部２５付近まで、高精度に表面処理されており、かつ、処理液Ｘが裏面２７側に乗り越えていないことを、十分に示している。
【００８７】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００８８】
（Ａ）
上記実施形態では、図１に示すように、表面処理装置１におけるシート材３１の搬送方向として、シート材３１の長手方向を水平方向に沿って搬送させる例を挙げて説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではない。
【００８９】
例えば、シート材３１の長手方向を、水平方向に対し垂直に沿って搬送させる構成を用いてもよい。この構成について、図６および図７を用いて以下で説明する。
表面処理装置１００は、図６に示すように、シート材３１が、ガイドローラ対３８によって誘導され、上から下へと搬送される構成を有している。そして、処理液Ｘは、上記の実施形態と同様に、供給管７から液溜め１２へ供給され、堰６から溢れ出す。続けて、処理液Ｘは、供給ガイド面１３上を流れた後に、被処理面３２に沿って流下する。
【００９０】
そして、シート材３１の両端部領域３３，３３に対しそれぞれ対向して設けられている端部領域処理面３４，３４を有する端部領域処理部３５，３５が備えられている。すなわち、端部領域処理面３４，３４が、被処理面３２の端部領域３３，３３に対し、それぞれ微小隙間を介して設けられている。そして、端部領域処理部３５，３５の端部３６，３６は、被処理面３２に沿って流下する処理液Ｘに接するように形成されている。
【００９１】
これにより、端部領域処理面３４，３４とシート材３１の端部領域３３，３３との隙間に、毛細管力によって処理液Ｘが入り込ませることができる。したがって、端部領域３３，３３に対して、高精度な表面処理を施すことが可能になる。また、この構成は、被処理面３２と処理液Ｘとが親和性を有しない場合には、その処理液Ｘが表面張力により被処理面３２の中央領域３７に集中して流れてしまう恐れがあるため、特に有効である。
【００９２】
（Ｂ）
上記実施形態では、図２に示すように、シート材１０の一方の面のみを表面処理するための構成を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９３】
例えば、シート材４０の両面が被処理面４１，４２である場合は、図８に示すように、端部領域処理部４３，４３、中央領域処理部４４，４４、貯留部４５，４５、堰４６，４６および供給管４７，４７を、シート材４０を中心として、それぞれ、鏡面対称になるように配設する。
【００９４】
これにより、シート材４０の両面を、端部領域４８，４９まで高精度に表面処理することが可能になる。また、この構成は、それぞれの被処理面４１，４２において、異なる処理液Ｘを用いることも可能である。したがって、それぞれの処理面に対し、異なる表面処理を施す場合において、特に有効である。
【００９５】
（Ｃ）
上記実施形態では、図２に示すように、一枚のシート材１０の一方の面のみを処理するための構成を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９６】
例えば、図９に示すように、２枚のシート材５０，５０におけるそれぞれの被処理面５６，５６を同時に処理する構成であってもよい。
詳細には、図９に示すように、中央に設けられた縦壁５１を中心とし、線対称にそれぞれ供給管５４，５４、堰５３，５３、端部領域処理部５７，５７、および中央領域処理部６２，６２が配設されている。そして、シート材５０は、中央領域処理部６２，６２および端部領域処理部５７，５７と微小隙間を介して被処理面５６，５６が位置するように搬送されている。換言すると、図２で示した、上記実施形態における筐体部２内部の構成が、縦壁１１を中心に線対称に設けられた構成である。
【００９７】
このような構成によると、供給された処理液Ｘは、堰５３，５３から溢れ出て、供給ガイド面６０，６０上を流れる。そして、処理液Ｘは、中央領域処理部６２の上端部６４に到達する。次に、処理液Ｘは、この上端部６４から中央領域処理面６５，６５と被処理面５６，５６との両方に沿って流下するとともに、端部領域処理部５７，５７の下端部６３，６３に接する処理液Ｘは、この下端部６３，６３に対する表面張力と端部領域処理面６１，６１および被処理面５６，５６の端部領域５５，５５の微小隙間への毛細管力とによって、この微小隙間に入り込む。
この結果、２枚のシート材５０，５０のそれぞれの一方の面に対し、同時に表面処理を施すことができる。したがって、単位時間当たりの作業効率が向上する。
【００９８】
（Ｄ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３の下端部１７ａは、端部領域処理部１７ｃ側に円周面形状を有する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９９】
例えば、下端部１７ａは、図１３に示すように、先端部分において下方向に凸の曲面形状であってもよい。また、この下端部１７ａは、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近において、供給ガイド面１３から中央領域処理面１４に流れる処理液Ｘに接するように設けられている。この下端部１７ａは、処理液Ｘを、被処理面１６と、後述する端部領域処理面１７ｃと、の間の微小隙間へ吸い上げるために、最初に表面張力によって端部領域処理部３に吸着させる役割を果たしている。
【０１００】
ここで、下端部１７ａが処理液Ｘに接する度合いは、下端部１７ａの曲面の全てが接する程度であってもよいし、曲面の一部分（例えば、先端部分）が接する程度であってもよい。なお、この処理液Ｘと下端部１７ａとが接する程度は、処理液Ｘの流量によって変化するので、必要に応じて流量を調節すれば、下端部１７ａと処理液Ｘとの接する度合いを調節することができる。
【０１０１】
このような構成によると、下端部１７ａ先端の曲面形状によって、端部領域処理部３と被処理面１６の端部領域１６ａとの間の隙間は、処理液Ｘと接触する下方から上方に向かって徐々に狭まる。これにより、処理液Ｘに対して毛細管力が働き易くなるため、被処理面１６の端部領域１６ａと端部領域処理部３との間の隙間に処理液Ｘを効果的に入り込ませて保持することができる。
【０１０２】
また、端部領域処理部３の下端部１７ａにおいて、処理液Ｘと接する面積を大きく設けることができる。このため、表面張力による、処理液Ｘの下端部１７ａへの吸着が容易かつ確実になる。
【０１０３】
（Ｅ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３の下端部１７ａは、端部領域処理面１７ｃ側に円周面形状を有する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０４】
例えば、下端部１７ａは、図１０に示すように、処理液Ｘに接触する部分（下先端部分１７ｄ）から端部領域処理面１７ｃ方向にかけて、被処理面１６との隙間が狭くなるように形成されたテーパ形状であってもよい。
これにより、毛細管現象が発生しやすい形状となり、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの隙間へ、処理液Ｘが入り込みやすくなる。
【０１０５】
（Ｆ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３は、筐体部２に固定されている例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０６】
例えば、図１１に示すように、シート材１０の被処理面１６に対して平行な方向において上下方向に移動させることが可能な構成であってもよい。具体的には、端部領域処理部３は、筐体部２の上面部７１に係り合う鋸歯部７２を有している。そして、当該表面処理装置２００は、取り外し自在のＬ字型の固定部材７３をさらに備えている。
【０１０７】
これにより、固定部材７３を取り外し、端部領域処理部３が所望の高さになるように、上面部７１に係り合う鋸歯部７２の位置を調整し、固定部材７３をはめ込んで固定することができる。したがって、下端部１７ａを処理液Ｘの液面に確実に接触させることが可能になる。
【０１０８】
（Ｇ）
上記実施形態では、図３に示すように、ガイドローラ対９ａ，９ｂが固定されており、被処理面１６と端部領域処理面１７ｃの距離は、シート材１０が有する若干の自由度のみに依存している例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０９】
例えば、外径が異なるガイドローラ対９ａ，９ｂを取替え自在にすることによって、端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４と被処理面１６との距離を調整することができる。
これにより、処理液Ｘの流量に応じた距離を保つことが可能になり、高精度な表面処理を実施することが可能になる。
【０１１０】
（Ｈ）
上記実施形態では、処理液Ｘが循環ポンプによって循環する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、一度使用した処理液Ｘは廃棄し、常に新しく調整された処理液Ｘを用いる構成であってもよい。
【０１１１】
（Ｉ）
上記実施形態では、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６との微小隙間は、０．５ｍｍである例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１２】
この微小隙間、すなわち端部領域処理面１７ｃと被処理面１６との距離は、上述の毛細管現象の観点から０．１ｍｍから１０ｍｍ程度が好適である。したがって、処理液Ｘの種類や条件、または、処理液Ｘと端部領域処理面１７ｃおよび被処理面１６との親和性によって、適宜調整することが好適である。
【０１１３】
（Ｊ）
上記実施形態では、表面処理装置１を形成する材料として、塩化ビニル製の部材を用いる例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１４】
表面処理装置１に用いられる処理液Ｘは、目的に応じて、種々の酸、アルカリ、有機溶媒溶液が用いられるため、それぞれの溶液に対し、反応性の低い材料を用いることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明の表面処理装置は、表面張力（毛細管力）を用いて、被処理物の一方の面のみを高精度に表面処理することができるという効果を奏することから、液体による各種加工装置に対して広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面処理装置の構成を示す斜視透過図。
【図２】図１の表面処理装置の側面視断面図。
【図３】図２の表面処理装置のＡ−Ａ断面図。
【図４】図１の中央領域処理部および貯留部の一部を拡大した斜視図。
【図５】図１の主要部分を拡大した側面視断面図。
【図６】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置の構成を示す側面視断面図。
【図７】図６の表面処理装置における端部領域処理部とシート材との位置関係を示す側面視図。
【図８】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図９】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における端部領域処理部の端部形状を示す側面視断面図。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図１２】（ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置におけるガイドローラの一例を示す斜視図である。（ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置におけるガイドローラの一例を示す上面視平面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における端部領域処理部の下端部の端部形状を示す側面視断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１ 表面処理装置
２ 筐体部
３ 端部領域処理部（第１部材）
４ 中央領域処理部（第２部材）
５ 貯留部（第３部材）
５ａ 基板部
６ 堰
７ 供給管
７ａ 微小穴
９ａ ガイドローラ対
９ｂ ガイドローラ対
１０ シート材（被処理物）
１１ 縦壁
１２ 液溜め
１３ 供給ガイド面（第３ガイド面）
１４ 中央領域処理面（第２ガイド面）
１６ 被処理面
１６ａ 端部領域
１６ｂ 中央領域
１７ａ 下端部
１７ｂ 上端部
１７ｃ 端部領域処理面（第１ガイド面）
１７ｄ 下先端部分
１８ａ 側面部
１８ｂ 側面部
１９ 底面部
１９ａ 廃液溜め
２０ 搬入口
２１ 搬出口
２２ 微小凹凸
２３ 側面
２５ 上端部
２６ 下端
２７ 裏面
３１ シート材（被処理物）
３２ 被処理面
３３ 端部領域
３４ 端部領域処理面（第１ガイド面）
３５ 端部領域処理部（第１部材）
３６ 端部
３７ 中央領域
３８ ガイドローラ対
４０ シート材（被処理物）
４１ 被処理面
４２ 被処理面
４３ 端部領域処理部（第１部材）
４４ 中央領域処理部（第２部材）
４５ 貯留部（第３部材）
４６ 堰
４７ 供給管
４８ 端部領域
４９ 端部領域
５０ シート材（被処理物）
５１ 縦壁
５３ 堰
５４ 供給管
５５ 端部領域
５６ 被処理面
５７ 端部領域処理部（第１部材）
６０ 供給ガイド面（第３ガイド面）
６１ 端部領域処理面（第１ガイド面）
６２ 中央領域処理部（第２部材）
６３ 下端部
６４ 上端部
６５ 中央領域処理面（第２ガイド面）
７１ 上面部
７２ 鋸歯部
７３ 固定部材
１００ 表面処理装置
２００ 表面処理装置
Ｘ 処理液（表面処理液）
Ｙ 処理区間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理液を被処理物の被処理面に流下させて表面処理を施す表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シート材などの長尺の薄体に対し、メッキなどの表面処理を施す場合には、その薄体を長尺方向に沿って走行させ、表面処理装置の中を順に通過させていく。そして、この表面処理装置の中で、連続的に、薄体の表面処理を行う。このような表面処理装置では、薄体の一方の面のみに選択的に表面処理を施す場合には、薄体の面方向を垂直に保持した状態で、その薄体の一方の面（被処理面）のみに表面処理液を流下させて表面処理を施す。しかし、このとき、表面処理液の一部が、処理を所望しない裏面側へ回り込んでしまうという問題がある。そこで、この問題に対し、薄体の上端部に近接して板材を設ける構成がある。これは、この板材を、表面処理液の回り込みを防止するための壁として用いる手法である（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭６１−１２７８９５号公報（昭和６１年６月１６日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような構成の表面処理装置においても、被処理物（薄体）の直線性やスティフネス性により、板材と被処理物との間に隙間が生じ、非処理面側に処理液の回り込み（乗り越え）が起きてしまう恐れがある。
【０００４】
そこで、本発明は、表面処理液が、処理を所望しない裏面側へ回り込むことを防止しつつ、被処理面の端部領域も高精度に処理を施すことが可能な表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明に係る表面処理装置は、表面処理液を被処理物の被処理面に沿って流下させて表面処理を施すための表面処理装置であって、第１ガイド面を有する第１部材を備えている。第１ガイド面は、被処理物の被処理面における端部領域に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、第１部材の端部は、表面処理液の一部に対して接するように配置されている。
【０００６】
ここでは、被処理物（例えば、シート材）の表面に、メッキなどの、表面処理を施す表面処理装置において、被処理物の一方の面を選択的に表面処理しつつ、被処理面の端部領域にまで表面処理を施すことを可能にするための構成を採用している。
【０００７】
ここで、微小隙間とは、被処理物の被処理面と側壁部の面との間で、表面処理液が毛細管力によって液面が入り込む程度の隙間である。これは、液体の種類や密度などによって変化するが、例えば、０．３ｍｍ程度である。また、第１部材の端部が接する表面処理液は、被処理物の被処理面に沿って流下している表面処理液であってもよいし、他の部材の表面を流れる表面処理液であってもよい。
【０００８】
このような構成によると、第１部材の端部に接触した表面処理液の一部が、毛細管力（表面張力）によって、被処理物の被処理面と第１ガイド面との間の隙間に入り込む。また、被処理面が存在しなくなる領域では、第１ガイド面と対向する面が存在しなくなる。このため、被処理面の端部より外側の領域では毛細管現象が発生せず、必然的に、表面処理液が被処理面の端部で止まることになる。この結果、被処理面の端部領域にも表面処理液を行き届かせること、および被処理物の他の面（処理を所望しない面）への処理液の回りこみを防ぐことが可能になり、被処理面のみへの表面処理を高精度で実施することが可能になる。
【０００９】
第２の発明に係る表面処理装置は、第１の発明に係る表面処理装置であって、第２ガイド面を有する第２部材を備えている。第２ガイド面は、被処理面における第１部材が配置された領域以外の領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられている。
【００１０】
ここでは、被処理面の端部領域を除いた領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられた第２ガイド面を備えている。
これにより、表面処理液を、第２ガイド面に沿って流下させると同時に、被処理物の被処理面にも沿って流下させることができる。これは、第２ガイド面と被処理面との間が微小隙間であるため、表面処理液が毛細管力（表面張力）によって第２ガイド面と被処理面との両面に吸着するからである。この結果、毛細管力の働きによって、第２ガイド面と被処理面との対向面の間に表面処理液が行きわたり、ムラの少ない表面処理を行うことが可能になる。
【００１１】
第３の発明に係る表面処理装置は、第１または第２の発明に係る表面処理装置であって、第３ガイド面を有する第３部材と堰とを備えている。第３ガイド面は、第２ガイド面の一方の端部から略水平に設けられている。堰は、第３ガイド面の第２ガイド面とは反対側の端部に第３ガイド面から突出して設けられている。
【００１２】
ここでは、第３ガイド面を有する第３部材と、第３ガイド面から突出して設けられた堰と、を備えている。
ここで、表面処理液は、堰の第３ガイド面側とは反対側に供給される。
【００１３】
これにより、供給された表面処理液は、堰の高さを超えるまで一時的に堰き止められる。その後、堰から溢れた表面処理液が第３ガイド面へ流れ出す。すなわち、堰から溢れる表面処理液のみが、表面処理が行われる第１ガイド面側に供給される。この結果、例えば、シャワー形式などにより、直接的に表面処理液が第３ガイド面に供給される場合に比べ、表面処理液の流れの勢いを抑え、流量を一定に保つことが可能になり、第３ガイド面上における整流性も向上させることが可能になる。したがって、表面処理のムラを軽減することが可能になる。
【００１４】
第４の発明に係る表面処理装置は、第１から第３の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材が、板状の部材である。
これにより、第１部材の端部は、板形状における側面を含み、第１ガイド面は、板形状における一方の面とすることができる。つまり、板形状部材の側面が、表面処理液の液面に接する。そして、この端部から第１ガイド面と被処理物の被処理面との間の微小隙間へ、毛細管力によって表面処理液が入り込む。この結果、表面処理液が、被処理面の端部領域に行き届くことが、簡易な部材によって可能になる。また、装置にかかる費用を抑えつつ、被処理物の非処理領域を減少させ、資材の利用効率を上昇させることが可能になる。
【００１５】
第５の発明に係る表面処理装置は、第１から４の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材の端部が、曲面を含むように形成されている。
ここでは、第１部材の端部が、曲面を含んでいる。
ここで、曲面とは、例えば、円周面形状であってもよい。
【００１６】
そして、第１部材の端部における、被処理面の端部領域に対向する側に、この曲面が設けられていてもよい。つまり、第１ガイド面の端部を含むように曲面形状が形成されていることが好ましい。なお、この曲面は複数個設けられていてもよい。
【００１７】
これにより、第１部材の端部における被処理面に対向する部分（第１ガイド面の端部を含む部分）が、曲面になるため、例え被処理物に自由度があり、この自由度によって第１ガイド面と被処理面とが接触した状態になっても、第１ガイド面と被処理面との接触面積が微小面積に抑えられる。したがって、その接触している微小面積部分以外の部分は、第１ガイド面と被処理面との間に微小隙間が存在することになる。この結果、被処理物の自由度によらず、表面処理液が毛細管力によって入り込みやすい微小隙間を、第１ガイド面と被処理面との間に設けることが可能になる。
【００１８】
また、曲面形状は、第１ガイド面を含まなくてもよい。
また、第１部材の下端が曲面形状を成している形状であってもよい。
これにより、第１部材の下端において、この第１部材と表面処理液とが接する面積を大きく設けることができる。このため、表面処理液の毛細管力による入り込みが確実かつ容易になる。またさらに、被処理面の中央側から端部側方向に向けて、第１部材と被処理面との間隔が狭くなる形状であるため、毛細管力によって表面処理液が入り込みやすい。
この結果、表面処理にムラができることを抑えつつ、端部領域も高精度に表面処理することが可能になる。
【００１９】
第６の発明に係る表面処理装置は、第１から４のいずれか１つの発明に係る表面処理装置であって、第１部材の端部は、被処理面の端部側に近づくにつれて被処理面との間隔が狭くなるように形成されたテーパ形状である。
【００２０】
ここでは、第１部材の端部がテーパ形状を成している。
これにより、第１部材の表面処理液に接触している部分から第１ガイド面側に向けて、第１部材と被処理物との隙間が徐々に狭くなっているので、毛細管現象が発生しやすくなる。この結果、安定して表面処理液を被処理面の端部領域に供給することが可能になり、ムラのない表面処理が可能になる。
【００２１】
第７の発明に係る表面処理装置は、第１から第６の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材が、被処理物の被処理面と略平行な方向に移動可能である。
ここでは、第１部材は、被処理面に対し平行に移動させることが可能である。
【００２２】
これにより、表面処理液の流量が変化することなどによって、液面の位置が変化した場合でも、表面処理液と第１部材の端部とが接触している状態にさせることが可能になる。この結果、表面処理液の流量によらず、第１部材の端部が液面に接するように調整することができるため、確実に毛細管現象を発生させ、被処理面の端部領域を表面処理することが可能になる。
【００２３】
第８の発明に係る表面処理装置は、第１から第７の発明のいずれか１つに係る表面処理装置であって、第１部材の第１ガイド面と被処理物の被処理面との距離は調整可能である。
【００２４】
ここでは、第１ガイド面と被処理面との距離は、調整することが可能である。
これにより、毛細管力を調整することが可能になる。すなわち、第１ガイド面と被処理面との微小隙間に、表面処理液が入り込む度合いを調整することが可能になる。この結果、被処理物の端部領域における処理領域を調整することが可能になる。また、毛細管力は、固液界面における固体表面と液体との親和性や、液体の密度などによって異なる。このため、本発明の構成によって、さまざまな表面処理液に対応することが可能になる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る表面処理装置によれば、表面処理液が、被処理物の処理を所望しない面へ回り込むことを防止しつつ、被処理面の端部領域にも高精度に処理を施すことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の一実施形態に係る表面処理装置１について、図１から図５を用いて説明すれば以下の通りである。
本実施形態の表面処理装置１は、幅３０ｃｍ、厚さ３８μｍの長尺のポリイミド膜を含むシート材１０に対して、メッキ処理等の表面処理するための装置である。なお、このシート材１０は、表面処理を施される前段階では、長尺方向に沿ってロール状に巻かれた状態で保持されているものとする。
【００２７】
［表面処理装置１の構成］
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１に示すように、主として、筐体部２と、ガイドローラ対９ａ，９ｂ（図３参照）と、処理液供給部Ｓと、処理部Ｐとを備えている。
【００２８】
（筐体部２）
筐体部２は、内側に空間を有する直方体形状の部材である。この筐体部２は、側面部１８ａ，１８ｂと底面部１９とを有している。
【００２９】
側面部１８ａには、シート材１０の入り口である搬入口２０が形成されている。一方、側面部１８ｂには、シート材１０の出口である搬出口２１が形成されている。これらの搬入口２０および搬出口２１は、矩形状の開口部である。
【００３０】
底面部１９は、矩形の面である。そして、底面部１９とこの底面部１９に連接する側面の一部とが、シート材１０の被処理面１６に対して表面処理を施し終えた後の処理液Ｘ（廃液）を一時的に溜める廃液溜め１９ａを形成している。
【００３１】
また、筐体部２は、塩化ビニル製の筐体であって、上部に開口部（図示しない）を有している。この開口部には、蓋部材（図示しない）が、気密性が高く、かつ開閉可能に開口部を塞ぐように配置されている。
【００３２】
（処理液供給部Ｓ）
次に、表面処理に用いる処理液Ｘを処理部Ｐに供給するための部材群である処理液供給部Ｓについて説明する。処理液供給部Ｓは、処理液Ｘを筐体部２内に流入させるための供給管７と、流入された処理液を一時的に溜めるための貯留部（第３部材）５とを備えている。
【００３３】
供給管７は、図２に示すように、処理液Ｘを筐体部２内に供給するために、筐体部２の上部に、外部から連結して設けられている。また、供給管７は、内部が空洞になっている円筒形状の塩化ビニル製の部材である。そして、円筒形状の外周面（円周面）に相当する部分には、複数の微小穴７ａが、シート材１０の搬送方向に沿って一列に形成されている。また、この微小穴７ａは、後述する縦壁１１に対向する方向に設けられている。
【００３４】
貯留部５は、筐体部２に固定されている平板状の基板部５ａを備えている。また、貯留部５は、基板部５ａの上面側に、縦壁１１と堰６と供給ガイド面（第３ガイド面）１３（図５参照）とを有している。また、基板部５ａの上面と縦壁１１と堰６とによって、液溜め１２が形成されている。
【００３５】
また、基板部５ａは、一方の端部が筐体部２に固定されて略水平に設けられている。そして、この基板部５ａのシート材１０の搬入口２０側から搬出口２１側方向への長さは、当該表面処理装置１における処理区間Ｙ（図３参照）の長さと同じ程度の長さである。
【００３６】
縦壁１１は、基板部５ａ上に上方向に向けて略垂直に形成された板状の部材である。この縦壁１１は、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、縦壁１１は、供給管７の微小穴７ａから流出する処理液を受け止める役割を果たしている。つまり、処理液Ｘは、この縦壁１１に当たった後、縦壁１１に沿って流下することになる。
【００３７】
堰６は、基板部５ａの上面から上方向に突出するように形成された直方体形状の部材であり、縦壁１１よりシート材１０側に設けられている。この堰６は、長手方向において、縦壁１１と略平行である。また、堰６は、縦壁１１と同様に、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、堰６の基板部５ａからの高さは、縦壁１１より低い高さである。
【００３８】
このように形成された堰６は、上述のように、縦壁１１と基板部５ａとともに、液溜め１２を形成する役割を果たす。すなわち、縦壁１１に沿って流下した処理液Ｘは、堰６の高さを超えるまでは、液溜め１２に溜まることになる。
【００３９】
供給ガイド面１３は、基板部５ａの上面の一部であり、堰６の下端からシート材１０側の端部までの略平面状の面である。この供給ガイド面１３は、上述の液溜め１２から堰６の上面の高さを超えて溢れ出した処理液Ｘを、シート材１０の被処理面１６と、後述する処理部Ｐの中央領域処理面１４との間の隙間へと導く役割を果たしている。
【００４０】
（処理部Ｐ）
次に、処理液供給部Ｓによって供給された処理液Ｘによって、シート材１０の被処理面１６を高精度に処理する処理部Ｐについて説明する。
【００４１】
処理部Ｐは、図５に示すように、シート材１０の被処理面１６の中央領域１６ｂ（本実施形態では、被処理面１６の上部の端部領域を除いた領域）を処理するための中央領域処理部（第２部材）４と、端部領域１６ａ（本実施形態では、上部の端部領域）を処理するための端部領域処理部（第１部材）３とを備えている。
【００４２】
中央領域処理部４は、基板部５ａにおけるシート材１０側の端部から、下方に向けて略垂直に設けられている平板状の部材である。この中央領域処理部４は、基板部５ａと一体的に形成された部材であってもよい。そして、この中央領域処理部４は、シート材１０の被処理面１６に対し、微小隙間を介して対向して設けられた中央領域処理面（第２ガイド面）１４を有している。
【００４３】
中央領域処理面１４は、中央領域処理部４における一方の面である。この中央領域処理面１４は、供給ガイド面１３に連接して形成されている。また、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の微小隙間は、処理液Ｘがこの微小隙間を流下する際に毛細管力が働く程度の大きさとなっている。そして、中央領域処理面１４は、供給ガイド面１３との連接部から、筐体部２の底面から所定の高さ位置まで設けられている。
【００４４】
このような構成によると、供給ガイド面１３上を流れてきた処理液Ｘは、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の隙間において流下する。
また、中央領域処理面１４と供給ガイド面１３との連接部分は、滑らかな曲面形状であることが好ましい。これにより、供給ガイド面１３上を流れてきた処理液Ｘがシート材１０の方向に飛散したり、脈動したりすることを抑えることができる。
【００４５】
また、図４に示すように、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近には、処理液Ｘが流れる方向に対して垂直方向（シート材１０の搬送方向に対し平行方向に）に沿った条を有する微小凹凸２２が形成されている。これにより、処理液Ｘが、シート材１０の搬送方向に沿って均一に広がり易くなり、よりムラのない表面処理を施すことができる。
【００４６】
端部領域処理部３は、図１および図２に示すように、中央領域処理部４の上方向に、略垂直に配設された板形状の部材である。この端部領域処理部３は、上端部１７ｂと下端部１７ａと端部領域処理面（第１ガイド面）１７ｃとを有している。
【００４７】
上端部１７ｂは、図２に示すように、筐体部２に固定されている。このため、上端部１７ｂの固定位置が決定されれば、端部領域処理部３の配設位置が決定される。ただし、端部領域処理部３の固定方法は、これに限定されるものではない。例えば、端部領域処理部３は、例えば、基板部５ａの一部分や縦壁１１の一部分などに固定される構成であってもよい。
【００４８】
下端部１７ａは、図５に示すように、被処理面１６の端部領域１６ａに対向する領域（端部処理領域面１７ｃの下端部）は、曲面形状を成している。具体的には、板形状の部材に半円柱形状の部材が密着して組み合わされた形状になっている。そして、半円柱形状の部材の条の部分が被処理面１６の端部領域１６ａに近接するように設けられている。また、本実施形態においては、この半円柱状の部材は、端部処理領域面１７ｃに沿って上下に２つ設けられている。なお、板状の部材と半円球状の部材とは、個々に形成された後に接着剤などで接着されたものであってもよいし、あるいは、射出成型などによる一体形成物であってもよい。
【００４９】
また、この下端部１７ａは、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近において、供給ガイド面１３から中央領域処理面１４に流れる処理液Ｘに接するように設けられている。この下端部１７ａは、処理液Ｘを、被処理面１６と、後述する端部領域処理面１７ｃと、の間の微小隙間へ吸い上げるために、最初に表面張力によって端部領域処理部３に吸着させる役割を果たしている。
【００５０】
なお、この処理液Ｘと下端部１７ａとが接する度合いは、処理液Ｘの流量によって変化するので、必要に応じて流量を調節すれば、下端部１７ａと処理液Ｘとの接する度合いを調節することができる。
【００５１】
端部領域処理面１７ｃは、端部領域処理部３におけるシート材１０の被処理面１６に対向する面である。そして、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの間には、最も近接する部分（半円柱形状の条の部分と被処理面１６ａと）では、約０．３ｍｍの微小隙間が設けられている。また、最も離れている部分（平面部分と被処理面１６ａとの距離）では、約１．５ｍｍの微小隙間が設けられている。これらの距離は、本実施形態において使用する処理液Ｘが、毛細管力によって入り込む大きさの隙間である。なお、本実施形態におけるシート材１０のように、被処理物が非剛体物（剛体物ではない物体）である場合は、処理液Ｘを流していない状態において、端部領域処理面１７ｃの半円柱形状の条の部分と被処理面１６ａとが接している状態であってもよい。これは、シート材１０が端部領域処理面１７ｃに対して垂直方向に、非剛体物であることによる自由度を有するため、処理液Ｘが入り込むことによって、自然に微小隙間が形成されるためである。
【００５２】
以上の構成により、端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとの微小隙間は、毛細管力が働きやすくなるため、処理液Ｘを効果的に入り込ませることが可能になる。また、上下に並べられた半円柱状の部材同士の間にも毛細管力が働き、処理液Ｘを保持しやすい形状となっている。この結果、端部領域１６ａと端部領域処理部３との間の隙間に処理液Ｘを効果的に入り込ませて保持することができる。
【００５３】
（ガイドローラ対９ａ，９ｂ）
ガイドローラ対９ａ，９ｂは、図３に示すように、筐体部２の内部に設けられている。ガイドローラ対９ａは、搬入口２０近傍に設けられている。ガイドローラ対９ｂは、搬出口２１近傍に設けられている。また、ガイドローラ対９ａとガイドローラ対９ｂとの間には、シート材１０の被処理面１６に表面処理を施す処理区間Ｙが位置している。このガイドローラ対９ａ，９ｂは、略円柱状の部材であり、円周面である外周面２３にシート材１０を密着させた状態で回転する。
【００５４】
ここで、本実施形態におけるシート材１０は、筐体部２の外部にロール状に巻かれた状態で保持されている。このシート材１０は、筐体部２の外部に設けられた図示しない搬送ローラ対によって、ロール状態から引き出される。そして、上記搬送ローラ対に対して筐体部２を挟んで反対側に設けられている図示しない搬送ローラ対によって、搬入口２０から筐体部２の内部へと搬送される。
【００５５】
このとき、ガイドローラ対９ａおよびガイドローラ対９ｂは、処理区間Ｙにおいて、シート材１０の被処理面１６が、中央領域処理面１４および端部領域処理面１７ｃに対し、微小隙間を介して対向して搬送されるように誘導する。また、ガイドローラ対９ｂは、処理後のシート材１０を、筐体部２の外部に設けられている図示しない搬送ローラ対へ、搬出口２１を通って搬送されるように誘導する。そして、筐体部２内で表面処理を施された後、搬出口２１から搬出される。ただし、本実施形態では、長尺のシート材１０を搬送方向に連続的に表面処理を施す構成であるため、シート材１０の搬入出は連続的に行われる。
【００５６】
なお、本実施形態におけるガイドローラ対９ａ，９ｂは、回転自在に設けられており、シート材１０を搬送するための動力を有していない。しかし、このガイドローラ対９ａ，９ｂは、モータなどによって動力を持たせた搬送ローラ対としての機能を併せ持つものであってもよい。この場合、ガイドローラ対９ａ，ｂは、比較的、半径が大きいものであることが好ましい。これは、側面とシート材１０との密着面積が広くなり、摩擦力が高くなるためである。すなわち、ガイドローラ対９ａ，９ｂの側面とシート材１０との摩擦力が、シート材１０を搬送するために十分であればよい。
【００５７】
また、ガイドローラ対９ａ，９ｂは、図１２（ａ）に示すようにシート材１０の上端または（及び）下端をガイドする（例えば、段付き円柱）構造であってもよいし、シート材１０を圧着する構造であってもよい。あるいはまた、図１２（ｂ）に示すように、３つのガイドローラによって、シート材１０を交互に挟む構成であってもよい。
【００５８】
＜表面処理装置１における表面処理液Ｘの流路＞
次に、本実施形態に係る表面処理装置１における表面処理液Ｘの流路を、図５を用いて、以下で説明する。
【００５９】
先ず、供給管７の内部を流れてきた処理液Ｘは、供給管７の微小穴７ａから流出する。流出した処理液Ｘは、縦壁１１に当たり、この縦壁１１に沿って流下する。このようにすると、供給される処理液Ｘが飛散することを抑えることができる。そして、縦壁１１に沿って流下した処理液Ｘは、堰６によって堰き止められ、堰６の高さに至るまで、液溜め１２に溜まる。このように、処理液Ｘが、一旦、液溜め１２に溜まることによって、処理液Ｘの勢いが抑制される。
【００６０】
次に、供給管７から供給され続け、堰６の高さを超えた処理液Ｘは、堰６側から溢れ出し、供給ガイド面１３上を流れ出す。供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘは、この供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との接続部およびその近傍に設けられた微小凹凸２２（図４参照）によって、シート材１０の搬送方向に広がりつつ、下流方向に流れていく。
【００６１】
このとき、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部は、端部領域処理部３の下端部１７ａに接触する。この下端部１７ａに接触した処理液Ｘの一部は、表面張力によって端部領域処理部３の表面に吸着する。そしてさらに、この吸着した処理液Ｘは、毛細管力によって、端部領域処理面１７ｃとシート材１０の被処理面１６における端部領域１６ａとの微小隙間に入り込む。すなわち、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの隙間で毛細管現象が発生し、その隙間に処理液Ｘが広がって保持される。
【００６２】
ここで、処理液Ｘの上昇は、シート材１０の上端付近で止まる。これは、毛細管現象の原理に基づく結果である。つまり、毛細管力は、液体の表面張力によって、物体間の微小隙間を液面が上昇する現象であるため、端部領域処理面１７ｃに対し微小隙間を介して対向する物体（シート材１０の被処理面１６）が存在しない領域（シート材１０の上端部より上の領域）では、毛細管力が働かないからである。
【００６３】
一方、毛細管力によって端部領域処理面１７ｃ方向に入り込まなかった処理液Ｘは、中央領域処理面１４と、シート材１０の被処理面１６との間の微小隙間に沿って流下する。このとき、シート材１０に、中央領域処理面１４に近づく方向に若干の自由度を持たせておけば、処理液Ｘと被処理面１６との表面張力によって、シート材１０の被処理面１６が中央領域処理面１４方向に吸い寄せられる。
【００６４】
このように、中央領域処理面１４と被処理面１６との微小隙間を、中央領域処理面１４と被処理面１６との両方に接触しながら流下した処理液Ｘは、中央領域処理面１４の下端２６に到達して筐体部２の底部に滴下する。
【００６５】
なお、筐体部２の底部に滴下した処理液Ｘは、図示しない循環ポンプによって、再び、供給管７に循環される。ただし、この循環の間には、処理液Ｘの濾過や濃度、温度などの条件を調整するための図示しない調整槽を介していてもよい。
【００６６】
［表面処理装置１の特徴］
（１）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１および図５に示すように、処理液Ｘをシート材１０の被処理面１６に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置１であって、端部領域処理面１７ｃを有する端部領域処理部３を備えている。端部領域処理面１７ｃは、シート材１０の被処理面１６に対して、微小隙間を介して対向して設けられている。そして、端部領域処理部３の下端部１７ａは、供給ガイド面１３上を流れる処理液Ｘの一部に対して接するように配置されている。
【００６７】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａに接触した処理液Ｘの一部が、毛細管力（表面張力）によって、シート材１０の被処理面１６と端部領域処理面１７ｃとの間の隙間に入り込ませることができる。そして、被処理面１６が存在しなくなる領域では、端部領域処理面１７ｃと対向する面が存在しなくなる。このため、被処理面１６の上端部２５より上側の領域では毛細管現象が発生せず、必然的に、処理液Ｘが被処理面１６の上端部２５でとどめることができる。
【００６８】
この結果、被処理面１６の端部領域１６ａにも処理液Ｘを行き届かせること、およびシート材１０の裏面２７等の意図しない部分への処理液Ｘの回りこみを防ぐことが可能になり、被処理面１６のみへの表面処理を高精度で実施することが可能になる。
【００６９】
（２）
本実施形態に係る表面処理装置１では、図２に示すように、中央領域処理面１４を有する中央領域処理部４を備えている。中央領域処理面１４は、被処理面１６における端部領域処理部３が対向して配置された端部領域１６ａ以外の中央領域１６ｂに対し、微小隙間を介して対向して設けられている。
【００７０】
これにより、処理液Ｘを、中央領域処理面１４とシート材１０の被処理面１６との間の隙間に沿って流下させることができる。また、このとき、中央領域処理面１４と被処理面１６との間が微小隙間であるため、処理液Ｘが毛細管力（表面張力）によって中央領域処理面１４と被処理面１６との両面に吸着させることができる。
【００７１】
この結果、毛細管力の働きによって、中央領域処理面１４と被処理面１６との隙間に処理液Ｘが行きわたり、被処理面１６における端部領域１６ａだけでなく中央領域に対してもムラの少ない表面処理を行うことが可能になる。
【００７２】
（３）
本実施形態に係る表面処理装置１では、図２に示すように、供給ガイド面１３を有する貯留部５と堰６とを備えている。供給ガイド面１３は、中央領域処理面１４の上端部から略水平に設けられている。堰６は、供給ガイド面１３の中央領域処理面１４とは反対側の端部に供給ガイド面１３から上方向に突出して設けられている。そして、処理液Ｘは、供給管７から、堰６の供給ガイド面１３側とは反対側の液溜め１２に供給される。
【００７３】
これにより、供給管７から供給された処理液Ｘを、堰６の高さを超えるまで一時的に堰き止めた後、堰６から溢れた処理液Ｘを供給ガイド面１３へ流出させることができる。すなわち、堰６から溢れる処理液Ｘのみが、表面処理が行われる端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４側に供給される。
【００７４】
この結果、処理液Ｘが、供給管７から直接的に供給ガイド面１３に供給される場合に比べ、処理液Ｘの流れの勢いを抑え、供給ガイド面１３上から安定して処理液Ｘを下流側へと供給することができる。よって、端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４に供給される流量を安定化させ、表面処理のムラを軽減することが可能になる。
【００７５】
（４）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図１に示すように、端部領域処理部３として、板状の部材を用いている。
【００７６】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａは、板形状における側面を含み、端部領域処理面１７ｃは、板形状における一方の面とすることができる。つまり、板形状部材の側面が、処理液Ｘの液面に接する。そして、この下端部１７ａから端部領域処理面１７ｃとシート材１０の被処理面１６との間の微小隙間へ、毛細管力によって処理液Ｘが入り込む。この結果、簡易な部材を用いることで、処理液Ｘを被処理面１６の端部領域１６ａに行き届かせることができる。また、装置にかかる費用を抑えつつ、シート材１０の非処理領域を減少させ、資材の利用効率を上昇させることが可能になる。
【００７７】
（５）
本実施形態に係る表面処理装置１は、図２に示すように、シート材１０の被処理面１６における端部領域１６ａに対向する側（端部処理面１７ｃ側）に半円柱形状部分を、端部領域処理面１７ｃに沿って上下に二つ備えている。
【００７８】
これにより、端部領域処理部３の下端部１７ａにおけるシート材１０の端部領域１６に対向する部分（端部領域処理面１７ｃの端部を含む部分）が、曲面形状になるため、処理液Ｘが流れていない初期状態においてシート材１０自身の自由度によって端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとが接触した状態になっていても、端部領域処理部１７ｃと端部領域１６ａとの接触面積が微小面積に抑えられる。したがって、処理液Ｘは、毛細管力によって端部領域処理面１７ｃと端部領域１６ａとの間の微小隙間に入り込みやすくなる。また、上下に並べられた半円柱状の部材同士の間にも毛細管力が働き、端部領域処理部１７ｃと端部領域１６ａとの微小隙間に処理液Ｘを保持しやすい形状となっている。
【００７９】
＜実施例＞
本実施形態に係る表面処理装置１を備えた表面処理システムによる表面処理の実施例について以下で述べる。
【００８０】
本実施例は、ポリイミド膜の表面にニッケルメッキ処理を行ったものである。以下に、実施条件を示す。
本実施例において用いた表面処理システムは、複数の処理槽を備えている。詳細には、第１槽から第４槽までを備え、このうち第１槽と第２槽とにおいては、本実施形態に係る表面処理装置１が採用され、第３槽と第４槽とにおいては、従来の全浸漬法にて用いられる表面処理装置が採用されている。
【００８１】
被処理物として用いた長尺のシート材１０は、幅３０ｃｍ、厚さ３８μｍの、ポリイミド膜を表面に有するシート材１０である。このシート材１０の搬送速度は、０．３ｍ／分とした。また、中央領域処理面１４におけるシート材１０の搬送方向の長さは３０ｃｍである。また、端部領域処理面１７ｃと対向しているシート材１０の端部領域１６ａの高さ方向の長さは、５．０ｍｍである。また、端部領域処理面１７ｃの半円柱形状の条部分とシート材１０の端部領域１６ａとの距離は、０．３ｍｍである。また、中央領域処理面１４とシート材１０との距離は０．５ｍｍである。ただし、この端部領域処理面１７ｃとシート材１０との距離は、シート材１０に若干の自由度を持たせているため、処理液Ｘの表面張力によって変化する。
【００８２】
ここで、上記の条件の下で、ニッケルメッキ処理を施すための前処理として、以下の処理を実施した。
先ず、第１槽において、シート材１０の被処理面１６に、脱脂処理を行なった。ここで用いた処理液Ｘは、モノエタトルアミン４４％、ポリオキシエチレンアルキルエーテル１．７％と若干のキレート剤を含む水溶液である。
【００８３】
次に、第２槽において、シート材１０の被処理面１６に、アルカリ加水分解を行った。ここで用いた処理液Ｘは、ＫＯＨ３ｍｏｌ／ｌの水溶液である。
そして、第３槽において、シート材１０の被処理面１６およびその裏面２７の両面に、パラジウム付与処理を行った。
【００８４】
最後に、第４槽において、シート材１０の被処理面１６およびその裏面２７の両面に、ニッケル処理を行った。ここで用いた処理液Ｘは、３５℃、ｐＨ８．８に調整された、無電解ニッケルメッキ液ＥＮＩＬＥＸ ＮＩ−５（荏原ユージライト株式会社製）である。
【００８５】
なお、これらの各処理の前後には、それぞれ、超純水による水洗処理や乾燥処理を行った。
以上の処理の後に、被処理面１６およびその裏面２７の確認を行った。被処理面１６の上端部２５から５００μｍまでの領域を除く領域に、ニッケルメッキが施されていることが確認された。また、裏面２７には、ニッケルの付着は確認されなかった。
【００８６】
この結果は、第１槽および第２槽において、被処理面１６の上端部２５付近まで、高精度に表面処理されており、かつ、処理液Ｘが裏面２７側に乗り越えていないことを、十分に示している。
【００８７】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００８８】
（Ａ）
上記実施形態では、図１に示すように、表面処理装置１におけるシート材３１の搬送方向として、シート材３１の長手方向を水平方向に沿って搬送させる例を挙げて説明した。しかし本発明はこれに限定されるものではない。
【００８９】
例えば、シート材３１の長手方向を、水平方向に対し垂直に沿って搬送させる構成を用いてもよい。この構成について、図６および図７を用いて以下で説明する。
表面処理装置１００は、図６に示すように、シート材３１が、ガイドローラ対３８によって誘導され、上から下へと搬送される構成を有している。そして、処理液Ｘは、上記の実施形態と同様に、供給管７から液溜め１２へ供給され、堰６から溢れ出す。続けて、処理液Ｘは、供給ガイド面１３上を流れた後に、被処理面３２に沿って流下する。
【００９０】
そして、シート材３１の両端部領域３３，３３に対しそれぞれ対向して設けられている端部領域処理面３４，３４を有する端部領域処理部３５，３５が備えられている。すなわち、端部領域処理面３４，３４が、被処理面３２の端部領域３３，３３に対し、それぞれ微小隙間を介して設けられている。そして、端部領域処理部３５，３５の端部３６，３６は、被処理面３２に沿って流下する処理液Ｘに接するように形成されている。
【００９１】
これにより、端部領域処理面３４，３４とシート材３１の端部領域３３，３３との隙間に、毛細管力によって処理液Ｘが入り込ませることができる。したがって、端部領域３３，３３に対して、高精度な表面処理を施すことが可能になる。また、この構成は、被処理面３２と処理液Ｘとが親和性を有しない場合には、その処理液Ｘが表面張力により被処理面３２の中央領域３７に集中して流れてしまう恐れがあるため、特に有効である。
【００９２】
（Ｂ）
上記実施形態では、図２に示すように、シート材１０の一方の面のみを表面処理するための構成を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９３】
例えば、シート材４０の両面が被処理面４１，４２である場合は、図８に示すように、端部領域処理部４３，４３、中央領域処理部４４，４４、貯留部４５，４５、堰４６，４６および供給管４７，４７を、シート材４０を中心として、それぞれ、鏡面対称になるように配設する。
【００９４】
これにより、シート材４０の両面を、端部領域４８，４９まで高精度に表面処理することが可能になる。また、この構成は、それぞれの被処理面４１，４２において、異なる処理液Ｘを用いることも可能である。したがって、それぞれの処理面に対し、異なる表面処理を施す場合において、特に有効である。
【００９５】
（Ｃ）
上記実施形態では、図２に示すように、一枚のシート材１０の一方の面のみを処理するための構成を例に挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９６】
例えば、図９に示すように、２枚のシート材５０，５０におけるそれぞれの被処理面５６，５６を同時に処理する構成であってもよい。
詳細には、図９に示すように、中央に設けられた縦壁５１を中心とし、線対称にそれぞれ供給管５４，５４、堰５３，５３、端部領域処理部５７，５７、および中央領域処理部６２，６２が配設されている。そして、シート材５０は、中央領域処理部６２，６２および端部領域処理部５７，５７と微小隙間を介して被処理面５６，５６が位置するように搬送されている。換言すると、図２で示した、上記実施形態における筐体部２内部の構成が、縦壁１１を中心に線対称に設けられた構成である。
【００９７】
このような構成によると、供給された処理液Ｘは、堰５３，５３から溢れ出て、供給ガイド面６０，６０上を流れる。そして、処理液Ｘは、中央領域処理部６２の上端部６４に到達する。次に、処理液Ｘは、この上端部６４から中央領域処理面６５，６５と被処理面５６，５６との両方に沿って流下するとともに、端部領域処理部５７，５７の下端部６３，６３に接する処理液Ｘは、この下端部６３，６３に対する表面張力と端部領域処理面６１，６１および被処理面５６，５６の端部領域５５，５５の微小隙間への毛細管力とによって、この微小隙間に入り込む。
この結果、２枚のシート材５０，５０のそれぞれの一方の面に対し、同時に表面処理を施すことができる。したがって、単位時間当たりの作業効率が向上する。
【００９８】
（Ｄ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３の下端部１７ａは、端部領域処理部１７ｃ側に円周面形状を有する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９９】
例えば、下端部１７ａは、図１３に示すように、先端部分において下方向に凸の曲面形状であってもよい。また、この下端部１７ａは、供給ガイド面１３と中央領域処理面１４との連接部分付近において、供給ガイド面１３から中央領域処理面１４に流れる処理液Ｘに接するように設けられている。この下端部１７ａは、処理液Ｘを、被処理面１６と、後述する端部領域処理面１７ｃと、の間の微小隙間へ吸い上げるために、最初に表面張力によって端部領域処理部３に吸着させる役割を果たしている。
【０１００】
ここで、下端部１７ａが処理液Ｘに接する度合いは、下端部１７ａの曲面の全てが接する程度であってもよいし、曲面の一部分（例えば、先端部分）が接する程度であってもよい。なお、この処理液Ｘと下端部１７ａとが接する程度は、処理液Ｘの流量によって変化するので、必要に応じて流量を調節すれば、下端部１７ａと処理液Ｘとの接する度合いを調節することができる。
【０１０１】
このような構成によると、下端部１７ａ先端の曲面形状によって、端部領域処理部３と被処理面１６の端部領域１６ａとの間の隙間は、処理液Ｘと接触する下方から上方に向かって徐々に狭まる。これにより、処理液Ｘに対して毛細管力が働き易くなるため、被処理面１６の端部領域１６ａと端部領域処理部３との間の隙間に処理液Ｘを効果的に入り込ませて保持することができる。
【０１０２】
また、端部領域処理部３の下端部１７ａにおいて、処理液Ｘと接する面積を大きく設けることができる。このため、表面張力による、処理液Ｘの下端部１７ａへの吸着が容易かつ確実になる。
【０１０３】
（Ｅ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３の下端部１７ａは、端部領域処理面１７ｃ側に円周面形状を有する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０４】
例えば、下端部１７ａは、図１０に示すように、処理液Ｘに接触する部分（下先端部分１７ｄ）から端部領域処理面１７ｃ方向にかけて、被処理面１６との隙間が狭くなるように形成されたテーパ形状であってもよい。
これにより、毛細管現象が発生しやすい形状となり、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６の端部領域１６ａとの隙間へ、処理液Ｘが入り込みやすくなる。
【０１０５】
（Ｆ）
上記実施形態では、図２に示すように、端部領域処理部３は、筐体部２に固定されている例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０６】
例えば、図１１に示すように、シート材１０の被処理面１６に対して平行な方向において上下方向に移動させることが可能な構成であってもよい。具体的には、端部領域処理部３は、筐体部２の上面部７１に係り合う鋸歯部７２を有している。そして、当該表面処理装置２００は、取り外し自在のＬ字型の固定部材７３をさらに備えている。
【０１０７】
これにより、固定部材７３を取り外し、端部領域処理部３が所望の高さになるように、上面部７１に係り合う鋸歯部７２の位置を調整し、固定部材７３をはめ込んで固定することができる。したがって、下端部１７ａを処理液Ｘの液面に確実に接触させることが可能になる。
【０１０８】
（Ｇ）
上記実施形態では、図３に示すように、ガイドローラ対９ａ，９ｂが固定されており、被処理面１６と端部領域処理面１７ｃの距離は、シート材１０が有する若干の自由度のみに依存している例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０９】
例えば、外径が異なるガイドローラ対９ａ，９ｂを取替え自在にすることによって、端部領域処理面１７ｃおよび中央領域処理面１４と被処理面１６との距離を調整することができる。
これにより、処理液Ｘの流量に応じた距離を保つことが可能になり、高精度な表面処理を実施することが可能になる。
【０１１０】
（Ｈ）
上記実施形態では、処理液Ｘが循環ポンプによって循環する例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、一度使用した処理液Ｘは廃棄し、常に新しく調整された処理液Ｘを用いる構成であってもよい。
【０１１１】
（Ｉ）
上記実施形態では、端部領域処理面１７ｃと被処理面１６との微小隙間は、０．５ｍｍである例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１２】
この微小隙間、すなわち端部領域処理面１７ｃと被処理面１６との距離は、上述の毛細管現象の観点から０．１ｍｍから１０ｍｍ程度が好適である。したがって、処理液Ｘの種類や条件、または、処理液Ｘと端部領域処理面１７ｃおよび被処理面１６との親和性によって、適宜調整することが好適である。
【０１１３】
（Ｊ）
上記実施形態では、表面処理装置１を形成する材料として、塩化ビニル製の部材を用いる例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１１４】
表面処理装置１に用いられる処理液Ｘは、目的に応じて、種々の酸、アルカリ、有機溶媒溶液が用いられるため、それぞれの溶液に対し、反応性の低い材料を用いることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明の表面処理装置は、表面張力（毛細管力）を用いて、被処理物の一方の面のみを高精度に表面処理することができるという効果を奏することから、液体による各種加工装置に対して広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面処理装置の構成を示す斜視透過図。
【図２】図１の表面処理装置の側面視断面図。
【図３】図２の表面処理装置のＡ−Ａ断面図。
【図４】図１の中央領域処理部および貯留部の一部を拡大した斜視図。
【図５】図１の主要部分を拡大した側面視断面図。
【図６】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置の構成を示す側面視断面図。
【図７】図６の表面処理装置における端部領域処理部とシート材との位置関係を示す側面視図。
【図８】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図９】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における端部領域処理部の端部形状を示す側面視断面図。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における主要部分を示す側面視断面図。
【図１２】（ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置におけるガイドローラの一例を示す斜視図である。（ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置におけるガイドローラの一例を示す上面視平面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る表面処理装置における端部領域処理部の下端部の端部形状を示す側面視断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１ 表面処理装置
２ 筐体部
３ 端部領域処理部（第１部材）
４ 中央領域処理部（第２部材）
５ 貯留部（第３部材）
５ａ 基板部
６ 堰
７ 供給管
７ａ 微小穴
９ａ ガイドローラ対
９ｂ ガイドローラ対
１０ シート材（被処理物）
１１ 縦壁
１２ 液溜め
１３ 供給ガイド面（第３ガイド面）
１４ 中央領域処理面（第２ガイド面）
１６ 被処理面
１６ａ 端部領域
１６ｂ 中央領域
１７ａ 下端部
１７ｂ 上端部
１７ｃ 端部領域処理面（第１ガイド面）
１７ｄ 下先端部分
１８ａ 側面部
１８ｂ 側面部
１９ 底面部
１９ａ 廃液溜め
２０ 搬入口
２１ 搬出口
２２ 微小凹凸
２３ 側面
２５ 上端部
２６ 下端
２７ 裏面
３１ シート材（被処理物）
３２ 被処理面
３３ 端部領域
３４ 端部領域処理面（第１ガイド面）
３５ 端部領域処理部（第１部材）
３６ 端部
３７ 中央領域
３８ ガイドローラ対
４０ シート材（被処理物）
４１ 被処理面
４２ 被処理面
４３ 端部領域処理部（第１部材）
４４ 中央領域処理部（第２部材）
４５ 貯留部（第３部材）
４６ 堰
４７ 供給管
４８ 端部領域
４９ 端部領域
５０ シート材（被処理物）
５１ 縦壁
５３ 堰
５４ 供給管
５５ 端部領域
５６ 被処理面
５７ 端部領域処理部（第１部材）
６０ 供給ガイド面（第３ガイド面）
６１ 端部領域処理面（第１ガイド面）
６２ 中央領域処理部（第２部材）
６３ 下端部
６４ 上端部
６５ 中央領域処理面（第２ガイド面）
７１ 上面部
７２ 鋸歯部
７３ 固定部材
１００ 表面処理装置
２００ 表面処理装置
Ｘ 処理液（表面処理液）
Ｙ 処理区間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理液を被処理物の被処理面に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置であって、
前記被処理面の端部領域に対し微小空間を介して対向する第１ガイド面を有し、前記表面処理液の一部に端部が接するように配置された第１部材を備える表面処理装置。
【請求項２】
前記被処理面における、前記第１部材が配置された前記端部領域を除く領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられている第２ガイド面を有する第２部材を備える、
請求項１に記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記第２ガイド面の一方の端部から略水平に設けられ、供給された前記表面処理液を前記第２ガイド面に流すための第３ガイド面を有する第３部材と、
前記第３ガイド面の第２ガイド面とは反対側の端部に設けられ、前記第３ガイド面から突出する堰と、
を備える、
請求項１または２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記第１部材は、板状の部材である、
請求項１から３のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記第１部材の前記端部は、曲面を含むように形成されている、
請求項１から４のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記第１部材の前記端部は、前記被処理面の前記端部側に近づくにつれて前記被処理面との間隔が狭くなるように形成されたテーパ形状である、
請求項１から４のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記第１部材は、前記被処理面と略平行な方向に移動可能である、
請求項１から７のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記第１ガイド面と前記被処理物の前記被処理面との距離は、調整可能である、
請求項１から７のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項１】
表面処理液を被処理物の被処理面に沿って流下させて表面処理を施す表面処理装置であって、
前記被処理面の端部領域に対し微小空間を介して対向する第１ガイド面を有し、前記表面処理液の一部に端部が接するように配置された第１部材を備える表面処理装置。
【請求項２】
前記被処理面における、前記第１部材が配置された前記端部領域を除く領域に対し、微小隙間を介して対向して設けられている第２ガイド面を有する第２部材を備える、
請求項１に記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記第２ガイド面の一方の端部から略水平に設けられ、供給された前記表面処理液を前記第２ガイド面に流すための第３ガイド面を有する第３部材と、
前記第３ガイド面の第２ガイド面とは反対側の端部に設けられ、前記第３ガイド面から突出する堰と、
を備える、
請求項１または２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記第１部材は、板状の部材である、
請求項１から３のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記第１部材の前記端部は、曲面を含むように形成されている、
請求項１から４のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記第１部材の前記端部は、前記被処理面の前記端部側に近づくにつれて前記被処理面との間隔が狭くなるように形成されたテーパ形状である、
請求項１から４のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記第１部材は、前記被処理面と略平行な方向に移動可能である、
請求項１から７のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記第１ガイド面と前記被処理物の前記被処理面との距離は、調整可能である、
請求項１から７のいずれか１項に記載の表面処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１１−６７１５（Ｐ２０１１−６７１５Ａ）
【公開日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２７９５１０（Ｐ２００７−２７９５１０）
【出願日】平成１９年１０月２６日（２００７．１０．２６）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１月１３日（２０１１．１．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月２６日（２００７．１０．２６）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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